JPH1058672A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小さいインク滴の飛翔が可能な、安価なイン
クジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 ノズル基板２は、圧電性材料で形成され
ており、１以上の液滴吐出開口部４が設けられている。
ノズル基板２の液滴吐出開口部４の周囲部には、ノズル
基板２の表面と裏面にそれぞれ電極５ａ，５ｂが形成さ
れ、それぞれ取り出し電極５ｃ，５ｄが接続されてい
る。電極５ａ〜５ｄを形成後、保護膜６がノズル基板２
の両面に形成されている。電極５ａ，５ｂに高周波電圧
を印加すると、ノズル基板２が励振され、振動エネルギ
ーを液滴吐出開口部４の周縁端から中心に向かって放
射、伝播する。液滴吐出開口部４の中心では振動エネル
ギーが集中し、インク３の表面と垂直な方向のエネルギ
ーを生じ、インク３がインク滴として吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動を利用してイ
ンクを飛翔させ、記録を行なうインクジェットヘッドに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ノズルからインク滴を必要に
応じて吐出させて印字を行なう、いわゆるオンデマンド
型のインクジェット記録方式がある。代表的なオンデマ
ンド型のインクジェット記録方式としては、例えばピエ
ゾ振動子型とサーマル型がある。

【０００３】ピエゾ振動子型は、インク室に付設された
圧電素子にパルス電圧を印加し、圧電素子を変形させる
ことによりインク室内のインク液圧を変化させ、ノズル
からインク滴を吐出させて記録用紙にドットを記録する
ものである。図９は、従来のピエゾ振動子型インクジェ
ットヘッドの一例を示す概略構成断面図である。図中、
３１はノズル、３２はインク室、３３は圧電素子、３４
はインクである。圧電素子３３は、電圧が印加されると
インク室３２の容積が小さくなるように変形する。これ
によってインク室３２内の圧力が高まってノズル３１か
らインクが吐出する。

【０００４】サーマル型は、インク室内に設けた加熱手
段によりインクを加熱し、これにより発生したバブルに
よりノズルからインク滴を吐出させて記録用紙にドット
を記録するものである。図１０は、従来のサーマル型イ
ンクジェットヘッドの概略構成断面図である。図中、４
１はノズル、４２はインク流路、４３は発熱素子、４４
はインクである。発熱素子４３は電圧が印加されると発
熱し、発熱素子４３付近のインク流路４２内のインクを
加熱し、バブルを発生させる。この発生したバブルによ
ってインク流路４２内の圧力が高まってノズル４１から
インクが吐出する。

【０００５】これらのインクジェット記録方式において
は、従来、解像度が３００ＤＰＩ程度であったが、昨
今、その解像度が６００から７２０ＤＰＩと高解像度化
されてきた。それに伴い、高解像度化による効果を有効
に発揮するためには解像度に応じて印字するドット径を
小さくする必要がある。上述の従来の方式においてドッ
ト径を小さくする手段としては、ノズル径を小さくする
方法がある。しかしながらノズル径を小さくすると、ゴ
ミやノズル内のインク表面の乾燥等によってノズルが詰
まったり、ノズルの周辺部への残滓の付着によってイン
ク吐出方向の変化が発生しやすくなり、記録紙上の画質
に欠陥が発生してしまう。そのため、本来の解像度に対
応したドット径を印字するために必要なノズル径を採用
できないという問題があった。

【０００６】一方、このようなノズルに起因する問題を
解決する方法として、ノズルを用いないインクジェット
ヘッドが提案されている。ノズルを用いない記録方法の
一例としては、例えば、米国特許第４３０８５４７号明
細書に記載されている方法がある。図１１は、従来のノ
ズルを用いないインクジェットヘッドの一例を示す模式
図である。図中、５１は圧電体シェル、５２はインク、
５３，５４は電極、５５はインク自由表面、５６はイン
ク滴である。凹状にカーブした球面形状の圧電体シェル
５１をインク５２中に配置し、その球面形状をなす球の
中心がインク自由表面５５に位置させる。この圧電体シ
ェル５１の両面には電極５３，５４が設けられており、
電極５３、５４を通して圧電体シェル５１に電圧を印加
する。これにより圧電体シェル５１が変形し、この圧電
体シェル５１からインク中に放射された縦波はインク自
由表面５５の一点に集められ、インク自由表面５５から
インク滴５６が吐出される。

【０００７】また、特開平３−２００１９９号公報に記
載されているように、薄膜平板状の位相フレネルレンズ
を基板上に設け、より安価でよりシャープに焦点を合わ
せられる構成も提案されている。図１２は、フレネルレ
ンズを用いた従来のインクジェットヘッドの一例を示す
模式図である。図中、６１は圧電体、６２はインク、６
３，６４は電極、６５はインク自由表面、６６はインク
滴、６７は基板、６８は位相フレネルレンズ、６９は薄
膜平板状部である。基板６７の裏面には、圧電体６１、
およびこれに電圧を印加するための電極６３、６４から
なる振動子が形成されている。また、基板６７の表面に
は、複数の薄膜平板状部６９がある間隔で円環状に配置
され、位相フレネルレンズ６８が形成されている。振動
子で発生した振動は、基板６７を介して位相フレネルレ
ンズ６８に伝達される。位相フレネルレンズ６８では、
入射した平面波がある間隔で円環状に配置された複数の
薄膜平板状部６９で回折される。発生した複数の回折波
はインク自由表面６５の一点に集中して合成される。位
相フレネルレンズ６８は、その合成波の振幅が最大とな
るように構成されており、合成波によってインク自由表
面６５からインク滴６６が飛翔し、記録が行なわれる。

【０００８】以上のようにノズルを用いない従来のイン
クジェットヘッドにおいては、振動子で発生した振動を
インク自由表面の一点に集束させ、インク滴を吐出させ
ている。振動をインクの自由表面の一点に収束させるた
め、例えば、球面凹状の振動子を用いたり、位相フレネ
ルレンズを用いている。これらの構成を用い、複数の吐
出点を形成する場合には、この振動子やレンズの形状や
特性ばらつきによって、吐出位置がばらつくといった問
題がある。また、特に位相フレネルレンズを用いる場
合、音響インピーダンスのマッチングが完全に合わない
ためエネルギーロスを生じるといった問題がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、微小なノズルを必要とせ
ず、しかも特別なレンズ等を用いることなく、小さいイ
ンク滴の飛翔が可能な、安価なインクジェットヘッドを
提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、インクジェットヘッドにおいて、少なくとも一つの
液滴吐出開口部を有するノズル基板と、前記液滴吐出開
口部にインクの液面が形成されるようにインクを供給す
るインク供給手段と、前記液滴吐出開口部の周辺部に形
成され前記液滴吐出開口部の中心に向けてインクに振動
エネルギを放射する振動発生手段を備えてなり、前記振
動発生手段を励振させて前記液滴吐出開口部からインク
滴を吐出させることを特徴とするものである。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル基板は圧
電性材料で形成されており、前記振動発生手段は、前記
ノズル基板の表面と裏面に配置された１対の電極を備え
てなることを特徴とするものである。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル基板は導
電性基板で形成されており、前記振動発生手段は、前記
ノズル基板に圧電性部材と電極とを形成してなることを
特徴とするものである。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル基板は絶
縁性材料で形成されており、前記振動発生手段は、前記
ノズル基板に圧電性部材と１対の電極とを形成してなる
ことを特徴とするものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のインクジェット
ヘッドの第１の実施の形態における液滴吐出開口部の断
面図、図２は、同じく平面図である。図中、１は基板、
２はノズル基板、３はインク、４は液滴吐出開口部、５
ａ〜５ｄは電極、６は保護膜である。なお、図２では最
上層の保護膜６を通して電極５ａ，５ｃが示されてい
る。

【００１５】基板１とノズル基板２はギャップｈで配置
され、その間にインク３が充填されている。ノズル基板
２は、圧電性材料で形成されており、１以上の液滴吐出
開口部４が設けられている。ノズル基板２の液滴吐出開
口部４の周囲部には、ノズル基板２の表面と裏面にそれ
ぞれ電極５ａおよび５ｂが形成されている。電極５ｃお
よび５ｄは、電極５ａおよび５ｂにそれぞれ接続された
取り出し電極である。保護膜６は、電極５ａ〜５ｄを形
成後、ノズル基板２の両面に形成される。この保護膜６
によって電極５ａ〜５ｄを保護し、例えばインクとの接
触による電極の腐食などを防止することができる。この
時、液滴吐出開口部４の内壁にも保護層６を着膜するこ
とができ、液滴吐出開口部４の内壁面を保護することが
できる。インク３は、その表面が圧電性材料で形成され
たノズル基板２の液滴吐出開口部４の端面に接触するか
あるいはそれ以上の位置で一定となるように、図示しな
いインク供給機構から供給制御されている。

【００１６】具体例としては、基板１は、例えばプラス
チックで構成することができる。もちろん、プラスチッ
ク以外でもよく、表面がインクに対して耐腐食性を有し
ていればよい。また、ギャップｈは例えばおよそ２００
μｍとすることができる。ギャップｈが小さい方が液滴
吐出開口部４でインク中に放出されるエネルギを効率よ
くインクの吐出に用いることができる。また、ギャップ
ｈが大きい方がインクの流路抵抗を小さくすることがで
き、インクの吐出後、次のインクの吐出までの時間間隔
を短縮して高速な記録を行なうことができる。

【００１７】ノズル基板２は、例えば厚みが３００μｍ
の圧電性材料であるＰＺＴで形成することができる。ま
た、液滴吐出開口部４は、例えばマイクロドリル加工法
やレーザー加工法などの加工法により、約２００μｍ径
の略円形の開口として形成することができる。電極５
ａ，５ｂは、例えばスパッタリングによってニクロム
（ＮｉＣｒ）と金（Ａｕ）との２層の金属層を形成した
後、フォトリソエッチングにより形成することができ
る。電極５ａ，５ｂの大きさとしては、液滴吐出開口部
４の周縁に沿って幅１００μｍ程度の円形にすることが
できる。

【００１８】保護膜６としては、例えばＳｉＯ２を用い
ることができる。保護層６は、例えばスパッタリング法
を用いて形成することができ、厚みは２μｍ程度にする
ことができる。

【００１９】図３は、本発明のインクジェットヘッドの
第１の実施の形態における動作の一例を示す説明図であ
る。図中、７はインク滴である。電極５ｃおよび５ｄに
図示しない高周波電圧印加手段により、高周波電圧を印
加する。この高周波電圧は電極５ｃおよび５ｄによって
電極５ａおよび５ｂに高周波電圧が印加される。する
と、電極５ａおよび５ｂの間にある圧電性材料であるノ
ズル基板２が励振され、振動エネルギーを液滴吐出開口
部４の周縁端からインク３中に放射する。この場合、ノ
ズル基板２は、振動エネルギーが液滴吐出開口部４の中
心に向かって放射するようにあらかじめ分極処理が施さ
れている。したがって、振動エネルギーは図３の実線矢
印で示したように液滴吐出開口部４の中心方向に放射さ
れる。

【００２０】ノズル基板２の励振によって発生した振動
エネルギーは、液滴吐出開口部４の周縁から中心に向か
ってインク３中を伝播する。液滴吐出開口部４の中心で
は振動エネルギーが集中し、インク３の表面と垂直な方
向のエネルギーを生じ、インク３をその表面と垂直な方
向へ押し上げる。十分な振動エネルギーを与えると、押
し上げられたインクは、インクの表面張力に打ち勝っ
て、液滴吐出開口部４の中心付近のインクの表面からイ
ンク滴７として破線の矢印の方向へ吐出する。

【００２１】吐出するインク滴の大きさは、インク中を
伝播する振動波（縦波）の速度ｖと、振動周波数ｆと、
波長λで表される式、ｖ＝ｆλの波長λにほぼ比例して
いる。振動周波数を変えることで、大きな液滴から小さ
な液滴まで同じ構成のインクジェットヘッドから形成す
ることが可能であり、高密度化および多階調化が可能で
ある。

【００２２】上述の具体例に示した構成で、例えばおよ
そ７ＭＨｚ、４０Ｖの高周波電圧を７１μｓｅｃ間印加
し、インクジェットヘッドを駆動する実験を行なったと
ころ、吐出したインク滴７の大きさは、およそ１２０μ
ｍであった。この実験において、高周波電圧印加時はイ
ンク供給路にある電極５ｂ、５ｄをＧＮＤレベルに固定
して駆動させた。

【００２３】図４は、本発明のインクジェットヘッドの
第２の実施の形態における液滴吐出開口部の断面図、図
５は、同じく平面図である。図中、図１、図２と同様の
部分には同じ符号を付して説明を省略する。５ｅ，５ｆ
は電極、８は振動部材、９は絶縁膜、１０は保護膜であ
る。図５においても、電極５ｅ，５ｆが保護膜１０を通
して見えている状態を示している。

【００２４】この実施の形態では、ノズル基板２を導電
性の材料で形成している。ノズル基板２の基板１と反対
の側の面に、液滴吐出開口部４の周囲部に振動部材８が
形成されている。振動部材８は、例えば圧電性材料で構
成されている。振動部材８が形成されていない部分に
は、絶縁膜９が形成される。振動部材８の上には電極５
ｅが形成されており、電極５ｅに高周波電圧を供給する
ための電極５ｆが接続されている。さらに、これらの電
極を覆うように保護膜１０が形成されている。

【００２５】このように、この第２の実施の形態では、
ノズル基板２と振動部材８と電極５ｅで振動を発生する
構成となっており、電極５ｅおよびノズル基板２に高周
波電圧を印加することによって励振する。インク３は、
その表面が振動部材８の液滴吐出開口部４の端面に接触
するかあるいはそれ以上の位置で一定となるように、図
示しないインク供給機構から供給制御されている。

【００２６】具体例としては、ノズル基板２は、厚みが
約３００μｍであり、ニッケル−鉄（Ｎｉ−Ｆｅ）合金
を用いてエレクトロフォーミング技術により形成するこ
とができる。このノズル基板２に形成される液滴吐出開
口部４は、直径約１５０μｍの円形とすることができ
る。ノズル基板２上に形成される振動部材８は、圧電性
材料として酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用い、スパッタリング
法により厚みがおよそ３０μｍに形成する。振動部材８
が形成されていない部分に形成される絶縁膜９として
は、ＳｉＯ２をスパッタリング法によって形成する。電
極５ｅ，５ｆは、アルミ（Ａｌ）を用い、着膜後、フォ
トリソエッチングにより振動部材８を覆うように形成す
る。電極の保護膜１０としては、ＳｉＯ２をスパッタリ
ング法によって２μｍの厚みで形成する。この時、ノズ
ル基板２の両面に着膜し、ノズル基板２のインクによる
腐食を防いだり、液滴吐出開口部４の内壁にも着膜する
ことにより内壁面を保護するように構成してもよい。

【００２７】図６は、本発明のインクジェットヘッドの
第２の実施の形態における動作の一例を示す説明図であ
る。図中、１１はインク滴である。ノズル基板２および
電極５ｅに図示しない高周波電圧印加手段により高周波
電圧を印加する。すると、ノズル基板２および電極５ｅ
の間にある振動部材８が励振され、振動エネルギーを液
滴吐出開口部４の周縁端からインク３中に放射する。し
たがって、振動エネルギーは図６の実線矢印で示したよ
うに液滴吐出開口部４の周縁端から中心方向に向けて放
射される。液滴吐出開口部４の中心では振動エネルギー
が集中し、インク表面と垂直な方向のエネルギーを生じ
るため、インク３の表面を押し上げる。十分な振動エネ
ルギーを与えることにより、インクの表面張力に打ち勝
って、液滴吐出開口部４の中心部のインク表面からイン
ク滴１１が図中の破線矢印方向に吐出する。

【００２８】上述の具体例に示した構成で、例えばおよ
そ３０ＭＨｚ、２０Ｖの高周波電圧を１０μｓｅｃ間印
加し、インクジェットヘッドを駆動する実験を行なった
ところ、吐出したインク滴１１の大きさは、およそ５０
μｍであった。この実験において、高周波電圧印加時は
ノズル基板２をＧＮＤレベルに固定して駆動させた。

【００２９】図７は、本発明のインクジェットヘッドの
第３の実施の形態における液滴吐出開口部の断面図であ
る。図中、図４と同様の部分には同じ符号を付して説明
を省略する。５ｇ〜５ｊは電極である。この実施の形態
では、ノズル基板２の上部に振動を発生するための構成
を形成している。ノズル基板２の基板１と反対の側の面
に、液滴吐出開口部４の周囲部に電極５ｇを形成し、ま
たこの電極５ｇに高周波電圧を供給するための電極５ｉ
を形成する。電極５ｇの上には、例えば圧電性材料で構
成された振動部材８が形成されている。振動部材８が形
成されていない部分には、絶縁膜９が形成される。振動
部材８の上には電極５ｈが形成されており、電極５ｈに
高周波電圧を供給するための電極５ｊが接続されてい
る。さらに、これらの電極を覆うように保護膜１０が形
成されている。

【００３０】このように、この第２の実施の形態では、
ノズル基板２上に形成した電極５ｇと振動部材８と電極
５ｈで振動を発生する構成となっており、電極５ｇ，５
ｈ間に高周波電圧を印加することによって振動部材８を
励振させる。ノズル基板２は、この実施の形態では振動
の発生に関与しないので、例えばプラスチックなど、任
意の材料を用いることができる。もちろん金属材料など
の導電性材料でもよく、その場合には絶縁膜を形成後、
電極５ｇ，５ｉ等の形成を行なえばよい。インク３は、
その表面が振動部材８の液滴吐出開口部４の端面に接触
するかあるいはそれ以上の位置で一定となるように、図
示しないインク供給機構から供給制御される。なお、動
作などは上述の第２の実施の形態と同様である。

【００３１】図８は、本発明の複数の液滴吐出開口部を
有するインクジェットヘッドの一例を示すレイアウト図
である。図中、２１は液滴吐出開口部、２２は電極であ
る。図８に示す例は、いわゆるマトリックス駆動ヘッド
の例であり、複数の液滴吐出開口部２１がマトリックス
状に配置されている。図８に示した例では、横方向に直
線状に配列し、その配列と直交する縦方向には少しずつ
ずらして配置して、縦方向に重なる液滴吐出開口部２１
がないように配置している。このような配置のインクジ
ェットヘッドと被記録媒体とを図中上下方向に相対的に
移動させながら記録を行なうことによって、液的吐出開
口部２１の横方向の配列間隔よりも記録密度の高い記録
を行なうことができる。

【００３２】上述の各実施の形態で示したように、各液
滴吐出開口部２１の周辺部には電極２２が形成されてい
る。ここでは、上述の第１及び第３の実施例で示したよ
うに、圧電性材料を挟んで両側に電極２２を形成した構
成を前提にしている。一方の電極は図中縦方向にリード
Ａ１〜５によりそれぞれ接続されている。また他方の電
極は図中横方向にリードＢ１〜６によりそれぞれ接続さ
れている。ここで一方のリードＡ１〜５のいずれかと、
他方のリードＢ１〜６のいずれかの間に電圧を印加する
ことにより、一つの液滴吐出開口部２１が選択され、圧
電性材料が励振して液滴吐出開口部２１の中心部からイ
ンク滴が吐出して記録を行なうことができる。この選択
動作と動作タイミングおよび被記録媒体との相対的移動
を画像データに応じて制御することによって、被記録媒
体への画像の記録を行なうことができる。

【００３３】なお、上述の第２の実施の形態で示した構
成をマトリックス状に配置する場合には、一方の電極が
ノズル基板によってすべての液滴吐出開口部２１に共通
に接続されるので、各液滴吐出開口部２１ごとに設けら
れた電極からそれぞれリードを引き出して選択的に駆動
すればよい。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、振動発生手段により液滴吐出開口部の中心に
向けてインク中に振動エネルギーを放射させることによ
り、液滴吐出開口部の中心に振動エネルギーが集中し
て、その振動波長に見合った液滴を吐出させることがで
きる。従って、凹状にカーブした球面形状の特殊な圧電
体を用いたり、フレネルレンズのような特別なレンズを
用いることなく、大きな液滴吐出開口部の周辺部に振動
手段を設けるだけの簡単な構成によって小さいインク滴
を飛翔させ、記録することができる。そして、インク滴
は液滴吐出開口部の中心部から吐出するので、液滴吐出
開口部を形成する位置精度だけで被記録媒体上のドット
位置精度が決まり、従来のレンズ等のように音響インピ
ーダンスのマッチングなどの問題も発生しないので、精
度やばらつきの影響は無くなる。複数の吐出点を形成す
る場合でも吐出位置のばらつきが小さく、しかも安価で
効率の高いインクジェットヘッドを提供できる。さら
に、形成されるインク滴の大きさが振動波長λにほぼ比
例しているため、振動周波数を変えることで大きな液滴
から小さな液滴まで同じ構成のインクジェットヘッドか
ら形成することができる。このように本発明によれば種
々の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のインクジェットヘッドの第１の実施
の形態における液滴吐出開口部の断面図である。

【図２】 本発明のインクジェットヘッドの第１の実施
の形態における液滴吐出開口部の平面図である。

【図３】 本発明のインクジェットヘッドの第１の実施
の形態における動作の一例を示す説明図である。

【図４】 本発明のインクジェットヘッドの第２の実施
の形態における液滴吐出開口部の断面図である。

【図５】 本発明のインクジェットヘッドの第２の実施
の形態における液滴吐出開口部の平面図である。

【図６】 本発明のインクジェットヘッドの第２の実施
の形態における動作の一例を示す説明図である。

【図７】 本発明のインクジェットヘッドの第３の実施
の形態における液滴吐出開口部の断面図である。

【図８】 本発明の複数の液滴吐出開口部を有するイン
クジェットヘッドの一例を示すレイアウト図である。

【図９】 従来のピエゾ振動子型インクジェットヘッド
の一例を示す概略構成断面図である。

【図１０】 従来のサーマル型インクジェットヘッドの
概略構成断面図である。

【図１１】 従来のノズルを用いないインクジェットヘ
ッドの一例を示す模式図である。

【図１２】 フレネルレンズを用いた従来のインクジェ
ットヘッドの一例を示す模式図である。

【符号の説明】

１…基板、２…ノズル基板、３…インク、４…液滴吐出
開口部、５ａ〜５ｆ…電極、６…保護膜、７…インク
滴、８…振動部材、９…絶縁膜、１０…保護膜、１１…
インク滴、２１…液滴吐出開口部、２２…電極、３１，
４１…ノズル、３２…インク室、３３…圧電素子、３
４，４４，５２，６２…インク、４２…インク流路、４
３…発熱素子、５１…圧電体シェル、５３，５４，６
３，６４…電極、５５，６５…インク自由表面、５６，
６６…インク滴、６１…圧電体、６７…基板、６８…位
相フレネルレンズ、６９…薄膜平板状部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小関 忍 神奈川県足柄上郡中井町境430 グリーン テクなかい富士ゼロックス株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一つの液滴吐出開口部を有す
   るノズル基板と、前記液滴吐出開口部にインクの液面が
   形成されるようにインクを供給するインク供給手段と、
   前記液滴吐出開口部の周辺部に形成され前記液滴吐出開
   口部の中心に向けてインクに振動エネルギを放射する振
   動発生手段を備えてなり、前記振動発生手段を励振させ
   て前記液滴吐出開口部からインク滴を吐出させることを
   特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記ノズル基板は圧電性材料で形成され
   ており、前記振動発生手段は、前記ノズル基板の表面と
   裏面に配置された１対の電極を備えてなることを特徴と
   する請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 前記ノズル基板は導電性基板で形成され
   ており、前記振動発生手段は、前記ノズル基板に圧電性
   部材と電極とを形成してなることを特徴とする請求項１
   に記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記ノズル基板は絶縁性材料で形成され
   ており、前記振動発生手段は、前記ノズル基板に圧電性
   部材と１対の電極とを形成してなることを特徴とする請
   求項１に記載のインクジェットヘッド。