JPH0652164B2 - 共通光路型干渉計 - Google Patents

共通光路型干渉計

Info

Publication number
JPH0652164B2
JPH0652164B2 JP61505020A JP50502086A JPH0652164B2 JP H0652164 B2 JPH0652164 B2 JP H0652164B2 JP 61505020 A JP61505020 A JP 61505020A JP 50502086 A JP50502086 A JP 50502086A JP H0652164 B2 JPH0652164 B2 JP H0652164B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical path
light beam
optical
ray
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61505020A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63500744A (ja
Inventor
ウォーターズ，ジェームス・ピー
ファーナルド，マーク・アール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytheon Technologies Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of JPS63500744A publication Critical patent/JPS63500744A/ja
Publication of JPH0652164B2 publication Critical patent/JPH0652164B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
    • G01B9/02064—Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry
    • G01B9/02065—Active error reduction, i.e. varying with time by particular adjustment of coherence gate, i.e. adjusting position of zero path difference in low coherence interferometry using a second interferometer before or after measuring interferometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02056—Passive reduction of errors
    • G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/0209—Low-coherence interferometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G01J2009/0226—Fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、干渉計に係り、更に詳細には共通の光路を備
えた干渉計を有する光学測定装置に係る。
背景技術 光ファイバの出現に伴ない、多数の光ファイバ式干渉計
装置が開発されている。これらの装置は機械的構成要素
の振動や動的歪を測定する広範囲の用途を有している。
更に詳細には、光ファイバ式干渉計はそれに含まれる構
成要素が可撓性を有し、またその大きさが小さいので、
特に計測に適している。
従来の光ファイバ式干渉計は、修正されたマッハ・ツェ
ンダー（Ｍach −Ｚehnder）又はトワイマン・グリーン
（Ｔwyman Ｇreen）干渉計として特徴付けられるもの
を含んでいる。これらの干渉計はそれらの最も単純な形
態に於ては光源より発射され二つの光線に分割された光
を使用している。第一の光線は基準光線として使用さ
れ、一定長さの光路を通過する。第二の光線は測定され
る外部の加工片により長さが変化される光路に沿って伝
送される。これらの光線はその後再度組合わされ、これ
により機械的構成要素の振動や動的歪を示す干渉縞を形
成する。
また当技術分野に於ては、ヘテロダイン（Ｈeterodyne
）光学干渉計もよく知られている。これらの装置は基
本的なマッハ・ツェンダー干渉計やトワイマン・グリー
ン干渉計と同様であるが、基準光線もしくは測定光線の
光周波数をシフトする光学変調器を含むよう修正されて
いる。基本的なマッハ・ツェンダー干渉計やトワイマン
・グリーン干渉計の場合と同様、測定光線の光路長は振
動する外部要素により変化される。両方の光線はその後
再度組合され、これにより光学変調器の周波数に等しい
キャリア周波数及び機械的構成要素の振動や動的歪によ
り引起こされたキャリア周波数よりの偏差にて周波数変
調（ＦＭ）された光線を形成する。機械的構成要素の運
動に起因する成分は従来のＦＭ復調により抽出される。
