JPH065180B2 - 発光スペクトル分析装置 - Google Patents
発光スペクトル分析装置Info
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- JPH065180B2 JPH065180B2 JP60090855A JP9085585A JPH065180B2 JP H065180 B2 JPH065180 B2 JP H065180B2 JP 60090855 A JP60090855 A JP 60090855A JP 9085585 A JP9085585 A JP 9085585A JP H065180 B2 JPH065180 B2 JP H065180B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は多種類の金属元素を同時に分析する発光分析装
置に係り、特にプラズマ発光を利用した発光スペクトル
分析装置に関するものである。
置に係り、特にプラズマ発光を利用した発光スペクトル
分析装置に関するものである。
従来の発光スペクトル分析装置としては、例えば特開昭
５９−151026号公報の第１図に示されたものが知られて
いる。
５９−151026号公報の第１図に示されたものが知られて
いる。
かかる従来の装置にあっては、各増幅器を直列に順次カ
スケード接続しているので、各増幅器のオフセット調整
を入力に近い増幅器側から順序よく精密に行わなければ
ならないという煩らわしさがある。又初段増幅器の温度
変化に依存するオフセット電圧、電流が次段で増幅さ
れ、後の増幅器に影響を与えることになる。又飽和しな
い位置で選択された出力はＡ／Ｄ変換器においてディジ
タル化され、バッファ回路を介してマイクロコンピュー
タに読込んで処理し、表示装置で測定スペクトルを表示
するが、そのスペクトル記録には先に記述した不利点で
ある初段増幅器の温度依存性によるドリフトの原因で増
幅器を切換える毎に切換段差による不自然な段付を生じ
る。また更にこの従来方式は１つのＡ／Ｄ変換値を求め
るのに４段の増幅度切換方式で、ソフトウェアの判別時
間とハードウェアの処理時間の和の４倍の時間を要する
ことにより、高速サンプリングを必要とする発光スペク
トル分析装置の信号処理には不適当である。更には温度
ドリフト及びノイズはそのベースラインがバックグラン
ドレベルとして重畳し、精度の不安定な原因となる欠点
をもっていた。
スケード接続しているので、各増幅器のオフセット調整
を入力に近い増幅器側から順序よく精密に行わなければ
ならないという煩らわしさがある。又初段増幅器の温度
変化に依存するオフセット電圧、電流が次段で増幅さ
れ、後の増幅器に影響を与えることになる。又飽和しな
い位置で選択された出力はＡ／Ｄ変換器においてディジ
タル化され、バッファ回路を介してマイクロコンピュー
タに読込んで処理し、表示装置で測定スペクトルを表示
するが、そのスペクトル記録には先に記述した不利点で
ある初段増幅器の温度依存性によるドリフトの原因で増
幅器を切換える毎に切換段差による不自然な段付を生じ
る。また更にこの従来方式は１つのＡ／Ｄ変換値を求め
るのに４段の増幅度切換方式で、ソフトウェアの判別時
間とハードウェアの処理時間の和の４倍の時間を要する
ことにより、高速サンプリングを必要とする発光スペク
トル分析装置の信号処理には不適当である。更には温度
ドリフト及びノイズはそのベースラインがバックグラン
ドレベルとして重畳し、精度の不安定な原因となる欠点
をもっていた。
本発明の目的は、主増幅器を１つだけ用いるにもかかわ
らずスペクトル分析時の信号処理を高速化できる発光ス
ペクトル分析装置を提供することにある。
らずスペクトル分析時の信号処理を高速化できる発光ス
ペクトル分析装置を提供することにある。
本発明は、増幅器の増幅度切換をスキャン方式で自動的
に切換えて、Ａ／Ｄ変換容量の飽和値をコンピュータの
ソフトウエアーの処理にたよらずハードウエアーで判別
するようにしたもので、このため高速な信号処理が可能
である。更に本発明の望ましい実施例では基準電圧を各
種増幅度ごとに測定し増幅度補正を行える。又同時に基
