JPH0647724B2 - 連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方法 - Google Patents
連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方法Info
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- JPH0647724B2 JPH0647724B2 JP11055386A JP11055386A JPH0647724B2 JP H0647724 B2 JPH0647724 B2 JP H0647724B2 JP 11055386 A JP11055386 A JP 11055386A JP 11055386 A JP11055386 A JP 11055386A JP H0647724 B2 JPH0647724 B2 JP H0647724B2
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- deposition chamber
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- metal level
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は帯鋼に金属被膜を連続的に真空蒸着する装置の
蒸着室内における溶融金属の表面の高さ（以下レベルと
称する）の検出及び制御方法に関する。
蒸着室内における溶融金属の表面の高さ（以下レベルと
称する）の検出及び制御方法に関する。
第２図は、従来の連続真空蒸着装置の要部の縦断面図で
あり、この図に基づいて従来技術を説明すると、第２図
において、大気中の溶解炉１で溶解された、例えば亜鉛
のような溶解金属２０は、ほぼ真空に減圧された蒸着室
１との気圧差によつて、スノーケル５を介して、蒸着室
１に内装された蒸発槽３へ吸い上げられ、ヒータ６の加
熱制御による溶融金属２０ａの温度の調節と、シヤツタ
８の開度制御とにより、蒸着室１内に軸着された巻付ロ
ール４に巻回されて通板する帯鋼１０への所定の目安量
（単位面積あたりの蒸発量、すなわち金属被膜の厚さ）
に見合つた蒸発量に調節される。そして、蒸発槽３で蒸
発した金属蒸気は矢印で示すように、チヤンネル２を経
て、適温に加熱されて入室する帯鋼１０の表面に到達
し、帯鋼１０の温度が前記金属蒸気の温度より低いの
で、その表面で凝固し、蒸着される。
あり、この図に基づいて従来技術を説明すると、第２図
において、大気中の溶解炉１で溶解された、例えば亜鉛
のような溶解金属２０は、ほぼ真空に減圧された蒸着室
１との気圧差によつて、スノーケル５を介して、蒸着室
１に内装された蒸発槽３へ吸い上げられ、ヒータ６の加
熱制御による溶融金属２０ａの温度の調節と、シヤツタ
８の開度制御とにより、蒸着室１内に軸着された巻付ロ
ール４に巻回されて通板する帯鋼１０への所定の目安量
（単位面積あたりの蒸発量、すなわち金属被膜の厚さ）
に見合つた蒸発量に調節される。そして、蒸発槽３で蒸
発した金属蒸気は矢印で示すように、チヤンネル２を経
て、適温に加熱されて入室する帯鋼１０の表面に到達
し、帯鋼１０の温度が前記金属蒸気の温度より低いの
で、その表面で凝固し、蒸着される。
大気と蒸着室１との気圧差が常に一定であれば、蒸発槽
３内の溶融金属２０ａと溶解炉１１内の溶融金属２０の
レベルの差は一定である。ところが、蒸発槽３の溶融金
属２０ａは蒸発して消費されるので双方のレベルが下
り、溶解炉２０へ金属原料を投入すると双方の溶融金属
２０，２０ａのレベルは上昇する。
３内の溶融金属２０ａと溶解炉１１内の溶融金属２０の
レベルの差は一定である。ところが、蒸発槽３の溶融金
属２０ａは蒸発して消費されるので双方のレベルが下
り、溶解炉２０へ金属原料を投入すると双方の溶融金属
２０，２０ａのレベルは上昇する。
また、大気圧の変化或いは、蒸着室１の微少な気圧の変
化によつても、双方の溶融金属２０、２０ａの高低差が
発生し、溶融金属２０ａのレベルが変化する。そして、
溶融金属２０ａのレベルが変動するとヒータ６からの距
離の変化によるふく射伝熱量の変動により溶融金属２０
ａの表面の温度が不安定になる。
化によつても、双方の溶融金属２０、２０ａの高低差が
発生し、溶融金属２０ａのレベルが変化する。そして、
溶融金属２０ａのレベルが変動するとヒータ６からの距
離の変化によるふく射伝熱量の変動により溶融金属２０
ａの表面の温度が不安定になる。
また、溶融金属２０ａの表面に汚れが留ると、掻取器９
によつて除去するため、２点鎖線で示すレベル迄上昇さ
せる。上述したような要因による溶融金属２０ａのレベ
ルの変動に対応するため、駆動装置１２ａによつて昇降