従来の光ファイバ式計測装置に於ては、基準光線及び測
定光線は互いに独立の光ファイバを含む光路に沿って伝
送される。かかる構成により、加工片より戻る未知のド
ップラーシフトされた波頭と比較するために真に静止状
態の基準波頭が使用されることが確保される。しかし光
ファイバは周囲環境のノイズをピックアップするマイロ
ホンとして作用する。かかる環境ノイズ信号は周囲環境
の振動や測定光線または基準光線を伝送する光ファイバ
の屈折率の僅かな変動に起因する好ましからざるドップ
ラーシフトよりなっており、加工片よりの測定された振
動信号に追加され、その結果その振動周波数及び振幅信
号に歪が生じ、また典型的な製造環境に於て光ファイバ
を利用した従来の干渉計又はヘテロダイン干渉計を使用
することが実質上阻害される。
発明の開示 本発明の目的は、外部の加工片の表面の機械的運動を表
示する光学式干渉計であって、共通の光路を有する干渉
計を提供することである。
本発明によれば、共通光路型干渉計は光源を含み、該光
源は光線を第一及び第二の光線に分割し且それらを光学
的に変調する光学装置へ部分的にコヒーレントな光線を
供給するようになっている。第一及び第二の光線はそれ
ぞれ第一及び第二の光路に沿って伝送され、これらの光
路の長さの差は光源のコヒーレントな長さよりも大きく
選定されている。また第一及び第二の光線を組合せるコ
ンバイナを含み、組合された光線を伝送する共通の光路
手段が含まれている。この共通の光路手段は組合された
光線を分割して基準光線及び測定光線を形成する。基準
光線は基準光路に沿って伝送され、測定光線は加工片の
表面を含む測定光路に沿って伝送される。測定光線及び
基準光線の光路長は、それらの間の差が第一及び第二の
光路の間の長さの差にほぼ等しくなるよう設定されてい
る。更に共通の光路手段は測定光線と基準光線とを再度
組合わせて干渉光線を形成する。また本発明の共通光路
型干渉計は、干渉光線を受けてそれと等価な電気信号を
出力する検出器を含んでおり、また電気信号を受け且そ
れを復調して加工片の表面の運動を示す成分を判定する
信号処理装置を含んでいる。
以下に添付の図を参照しつつ、本発明を実施例について
詳細に説明する。
図面の簡単な説明 第１図は本発明による共通光路型干渉計を示すブロック
線図である。
第２図は第１図に示された共通光路型干渉計の他の一つ
の実施例を示すブロック線図である。
発明を実施するための最良の形態 本発明による共通光路型干渉計の簡略化されたブロック
線図を示す第１図に於て、共通光路型レーザー干渉計１
０は従来のレーザーダイオードの如き部分的にコヒーレ
ントな光の光源１２を含んでいる。この光源は光線１４
を発生し、該光線はスプリッタ１８の入力ファイバ上へ
光を焦点合せするレンズ１６へ供給される。スプリッタ
１８は図示の最良の形態の実施例に於ては、光ファイバ
式の光線スプリッタを含んでいるが、スプリッタはこれ
と等価な複数個の光線スプリッタに置き変えられてもよ
い。図示の最良の形態の実施例に於ては、レーザーダイ
オードは７８０ｎｍの波長にて光を発射するＳharp Ｌ
Ｔ０２３ＭＣを含んでいる。光ファイバ式光線スプリッ
タ１８は光線をそれぞれ第一及び第二の光路に沿って伝
送される第一及び第二の光線に分割する。第一の光路２
０は光ファイバセクション２２と、コリメーティングレ
ンズ２４と、音響光学変調器２６とを含んでいる。変調
器２６は当技術分野に於て公知の型式のものであり、図
示の最良の形態の実施例に於ては、約７５ＭＨｚだけ第
一の光線の光周波数をダウンシフトするＨoya Ａ−１
００型変調器の如きブラグセル（Ｂrag cell）を含ん
でいる。周波数シフトされた第一の光線はレンズ２８へ
供給され、該レンズはそれが受けた光線を光ファイバセ
クション３２に焦点合せする。レンズ２８及び上述のレ
ンズは当技術分野に於て周知の型式の任意のものあって
よく、図示の最良の形態の実施例に於ては顕微鏡の対物
レンズを含んでいる。光ファイバセクション３２は本発
明による干渉計に使用される光ファイバセクションの典
型的なものであり、約５〜９μのコア直径を有し、階段
状の屈折率を有し、０．１の開口数を有するコーニング
（Ｃorning）のガラスオンガラス型ファイバを含んでい
る。尚これと等価なマルチモード又はシングルモードの
ファイバが選定されてもよい。
第二の光線３４は光線スプリッタ１８より発射され、光
ファイバセクション３８及びレンズを通過したのち上述
の音響光学変調器２６と同様の音響光学変調器３６によ
り受信される。図示の最良の形態の実施例に於ては、変
調器３６は約８５ＭＨｚだけ光周波数をアップシフトす
る。本発明による共通光路型干渉計に於ては、第一又は
第二の光路の何れかにのみ一つの変調器が設けられても
よいことに留意されたい。後に詳細に説明する如く、光
信号の復調中に受けるキャリア信号の貫通（feed-throu
gh）を低減するために追加の変調器が設けられている。
周波数シフトされた第二の光線はレンズ４２より出て光
ファイバセクション４４内に焦点合せされる。図示の実
施例に於ては第一及び第二の光線を伝送するために光フ
ァイバが使用されているが、各光路の光ファイバはそれ
と等価な他の光学手段に置き換えられてもよい。
部分的にコヒーレントな光源は、同一の光源より発射さ
れた光線が互いに干渉する際の光路長の差として定義さ
れるコヒーレントな長さにより特徴付けられる。光線が
通過する光路長がコヒーレントな長さを上回る量だけ互
いに相違しておれば、それらの光線はコヒーレントでは
ないと言われる。本発明による共通光路型干渉計に於て
は、第一及び第二の光線の光路長の間の差は、それら二
つの光線をコヒーレントではないようにすべく光源のコ
ヒーレントな長さよりも大きく選定される。図示の最良
の形態の実施例に於ては、第一の光線は第二の光線より
も長い光路を通過し、以下の如く表現される。
Ｌ１−Ｌ２＞Ｌｃ ここにＬ１は基準光線の光路長であり、Ｌ２は測定光線
の光路長であり、Ｌｃは光源のコヒーレントな長さであ
る。
これら二つの光線はＩＴＴ Ｔ−７２７０の如き当技術
分野に於て公知の型式の二方向光学的カプラー４５へ供
給される。カプラー内に於て組合された光線は共通の光
路へ供給される。図示の最良の形態の実施例に於ては、
共通の光路は共通の光ファイバセクション４６を含んで
いる。基準光線と測定光線との間の光路長の差は光源の
コヒーレントな長さを越えているので、共通の光ファイ
バセクション４６内を伝播する光線の間には干渉が生じ
ない。各光線の強度は組合された光線の所定の部分の間
の干渉性がその後再度確立される場合にも低下しない。
組合わされた光信号の一部は共通の光ファイバセクショ
ンの端面４８より内部反射される。この反射された部分
は基準光線を含んでおり、第一及び第二の光線の両方よ
りのパワーを含んでいる。この場合反射は当技術分野に
於て公知の方法により行われてよく、共通のオプチカル
コーティング又は端面よりのフレネル反射を使用するこ
とを含んでいる。第３図は共通の光ファイバセクション
のセクション５０及びオプチカルコーティング５２が形
成された端面４８を示している。
組合された光線の残りのパワーは測定光線５４を含んで
おり、第一及び第二の光線の両方の残りのパワーを含ん
でいる。測定光線は共通の光ファイバセクションより出
て従来のコリメーティングレンズ５６へ供給され、しか
る後焦点合せレンズ５８へ供給され、該レンズにより運
動する加工片の表面６０上に焦点合せされる。ある構成
に於ては、一つのレンズが光を集光し、焦点合せするた
めに使用されてもよい。加工片の表面より反射された光
はレンズ５８及び５６を通過し、共通の光ファイバセク
ションへ再度進入する。
測定光線が通過する光路の長さは、その第一の光線部分
がレザーダイオードのコヒーレントな長さの範囲内に於
て第二の光線の全体としての光路長にほぼ等しい全体と
しての光路長を有するよう選定される。端面４８に於て
反射された基準光線の第二の光線部分及び測定光線の第
一の部分は、共通の光ファイバセクションへ再度進入す
ると、それらが再度干渉性を有するようになるので相互
干渉する。
前記第二の光線部分と前記第一の構成部分との間に形成
された干渉光線は、光学的カプラ４５へ伝播し、該カプ
ラに於てその一部が分割され、その一部は従来のシリコ
ンアバランシェフォトダイオードの如き当技術分野に於
て周知の型式の検出器６４へライン６２を経て供給され
る。検出器６４は干渉光線と等価な電気信号をライン６
６を経て信号処理装置６８へ供給する。他の等価な検出
器が使用されてよく、また追加の従来の予備増幅装置や
フィルタ装置が含まれていてよい。
信号処理装置６８は変調器により与えられる周波数の合
計又はその差にて復調することができるようになってい
る。図示の最良の形態の実施例に於ては、信号処理装置
６８はその通過帯域が１６０ＭＨｚの周波数差を含むフ
ィルタと、検出信号を１００ＭＨｚのＦＭ周波数帯域に
ダウンシフトする従来の無線周波数ミキサとを含んでい
る。また信号処理装置は従来のＦＭ受信器を含んでい
る。ＦＭ受信器は加工片の表面の運動を示す信号を出力
する。周波数差にて復調するには最良の形態の実施例に
於ける信号処理装置を適宜に修正する必要がある。更に
信号処理装置はアナログ式またはデジタル式の他の等価
な信号処理手段に置き換えられてもよい。
第２図は第１図に示された共通光路型干渉計の他の一つ
の実施例７０を示すブロック線図であり、幾つかの細か
い光学的構成要素を使用することを示している。この実
施例は光源７２を含み、該光源は第一の光線スプリッタ
７６へ部分的にコヒーレントな光線７４を供給し、スプ
リッタ７６はそれぞれ音響光学変調器８２及び８４へ供
給される第一及び第二の光線７８及び８０を形成するよ
うになっている。これら第一及び第二の光線はそれぞれ
レンズ８６及び８８により光ファイバセクション９０及
び９２内へ焦点合せされる。第１図に示された共通光路
型干渉計の場合と同様、各光線が通過する光路長は、そ
れらの間の差がコヒーレントな光源のコヒーレントな長
さを越えるよう選定されている。第一及び第二の光線は
光線カプラ９４内に於て組合わされる。組合わされた光
線の第一及び第二の光線成分は相互干渉をしないが、第
１図との関連で上述した理由から共通の光ファイバセク
ション９６の如き共通の光路に沿って伝播する。
第２図に示された共通光路型干渉計は、第１図に示され
た共通光路型干渉計と同一の構成要素及び構造体に加え
て、第二の光線スプリッタ９８又はこれと等価な光ファ
イバカプラを含んでおり、該スプリッタは組合わされた
光線が共通の光路の光ファイバセクションより出てレン
ズ１００により平行光線化された後の光線を受けるよう
になっている。第二の光線スプリッタ９８は第一及び第
二の光線の両方の一部を含み反射鏡１０４により反射さ
れる基準光線１０２を形成する。組合わされた光線の残
りの部分は加工片の表面１１０上にレンズ１０８により
焦点合せされ、表面１１０より戻る測定光線１０６を含
んでいる。
測定光線及び基準光線は、光路長の差を部分的にコヒー
レントな光源のコヒーレントな長さよりも大きくなるよ
う調節することにより、既にコヒーレントではないよう
にされている第一及び第二の光線よりの光を含んでい
る。基準光線の第二の光線部分と測定光線の第一の光線
部分との間の光学的干渉性は、それらの間の光路長の差
を部分的にコヒーレントな光源のコヒーレントな長さよ
りも小さくなるよう調節することにより回復される。
干渉光線１１２は、既にコヒーレントにされた光線の部
分により第二の光線スプリッタ９８に於て形成され、レ
ンズ１１４により集光され、光ファイバセクション１１
６の如き光案内手段へ供給され、最終的には干渉光線と
等価な電気信号を発生する検出器１１８へ供給される。
電気信号はライン１２０を経て第１図に示された信号処
理装置と同一の信号処理装置１２２へ供給される。この
信号処理装置のＦＭ受信器の構成要素は、加工片の表面
の運動を示す信号を発生する。
本発明による干渉計は検出器及び光源の相対的位置関係
の点で対称的であることが理解されよう。第１図及び第
２図に示された実施例に於ては、検出器及び光源は干渉
計の性能に悪影響を及ぼすことなく相互に置き換えられ
てよい。
基準光線及び測定光線に共通の光路を使用することによ
り、環境ノイズ源により惹起こされる屈折率の僅かな変
化が両方の光線に均等に影響し、従ってマイクロホン的
なノイズのピックアップの問題が排除される。光線が遅
延される光路が使用されているので、対象物より戻る波
頭に対し基準波頭が静止状態にて発生され、このことに
より振動する加工片により発生されるドップラーシフト
を正確に測定することが確保される。
以上に於ては本発明を特定の実施例について詳細に説明
したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
なく、本発明の範囲内にて他の種々の実施例が可能であ
ることは当業者にとって明らかであろう。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】加工片の表面の運動を測定するための共通
    光路型干渉計にして、 コヒーレントな長さを有する光線を発生する光源手段
    と、 前記光線を第一及び第二の光線に分割し、それらを変調
    させる光学装置であって、前記第一及び第二の光線はそ
    れぞれ第一及び第二の光路に沿って伝送され、前記コヒ
    ーレントな長さよりも大きい値に選定された光路長差を
    有する光学装置と、 前記第一及び第二の光線に応答してそれらより組合され
    た光線を形成し、前記組合された光線を伝送し、前記組
    合された光線をそれぞれ基準光路及び前記加工片の表面
    を含む測定光路に沿って伝送される基準光線及び測定光
    線に分割する共通の光路手段であって、前記測定光路及
    び基準光路は前記基準光線と前記測定光線との間に干渉
    性が回復されるよう前記第一及び第二の光路の間の光路
    長差に実質的に等ししく選定された光路長差を有してお
    り、前記共通の光路手段は前記基準光線及び前記測定光
    線を組合せて干渉光線を形成するよう構成された共通の
    光路手段と、 前記干渉光線を受け、前記干渉光線と等価な電気信号を
    発生する検出器手段と、 前記電気信号を受けてこれを復調し、前記加工片の表面
    の運動を示す成分を判定する信号処理手段と、 を含む共通光路型干渉計。
JP61505020A 1985-09-03 1986-09-02 共通光路型干渉計 Expired - Lifetime JPH0652164B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/772,106 US4627731A (en) 1985-09-03 1985-09-03 Common optical path interferometric gauge
US772106 1985-09-03
PCT/US1986/001798 WO1987001438A1 (en) 1985-09-03 1986-09-02 A common optical path interferometric gauge

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63500744A JPS63500744A (ja) 1988-03-17
JPH0652164B2 true JPH0652164B2 (ja) 1994-07-06

Family

ID=25093939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61505020A Expired - Lifetime JPH0652164B2 (ja) 1985-09-03 1986-09-02 共通光路型干渉計

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4627731A (ja)
EP (1) EP0241512B1 (ja)
JP (1) JPH0652164B2 (ja)
AT (1) ATE74425T1 (ja)
DE (1) DE3684703D1 (ja)
FI (1) FI89307C (ja)
WO (1) WO1987001438A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015111160A (ja) * 2008-09-11 2015-06-18 ニコン・メトロロジー・エヌヴェ 対チャープｆｍｃｗコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4714346A (en) * 1986-09-22 1987-12-22 Gte Laboratories Incorporated Frequency chirped interferometric displacement sensors and mechanical translation tips therefor
FR2613065B1 (fr) * 1987-03-24 1991-07-26 Electricite De France Interferometre de michelson a fibres optiques et son application notamment a la mesure des temperatures
US4784489A (en) * 1987-04-29 1988-11-15 Hewlett-Packard Company Fiber-optic based remote receiver for laser interferometer systems
US4902888A (en) * 1987-12-15 1990-02-20 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical fiber sensor
US4892406A (en) * 1988-01-11 1990-01-09 United Technologies Corporation Method of and arrangement for measuring vibrations
US4969736A (en) * 1988-06-17 1990-11-13 Slotwinski Anthony R Integrated fiber optic coupled proximity sensor for robotic end effectors and tools
FR2634080B1 (fr) * 1988-07-08 1991-04-19 Thomson Csf Dispositif de lecture par coherence de capteur optique
US4940328A (en) * 1988-11-04 1990-07-10 Georgia Tech Research Corporation Optical sensing apparatus and method
DE3841742A1 (de) * 1988-12-10 1990-06-13 Hueser Teuchert Dorothee Koordinatenmesstaster mit absolutinterferometrischem beruehrungslosem messprinzip
US4938596A (en) * 1989-01-05 1990-07-03 The University Of Rochester Phase conjugate, common path interferometer
AT396179B (de) * 1989-06-07 1993-06-25 Tabarelli Werner Interferometeranordnung
GB8926574D0 (en) * 1989-11-24 1990-01-17 Renishaw Plc Laser interferometer
AT397307B (de) * 1990-03-02 1994-03-25 Tabarelli Werner Interferometer insbesondere zur längenmessung
CA2013406C (en) * 1990-03-29 1998-06-16 Rene Heon Optical detection of a surface motion of an object
JPH06500857A (ja) * 1990-08-31 1994-01-27 コモンウェルス・サイエンティフィック・アンド・インダストリアル・リサーチ・オーガナイゼイション 干渉顕微鏡
IT1244170B (it) * 1990-12-04 1994-07-08 Cise Spa Apparecchiatura laser per la misura della velocita' di un fluido.
US5159408A (en) * 1991-03-27 1992-10-27 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Optical thickness profiler using synthetic wavelengths
US5153669A (en) * 1991-03-27 1992-10-06 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Three wavelength optical measurement apparatus and method
US5381229A (en) * 1991-03-29 1995-01-10 Center For Innovative Technology Sapphire optical fiber interferometer
WO1992019930A1 (en) * 1991-04-29 1992-11-12 Massachusetts Institute Of Technology Method and apparatus for optical imaging and measurement
US5402230A (en) * 1991-12-16 1995-03-28 Tsinghua University Heterodyne interferometric optical fiber displacement sensor for measuring displacement of an object
JPH07508355A (ja) * 1992-04-03 1995-09-14 テルストラ　コーポレイション　リミテッド 光学的移相器の改良
US5323229A (en) * 1992-08-31 1994-06-21 Science Applications International Corporation Measurement system using optical coherence shifting interferometry
FR2699270A1 (fr) * 1992-12-10 1994-06-17 Merlin Gerin Capteur optique intégré pour la détection de la variation de chemin optique d'un faisceau lumineux.
JP3234353B2 (ja) * 1993-06-15 2001-12-04 富士写真フイルム株式会社 断層情報読取装置
BE1007876A4 (nl) * 1993-12-17 1995-11-07 Philips Electronics Nv Stralingsbron-eenheid voor het opwekken van een bundel met twee polarisatierichtingen en twee frequenties.
US5600440A (en) * 1995-07-05 1997-02-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Liquid crystal interferometer
US6552803B1 (en) 1998-02-24 2003-04-22 Kla-Tencor Corporation Detection of film thickness through induced acoustic pulse-echos
DE19819762A1 (de) * 1998-05-04 1999-11-25 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Meßeinrichtung
US6369888B1 (en) 1999-11-17 2002-04-09 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for article inspection including speckle reduction
JP4478302B2 (ja) * 2000-06-30 2010-06-09 キヤノン株式会社 干渉装置及びそれを搭載した半導体露光装置
DE10057540A1 (de) † 2000-11-20 2002-06-06 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Messvorrichtung
US6985219B2 (en) * 2000-12-21 2006-01-10 Credence Systems Corporation Optical coupling for testing integrated circuits
US6873419B2 (en) * 2001-11-16 2005-03-29 National Research Council Of Canada Method and apparatus for three-dimensional compositional mapping of heterogeneous materials
DE10246798B3 (de) * 2002-10-08 2004-06-09 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messeinrichtung
DE10351319B4 (de) * 2003-10-31 2005-10-20 Med Laserzentrum Luebeck Gmbh Interferometer für die optische Kohärenztomographie
DE10360078A1 (de) * 2003-12-20 2005-07-21 Robert Bosch Gmbh Optische Messvorrichtung
US7502121B1 (en) * 2004-11-24 2009-03-10 Ahbee 1, L.P. Temperature insensitive low coherence based optical metrology for nondestructive characterization of physical characteristics of materials
US7319514B2 (en) * 2004-12-23 2008-01-15 Baker Hughes Incorporated Optical inclination sensor
DE102005009482B3 (de) * 2005-02-23 2006-06-14 V&M Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Fertigungsprozesses zur Herstellung von warmgefertigten Rohren aus Stahl
EP1869398B1 (en) * 2005-03-17 2012-08-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Apparatus and method for frequency-domain optical coherence tomography
WO2006107795A1 (en) 2005-04-05 2006-10-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Optical image processing using minimum phase functions
US7379191B2 (en) * 2005-05-20 2008-05-27 The Boeing Company Optical MEMS wavefront diagnostic transceivers and receiver
DE102007018817A1 (de) * 2007-04-20 2008-10-23 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Druckmessung
DE102007022217A1 (de) * 2007-05-11 2008-11-13 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messeinrichtung
EP2037214A1 (de) * 2007-09-14 2009-03-18 Leica Geosystems AG Verfahren und Messgerät zum vermessen von Oberflächen
DE102009027266A1 (de) * 2009-06-29 2010-12-30 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Weg- und/oder Drehmessvorrichtung
FR2959305B1 (fr) * 2010-04-26 2014-09-05 Nanotec Solution Dispositif optique et procede d'inspection d'objets structures.
EP2541193A1 (de) 2011-06-27 2013-01-02 Hexagon Technology Center GmbH Interferometrisches Entfernungsmessverfahren zum Vermessen von Oberflächen und ebensolche Messanordnung
WO2018031462A1 (en) * 2016-08-12 2018-02-15 Canon U.S.A. Inc. Coherence range imaging using common path interference
US10660523B2 (en) * 2017-07-07 2020-05-26 Hideo Ando Light-source unit, measurement apparatus, near-infrared microscopic apparatus, optical detection method, imaging method, calculation method, functional bio-related substance, state management method, and manufacturing method

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3877813A (en) * 1972-08-21 1975-04-15 Rockwell International Corp Self-compensating interferometer
US3812496A (en) * 1972-08-22 1974-05-21 Trw Inc Optical signal recording system
US4013366A (en) * 1973-05-23 1977-03-22 Office National D'etudes Et De Recherches Aerospatiales (O.N.E.R.A.) Method and apparatus for investigation of small displacements of a solid body by means of coherent light
US4410244A (en) * 1977-12-23 1983-10-18 Randwal Instrument Co., Inc. Retinal acuity testing device
JPS5621004A (en) * 1979-07-30 1981-02-27 Toshiba Corp Optical sensing system
DE3044183A1 (de) * 1980-11-24 1982-06-24 Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
US4352565A (en) * 1981-01-12 1982-10-05 Rowe James M Speckle pattern interferometer
WO1982004311A1 (en) * 1981-05-26 1982-12-09 Inc Gould Fiber optic interferometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015111160A (ja) * 2008-09-11 2015-06-18 ニコン・メトロロジー・エヌヴェ 対チャープｆｍｃｗコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置

Also Published As

Publication number Publication date
FI871929A0 (fi) 1987-04-30
DE3684703D1 (de) 1992-05-07
US4627731A (en) 1986-12-09
ATE74425T1 (de) 1992-04-15
FI871929A (fi) 1987-04-30
EP0241512A4 (en) 1990-11-28
EP0241512B1 (en) 1992-04-01
EP0241512A1 (en) 1987-10-21
FI89307C (fi) 1993-09-10
FI89307B (fi) 1993-05-31
WO1987001438A1 (en) 1987-03-12
JPS63500744A (ja) 1988-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0652164B2 (ja) 共通光路型干渉計
JP2686124B2 (ja) 光学測定方法及びその装置
JP5752040B2 (ja) 対チャープｆｍｃｗコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置
US7557930B2 (en) Bessel beam interferometer and measurement method
US5619326A (en) Method of sample valuation based on the measurement of photothermal displacement
KR100719892B1 (ko) 다중모드광섬유의 모드간 차등지연시간 측정장치
JPH0650842A (ja) 光反射率計の較正方法及び光コヒーレンス領域反射率計
US20090323074A1 (en) Fiber-based laser interferometer for measuring and monitoring vibrational characterstics of scattering surface
JP6452958B2 (ja) 光干渉計を備えた振動計
JPH07500672A (ja) 光導波構造の反射欠陥検出用干渉装置
JP2003322588A (ja) 反射式ブリルアンスペクトル分布測定方法および装置
JPS6018727A (ja) 光干渉計
US20120075637A1 (en) Optoacoustic convolver
JP3287441B2 (ja) 光線路識別用光部品並びにその遠隔測定方法及び装置
JPS63196829A (ja) 光導波路障害点探索方法および装置
JPS5948668A (ja) 光フアイバ速度計
JPS633236A (ja) 光フアイバの波長分散測定器
JPH02140639A (ja) 後方散乱光測定装置
JPH0658293B2 (ja) 光フアイバの波長分散測定方法および装置
JPS60203821A (ja) 光フアイバ振動計
JPH05281357A (ja) 干渉計内蔵プローブ型レーザドップラ速度計
JPS63157027A (ja) 光導波路型圧力変換器
JPS6191537A (ja) 光ファイバ波長分散測定装置
JPH10170218A (ja) 光波干渉測定装置
JP2002005748A (ja) 光波長測定装置