準零点も自動的に認識し、零点のズレの補正もできる機
能もそなえている。
に切換えて、Ａ／Ｄ変換容量の飽和値をコンピュータの
ソフトウエアーの処理にたよらずハードウエアーで判別
するようにしたもので、このため高速な信号処理が可能
である。更に本発明の望ましい実施例では基準電圧を各
種増幅度ごとに測定し増幅度補正を行える。又同時に基
準零点も自動的に認識し、零点のズレの補正もできる機
能もそなえている。
第１図は本発明の一実施例の発光スペクトル分析信号処
理装置の系統図であり、第２図は本発明の動作を説明す
るタイムチャートである。第１図において、高周波発生
電源１から高周波磁界が誘導コイルによりプラズマトー
チ２に加えられ、プラズマトーチ２には試料３の霧とア
ルゴンガス４とが混合供給される。トーチの炎は約7000
℃にも温度が上昇する。プラズマ発生トーチ２内で燃焼
しないドレイン液は排液槽５に収容される。トーチ２の
上部に生じた分析に必要な炎の中心部からの光はレンズ
６によって集光されると共に入射スリットを通り、反射
鏡７で曲げられてコリメーテングミラー９に入射する。
ミラー９で反射して平行となった光束は平面形グレーテ
ィング８に入射して回折し各元素のスペクトル光を選択
して第２のコリメーティングミラー１０で集光させホト
マル１１で検出する。
理装置の系統図であり、第２図は本発明の動作を説明す
るタイムチャートである。第１図において、高周波発生
電源１から高周波磁界が誘導コイルによりプラズマトー
チ２に加えられ、プラズマトーチ２には試料３の霧とア
ルゴンガス４とが混合供給される。トーチの炎は約7000
℃にも温度が上昇する。プラズマ発生トーチ２内で燃焼
しないドレイン液は排液槽５に収容される。トーチ２の
上部に生じた分析に必要な炎の中心部からの光はレンズ
６によって集光されると共に入射スリットを通り、反射
鏡７で曲げられてコリメーテングミラー９に入射する。
ミラー９で反射して平行となった光束は平面形グレーテ
ィング８に入射して回折し各元素のスペクトル光を選択
して第２のコリメーティングミラー１０で集光させホト
マル１１で検出する。
次に、本発明の測定分析動作を以下詳細説明する。
前置増幅器１３の出力をアナログスイッチ１６側に伝達
するため三個のスイッチ１５の中から第１番目のものが
使われる。この場合、マイクロコンピユータ３５からの
スイッチ選択信号がデータラインを通して一時記憶回路
２３に入り、第１番目のスイッチを選択する。同時にマ
イクロコンピユータ３５はアドレスデコーダ３０にアド
レス信号を送る。デコーダ３０はアドレス信号を命令信
号に変換し記憶用クロック信号を一時記憶回路２３に転
送する。一時記憶回路２３には第１番目のスイッチが選
択されたことが記憶される。この動作でインバータ２１
の出力を駆動し分析測定用の１つのスイッチを選択す
る。選択されたスイッチ１５の出力は独立した４つのア
ナログスイッチ１６の各々の入力側に入る。次にマイク
ロコンピユータ３５からデコーダ３０を経てインバータ
２５はシフトレジスタ２４をクリアする。一方デコーダ
３０の同一出力信号ａはパルス発生器２６に入る。パス
ル発生器２６でパルスｂを発生し、そのパルス幅だけ遅
れた時間でフリップフロップ２８のＴ端子にトリガーを
かける。フリップフロップ２８のＱの出力Ｃを“Ｈ”レ
ベルにする。これはゲート２７の一方に入力され他方の
入力には発振器２９からシフトクロックパルスが発生し
ている。このクロックパルスｄがゲート２７を通ってシ
フトレジスタ２４へシフトクロックとして入る。ここで
シフトレジスタ２４の各各の４つの出力はｅ，ｆ，ｇ，
ｈの順でシフトレジスタ２４に入るクロックと同期して
出力を走査する。この各々の出力はインバータ２２に接
続してアナログスイッチ１６を抵抗値Ｒの接続側のスイ
ッチから逐次抵抗５１２Ｒの接続側へ走査を移す。いわ
ゆる増幅度の大きい方から小さい方へ順番に走査する。
これと同時にシフトレジスタ２４の出力はアナログスイ
ッチ１６のスイッチＯＮ又はＯＦＦの状態信号としてバ
ッファ回路３４に入る。こらは増幅度の切換状態位置を
知らせるために必要である。又主増幅器１７のアナログ
信号はＡ／Ｄ変換器３３に入る。Ａ／Ｄ変換の動作のた
めにゲート２７の出力であるシフトクロックｄがＡ／Ｄ
変換器３３へＡ／Ｄスタート信号としても入る。この時
点でＡ／Ｄ変換が行なわれ、その変換値１２ビットのデ
ィジタル量ｉがバッファ回路３４に入る。一方上位８ビ
ットのｉは８入力論理積回路３２に入って、上位８ビッ
トがすべて“Ｈ”レベルの時は論理回路３２の出力が
“Ｌ”レベルになり、Ａ／Ｄ変換器３３から出力される
Ａ／ＤＥＮＤ信号ｊをゲート回路３１で禁止する。更に
Ａ／ＤＥＮＤ信号はマイクロコンピユータ３５に入って
Ａ／Ｄ変換が終了したことを知らせる。上記説明のよう
にアナログスイッチ１６をスキャンする事により、増幅
器１７の増幅度を５１２倍，６４倍，８倍，１倍と増幅
度の大きい方から切換え、Ａ／Ｄ変換器３３の飽和のし
ない値を論理回路３２で検出する。例えばＡ／Ｄ変換器
３３の出力ｉのどれか一つのビットが“Ｌ”レベルにな
ると論理回路３２の出力は“Ｈ”レベルとなってＡ／Ｄ
変換器３３からのＡ／ＤＥＮＤ信号ｊをゲート３１から
ゲート３７を経てフリップフロップ２８のＰに入ってフ
リップフロップ２８の出力信号ｃを“Ｌ”レベルにす
る。ここでゲート２７のゲートを禁止しシフト動作を終
了しスイッチのスキャンを停止する。一方この時ゲート
３１を通ったｊ信号はマイクロコンピユータ３５のＩＲ
Ｑの割込信号Ｋとなり、データの読込信号として知らせ
る。又Ａ／ＤＥＮＤ信号ｊはＡ／Ｄが終了したことをマ
イクロコンピユータ３５に知らせ読込み可能とする。マ
イクロコンピユータ３５はアドレスデコーダ３０にＩ／
Ｏアドレスを出しアドレスデコーダ３０はその命令でバ
ッファ回路３４のバッファゲートを開きこのときの測定
測定分析したディジタル量をマイクロコンピユータ３５
に読み込む。読込まれたデータは横軸を測定波長とし縦
軸を元素数として表示装置３６に表示する。第２図に上
記説明のタイムチャートを示した。又本発明は分析デー
タの測定前にマイクロコンピユータ３５から一時記憶回
路２３にデータを一時記憶してインバータ２１を選択
し、基準電圧ダイオード１４，いわゆるＶｓの接続して
いるアナログスイッチ１５をＯＮにし増幅度の大きい方
から選択しそのときの４つの増幅度の値をマイクロコン
ピユータ３５で記憶し抵抗値のバラツキによる増幅誤差
を補正し自動利得の調整することで高精度の増幅度を提
供している。この時の動作はアドレスデコーダ３０から
フリップフロップ３８のＰ端子に出力のリセット信号
を出して、ゲート回路３７に入る。この信号はＡ／Ｄ変
換器３３からのｊ信号を禁止してシフト動作を続け、各
増幅度の値を読み込み記憶することができる。更に又、
基準零点の値Ｖｏの自動零調整を行い電気的な基準点を
記憶しドリフトの監視を行うとともに、常に零点補正が
行える。以上本発明は従来の４段の増幅度のカスケード
接続を使用しないので、初段増幅器の温度変化に依存す
るドリフトの増幅度切換誤差のスペクトル信号波形の段
付が解消され、Ａ／Ｄ変換値の飽和状態をコンピュータ
プログラムの判断に依存しない構成としたためその時間
が不要となった。例えばＡ／Ｄ変換器３３の変換速度が
１５μseoのものを使用するとシフトクロックは２０μs
ecに設定できる。このときの最大処理時間は４個のクロ
ック分であり８０μsecに相当する。実際はこの値以内
でほとんどが処理できる。更にはＡ／Ｄ変換器３３を高
速なものを使用し、発振器２９のクロック周波数を上げ
ることにより処理時間は更に短縮できる。以上のように
本発明の発光スペクトル分析装置は高速処理ができ、し
かも入力信号の広範囲な信号レベルに対応できるダイナ
ミックレンジの大きなＡ／Ｄ変換機能を提供すると同時
に高精度な値で分析測定できること、更には無調整な回
路構成であるため簡単になり経済性にも有利が点をもっ
ている。
するため三個のスイッチ１５の中から第１番目のものが
使われる。この場合、マイクロコンピユータ３５からの
スイッチ選択信号がデータラインを通して一時記憶回路
２３に入り、第１番目のスイッチを選択する。同時にマ
イクロコンピユータ３５はアドレスデコーダ３０にアド
レス信号を送る。デコーダ３０はアドレス信号を命令信
号に変換し記憶用クロック信号を一時記憶回路２３に転
送する。一時記憶回路２３には第１番目のスイッチが選
択されたことが記憶される。この動作でインバータ２１
の出力を駆動し分析測定用の１つのスイッチを選択す
る。選択されたスイッチ１５の出力は独立した４つのア
ナログスイッチ１６の各々の入力側に入る。次にマイク
ロコンピユータ３５からデコーダ３０を経てインバータ
２５はシフトレジスタ２４をクリアする。一方デコーダ
３０の同一出力信号ａはパルス発生器２６に入る。パス
ル発生器２６でパルスｂを発生し、そのパルス幅だけ遅
れた時間でフリップフロップ２８のＴ端子にトリガーを
かける。フリップフロップ２８のＱの出力Ｃを“Ｈ”レ
ベルにする。これはゲート２７の一方に入力され他方の
入力には発振器２９からシフトクロックパルスが発生し
ている。このクロックパルスｄがゲート２７を通ってシ
フトレジスタ２４へシフトクロックとして入る。ここで
シフトレジスタ２４の各各の４つの出力はｅ，ｆ，ｇ，
ｈの順でシフトレジスタ２４に入るクロックと同期して
出力を走査する。この各々の出力はインバータ２２に接
続してアナログスイッチ１６を抵抗値Ｒの接続側のスイ
ッチから逐次抵抗５１２Ｒの接続側へ走査を移す。いわ
ゆる増幅度の大きい方から小さい方へ順番に走査する。
これと同時にシフトレジスタ２４の出力はアナログスイ
ッチ１６のスイッチＯＮ又はＯＦＦの状態信号としてバ
ッファ回路３４に入る。こらは増幅度の切換状態位置を
知らせるために必要である。又主増幅器１７のアナログ
信号はＡ／Ｄ変換器３３に入る。Ａ／Ｄ変換の動作のた
めにゲート２７の出力であるシフトクロックｄがＡ／Ｄ
変換器３３へＡ／Ｄスタート信号としても入る。この時
点でＡ／Ｄ変換が行なわれ、その変換値１２ビットのデ
ィジタル量ｉがバッファ回路３４に入る。一方上位８ビ
ットのｉは８入力論理積回路３２に入って、上位８ビッ
トがすべて“Ｈ”レベルの時は論理回路３２の出力が
“Ｌ”レベルになり、Ａ／Ｄ変換器３３から出力される
Ａ／ＤＥＮＤ信号ｊをゲート回路３１で禁止する。更に
Ａ／ＤＥＮＤ信号はマイクロコンピユータ３５に入って
Ａ／Ｄ変換が終了したことを知らせる。上記説明のよう
にアナログスイッチ１６をスキャンする事により、増幅
器１７の増幅度を５１２倍，６４倍，８倍，１倍と増幅
度の大きい方から切換え、Ａ／Ｄ変換器３３の飽和のし
ない値を論理回路３２で検出する。例えばＡ／Ｄ変換器
３３の出力ｉのどれか一つのビットが“Ｌ”レベルにな
ると論理回路３２の出力は“Ｈ”レベルとなってＡ／Ｄ
変換器３３からのＡ／ＤＥＮＤ信号ｊをゲート３１から
ゲート３７を経てフリップフロップ２８のＰに入ってフ
リップフロップ２８の出力信号ｃを“Ｌ”レベルにす
る。ここでゲート２７のゲートを禁止しシフト動作を終
了しスイッチのスキャンを停止する。一方この時ゲート
３１を通ったｊ信号はマイクロコンピユータ３５のＩＲ
Ｑの割込信号Ｋとなり、データの読込信号として知らせ
る。又Ａ／ＤＥＮＤ信号ｊはＡ／Ｄが終了したことをマ
イクロコンピユータ３５に知らせ読込み可能とする。マ
イクロコンピユータ３５はアドレスデコーダ３０にＩ／
Ｏアドレスを出しアドレスデコーダ３０はその命令でバ
ッファ回路３４のバッファゲートを開きこのときの測定
測定分析したディジタル量をマイクロコンピユータ３５
に読み込む。読込まれたデータは横軸を測定波長とし縦
軸を元素数として表示装置３６に表示する。第２図に上
記説明のタイムチャートを示した。又本発明は分析デー
タの測定前にマイクロコンピユータ３５から一時記憶回
路２３にデータを一時記憶してインバータ２１を選択
し、基準電圧ダイオード１４，いわゆるＶｓの接続して
いるアナログスイッチ１５をＯＮにし増幅度の大きい方
から選択しそのときの４つの増幅度の値をマイクロコン
ピユータ３５で記憶し抵抗値のバラツキによる増幅誤差
を補正し自動利得の調整することで高精度の増幅度を提
供している。この時の動作はアドレスデコーダ３０から
フリップフロップ３８のＰ端子に出力のリセット信号
を出して、ゲート回路３７に入る。この信号はＡ／Ｄ変
換器３３からのｊ信号を禁止してシフト動作を続け、各
増幅度の値を読み込み記憶することができる。更に又、
基準零点の値Ｖｏの自動零調整を行い電気的な基準点を
記憶しドリフトの監視を行うとともに、常に零点補正が
行える。以上本発明は従来の４段の増幅度のカスケード
接続を使用しないので、初段増幅器の温度変化に依存す
るドリフトの増幅度切換誤差のスペクトル信号波形の段
付が解消され、Ａ／Ｄ変換値の飽和状態をコンピュータ
プログラムの判断に依存しない構成としたためその時間
が不要となった。例えばＡ／Ｄ変換器３３の変換速度が
１５μseoのものを使用するとシフトクロックは２０μs
ecに設定できる。このときの最大処理時間は４個のクロ
ック分であり８０μsecに相当する。実際はこの値以内
でほとんどが処理できる。更にはＡ／Ｄ変換器３３を高
速なものを使用し、発振器２９のクロック周波数を上げ
ることにより処理時間は更に短縮できる。以上のように
本発明の発光スペクトル分析装置は高速処理ができ、し
かも入力信号の広範囲な信号レベルに対応できるダイナ
ミックレンジの大きなＡ／Ｄ変換機能を提供すると同時
に高精度な値で分析測定できること、更には無調整な回
路構成であるため簡単になり経済性にも有利が点をもっ
ている。
上述した本発明の実施例によれば、高速な信号処理がで
きるため同一アナログ信号を複数回サンプリングして、
その平均値を求めることができるので、Ｓ／Ｎ改善に有
利である。又、増幅度の温度ドリフトの影響による増幅
器の切換接点の段付がなく直線性に優れ、滑らかな出力
波形が求まる。又各増幅器が並列形で接続しているため
オフセットによる零点が少ない。更に本機能は自動的な
零点調整が可能である。又基準電圧により常に各段の増
幅度の確認が自動的にでき、ダイナミックレンジの幅広
い入力信号を高速で精度良く信号処理できる特徴をも
ち、更には回路構成も簡単で経済性にも有利で、多元素
のスペクトルを分析する信号処理系には非常に優れた効
果のある発光スペクトル分析信号処理装置となる。
きるため同一アナログ信号を複数回サンプリングして、
その平均値を求めることができるので、Ｓ／Ｎ改善に有
利である。又、増幅度の温度ドリフトの影響による増幅
器の切換接点の段付がなく直線性に優れ、滑らかな出力
波形が求まる。又各増幅器が並列形で接続しているため
オフセットによる零点が少ない。更に本機能は自動的な
零点調整が可能である。又基準電圧により常に各段の増
幅度の確認が自動的にでき、ダイナミックレンジの幅広
い入力信号を高速で精度良く信号処理できる特徴をも
ち、更には回路構成も簡単で経済性にも有利で、多元素
のスペクトルを分析する信号処理系には非常に優れた効
果のある発光スペクトル分析信号処理装置となる。
本発明によれば、１つの主増幅器を用いるだけで済むの
で構成を簡略化することができ、しかもＡ／Ｄ変換値の
飽和状態をコンピュータのソフトウエアーの処理に依存
せずにハード的回路で判別可能としたので、信号処理を
高速化することができる。
で構成を簡略化することができ、しかもＡ／Ｄ変換値の
飽和状態をコンピュータのソフトウエアーの処理に依存
せずにハード的回路で判別可能としたので、信号処理を
高速化することができる。
第１図は本発明の発光スペクトル分析信号処理装置、第
２図は本発明の動作を説明したタイムチャートである。 １…高周波発生電源、２…プラズマ発生トーチ、３…試
料、４…アルゴンガス、５…排液槽、６…レンズ、７…
反射ミラー、８…グレイテング、９，１０…コリメイテ
ングミラー、１１…ホトマル、１２…高圧発生回路、１
３…前置増幅器、１４…基準電圧ダイオード、１５，１
６…アナログスイッチ、１７，１８，１９，２０…主増
幅器、２１，２２，２５…インバータ、２３…一時記憶
回路、２４…シフトレジスタ、２６…パルス発生器、２
８，３８…フリップフロップ、２９…発振器、３０…ア
ドレスデコーダ、２７，３１，３７…ゲート回路、３２
…８入力論理積回路、３３…Ａ／Ｄ変換器、３４…バッ
ファ回路、３５…マイクロコンピユータ、３６…表示装
置。
２図は本発明の動作を説明したタイムチャートである。 １…高周波発生電源、２…プラズマ発生トーチ、３…試
料、４…アルゴンガス、５…排液槽、６…レンズ、７…
反射ミラー、８…グレイテング、９，１０…コリメイテ
ングミラー、１１…ホトマル、１２…高圧発生回路、１
３…前置増幅器、１４…基準電圧ダイオード、１５，１
６…アナログスイッチ、１７，１８，１９，２０…主増
幅器、２１，２２，２５…インバータ、２３…一時記憶
回路、２４…シフトレジスタ、２６…パルス発生器、２
８，３８…フリップフロップ、２９…発振器、３０…ア
ドレスデコーダ、２７，３１，３７…ゲート回路、３２
…８入力論理積回路、３３…Ａ／Ｄ変換器、３４…バッ
ファ回路、３５…マイクロコンピユータ、３６…表示装
置。
Claims (1)
- 【請求項１】試料に基づく発光をホトマル検知器で発光
し、このホトマル検知器の出力信号を前置増幅器で増幅
し、次いで主増幅器で増幅したアナログ信号をＡ／Ｄ変
換器でディジタル信号に変換して演算処理する発光スペ
クトル分析装置において、上記主増幅器として単一の主
増幅器を設け、上記前置増幅器と上記主増幅器の間に、
異なる抵抗値を有し上記主増幅器の入力側に接続されて
いる複数の抵抗部にそれぞれ対応させて複数のアナログ
スイッチを設け、上記Ａ／Ｄ変換器から出力されたディ
ジタル値の全ビットの内の複数の上位ビットが飽和され
ているか否かを入力論理回路で監視し、上位ビットが飽
和されていないときに上記複数のアナログスイッチの走
査を終了するシフトレジスタを設けたことを特徴とする
発光スペクトル分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60090855A JPH065180B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 発光スペクトル分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60090855A JPH065180B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 発光スペクトル分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61250528A JPS61250528A (ja) | 1986-11-07 |
| JPH065180B2 true JPH065180B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=14010180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60090855A Expired - Lifetime JPH065180B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 発光スペクトル分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065180B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63201538A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-19 | Japan Spectroscopic Co | 分光光度計 |
| TW201435317A (zh) * | 2013-02-28 | 2014-09-16 | Otsuka Denshi Kk | 分光光度計及分光光度測定方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59151026A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-29 | Hitachi Ltd | 発光スペクトル分析記録装置 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60090855A patent/JPH065180B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61250528A (ja) | 1986-11-07 |
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