機１２を作動させて溶解炉１１を昇降することにより、
溶融金属２０ａのレベルを調節する。
によつて除去するため、２点鎖線で示すレベル迄上昇さ
せる。上述したような要因による溶融金属２０ａのレベ
ルの変動に対応するため、駆動装置１２ａによつて昇降
機１２を作動させて溶解炉１１を昇降することにより、
溶融金属２０ａのレベルを調節する。
しかるに、上記従来技術では溶融金属２０ａのレベルを
検出するに際し蒸着室１の覗窓からの目視によるもので
はその精度が低く、レベルの正確な制御は困難である。
また、高温の溶融金属２０ａのレベルの検出に通常の液
面計を用いることもできない。
検出するに際し蒸着室１の覗窓からの目視によるもので
はその精度が低く、レベルの正確な制御は困難である。
また、高温の溶融金属２０ａのレベルの検出に通常の液
面計を用いることもできない。
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
もので、蒸着室内の溶融金属のレベルを正確に検出し、
溶解炉すなわちその溶融金属レベルの昇降を自動制御し
て、蒸着室内の溶融金属レベルを常に所定の位置に保持
するように制御する連続真空蒸着室内の溶融金属レベル
検出および制御方法を提供することを目的とする。
もので、蒸着室内の溶融金属のレベルを正確に検出し、
溶解炉すなわちその溶融金属レベルの昇降を自動制御し
て、蒸着室内の溶融金属レベルを常に所定の位置に保持
するように制御する連続真空蒸着室内の溶融金属レベル
検出および制御方法を提供することを目的とする。
即ち、本発明は、帯鋼を真空蒸着室内へ通板させて該帯
鋼の表面に金属を連続的に蒸着して金属被膜を形成する
に際し、前記真空蒸着室内の蒸発槽に複数個の温度検出
器を上下方向に配設し、該各々の温度検出器で検出した
温度によって前記蒸発槽の溶融金属レベルを検出し、前
記蒸発槽のスノーケル下端を浸漬する溶解炉の昇降速度
を、前記蒸発槽の溶融金属レベル検出信号で調節するこ
とにより、前記蒸発槽の溶融金属レベルを制御すること
を特徴とする連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制
御方法である。
鋼の表面に金属を連続的に蒸着して金属被膜を形成する
に際し、前記真空蒸着室内の蒸発槽に複数個の温度検出
器を上下方向に配設し、該各々の温度検出器で検出した
温度によって前記蒸発槽の溶融金属レベルを検出し、前
記蒸発槽のスノーケル下端を浸漬する溶解炉の昇降速度
を、前記蒸発槽の溶融金属レベル検出信号で調節するこ
とにより、前記蒸発槽の溶融金属レベルを制御すること
を特徴とする連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制
御方法である。
ところで、複数の温度検出器は溶融金属に浸漬している
ときは、例えば５００℃のような比較的低温を検出し、
溶融金属レベルより上にあるときは、ヒータからのふく
射熱を受け、例えば１０００℃のような高温を検出する
ので、本発明では、それぞれの温度検出器からの信号に
より連続真空蒸着室内の溶融金属のレベルを検出するも
のである。
ときは、例えば５００℃のような比較的低温を検出し、
溶融金属レベルより上にあるときは、ヒータからのふく
射熱を受け、例えば１０００℃のような高温を検出する
ので、本発明では、それぞれの温度検出器からの信号に
より連続真空蒸着室内の溶融金属のレベルを検出するも
のである。
以下、本発明の詳細を第１図に示す実施例によつて説明
するが、従来装置と同一の部材には同一符号を付し、重
複説明を省略する。この第１図は、本発明の実施例とし
ての連続真空蒸着装置の要部である蒸着室・溶解炉およ
びそれらの連結を表わす縦断面図であつて、この図にお
いて蒸発槽３の側面を貫通して４個の温度検出器１３ａ
〜１３ｄが上下方向に配設され、制御盤１４を介して昇
降機１２の駆動装置１２ａに連結されている。制御盤１
４には計算機１５が連結されている。
するが、従来装置と同一の部材には同一符号を付し、重
複説明を省略する。この第１図は、本発明の実施例とし
ての連続真空蒸着装置の要部である蒸着室・溶解炉およ
びそれらの連結を表わす縦断面図であつて、この図にお
いて蒸発槽３の側面を貫通して４個の温度検出器１３ａ
〜１３ｄが上下方向に配設され、制御盤１４を介して昇
降機１２の駆動装置１２ａに連結されている。制御盤１
４には計算機１５が連結されている。
例えば、蒸発槽３の溶融金属２０ａが蒸発して消耗する
とそのレベルが正常位置から低下し、最下部の温度検出
器１３ｄのみ溶融金属２０ａに浸漬しているので、例え
ば５００℃のような、比較的低温を検出し、他の温度検
出器１３ａ〜１３ｃは、ヒータ６のふく射による例えば
1000℃のような高温を検出する。また、蒸着室１内の気
圧が異常に上昇したり、大気圧が低下したりすると、溶
融金属２０ａのレベルは最下部の温度検出器１３ｄより
も低下し、全ての温度検出器１３ａ〜１３ｄが前記高温
を検出する。
とそのレベルが正常位置から低下し、最下部の温度検出
器１３ｄのみ溶融金属２０ａに浸漬しているので、例え
ば５００℃のような、比較的低温を検出し、他の温度検
出器１３ａ〜１３ｃは、ヒータ６のふく射による例えば
1000℃のような高温を検出する。また、蒸着室１内の気
圧が異常に上昇したり、大気圧が低下したりすると、溶
融金属２０ａのレベルは最下部の温度検出器１３ｄより
も低下し、全ての温度検出器１３ａ〜１３ｄが前記高温
を検出する。
大気圧が上昇したり、溶解炉２０へ大量の原料を投入し
たりすると、逆に溶融金属２０ａのレベルは上昇し、最
上部を覗く温度検出器１３ｂ〜１３ｄ或いは全ての温度
検出器１３ａ〜１３ｄが溶融金属２０ａに浸漬され、前
記低温を検出する。このようにして、各々の温度検出器
１３ａ〜１３ｄが検出した温度の信号を制御盤１４へ送
り、計算機１５で解析して溶融金属２０ａのレベルを検
出する。
たりすると、逆に溶融金属２０ａのレベルは上昇し、最
上部を覗く温度検出器１３ｂ〜１３ｄ或いは全ての温度
検出器１３ａ〜１３ｄが溶融金属２０ａに浸漬され、前
記低温を検出する。このようにして、各々の温度検出器
１３ａ〜１３ｄが検出した温度の信号を制御盤１４へ送
り、計算機１５で解析して溶融金属２０ａのレベルを検
出する。
計算機１５には予め、溶融金属２０ａの正常レベルが入
力されていて、検出されたレベルとに差が発生すると、
制御盤１４を介して駆動装置１２ａへ指令し、昇降機１
２を駆動して溶解炉１１を昇降させ、その溶融金属２０
のレベルを調節することにより蒸発槽３の溶融金属２０
ａを正常レベルに自動的に制御する。
力されていて、検出されたレベルとに差が発生すると、
制御盤１４を介して駆動装置１２ａへ指令し、昇降機１
２を駆動して溶解炉１１を昇降させ、その溶融金属２０
のレベルを調節することにより蒸発槽３の溶融金属２０
ａを正常レベルに自動的に制御する。
溶融金属２０ａの表面に汚れが留り、二点鎖線で示す掻
取りレベルまで上昇させたいときは、計算機に溶融金属
２０ａレベルの変更を入力すれば、上述の作用により溶
解炉を上昇して、その溶融金属２０のレベルを上昇させ
ることができる。
取りレベルまで上昇させたいときは、計算機に溶融金属
２０ａレベルの変更を入力すれば、上述の作用により溶
解炉を上昇して、その溶融金属２０のレベルを上昇させ
ることができる。
本発明は、以上詳記したように、蒸発槽に、複数個の温
度検出器を上下方向に配設し、各々の前記温度検出器が
検出した温度を計算機で解析するものであるから、蒸発
槽の溶融金属レベルを蒸着室の外部から正確に検出する
ことができる効果が生ずる。
度検出器を上下方向に配設し、各々の前記温度検出器が
検出した温度を計算機で解析するものであるから、蒸発
槽の溶融金属レベルを蒸着室の外部から正確に検出する
ことができる効果が生ずる。
また、本発明において、正常レベル、掻取りレベル等、
蒸発槽の溶融金属の所要のレベルを計算機に入力すれ
ば、昇降機を自動的に駆動して溶解炉の溶融金属レベル
を調節し、蒸発槽の溶融金属レベルを自動的に制御でき
る効果も生ずるものである。
蒸発槽の溶融金属の所要のレベルを計算機に入力すれ
ば、昇降機を自動的に駆動して溶解炉の溶融金属レベル
を調節し、蒸発槽の溶融金属レベルを自動的に制御でき
る効果も生ずるものである。
第１図は本発明の一実施例としての連続真空蒸着装置の
要部である蒸着室、溶解炉及び、それらの連結を表わす
縦断面図、第２図は従来の蒸着室、溶解炉等を表わす縦
断面図である。 １……蒸着室、２……チヤンネル、３……蒸発槽、 ４……巻付ロール、５……スノーケル、６……ヒータ、 ８……シヤツタ、９……掻取器、１０……帯鋼、１１…
…溶解炉、１２……昇降機、１２ａ……駆動装置、 １３ａ〜１３ｄ……温度検出器、１４……制御盤、 １５……計算機、２０，２０ａ……溶融金属
要部である蒸着室、溶解炉及び、それらの連結を表わす
縦断面図、第２図は従来の蒸着室、溶解炉等を表わす縦
断面図である。 １……蒸着室、２……チヤンネル、３……蒸発槽、 ４……巻付ロール、５……スノーケル、６……ヒータ、 ８……シヤツタ、９……掻取器、１０……帯鋼、１１…
…溶解炉、１２……昇降機、１２ａ……駆動装置、 １３ａ〜１３ｄ……温度検出器、１４……制御盤、 １５……計算機、２０，２０ａ……溶融金属
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 免田 繁美 広島県広島市西区観音新町１丁目１番31号 三和システムサービス株式会社内 (72)発明者 愛甲 琢哉 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 森山 義輝 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 迫 満彦 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (56)参考文献 特公 昭53−33873（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】帯鋼を真空蒸着室内へ通板させて該帯鋼の
表面に金属を連続的に蒸着して金属被膜を形成するに際
し、前記真空蒸着室内の蒸発槽に複数個の温度検出器を
上下方向に配設し、該各々の温度検出器で検出した温度
によって前記蒸発槽の溶融金属レベルを検出し、前記蒸
発槽のスノーケル下端を浸漬する溶解炉の昇降速度を、
前記蒸発槽の溶融金属レベル検出信号で調節することに
より、前記蒸発槽の溶融金属レベルを制御することを特
徴とする連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055386A JPH0647724B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055386A JPH0647724B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62267470A JPS62267470A (ja) | 1987-11-20 |
| JPH0647724B2 true JPH0647724B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=14538745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11055386A Expired - Fee Related JPH0647724B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 連続真空蒸着室内の溶融金属レベル検出制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647724B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007023319A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 真空蒸着装置および真空蒸着装置の運転方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| LV13383B (en) * | 2004-05-27 | 2006-02-20 | Sidrabe As | Method and device for vacuum vaporization metals or alloys |
| EP1967604A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-10 | Applied Materials, Inc. | Evaporation crucible and evaporation apparatus with directional evaporation |
| TWI477625B (zh) * | 2012-12-26 | 2015-03-21 | Au Optronics Corp | 蒸鍍裝置 |
| CN113930738B (zh) * | 2020-06-29 | 2023-09-12 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种真空镀膜用的金属蒸汽调制装置及其调制方法 |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP11055386A patent/JPH0647724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007023319A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 真空蒸着装置および真空蒸着装置の運転方法 |
| JP4697411B2 (ja) * | 2005-07-13 | 2011-06-08 | 住友電気工業株式会社 | 真空蒸着装置および真空蒸着装置の運転方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62267470A (ja) | 1987-11-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |