JPH0645233B2 - インク印刷用音響プリントヘッド - Google Patents
インク印刷用音響プリントヘッドInfo
- Publication number
- JPH0645233B2 JPH0645233B2 JP62309359A JP30935987A JPH0645233B2 JP H0645233 B2 JPH0645233 B2 JP H0645233B2 JP 62309359 A JP62309359 A JP 62309359A JP 30935987 A JP30935987 A JP 30935987A JP H0645233 B2 JPH0645233 B2 JP H0645233B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic
- ink
- substrate
- lens
- printhead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000011343 solid material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 49
- 238000003491 array Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 230000000153 supplemental effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001815 facial effect Effects 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14008—Structure of acoustic ink jet print heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
- B41J2/155—Arrangement thereof for line printing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14322—Print head without nozzle
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は音響プリンタに関し、特にかかるプリンタ用
の集積音響レンズアレイを備えたプリントヘッドに関す
る。
の集積音響レンズアレイを備えたプリントヘッドに関す
る。
（従来の技術と問題点） 普通紙と適合可能な直接記録技術の開発に、多大の努力
と経費が費やされてきた。要求時滴下及び連続流のイン
クジェット印刷に関する研究開発活動は、従来のインク
ジェット方式が詰まり易い小さい噴射口を持つノズルを
必要とするという基本的な欠点を伴うにもかかわらず、
投資のかなりの部分を占めていた。残念ながら、噴射口
のサイズは、これがジェットの噴射するインク滴のサイ
ズを決めるため、インクジェットの決定的な設計パラメ
ータである。つまり、解像度を犠牲にしなければ、噴射
口のサイズを大きくできない。
と経費が費やされてきた。要求時滴下及び連続流のイン
クジェット印刷に関する研究開発活動は、従来のインク
ジェット方式が詰まり易い小さい噴射口を持つノズルを
必要とするという基本的な欠点を伴うにもかかわらず、
投資のかなりの部分を占めていた。残念ながら、噴射口
のサイズは、これがジェットの噴射するインク滴のサイ
ズを決めるため、インクジェットの決定的な設計パラメ
ータである。つまり、解像度を犠牲にしなければ、噴射
口のサイズを大きくできない。
音響印刷は、可能性のある重要な代りの直接記録技術で
ある。これはまだ開発の初期段階にあるが、独自の特性
として顕著な利点を与えながら普通紙または特殊の記録
媒体上にプリントする点で、従来のインクジェット方式
と比べ有利なことを入手可能な証拠は示している。すな
わち、音響印刷は詰まり易いノズルが存在しないので固
有の高い信頼性を有する。自明のごとく、詰まりによる
ノズルの不良モードが取り除かれることは、数千の個別
噴射器から成るページ巾アレイ等、インク噴射器の大型
アレイの信頼性と特に関連している。さらに、小さい噴
射口が避けられるので、音響印刷はより高い粘性を持つ
インク及び顔料やその他の粒状成分を有するインクを含
め、従来のインクジェット印刷よりも多種類のインクで
実施できる。ヨーロッパ特許出願公開第 273,664号で
は、更にその他の技術的特徴として、音響プリンタで印
刷される個々の画素（“ピクセル”）のサイズが、噴射
される各インク滴のサイズを変化させるか、または印刷
像の各ピクセルを形成するのに使われるインク滴の数を
調整することによって動作中制御できることを示してい
る。
ある。これはまだ開発の初期段階にあるが、独自の特性
として顕著な利点を与えながら普通紙または特殊の記録
媒体上にプリントする点で、従来のインクジェット方式
と比べ有利なことを入手可能な証拠は示している。すな
わち、音響印刷は詰まり易いノズルが存在しないので固
有の高い信頼性を有する。自明のごとく、詰まりによる
ノズルの不良モードが取り除かれることは、数千の個別
噴射器から成るページ巾アレイ等、インク噴射器の大型
アレイの信頼性と特に関連している。さらに、小さい噴
射口が避けられるので、音響印刷はより高い粘性を持つ
インク及び顔料やその他の粒状成分を有するインクを含
め、従来のインクジェット印刷よりも多種類のインクで
実施できる。ヨーロッパ特許出願公開第 273,664号で
は、更にその他の技術的特徴として、音響プリンタで印
刷される個々の画素（“ピクセル”）のサイズが、噴射
される各インク滴のサイズを変化させるか、または印刷
像の各ピクセルを形成するのに使われるインク滴の数を
調整することによって動作中制御できることを示してい
る。
周知のように、音響ビームはそれがぶつかるものに対し
て放射圧を加える。従って、音響ビームが液プールの自
由表面（つまり液／空気境界面）に下方からぶつかる
と、音響ビームがその自由表面に加える放射圧は表面張
力の抑制力に抗して、個々の液滴をプール表面から解放
するのに充分高いレベルに達する。これを達成するため
には、音響ビームをプールの表面またはその近くに集束
し、一定量の入力電力での放射圧を増大させるのが有利
である。かかる原理がこれまで、インクのプールからイ
ンク小滴を解放するのに超音波（rf）音響ビームを用い
て、インクジェット及び音響印刷に適用されてきた。例
えばケー・エー・クラウゼ（K.A.Krouse）は、「インク
ジェットヘッドの収束」、IBM Technical Disclosure B
ulletin, Vol.１６、No.４、１９７３年９月、１１６８
〜１１７０頁で、凹面から発せられ円錐状孔内に閉じ込
められた音響ビームが、小さい噴射口からインク滴を推
進するのに使われるインクジェットを記述している。１
９８１年１２月２９日に発行されたラブレディ（Lovela
dy）等の米国特許第4,３０8,５４７号、「液滴放出装
置」は、従来のインクジェットでの小さい噴射口が不必
要なことを示している。このためにラブレディ等は、集
束音響ビームを供給してインクプールの自由表面からイ
ンク滴を噴射させるトランスデューサとして、球面状の
圧電シェルを提供した。また彼等は、平面状のトランス
デューサによって駆動され、インク被覆ベルトからイン
ク滴を噴射する音響ホーンも提案した。その後音響プリ
ントヘッドのコストを削減し且つマルチ噴射器アレイの
製造を簡単にするため、クェート等の米国特許第 4,69
7,195号は、平面状の交互噛み合いトランスデューサ
（ＩＤＴ）と平面状ＩＤＴアレイを導入した。またクェ
ート等は、音響ビームを直接変調するかあるいは適切に
制御されるrf源からの補充電力バーストに間接的に応じ
て、液滴の噴射プロセスが制御可能なことも開示してい
る。
て放射圧を加える。従って、音響ビームが液プールの自
由表面（つまり液／空気境界面）に下方からぶつかる
と、音響ビームがその自由表面に加える放射圧は表面張
力の抑制力に抗して、個々の液滴をプール表面から解放
するのに充分高いレベルに達する。これを達成するため
には、音響ビームをプールの表面またはその近くに集束
し、一定量の入力電力での放射圧を増大させるのが有利
である。かかる原理がこれまで、インクのプールからイ
ンク小滴を解放するのに超音波（rf）音響ビームを用い
て、インクジェット及び音響印刷に適用されてきた。例
えばケー・エー・クラウゼ（K.A.Krouse）は、「インク
ジェットヘッドの収束」、IBM Technical Disclosure B
ulletin, Vol.１６、No.４、１９７３年９月、１１６８
〜１１７０頁で、凹面から発せられ円錐状孔内に閉じ込
められた音響ビームが、小さい噴射口からインク滴を推
進するのに使われるインクジェットを記述している。１
９８１年１２月２９日に発行されたラブレディ（Lovela
dy）等の米国特許第4,３０8,５４７号、「液滴放出装
置」は、従来のインクジェットでの小さい噴射口が不必
要なことを示している。このためにラブレディ等は、集
束音響ビームを供給してインクプールの自由表面からイ
ンク滴を噴射させるトランスデューサとして、球面状の
圧電シェルを提供した。また彼等は、平面状のトランス
デューサによって駆動され、インク被覆ベルトからイン
ク滴を噴射する音響ホーンも提案した。その後音響プリ
ントヘッドのコストを削減し且つマルチ噴射器アレイの
製造を簡単にするため、クェート等の米国特許第 4,69
7,195号は、平面状の交互噛み合いトランスデューサ
（ＩＤＴ）と平面状ＩＤＴアレイを導入した。またクェ
ート等は、音響ビームを直接変調するかあるいは適切に
制御されるrf源からの補充電力バーストに間接的に応じ
て、液滴の噴射プロセスが制御可能なことも開示してい
る。
ＩＤＴは音響液滴噴射器のアレイを製造するための経済
的な技術を与えるが、その中空のビーム焦点パターンが
インクの表面レベルの微少変化に対して、一部の用途で
所望な程度より高い感度を持ち強く影響される。従っ
て、妥当な価格で製造でき、高い噴射安定性を持つ音響
液滴噴射器のアレイを可能とする技術が尚必要とされて
いる。
的な技術を与えるが、その中空のビーム焦点パターンが
インクの表面レベルの微少変化に対して、一部の用途で
所望な程度より高い感度を持ち強く影響される。従っ
て、妥当な価格で製造でき、高い噴射安定性を持つ音響
液滴噴射器のアレイを可能とする技術が尚必要とされて
いる。
従って、本発明の目的は、妥当な価格で製造及び組立て
できるインク印刷用音響プリントヘッドを提供すること
にある。
できるインク印刷用音響プリントヘッドを提供すること
にある。
（問題点を解決するための手段） かかる目的を達成するため、本発明によれば、要求のあ
る毎に液体インクプールの自由面からインク滴を所定の
音響速度で噴射する音響プリントヘッドであって、上面
と下面を有し且つ上面には基本的に同じ形状で且つ各々
がほぼ球面形状の複数の凹部が音響レンズのアレイを形
成するように各所定の位置に中心をもって形成され、前
記インクの音響速度よりかなり高い音響速度を有する材
料で構成された固体基板と、該固体基板の下面に密着結
合され、前記レンズに投射するためのＲＦ音響波を発生
し、前記レンズがそれぞれ集束音響ビームを前記インク
中に発するように成す圧電トランスデューサ手段とを備
え、前記各レンズの焦点距離は、前記音響ビームをほぼ
前記自由表面において、離隔した各レンズ中心毎に集束
させるように選定されていることを特徴とする音響プリ
ントヘッドが提供される。
る毎に液体インクプールの自由面からインク滴を所定の
音響速度で噴射する音響プリントヘッドであって、上面
と下面を有し且つ上面には基本的に同じ形状で且つ各々
がほぼ球面形状の複数の凹部が音響レンズのアレイを形
成するように各所定の位置に中心をもって形成され、前
記インクの音響速度よりかなり高い音響速度を有する材
料で構成された固体基板と、該固体基板の下面に密着結
合され、前記レンズに投射するためのＲＦ音響波を発生
し、前記レンズがそれぞれ集束音響ビームを前記インク
中に発するように成す圧電トランスデューサ手段とを備
え、前記各レンズの焦点距離は、前記音響ビームをほぼ
前記自由表面において、離隔した各レンズ中心毎に集束
させるように選定されていることを特徴とする音響プリ
ントヘッドが提供される。
この発明の更にその他の特徴及び利点は、添付の図面を
参照した以下の詳細な説明から明らかとなろう。
参照した以下の詳細な説明から明らかとなろう。
（実施例） 以下本発明を幾つかの図示例を参照して詳しく説明する
が、本発明はこれらの実施例に制限されないことが理解
されるべきである。反対に、特許請求の範囲の記載によ
って限定される発明の精神及び範囲内に入る全ての変
更、代替及び等価物が本発明に包含される。
が、本発明はこれらの実施例に制限されないことが理解
されるべきである。反対に、特許請求の範囲の記載によ
って限定される発明の精神及び範囲内に入る全ての変
更、代替及び等価物が本発明に包含される。
次に図面、こゝでは特に第１及び２図を参照すれば、複
数の集束音響ビーム１５をインク１６のプール（第２図
にだけ示す）中に発する精確に位置決めされた球面状音
響レンズ１２ａ〜１２ｉのアレイから成る音響プリント
ヘッド１１が示している。各音響ビーム１５はそれぞれ
が発するレンズ１２ａまたは１２ｉの中心に対して実質
上対称的に集束し、レンズ１２ａ〜１２ｉの焦点距離
は、各ビーム１５がインク１６の自由表面（つまり液／
空気境界面）１７上またはその近くにくるように選定さ
れる。プリントヘッド１１はインク１６内に浸漬される
のが好ましい。あるいは、マイラーの薄膜等音響ロスの
低い媒体（不図示）を介して、レンズ１２ａ〜１２ｉを
結合してもよい。
数の集束音響ビーム１５をインク１６のプール（第２図
にだけ示す）中に発する精確に位置決めされた球面状音
響レンズ１２ａ〜１２ｉのアレイから成る音響プリント
ヘッド１１が示している。各音響ビーム１５はそれぞれ
が発するレンズ１２ａまたは１２ｉの中心に対して実質
上対称的に集束し、レンズ１２ａ〜１２ｉの焦点距離
は、各ビーム１５がインク１６の自由表面（つまり液／
空気境界面）１７上またはその近くにくるように選定さ
れる。プリントヘッド１１はインク１６内に浸漬される
のが好ましい。あるいは、マイラーの薄膜等音響ロスの
低い媒体（不図示）を介して、レンズ１２ａ〜１２ｉを
結合してもよい。
音響レンズ１２ａ〜１２ｉは、固体基板２２の上面に形
成された小さいほゞ球面状の凹部によって画成される。
圧電トランスデューサ２３が基板２２の反対面つまり下
面に付着されるか、あるいは機械的な密着状態に維持さ
れる。トランスデューサ２３の振動が超音波音響波２４
を発生し、レンズ１２ａ〜１２ｉを集合的にか、あるい
は後述するように別々に照明する。同じ音響波２４が全
てのレンズ１２ａ〜１２ｉを照明する場合には、ビーム
１５によってインク１６の自由表面１７が液滴形成のた
めのしきい値以下の初期エネルギーレベルへ励起するよ
うに音響波のレベルが選定される。さらに、音響励起さ
れる焦点サイトを選択的にアドレシングするのに適切な
補足電源（不図示）が設けられ、個々のインク滴が要求
に応じて噴射される。この点については、前記クェート
等の米国特許第 4,697,195号及び米国特許第 4,748,461
号を参照されたい。
成された小さいほゞ球面状の凹部によって画成される。
圧電トランスデューサ２３が基板２２の反対面つまり下
面に付着されるか、あるいは機械的な密着状態に維持さ
れる。トランスデューサ２３の振動が超音波音響波２４
を発生し、レンズ１２ａ〜１２ｉを集合的にか、あるい
は後述するように別々に照明する。同じ音響波２４が全
てのレンズ１２ａ〜１２ｉを照明する場合には、ビーム
１５によってインク１６の自由表面１７が液滴形成のた
めのしきい値以下の初期エネルギーレベルへ励起するよ
うに音響波のレベルが選定される。さらに、音響励起さ
れる焦点サイトを選択的にアドレシングするのに適切な
補足電源（不図示）が設けられ、個々のインク滴が要求
に応じて噴射される。この点については、前記クェート
等の米国特許第 4,697,195号及び米国特許第 4,748,461
号を参照されたい。
第１及び２図に示すように、トランスデューサ２３はほ
ゞ平面状の波面音響波２４を発生する。しかし、他の輪
郭を有するトランスデューサも使える。例えば第３図に
示すように、円筒状のトランスデューサ２３′を用い、
部分的に前集束された音響波２４′を発生してレンズ１
２ａ〜１２ｉの線形アレイを照明してもよい。
ゞ平面状の波面音響波２４を発生する。しかし、他の輪
郭を有するトランスデューサも使える。例えば第３図に
示すように、円筒状のトランスデューサ２３′を用い、
部分的に前集束された音響波２４′を発生してレンズ１
２ａ〜１２ｉの線形アレイを照明してもよい。
この発明のさらに詳細な特徴の一つとして、完全に除去
しないまでも集束音響ビーム１５の集束を著しく減少す
るため、レンズ基板２２はインク１６中の音速υｉより
もはるかに大きい音響速度（基板２２内での音速）
υｓ、すなわちυｓ≫υｉを有する材料から成る。一般
に、インク１６中の音速υｉは１〜２km／sec の範囲で
ある。従って、レンズ１２ａ〜１２ｉとインク１６間の
境界面で２．５：１より大きい屈折率比（両音響速度の
比υｓ／υｉで決まるを維持するのに、基板２２はシリ
コン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミナ、サファ
イア、溶融水晶、及び一部のガラス等広範囲の材料中の
任意の１つで構成し得る。２．５：１の比は、ビーム１
５の収差が小さくなるのを保証するのに充分である。し
かし、シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミ
ナ及びサファイア等より高い音響速度の材料の１つで基
板２２を構成すれば、４：１以上の屈折率比が容易に達
成でき、ビーム１５の収差を実質上無視できるレベルに
減少し得る。この点の原理に関するより詳細な議論につ
いては、シー・エフ・クェート（C.F.Quate）の論文、
「音響顕微鏡」、Scientific American，Vol.２４１、
No.４、１９７９年１０月、６２〜７２頁を参照。
しないまでも集束音響ビーム１５の集束を著しく減少す
るため、レンズ基板２２はインク１６中の音速υｉより
もはるかに大きい音響速度（基板２２内での音速）
υｓ、すなわちυｓ≫υｉを有する材料から成る。一般
に、インク１６中の音速υｉは１〜２km／sec の範囲で
ある。従って、レンズ１２ａ〜１２ｉとインク１６間の
境界面で２．５：１より大きい屈折率比（両音響速度の
比υｓ／υｉで決まるを維持するのに、基板２２はシリ
コン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミナ、サファ
イア、溶融水晶、及び一部のガラス等広範囲の材料中の
任意の１つで構成し得る。２．５：１の比は、ビーム１
５の収差が小さくなるのを保証するのに充分である。し
かし、シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミ
ナ及びサファイア等より高い音響速度の材料の１つで基
板２２を構成すれば、４：１以上の屈折率比が容易に達
成でき、ビーム１５の収差を実質上無視できるレベルに
減少し得る。この点の原理に関するより詳細な議論につ
いては、シー・エフ・クェート（C.F.Quate）の論文、
「音響顕微鏡」、Scientific American，Vol.２４１、
No.４、１９７９年１０月、６２〜７２頁を参照。
音響印刷は、レンズ１２ａ〜１２ｉの極めて厳密に離間
された中心に対する相互の精確な位置決めを必要とす
る。このため本発明の別の特徴として、レンズ１２ａ〜
１２ｉは基板２２に化学的にエッチングつまり形成され
るのが好ましい。レンズをシリコン内に等方的にエッチ
ングするのに適切なフォトリソグラフィック法は、ケー
・ディー・ワイズ（K.D.Wise）等の論文、「熱核融合研
究で使われる半導体技術を用いた半球構造の製造」、J.
Vac.Sci.Technol., Vol.１６、No.３、１９７９年５／
６月、９３６〜９３９頁（参照によってこゝに含まれ
る）に記されており、この方法はその他の化学的にエッ
チング可能な材料から成る基板２２上にレンズ１２ａ〜
１２ｉを製造するのに拡張できる。あるいは、熱間プレ
スや射出成形法を用いて、アルミナ、窒化シリコン及び
炭化シリコン等の材料内に鋳造形成してもよい。所望な
ら、λｚ／４厚のインピーダンス整合材層（但しλｚ＝
コーティング２６中における音響ビーム１５の波長）か
ら成る反射防止コーティング２６（第２図）を、レンズ
１２ａ〜１２ｉの外側球状表面上に付着してもよい。
された中心に対する相互の精確な位置決めを必要とす
る。このため本発明の別の特徴として、レンズ１２ａ〜
１２ｉは基板２２に化学的にエッチングつまり形成され
るのが好ましい。レンズをシリコン内に等方的にエッチ
ングするのに適切なフォトリソグラフィック法は、ケー
・ディー・ワイズ（K.D.Wise）等の論文、「熱核融合研
究で使われる半導体技術を用いた半球構造の製造」、J.
Vac.Sci.Technol., Vol.１６、No.３、１９７９年５／
６月、９３６〜９３９頁（参照によってこゝに含まれ
る）に記されており、この方法はその他の化学的にエッ
チング可能な材料から成る基板２２上にレンズ１２ａ〜
１２ｉを製造するのに拡張できる。あるいは、熱間プレ
スや射出成形法を用いて、アルミナ、窒化シリコン及び
炭化シリコン等の材料内に鋳造形成してもよい。所望な
ら、λｚ／４厚のインピーダンス整合材層（但しλｚ＝
コーティング２６中における音響ビーム１５の波長）か
ら成る反射防止コーティング２６（第２図）を、レンズ
１２ａ〜１２ｉの外側球状表面上に付着してもよい。
一般に、レンズ１２ａ〜１２ｉの半径はそれらを画成す
る凹部の深さより大きく、インク１６の被覆層の厚さ
（プラスインクを支持するのに使われる任意のフィルム
等介入媒体の厚さ）にほゞ等しい距離だけレンズの焦点
面が基板２２の上面から離れるようにする。つまり、レ
ンズ１２ａ〜１２ｉが前記ワイズ等の教示に従って基板
２２に化学的エッチングされる場合には、エッチ基板２
２の上面をカットしてエッチ基板２２の上面をレンズ１
２ａ〜１２ｉの焦点面から充分な距離だけ後退させるの
に、研磨作業、追加の化学的エッチング等を使える。ま
た、基板２２の上面の仕上げは、レンズ１２ａ〜１２ｉ
によって集められない入射音響エネルギーを拡散散乱す
るように、研磨等で粗くしてもよい。
る凹部の深さより大きく、インク１６の被覆層の厚さ
（プラスインクを支持するのに使われる任意のフィルム
等介入媒体の厚さ）にほゞ等しい距離だけレンズの焦点
面が基板２２の上面から離れるようにする。つまり、レ
ンズ１２ａ〜１２ｉが前記ワイズ等の教示に従って基板
２２に化学的エッチングされる場合には、エッチ基板２
２の上面をカットしてエッチ基板２２の上面をレンズ１
２ａ〜１２ｉの焦点面から充分な距離だけ後退させるの
に、研磨作業、追加の化学的エッチング等を使える。ま
た、基板２２の上面の仕上げは、レンズ１２ａ〜１２ｉ
によって集められない入射音響エネルギーを拡散散乱す
るように、研磨等で粗くしてもよい。
この発明では、各種の音響印刷のための線形及び２次元
レンズアレイ（こゝで“２次元アレイ”とは２列以上の
レンズを有するアレイを意味する）が得られ、例えばラ
イン印刷用のページ巾線形及び２次元レンズアレイ、マ
ルチラインラスター印刷用の小型線形アレイ、及びマト
リックス印刷用の２付元アレイが含まれる。この点を強
調するため、第４Ａ図は、普通紙等適切な記録媒体３２
が図中横方向に整合されたページ巾レンズアレイ３４に
対して、矢印３３で示した図中垂直方向に前進されるラ
インプリンタ３１を概略的に示し；第４Ｂ図はページ巾
の２次元食違い形レンズアレイ３７を有する別のライン
プリンタ３６を概略的に示し；第４Ｃ図はそれぞれ矢印
３３と３４で示すように、記録媒体３２が垂直方向に前
進される一方、垂直方向に配列された線形レンズアレイ
４２が横方向に前進されるマルチライン形ラスタープリ
ンタ４１を概略的に示し、更に第４Ｄ図はそれぞれ矢印
３３と５４で示すように、記録媒体３２がマトリックス
の一軸に沿って前進される一方、２次元のマトリックス
構成レンズアレイ５２がマトリックスの直交軸に沿って
前進されるマトリックスドットプリンタ５１を概略的に
示している。これらの例は全てを網羅するものではな
く、かなり大きい設計上の柔軟性が存在することを例示
したに過ぎない。
レンズアレイ（こゝで“２次元アレイ”とは２列以上の
レンズを有するアレイを意味する）が得られ、例えばラ
イン印刷用のページ巾線形及び２次元レンズアレイ、マ
ルチラインラスター印刷用の小型線形アレイ、及びマト
リックス印刷用の２付元アレイが含まれる。この点を強
調するため、第４Ａ図は、普通紙等適切な記録媒体３２
が図中横方向に整合されたページ巾レンズアレイ３４に
対して、矢印３３で示した図中垂直方向に前進されるラ
インプリンタ３１を概略的に示し；第４Ｂ図はページ巾
の２次元食違い形レンズアレイ３７を有する別のライン
プリンタ３６を概略的に示し；第４Ｃ図はそれぞれ矢印
３３と３４で示すように、記録媒体３２が垂直方向に前
進される一方、垂直方向に配列された線形レンズアレイ
４２が横方向に前進されるマルチライン形ラスタープリ
ンタ４１を概略的に示し、更に第４Ｄ図はそれぞれ矢印
３３と５４で示すように、記録媒体３２がマトリックス
の一軸に沿って前進される一方、２次元のマトリックス
構成レンズアレイ５２がマトリックスの直交軸に沿って
前進されるマトリックスドットプリンタ５１を概略的に
示している。これらの例は全てを網羅するものではな
く、かなり大きい設計上の柔軟性が存在することを例示
したに過ぎない。
この発明の重要な特徴として、第５〜８図に示すよう
に、レンズ１２ａ〜１２ｉを別個の音響波２４（第２
図）で選択的に且つ個々に照明するための手段を設ける
ことができる。これにより、音響ビーム１５（第２図）
は独立に変調され、レンズ毎に液滴噴射プロセスを空間
的に制御可能となる。このためより詳しい実施例では、
トランスデューサ２３は薄いZnＯ膜やLiNbＯ３結晶等の
薄い圧電素子６１から成り、個々にアドレス可能な電極
６２ａ〜６２ｉのアレイ（第６図に最も解り易く示して
ある）と対向電極６３の間に挟持されている。電極６２
ａ〜６２ｉはそれぞれ、対応したレンズ１２ａ〜１２ｉ
を迅速に照明するように配置されている。さらに、トラ
ンスデューサ２３はレンズ基板２２の下面へ機械的に密
着結合される。例えば、トランスデューサの対向電極６
３は、直接にあるいはSiＯ２層等適切な電気絶縁体６４
で表面を被覆した後に、基板２２の下面に付着し得る。
に、レンズ１２ａ〜１２ｉを別個の音響波２４（第２
図）で選択的に且つ個々に照明するための手段を設ける
ことができる。これにより、音響ビーム１５（第２図）
は独立に変調され、レンズ毎に液滴噴射プロセスを空間
的に制御可能となる。このためより詳しい実施例では、
トランスデューサ２３は薄いZnＯ膜やLiNbＯ３結晶等の
薄い圧電素子６１から成り、個々にアドレス可能な電極
６２ａ〜６２ｉのアレイ（第６図に最も解り易く示して
ある）と対向電極６３の間に挟持されている。電極６２
ａ〜６２ｉはそれぞれ、対応したレンズ１２ａ〜１２ｉ
を迅速に照明するように配置されている。さらに、トラ
ンスデューサ２３はレンズ基板２２の下面へ機械的に密
着結合される。例えば、トランスデューサの対向電極６
３は、直接にあるいはSiＯ２層等適切な電気絶縁体６４
で表面を被覆した後に、基板２２の下面に付着し得る。
動作時には、独立に制御されるrf駆動電圧がそれぞれの
電極６２ａ〜６２ｉ及び対向電極６３に印加され、圧電
素子６１をそれぞれ電極６２ａ〜６２ｉの法線方向に心
合せされた空間的に相互に離間したサイトで振動状態へ
局部的に励起する。圧電素子６１の局部的な振動が空間
的に離間した音響波２４を発生し、これら音響波２４が
所定の方向に基板２２を通って伝播しそれぞれレンズ１
２ａ〜１２ｉを照明する。従って、ある任意の時点で電
極６２ａ〜６２ｉに印加されるrf駆動電圧が、その特定
時点にそれぞれレンズ１２ａ〜１２ｉからインク１６に
発せられる音響ビーム１５の放射圧を独立に制御する。
一般に、トランスデューサ２３は比較的狭いバンド巾を
有するので、電極６２ａ〜６２ｉに印加される駆動電圧
の振巾、周波数または接続時間を適切に変調することに
よって、液滴噴射プロセスはレンズ毎に空間的に隔てて
制御可能となる。
電極６２ａ〜６２ｉ及び対向電極６３に印加され、圧電
素子６１をそれぞれ電極６２ａ〜６２ｉの法線方向に心
合せされた空間的に相互に離間したサイトで振動状態へ
局部的に励起する。圧電素子６１の局部的な振動が空間
的に離間した音響波２４を発生し、これら音響波２４が
所定の方向に基板２２を通って伝播しそれぞれレンズ１
２ａ〜１２ｉを照明する。従って、ある任意の時点で電
極６２ａ〜６２ｉに印加されるrf駆動電圧が、その特定
時点にそれぞれレンズ１２ａ〜１２ｉからインク１６に
発せられる音響ビーム１５の放射圧を独立に制御する。
一般に、トランスデューサ２３は比較的狭いバンド巾を
有するので、電極６２ａ〜６２ｉに印加される駆動電圧
の振巾、周波数または接続時間を適切に変調することに
よって、液滴噴射プロセスはレンズ毎に空間的に隔てて
制御可能となる。
明らかなごとく、音響波２４（第２図）は基板２２を通
って伝播するにつれ回折される。基板２２の厚さが１レ
ーリー波長のオーダーであれば、第５図に示すようにそ
の回折は無視できる。しかし、もっと厚い基板２２を使
う場合には、各レンズ間に狭いスロット６６を設け、そ
こに空気または音響的不整合が生じるように基板２２の
音響インピーダンスと著しく異なる音響インピーダンス
を有する別の何等かの媒体で満たすことによって、レン
ズ１２ａ〜１２ｉを相互に音響的に絶縁するのが好まし
い。これらのスロット６６は基板２２の下面から上方に
延びてもよいし（第７図）、その上面から下方に延びて
もよい（第８図）。基板２２がシリコン等化学的にエッ
チング可能な結晶材料から成る場合、スロット６６は非
等方的にエッチングしてもよい。例えば、ケー・イー・
パターソン（K.E.Peterson）の「機械的材料としてのシ
リコンIEEE要録、Vol.７０、No.５、１９８２年５月、
４２１〜４５７を参照。
って伝播するにつれ回折される。基板２２の厚さが１レ
ーリー波長のオーダーであれば、第５図に示すようにそ
の回折は無視できる。しかし、もっと厚い基板２２を使
う場合には、各レンズ間に狭いスロット６６を設け、そ
こに空気または音響的不整合が生じるように基板２２の
音響インピーダンスと著しく異なる音響インピーダンス
を有する別の何等かの媒体で満たすことによって、レン
ズ１２ａ〜１２ｉを相互に音響的に絶縁するのが好まし
い。これらのスロット６６は基板２２の下面から上方に
延びてもよいし（第７図）、その上面から下方に延びて
もよい（第８図）。基板２２がシリコン等化学的にエッ
チング可能な結晶材料から成る場合、スロット６６は非
等方的にエッチングしてもよい。例えば、ケー・イー・
パターソン（K.E.Peterson）の「機械的材料としてのシ
リコンIEEE要録、Vol.７０、No.５、１９８２年５月、
４２１〜４５７を参照。
レンズ１２ａ〜１２ｉの外表面は、インク１６から析出
する恐れのある顔粒やダスト粒子等の粒状付着物を除去
する必要があるので、滑らかな仕上げを有し浄化される
のが好ましい。また一部の実施例では、レンズ１２ａ〜
１２ｉのエッジでの摩損を防ぎ抵抗力を与えるマイラー
の薄膜等を介して、インク１６をレンズ１２ａ〜１２ｉ
上へと搬送するのが望ましいこともある。このため第９
図に示すように、レンズを画成する凹みを、インク１６
と基板２２の音響インピーダンス及び速度の中間の音響
インピーダンス及び速度を有するエポキシ樹脂、または
同様の固体材料等適切なポリマー７１で充填することに
よって、レンズ１２ａ〜１２ｉを面一化可能である（米
国特許第 4,751,534号を参照のこと）。上記充填層７１
は基板２２の上面と面一にしてもよいし（第９図）、あ
るいはその上に薄い被覆を形成してもよい（第１０
図）。反射防止用のレンズコーティング２６（第２図）
は、それが任意のものであることを強調するため第９図
及び第１０図には示してない。
する恐れのある顔粒やダスト粒子等の粒状付着物を除去
する必要があるので、滑らかな仕上げを有し浄化される
のが好ましい。また一部の実施例では、レンズ１２ａ〜
１２ｉのエッジでの摩損を防ぎ抵抗力を与えるマイラー
の薄膜等を介して、インク１６をレンズ１２ａ〜１２ｉ
上へと搬送するのが望ましいこともある。このため第９
図に示すように、レンズを画成する凹みを、インク１６
と基板２２の音響インピーダンス及び速度の中間の音響
インピーダンス及び速度を有するエポキシ樹脂、または
同様の固体材料等適切なポリマー７１で充填することに
よって、レンズ１２ａ〜１２ｉを面一化可能である（米
国特許第 4,751,534号を参照のこと）。上記充填層７１
は基板２２の上面と面一にしてもよいし（第９図）、あ
るいはその上に薄い被覆を形成してもよい（第１０
図）。反射防止用のレンズコーティング２６（第２図）
は、それが任意のものであることを強調するため第９図
及び第１０図には示してない。
本発明の更に重要な適用例の一つはライン印刷用のペー
ジ巾音響プリントヘッドを提供することなので、次にこ
の点を詳しく説明する。周知のように、インク滴が紙上
に付着されたときに形成するスポットつまり“ピクセ
ル”の直径はインク滴の直径の２倍にほゞ等しい。従っ
て、複数のインク滴が以下述べるように各ピクセル上に
配置されれば、各々集束音響ビーム１５を与えるように
形成された実質上同一の音響レンズ１２ａ〜１２ｉのベ
ージ巾線形アレイ（第４Ａ図）で、ページの全巾を横切
り実質上間断のないインクラインを充分に印刷される。
あるいは、２列以上の食違い状レンズから成り、列中の
各レンズがレンズの中心間隔の1/4に等しい中央直径を
持つ収束ビームを与えるように形成されたページ巾の２
次元アレイ（第４Ｂ図）を用いることによっても、同じ
結果を達成される。もしかかるアレイ内のレンズの中心
間間隔は、トランスデューサ駆動電極６２ａ〜６２ｉに
印加されるrf駆動パルスの持続時間を時には（一般に要
求時滴下印刷用rfパルスの持続時間は約１μsec 〜１０
０μsec の範囲に制限される。実線の印刷能力を損わず
に大きくし得る。さらに、電極６２ａ〜６２ｉを迅速に
反復パルス駆動し、各ピクセル毎に１５個程度のインク
滴を付着するようにしても、レンズ間隔を大きくでき
る。この点については、ヨーロッパ特許出願公開第 27
3,664号を参照されたい。これらのパルス巾変調及びマ
ルチ液滴印刷方式を組合せれば、ある一定の球面状レン
ズ形液滴噴射器で印刷されるピクセルのサイズを大きく
できるので、所望に応じこのピクセルサイズ制御能力の
一部を使ってレンズ１２ａ〜１２ｉの中心間間隔を増す
一方、残りの能力でグレースケール表示を与えるように
してもよい。
ジ巾音響プリントヘッドを提供することなので、次にこ
の点を詳しく説明する。周知のように、インク滴が紙上
に付着されたときに形成するスポットつまり“ピクセ
ル”の直径はインク滴の直径の２倍にほゞ等しい。従っ
て、複数のインク滴が以下述べるように各ピクセル上に
配置されれば、各々集束音響ビーム１５を与えるように
形成された実質上同一の音響レンズ１２ａ〜１２ｉのベ
ージ巾線形アレイ（第４Ａ図）で、ページの全巾を横切
り実質上間断のないインクラインを充分に印刷される。
あるいは、２列以上の食違い状レンズから成り、列中の
各レンズがレンズの中心間隔の1/4に等しい中央直径を
持つ収束ビームを与えるように形成されたページ巾の２
次元アレイ（第４Ｂ図）を用いることによっても、同じ
結果を達成される。もしかかるアレイ内のレンズの中心
間間隔は、トランスデューサ駆動電極６２ａ〜６２ｉに
印加されるrf駆動パルスの持続時間を時には（一般に要
求時滴下印刷用rfパルスの持続時間は約１μsec 〜１０
０μsec の範囲に制限される。実線の印刷能力を損わず
に大きくし得る。さらに、電極６２ａ〜６２ｉを迅速に
反復パルス駆動し、各ピクセル毎に１５個程度のインク
滴を付着するようにしても、レンズ間隔を大きくでき
る。この点については、ヨーロッパ特許出願公開第 27
3,664号を参照されたい。これらのパルス巾変調及びマ
ルチ液滴印刷方式を組合せれば、ある一定の球面状レン
ズ形液滴噴射器で印刷されるピクセルのサイズを大きく
できるので、所望に応じこのピクセルサイズ制御能力の
一部を使ってレンズ１２ａ〜１２ｉの中心間間隔を増す
一方、残りの能力でグレースケール表示を与えるように
してもよい。
例えば、高品質の印刷で一般に必要な解像度である約５
００spi の解像度を与えるには、約５０ミクロンのピク
セル直径が必要である。これは、２列の食違い形アレイ
のレンズでは中心間間隔が約１００ミクロンになること
を意味する。また、５０ミクロンのスポットを印刷する
には５０MHz オーダーのrf周波数で充分なことが示され
ている。この周波数におけるインク１６内での音響ビー
ム１５の波長λｉは、約３０ミクロンである。また、前
記した２．５：１及び４：１の音響速度比υｓ／υｉの
場合、基板２２内における音響波２４の対応した波長λ
ｓはそれぞれ７５ミクロン及び 120ミクロンである。好
都合なことに、小口径のレンズ１２ａ〜１２ｉ（口径Ａ
＜１０λｉを有するレンズ）で、要求に応じ個々のイン
ク滴を噴射するのに充分な音響ビーム１５のインク１６
の自由表面１７に対する収束を与えることができる。こ
の点については、米国特許第 4,751,529号を参照された
い。要求時印刷に充分な音響ビームの収束を与えなが
ら、レンズの口径をどれ位小さくできるかについてはま
だ正確に知られていないが、基板２２とインク１６の音
響速度比が４：１で約６λｉのレンズ口径に対応した
１．５λｓ程度の小さい口径を有するレンズを用いて達
成できることが、実験的に検証されている。
００spi の解像度を与えるには、約５０ミクロンのピク
セル直径が必要である。これは、２列の食違い形アレイ
のレンズでは中心間間隔が約１００ミクロンになること
を意味する。また、５０ミクロンのスポットを印刷する
には５０MHz オーダーのrf周波数で充分なことが示され
ている。この周波数におけるインク１６内での音響ビー
ム１５の波長λｉは、約３０ミクロンである。また、前
記した２．５：１及び４：１の音響速度比υｓ／υｉの
場合、基板２２内における音響波２４の対応した波長λ
ｓはそれぞれ７５ミクロン及び 120ミクロンである。好
都合なことに、小口径のレンズ１２ａ〜１２ｉ（口径Ａ
＜１０λｉを有するレンズ）で、要求に応じ個々のイン
ク滴を噴射するのに充分な音響ビーム１５のインク１６
の自由表面１７に対する収束を与えることができる。こ
の点については、米国特許第 4,751,529号を参照された
い。要求時印刷に充分な音響ビームの収束を与えなが
ら、レンズの口径をどれ位小さくできるかについてはま
だ正確に知られていないが、基板２２とインク１６の音
響速度比が４：１で約６λｉのレンズ口径に対応した
１．５λｓ程度の小さい口径を有するレンズを用いて達
成できることが、実験的に検証されている。
（発明の効果） 本発明の音響プリントヘッドによれば、インクの音響速
度より高い音響速度の材料で成る固体基板の上面に球面
形状の複数の凹部が音響レンズのアレイを成すように形
成され、その固体基板の下面に、各レンズに投射するた
めの超音波音響波を発生して各レンズから音響ビームを
発するようにする圧電トランスデューサが密着され、こ
の圧電トランスデューサ付の固体基板を、インクプール
の中で各レンズの焦点距離が音響ビームをほぼインクプ
ールの自由表面において離隔した各レンズ中心毎に集束
させるように選定するように配置されているので、音響
レンズアレイを形成する固体基板の製造は極めて簡単に
且つ精密にでき、しかも、この固体基板に圧電トランス
デューサを密着結合させて、圧電トランスデューサ付の
固体基板をインクプールの所定位置に配置するだけの簡
単な作業でプリントヘッドを組立てできる。また、固体
基板の上面に音響レンズアレイを形成し各レンズの焦点
がインクプールの自由表面にあるので、圧電トランスデ
ューサからの音響波の回折が少なくその振幅の局部的な
変化も少ないので、音響ビームも安定する。従って、本
発明によれば、ノズルを必要としない、要求毎にインク
滴を噴射する音響プリントヘッドは、従来のものより精
密で且つ安定に動作し、しかも相当に安価にできる。本
発明による音響プリントヘッドは、勿論各種の形態のプ
リンタに使用できる。
度より高い音響速度の材料で成る固体基板の上面に球面
形状の複数の凹部が音響レンズのアレイを成すように形
成され、その固体基板の下面に、各レンズに投射するた
めの超音波音響波を発生して各レンズから音響ビームを
発するようにする圧電トランスデューサが密着され、こ
の圧電トランスデューサ付の固体基板を、インクプール
の中で各レンズの焦点距離が音響ビームをほぼインクプ
ールの自由表面において離隔した各レンズ中心毎に集束
させるように選定するように配置されているので、音響
レンズアレイを形成する固体基板の製造は極めて簡単に
且つ精密にでき、しかも、この固体基板に圧電トランス
デューサを密着結合させて、圧電トランスデューサ付の
固体基板をインクプールの所定位置に配置するだけの簡
単な作業でプリントヘッドを組立てできる。また、固体
基板の上面に音響レンズアレイを形成し各レンズの焦点
がインクプールの自由表面にあるので、圧電トランスデ
ューサからの音響波の回折が少なくその振幅の局部的な
変化も少ないので、音響ビームも安定する。従って、本
発明によれば、ノズルを必要としない、要求毎にインク
滴を噴射する音響プリントヘッドは、従来のものより精
密で且つ安定に動作し、しかも相当に安価にできる。本
発明による音響プリントヘッドは、勿論各種の形態のプ
リンタに使用できる。
第１図は本発明に従って構成された音響プリントヘッド
の等角図；第２図は第１図に示したプリントヘッドの横
断面図で、プリントヘッドが動作のためインクのプール
内に浸漬されている；第３図は変更プリントヘッドの等
角図で、音響ビームがトランスデューサによって部分的
に部分集束されている；第４Ａ〜４Ｄ図は本発明を適用
可能なプリンタ構成の一部を示す概略図；第５図は本発
明の実施例のより詳細な縦断面図で、要求時印刷のため
音響レンズが個別に照明される；第６図は第５図に示し
たプリントヘッドの底面図；第７及び８図は第５図に示
したプリントヘッドの代替実施例の縦断面図で、レンズ
を相互に音響的に分離する手段が構じられている；第９
図は面一化プリントヘッドの横断面図；及び第１０図は
別の面一化プリントヘッドの横断面図である。 １１……音響プリントヘッド、１２ａ〜１２ｉ……音響
レンズ、１５……音響ビーム、１６……インク、１７…
…自由表面、２２……固体基板、２３、２３′……圧電
トランスデューサ手段、２４、２４′……音響波、３
４、４２……線形レンズアレイ、３７、５２……２次元
レンズアレイ、２７……食違い形、６１……圧電素子、
６２ａ〜６２ｉ……駆動電極、６６……不整合領域（ス
ロット）、７１……充填材。
の等角図；第２図は第１図に示したプリントヘッドの横
断面図で、プリントヘッドが動作のためインクのプール
内に浸漬されている；第３図は変更プリントヘッドの等
角図で、音響ビームがトランスデューサによって部分的
に部分集束されている；第４Ａ〜４Ｄ図は本発明を適用
可能なプリンタ構成の一部を示す概略図；第５図は本発
明の実施例のより詳細な縦断面図で、要求時印刷のため
音響レンズが個別に照明される；第６図は第５図に示し
たプリントヘッドの底面図；第７及び８図は第５図に示
したプリントヘッドの代替実施例の縦断面図で、レンズ
を相互に音響的に分離する手段が構じられている；第９
図は面一化プリントヘッドの横断面図；及び第１０図は
別の面一化プリントヘッドの横断面図である。 １１……音響プリントヘッド、１２ａ〜１２ｉ……音響
レンズ、１５……音響ビーム、１６……インク、１７…
…自由表面、２２……固体基板、２３、２３′……圧電
トランスデューサ手段、２４、２４′……音響波、３
４、４２……線形レンズアレイ、３７、５２……２次元
レンズアレイ、２７……食違い形、６１……圧電素子、
６２ａ〜６２ｉ……駆動電極、６６……不整合領域（ス
ロット）、７１……充填材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−264962（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−166547（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−166548（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−5062（ＪＰ，Ｂ１) 米国特許4308547（ＵＳ，Ａ)
Claims (20)
- 【請求項１】要求のある毎に液体インクプールの自由面
からインク滴を所定の音響速度で噴射する音響プリント
ヘッドにおいて、 上面と下面とを有し、上面には基本的に同じ形状で且つ
各々がほぼ球面形状の複数の凹部が音響レンズのアレイ
を形成するように各所定の位置に中心をもって形成され
ており、前記インクの音響速度よりかなり高い音響速度
を有する材料で構成された固体基板と、 前記固体基板の下面に密着結合され、前記レンズに投射
するためのＲＦ音響波を発生し、前記レンズがそれぞれ
集束音響ビームを前記インク中に発するように成す圧電
トランスデューサ手段とを備え、 前記各レンズの焦点距離は、前記音響ビームはほぼ前記
自由表面において、離隔した各レンズ中心毎に集束させ
るように選定されている ことを特徴とする音響プリントヘッド。 - 【請求項２】前記音響レンズがページ幅の長い線形レン
ズアレイを形成するように整列されている特許請求の範
囲第１項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項３】前記音響レンズがページ幅の長い２次元の
食違い形レンズアレイを形成するように整列されている
特許請求の範囲第１項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項４】前記音響レンズが線形レンズアレイを形成
するように整列されている特許請求の範囲第１項記載の
音響プリントヘッド。 - 【請求項５】前記音響レンズが２次元のレンズアレイを
形成するように整列されている特許請求の範囲第１項記
載の音響プリントヘッド。 - 【請求項６】前記トランスデューサ手段が前記レンズを
個々に照明する独立に変調されたＲＦ音響波を供給する
ことで、前記レンズが個別に変調された音響ビームを前
記インク中に発し、前記音響ビームの変調がレンズ毎に
制御されて要求時毎のインク滴印刷を行う特許請求の範
囲第１〜６項の何れか１項に記載の音響プリントヘッ
ド。 - 【請求項７】前記基板が、前記レンズ間に配設されてレ
ンズを相互に分離する音響インピーダンス不整合領域を
有する特許請求の範囲第６項記載の音響プリントヘッ
ド。 - 【請求項８】前記音響インピーダンス不整合領域が前記
基板の下面から上方に基板内へと延びている特許請求の
範囲第７項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項９】前記音響インピーダンス不整合領域が前記
基板の上面から下方に基板内へと延びている特許請求の
範囲第７項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１０】前記基板内での音速が前記インク中での
音速より少なくとも２．５倍大きい特許請求の範囲第１
項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１１】前記基板内での音速が前記インク中での
音速より少なくとも４倍大きい特許請求の範囲第10項記
載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１２】前記凹部がインクの音響速度とほぼ同じ
音速を有する固体材料で充填され、前記プリントヘッド
がインクに対してほぼ平面状の上面を与える特許請求の
範囲第１項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１３】前記基板内での音速が前記インク中での
音速より少なくとも２．５倍大きい特許請求の範囲第１
２項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１４】基板内での音速がインク中での音速より
少なくとも４倍大きい特許請求の範囲第１２項記載の音
響プリントヘッド。 - 【請求項１５】前記音響波が基板内で所定の波長を有
し、前記音響レンズが該波長の１０倍より小さい所定の
直径を有する特許請求の範囲第１項記載の音響プリント
ヘッド。 - 【請求項１６】前記基板内での音速が前記インク中での
音速より少なくとも２．５倍大きい特許請求の範囲第１
５項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１７】基板内での音速がインク中での音速より
少なくとも４倍大きい特許請求の範囲第１６項記載の音
響プリントヘッド。 - 【請求項１８】前記トランスデューサ手段が前記レンズ
を個々に照明する独立に変調されたＲＦ音響波を供給す
ることで、前記レンズが個別に変調された音響ビームを
前記インク中に発し、前記音響ビームの変調がレンズ毎
に制御されて要求時毎にインク滴印刷を行う特許請求の
範囲第１７項記載の音響プリントヘッド。 - 【請求項１９】前記凹部がインクの音響速度とほぼ同じ
音速を有する固体材料で充填され、前記音響ビームが前
記プリントヘッドのほぼ平面状の上面からインク中に発
せられる特許請求の範囲第１８項記載の音響プリントヘ
ッド。 - 【請求項２０】前記基板及びトランスデューサ手段がイ
ンク中に浸漬されている特許請求の範囲第１及び７〜１
９項の何れか１項に記載の音響プリントヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/944,698 US4751530A (en) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Acoustic lens arrays for ink printing |
| US944698 | 1997-10-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63162253A JPS63162253A (ja) | 1988-07-05 |
| JPH0645233B2 true JPH0645233B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=25481899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62309359A Expired - Fee Related JPH0645233B2 (ja) | 1986-12-19 | 1987-12-07 | インク印刷用音響プリントヘッド |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4751530A (ja) |
| EP (1) | EP0272899B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0645233B2 (ja) |
| CN (1) | CN1017694B (ja) |
| BR (1) | BR8706818A (ja) |
| CA (1) | CA1292384C (ja) |
| DE (1) | DE3782490T2 (ja) |
Families Citing this family (77)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5122818A (en) * | 1988-12-21 | 1992-06-16 | Xerox Corporation | Acoustic ink printers having reduced focusing sensitivity |
| JP2742077B2 (ja) * | 1989-01-11 | 1998-04-22 | 株式会社リコー | インクジェットヘッド |
| US4959674A (en) * | 1989-10-03 | 1990-09-25 | Xerox Corporation | Acoustic ink printhead having reflection coating for improved ink drop ejection control |
| US5041849A (en) * | 1989-12-26 | 1991-08-20 | Xerox Corporation | Multi-discrete-phase Fresnel acoustic lenses and their application to acoustic ink printing |
| US5229793A (en) * | 1990-12-26 | 1993-07-20 | Xerox Corporation | Liquid surface control with an applied pressure signal in acoustic ink printing |
| US5121141A (en) * | 1991-01-14 | 1992-06-09 | Xerox Corporation | Acoustic ink printhead with integrated liquid level control layer |
| US5111220A (en) * | 1991-01-14 | 1992-05-05 | Xerox Corporation | Fabrication of integrated acoustic ink printhead with liquid level control and device thereof |
| US5450107A (en) * | 1991-12-27 | 1995-09-12 | Xerox Corporation | Surface ripple wave suppression by anti-reflection in apertured free ink surface level controllers for acoustic ink printers |
| US5339101A (en) * | 1991-12-30 | 1994-08-16 | Xerox Corporation | Acoustic ink printhead |
| US5191354A (en) * | 1992-02-19 | 1993-03-02 | Xerox Corporation | Method and apparatus for suppressing capillary waves in an ink jet printer |
| US5354419A (en) * | 1992-08-07 | 1994-10-11 | Xerox Corporation | Anisotropically etched liquid level control structure |
| US5216451A (en) * | 1992-12-27 | 1993-06-01 | Xerox Corporation | Surface ripple wave diffusion in apertured free ink surface level controllers for acoustic ink printers |
| DE69421301T2 (de) * | 1993-01-29 | 2000-04-13 | Canon Kk | Tintenstrahlgerät |
| JPH07137250A (ja) * | 1993-05-14 | 1995-05-30 | Fujitsu Ltd | 超音波プリンタ |
| US6048050A (en) * | 1993-10-21 | 2000-04-11 | Xerox Corporation | Electrorheological based droplet ejecting printer |
| US5669971A (en) * | 1994-04-06 | 1997-09-23 | Specialty Coating Systems, Inc. | Selective coating apparatus |
| EP0682988B1 (en) * | 1994-05-18 | 2001-11-14 | Xerox Corporation | Acoustic deposition of material layers |
| US5565113A (en) * | 1994-05-18 | 1996-10-15 | Xerox Corporation | Lithographically defined ejection units |
| EP0692383B1 (en) * | 1994-07-11 | 2005-06-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ink jet recording device |
| US5608433A (en) * | 1994-08-25 | 1997-03-04 | Xerox Corporation | Fluid application device and method of operation |
| US5589864A (en) * | 1994-09-30 | 1996-12-31 | Xerox Corporation | Integrated varactor switches for acoustic ink printing |
| US5631678A (en) * | 1994-12-05 | 1997-05-20 | Xerox Corporation | Acoustic printheads with optical alignment |
| JP2842320B2 (ja) | 1995-08-22 | 1999-01-06 | 日本電気株式会社 | 液滴噴射装置および液滴噴射方法 |
| US5821958A (en) * | 1995-11-13 | 1998-10-13 | Xerox Corporation | Acoustic ink printhead with variable size droplet ejection openings |
| JP2861980B2 (ja) | 1997-01-30 | 1999-02-24 | 日本電気株式会社 | インク滴噴射装置 |
| DE19806807A1 (de) | 1997-02-19 | 1998-09-03 | Nec Corp | Tröpfchenausstoßvorrichtung |
| DE19856785C2 (de) * | 1997-02-19 | 2002-06-13 | Nec Corp | Tröpfchenausstoßvorrichtung |
| JP3242859B2 (ja) * | 1997-04-03 | 2001-12-25 | 三菱電機株式会社 | 液体噴出装置及びプリンタ装置 |
| EP0881082A3 (en) | 1997-05-29 | 2000-05-03 | Xerox Corporation | Apparatus and method for forming an image with reduced printhead signature |
| US6234608B1 (en) | 1997-06-05 | 2001-05-22 | Xerox Corporation | Magnetically actuated ink jet printing device |
| CA2306384A1 (en) * | 1997-10-14 | 1999-04-22 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
| US6644766B1 (en) | 1998-04-28 | 2003-11-11 | Xerox Corporation | Printing system with phase shift printing to reduce peak power consumption |
| US6210783B1 (en) | 1998-07-17 | 2001-04-03 | Xerox Corporation | Ink jet transparencies |
| US6312121B1 (en) | 1998-09-11 | 2001-11-06 | Xerox Corporation | Ink jet printing process |
| US6364454B1 (en) | 1998-09-30 | 2002-04-02 | Xerox Corporation | Acoustic ink printing method and system for improving uniformity by manipulating nonlinear characteristics in the system |
| US6302524B1 (en) * | 1998-10-13 | 2001-10-16 | Xerox Corporation | Liquid level control in an acoustic droplet emitter |
| US7323634B2 (en) * | 1998-10-14 | 2008-01-29 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
| US6187211B1 (en) | 1998-12-15 | 2001-02-13 | Xerox Corporation | Method for fabrication of multi-step structures using embedded etch stop layers |
| US6318852B1 (en) | 1998-12-30 | 2001-11-20 | Xerox Corporation | Color gamut extension of an ink composition |
| US6200491B1 (en) | 1999-03-23 | 2001-03-13 | Xerox Corporation | Fabrication process for acoustic lens array for use in ink printing |
| US6110265A (en) | 1999-04-27 | 2000-08-29 | Xerox Corporation | Ink compositions |
| US6595618B1 (en) | 1999-06-28 | 2003-07-22 | Xerox Corporation | Method and apparatus for filling and capping an acoustic ink printhead |
| US6523944B1 (en) | 1999-06-30 | 2003-02-25 | Xerox Corporation | Ink delivery system for acoustic ink printing applications |
| US6310426B1 (en) * | 1999-07-14 | 2001-10-30 | Halliburton Energy Services, Inc. | High resolution focused ultrasonic transducer, for LWD method of making and using same |
| US6494565B1 (en) | 1999-11-05 | 2002-12-17 | Xerox Corporation | Methods and apparatuses for operating a variable impedance acoustic ink printhead |
| US6416163B1 (en) | 1999-11-22 | 2002-07-09 | Xerox Corporation | Printhead array compensation device designs |
| US6447086B1 (en) | 1999-11-24 | 2002-09-10 | Xerox Corporation | Method and apparatus for achieving controlled RF switching ratios to maintain thermal uniformity in the acoustic focal spot of an acoustic ink printhead |
| US6322187B1 (en) | 2000-01-19 | 2001-11-27 | Xerox Corporation | Method for smoothing appearance of an ink jet print |
| US6350795B1 (en) | 2000-06-07 | 2002-02-26 | Xerox Corporation | Ink compositions |
| US6287373B1 (en) | 2000-06-22 | 2001-09-11 | Xerox Corporation | Ink compositions |
| US20020037359A1 (en) * | 2000-09-25 | 2002-03-28 | Mutz Mitchell W. | Focused acoustic energy in the preparation of peptide arrays |
| US6808934B2 (en) | 2000-09-25 | 2004-10-26 | Picoliter Inc. | High-throughput biomolecular crystallization and biomolecular crystal screening |
| US6806051B2 (en) * | 2000-09-25 | 2004-10-19 | Picoliter Inc. | Arrays of partially nonhybridizing oligonucleotides and preparation thereof using focused acoustic energy |
| JP4990476B2 (ja) | 2000-09-25 | 2012-08-01 | ピコリター インコーポレイテッド | コンビナトリアルライブラリの調製およびスクリーニングにおける集束された音響エネルギー |
| US6746104B2 (en) * | 2000-09-25 | 2004-06-08 | Picoliter Inc. | Method for generating molecular arrays on porous surfaces |
| US6548308B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-04-15 | Picoliter Inc. | Focused acoustic energy method and device for generating droplets of immiscible fluids |
| US6666541B2 (en) * | 2000-09-25 | 2003-12-23 | Picoliter Inc. | Acoustic ejection of fluids from a plurality of reservoirs |
| US6642061B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-11-04 | Picoliter Inc. | Use of immiscible fluids in droplet ejection through application of focused acoustic energy |
| US6596239B2 (en) | 2000-12-12 | 2003-07-22 | Edc Biosystems, Inc. | Acoustically mediated fluid transfer methods and uses thereof |
| DE10062246C1 (de) * | 2000-12-14 | 2002-05-29 | Advalytix Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen |
| US8122880B2 (en) * | 2000-12-18 | 2012-02-28 | Palo Alto Research Center Incorporated | Inhaler that uses focused acoustic waves to deliver a pharmaceutical product |
| US6869551B2 (en) * | 2001-03-30 | 2005-03-22 | Picoliter Inc. | Precipitation of solid particles from droplets formed using focused acoustic energy |
| US6976639B2 (en) | 2001-10-29 | 2005-12-20 | Edc Biosystems, Inc. | Apparatus and method for droplet steering |
| US6737109B2 (en) | 2001-10-31 | 2004-05-18 | Xerox Corporation | Method of coating an ejector of an ink jet printhead |
| US6925856B1 (en) | 2001-11-07 | 2005-08-09 | Edc Biosystems, Inc. | Non-contact techniques for measuring viscosity and surface tension information of a liquid |
| US6955416B2 (en) * | 2002-06-14 | 2005-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, its driving method, and ink-jet recording apparatus |
| US6863362B2 (en) * | 2002-12-19 | 2005-03-08 | Edc Biosystems, Inc. | Acoustically mediated liquid transfer method for generating chemical libraries |
| US7275807B2 (en) * | 2002-11-27 | 2007-10-02 | Edc Biosystems, Inc. | Wave guide with isolated coupling interface |
| US7858044B2 (en) | 2003-04-30 | 2010-12-28 | Nexus Biosystems, Inc. | Multi-well plate providing a high-density storage and assay platform |
| JP4239750B2 (ja) * | 2003-08-13 | 2009-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | マイクロレンズ及びマイクロレンズの製造方法、光学装置、光伝送装置、レーザプリンタ用ヘッド、並びにレーザプリンタ |
| US7504446B2 (en) * | 2003-10-09 | 2009-03-17 | Xerox Corporation | Aqueous inks containing colored polymers |
| WO2005039535A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-05-06 | Alza Corporation | Preparation of lipid particles |
| US7976891B1 (en) * | 2005-12-16 | 2011-07-12 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Abluminal stent coating apparatus and method of using focused acoustic energy |
| JP5803354B2 (ja) * | 2010-10-08 | 2015-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置及び医療機器 |
| CN102247164B (zh) * | 2011-04-18 | 2012-12-19 | 华中科技大学 | 一种高频声学自聚焦球面探头的制备方法 |
| US20200290048A1 (en) * | 2017-08-22 | 2020-09-17 | 10X Genomics, Inc. | Methods and systems for generating droplets |
| CN114101018B (zh) * | 2021-11-25 | 2022-11-22 | 福州大学 | 一种超材料声透镜相控阵换能器及提升焦点声压的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4308547A (en) | 1978-04-13 | 1981-12-29 | Recognition Equipment Incorporated | Liquid drop emitter |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3211088A (en) * | 1962-05-04 | 1965-10-12 | Sperry Rand Corp | Exponential horn printer |
| DE2212754A1 (de) * | 1972-03-16 | 1973-09-20 | Philips Patentverwaltung | Einrichtung zur uebertragung diskreter augenblickswerte |
| US4303927A (en) * | 1977-03-23 | 1981-12-01 | International Business Machines Corporation | Apparatus for exciting an array of ink jet nozzles and method of forming |
| US4184094A (en) * | 1978-06-01 | 1980-01-15 | Advanced Diagnostic Research Corporation | Coupling for a focused ultrasonic transducer |
| US4384231A (en) * | 1979-05-11 | 1983-05-17 | Hitachi, Ltd. | Piezoelectric acoustic transducer with spherical lens |
| US4321696A (en) * | 1980-02-12 | 1982-03-23 | Hitachi, Ltd. | Ultrasonic transducer using ultra high frequency |
| US4331964A (en) * | 1980-12-11 | 1982-05-25 | International Business Machines Corp. | Dual cavity drop generator |
| SU941213A1 (ru) * | 1981-01-20 | 1982-07-07 | Киевский Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Периферийного Оборудования | Головка дл струйно-печатающего механизма |
| US4390886A (en) * | 1981-09-25 | 1983-06-28 | Xerox Corporation | Ink jet printing machine |
| US4562900A (en) * | 1984-12-20 | 1986-01-07 | Varian Associates, Inc. | Lens system for acoustic transducer array |
| US4580148A (en) * | 1985-02-19 | 1986-04-01 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printer with droplet ejection by bubble collapse |
| US4697195A (en) * | 1985-09-16 | 1987-09-29 | Xerox Corporation | Nozzleless liquid droplet ejectors |
-
1986
- 1986-12-19 US US06/944,698 patent/US4751530A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-11-02 CA CA000550780A patent/CA1292384C/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-12-07 JP JP62309359A patent/JPH0645233B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1987-12-15 BR BR8706818A patent/BR8706818A/pt not_active IP Right Cessation
- 1987-12-18 EP EP87311223A patent/EP0272899B1/en not_active Expired
- 1987-12-18 DE DE8787311223T patent/DE3782490T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-19 CN CN87101228.6A patent/CN1017694B/zh not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4308547A (en) | 1978-04-13 | 1981-12-29 | Recognition Equipment Incorporated | Liquid drop emitter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN87101228A (zh) | 1988-10-05 |
| EP0272899A3 (en) | 1989-11-02 |
| EP0272899B1 (en) | 1992-11-04 |
| US4751530A (en) | 1988-06-14 |
| DE3782490D1 (de) | 1992-12-10 |
| CN1017694B (zh) | 1992-08-05 |
| EP0272899A2 (en) | 1988-06-29 |
| CA1292384C (en) | 1991-11-26 |
| JPS63162253A (ja) | 1988-07-05 |
| BR8706818A (pt) | 1988-07-19 |
| DE3782490T2 (de) | 1993-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0645233B2 (ja) | インク印刷用音響プリントヘッド | |
| US4751529A (en) | Microlenses for acoustic printing | |
| US4751534A (en) | Planarized printheads for acoustic printing | |
| JP3339724B2 (ja) | インクジェット記録方法及びその装置 | |
| JPH0349958A (ja) | 音響インク・プリンタ | |
| JP2010280221A (ja) | 液体噴射装置 | |
| US5400064A (en) | High density ink jet printhead with double-U channel actuator | |
| JPH06218917A (ja) | インクジェットヘッド | |
| EP0273664B1 (en) | Droplet ejectors | |
| US6336707B1 (en) | Recording element and recording device | |
| JPH1058672A (ja) | インクジェットヘッド | |
| US6644785B2 (en) | Solid BI-layer structures for use with high viscosity inks in acoustic ink in acoustic ink printing and methods of fabrication | |
| JPH10250110A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP2000025216A (ja) | 音響小滴噴出装置及びそれを用いた印刷における均一性を改善する方法 | |
| EP0272092B1 (en) | Acoustic printers | |
| JPH04353459A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JPS609907B2 (ja) | マルチオリフイス液体噴射記録ヘツド | |
| JPH02223451A (ja) | 液体噴射記録ヘッド | |
| JP3466829B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JPH02297445A (ja) | インクジェットプリンタのインク吐出装置 | |
| JPH10226068A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH08207276A (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
| JPH09150502A (ja) | 液滴噴射装置 | |
| JPH09248908A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JPH10328594A (ja) | 液滴形成装置および画像形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |