JPH0643996A - 超音波タッチパネル - Google Patents
超音波タッチパネルInfo
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- JPH0643996A JPH0643996A JP21833892A JP21833892A JPH0643996A JP H0643996 A JPH0643996 A JP H0643996A JP 21833892 A JP21833892 A JP 21833892A JP 21833892 A JP21833892 A JP 21833892A JP H0643996 A JPH0643996 A JP H0643996A
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K2217/00—Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00
- H03K2217/94—Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00 characterised by the way in which the control signal is generated
- H03K2217/96—Touch switches
- H03K2217/96003—Touch switches using acoustic waves, e.g. ultrasound
- H03K2217/96011—Touch switches using acoustic waves, e.g. ultrasound with propagation, SAW or BAW
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- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波送受波装置を非圧電基板に備えること
によりその非圧電基板に触指したことを感知する超音波
タッチパネルを提供する。 【構成】 超音波デバイスＡのすだれ状電極２から電極
周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数を有する電
気信号を入力すると、その電気信号が弾性表面波に変換
されて超音波デバイスＡの圧電磁器薄板１を伝搬し、さ
らにガラス基板３を伝搬する。ガラス基板３を伝搬して
いる弾性表面波のうち超音波デバイスＢのすだれ状電極
２の示す電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等しい波長の
弾性表面波のみが電気信号に変換されて超音波デバイス
Ｂのすだれ状電極２から出力される。
によりその非圧電基板に触指したことを感知する超音波
タッチパネルを提供する。 【構成】 超音波デバイスＡのすだれ状電極２から電極
周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数を有する電
気信号を入力すると、その電気信号が弾性表面波に変換
されて超音波デバイスＡの圧電磁器薄板１を伝搬し、さ
らにガラス基板３を伝搬する。ガラス基板３を伝搬して
いる弾性表面波のうち超音波デバイスＢのすだれ状電極
２の示す電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等しい波長の
弾性表面波のみが電気信号に変換されて超音波デバイス
Ｂのすだれ状電極２から出力される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波送受波装置を非圧
電基板に備えることにより、その非圧電基板に人指また
は物体が接触したことを感知する超音波タッチパネルに
関する。
電基板に備えることにより、その非圧電基板に人指また
は物体が接触したことを感知する超音波タッチパネルに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のタッチパネルには抵抗膜を用いる
方法と超音波を用いる方法が主に挙げられる。抵抗膜を
用いる方法は透明導電性フィルム（抵抗膜）に触指する
ことによりその透明導電性フィルムの抵抗値が変化する
ものであり、低消費電力であるものの応答時間、感度、
耐久性等の点で問題を有している。超音波を用いる方法
は予め弾性表面波を励振させておいた非圧電基板に触指
することによりその弾性表面波が減衰するものである。
非圧電基板に弾性表面波を励振する従来の方法として
は、バルク波振動子を用いたくさび形トランスデューサ
により間接的に励振する方法、圧電薄膜トランスデュー
サにより直接的に励振する方法等が挙げられる。くさび
形トランスデューサは超音波による非破壊検査等に用い
られているが、くさび角の工作精度の問題等から比較的
低い周波数領域においてのみ用いられる。圧電薄膜トラ
ンスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を基板に蒸着しすだ
れ状電極により弾性表面波を励振する方法で、すだれ状
電極の構成により種々の伝送特性を示すことから高周波
デバイスとして用いられるが、ＵＨＦ，ＶＨＦ帯に限ら
れるとともに加工性や量産性に問題がある。このように
して、従来の方法では応答時間、感度、耐久性、工作精
度、加工性および量産性等に問題があり、使用周波数領
域も制限されている。
方法と超音波を用いる方法が主に挙げられる。抵抗膜を
用いる方法は透明導電性フィルム（抵抗膜）に触指する
ことによりその透明導電性フィルムの抵抗値が変化する
ものであり、低消費電力であるものの応答時間、感度、
耐久性等の点で問題を有している。超音波を用いる方法
は予め弾性表面波を励振させておいた非圧電基板に触指
することによりその弾性表面波が減衰するものである。
非圧電基板に弾性表面波を励振する従来の方法として
は、バルク波振動子を用いたくさび形トランスデューサ
により間接的に励振する方法、圧電薄膜トランスデュー
サにより直接的に励振する方法等が挙げられる。くさび
形トランスデューサは超音波による非破壊検査等に用い
られているが、くさび角の工作精度の問題等から比較的
低い周波数領域においてのみ用いられる。圧電薄膜トラ
ンスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を基板に蒸着しすだ
れ状電極により弾性表面波を励振する方法で、すだれ状
電極の構成により種々の伝送特性を示すことから高周波
デバイスとして用いられるが、ＵＨＦ，ＶＨＦ帯に限ら
れるとともに加工性や量産性に問題がある。このように
して、従来の方法では応答時間、感度、耐久性、工作精
度、加工性および量産性等に問題があり、使用周波数領
域も制限されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、加工
性、耐久性および量産性に優れ、低消費電力で効率良く
弾性表面波を非圧電基板に励振することができ、非圧電
基板に触指することによる弾性表面波の減衰に対する応
答時間が短く感度の良い超音波タッチパネルを提供する
ことにある。
性、耐久性および量産性に優れ、低消費電力で効率良く
弾性表面波を非圧電基板に励振することができ、非圧電
基板に触指することによる弾性表面波の減衰に対する応
答時間が短く感度の良い超音波タッチパネルを提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
タッチパネルは、超音波デバイスＡおよびＢで成る超音
波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に少なくとも１
つ設けて成る超音波タッチパネルにおいて、前記超音波
デバイスＡは圧電薄板ａに少なくとも１組のすだれ状電
極Ｐを備えて成り、前記超音波デバイスＢは圧電薄板ｂ
に少なくとも１組のすだれ状電極Ｑを備えて成り、前記
すだれ状電極ＰおよびＱにおける電極周期長には少なく
ともＬ１とＬ２との２つが有り、前記すだれ状電極Ｐに
前記電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数の
電気信号を入力し、前記非圧電基板の前記一方の板面に
前記電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等しい波長の弾性
表面波を励振する手段と、前記非圧電基板に励振された
該弾性表面波の波長に応じて前記すだれ状電極Ｑに現れ
る電気信号を出力する手段とが設けてあり、前記非圧電
基板の前記一方の板面における前記弾性表面波の伝搬路
の一部に人指または物体が接触したことを、前記すだれ
状電極Ｑに出力される前記電気信号の大きさから感知す
ることを特徴とする。
タッチパネルは、超音波デバイスＡおよびＢで成る超音
波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に少なくとも１
つ設けて成る超音波タッチパネルにおいて、前記超音波
デバイスＡは圧電薄板ａに少なくとも１組のすだれ状電
極Ｐを備えて成り、前記超音波デバイスＢは圧電薄板ｂ
に少なくとも１組のすだれ状電極Ｑを備えて成り、前記
すだれ状電極ＰおよびＱにおける電極周期長には少なく
ともＬ１とＬ２との２つが有り、前記すだれ状電極Ｐに
前記電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数の
電気信号を入力し、前記非圧電基板の前記一方の板面に
前記電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等しい波長の弾性
表面波を励振する手段と、前記非圧電基板に励振された
該弾性表面波の波長に応じて前記すだれ状電極Ｑに現れ
る電気信号を出力する手段とが設けてあり、前記非圧電
基板の前記一方の板面における前記弾性表面波の伝搬路
の一部に人指または物体が接触したことを、前記すだれ
状電極Ｑに出力される前記電気信号の大きさから感知す
ることを特徴とする。
【０００５】請求項２に記載の超音波タッチパネルは、
前記非圧電基板のもう一方の板面に少なくとも１種類の
色で表示される表示装置の表示画面が備えられていて、
前記すだれ状電極Ｐに入力する電気信号の周波数と前記
表示画面の前記色とを対応させる手段が設けられている
ことを特徴とする。
前記非圧電基板のもう一方の板面に少なくとも１種類の
色で表示される表示装置の表示画面が備えられていて、
前記すだれ状電極Ｐに入力する電気信号の周波数と前記
表示画面の前記色とを対応させる手段が設けられている
ことを特徴とする。
【０００６】請求項３に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂの厚さが前記すだれ状電極Ｐま
たはＱの電極周期長以下であって、前記すだれ状電極Ｐ
またはＱの電極周期長は１次モードまたは２次以上のモ
ードの弾性表面波の波長にほぼ等しいことを特徴とす
る。
前記圧電薄板ａまたはｂの厚さが前記すだれ状電極Ｐま
たはＱの電極周期長以下であって、前記すだれ状電極Ｐ
またはＱの電極周期長は１次モードまたは２次以上のモ
ードの弾性表面波の波長にほぼ等しいことを特徴とす
る。
【０００７】請求項４に記載の超音波タッチパネルは、
前記１次モードまたは２次以上の前記モードの弾性表面
波の位相速度が前記非圧電基板単体に励振される弾性表
面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴とする。
前記１次モードまたは２次以上の前記モードの弾性表面
波の位相速度が前記非圧電基板単体に励振される弾性表
面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴とする。
【０００８】請求項５に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミックで成り、該圧
電セラミックの分極軸の方向は該圧電セラミックの厚さ
方向と平行であることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミックで成り、該圧
電セラミックの分極軸の方向は該圧電セラミックの厚さ
方向と平行であることを特徴とする。
【０００９】請求項６に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその他の高分子圧電
フィルムで成ることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその他の高分子圧電
フィルムで成ることを特徴とする。
【００１０】請求項７に記載の超音波タッチパネルは、
前記圧電薄板ａまたはｂが前記すだれ状電極ＰまたはＱ
が設けられている方の板面を介して前記非圧電基板に固
着されていることを特徴とする。
前記圧電薄板ａまたはｂが前記すだれ状電極ＰまたはＱ
が設けられている方の板面を介して前記非圧電基板に固
着されていることを特徴とする。
【００１１】請求項８に記載の超音波タッチパネルは、
前記超音波送受波装置が前記非圧電基板の前記一方の板
面に少なくとも２つ設けてあり、一方の前記超音波送受
波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面
波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波装置におけ
る前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と
が互いに直交していることを特徴とする。
前記超音波送受波装置が前記非圧電基板の前記一方の板
面に少なくとも２つ設けてあり、一方の前記超音波送受
波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面
波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波装置におけ
る前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と
が互いに直交していることを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明の超音波タッチパネルは、圧電薄板とす
だれ状電極とから成る超音波デバイスＡおよびＢから成
る超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に設けて
成る簡単な構造を有する。超音波デバイスＡのすだれ状
電極Ｐを入力用としすだれ状電極Ｐから電気信号を入力
する構造を採用することにより、非圧電基板に１次モー
ドまたは２次以上のモードの弾性表面波を励振させるこ
とができる。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧
電基板単体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しく
なるような構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐ
から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に変換さ
れる度合を大きくすることができるだけでなく、圧電薄
板と非圧電基板との界面での音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を除去することができる。こ
のようにして、低消費電力で高電圧を印加すること無し
に効率良く弾性表面波を非圧電基板に励振することがで
きる。また、超音波デバイスＢのすだれ状電極Ｑを出力
用とする構造を採用するとともに、すだれ状電極ＰとＱ
とを弾性表面波の送受波の指向軸が共通になるように互
いに１対１に対を成すような構造を採用することによ
り、非圧電基板に励振されている弾性表面波をすだれ状
電極Ｑから電気信号として出力させることができる。す
だれ状電極ＰおよびＱとして少なくとも２つの電極周期
長Ｌ１およびＬ２を有する構造を採用することにより、
すだれ状電極Ｐに電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応
する周波数の電気信号を入力することができる。従っ
て、非圧電基板に電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等し
い波長の弾性表面波を励振することができる。また、非
圧電基板に励振されている電極周期長Ｌ１またはＬ２に
ほぼ等しい波長を有する弾性表面波をすだれ状電極Ｑか
ら電気信号として出力させることができる。
だれ状電極とから成る超音波デバイスＡおよびＢから成
る超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板面に設けて
成る簡単な構造を有する。超音波デバイスＡのすだれ状
電極Ｐを入力用としすだれ状電極Ｐから電気信号を入力
する構造を採用することにより、非圧電基板に１次モー
ドまたは２次以上のモードの弾性表面波を励振させるこ
とができる。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧
電基板単体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しく
なるような構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐ
から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に変換さ
れる度合を大きくすることができるだけでなく、圧電薄
板と非圧電基板との界面での音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を除去することができる。こ
のようにして、低消費電力で高電圧を印加すること無し
に効率良く弾性表面波を非圧電基板に励振することがで
きる。また、超音波デバイスＢのすだれ状電極Ｑを出力
用とする構造を採用するとともに、すだれ状電極ＰとＱ
とを弾性表面波の送受波の指向軸が共通になるように互
いに１対１に対を成すような構造を採用することによ
り、非圧電基板に励振されている弾性表面波をすだれ状
電極Ｑから電気信号として出力させることができる。す
だれ状電極ＰおよびＱとして少なくとも２つの電極周期
長Ｌ１およびＬ２を有する構造を採用することにより、
すだれ状電極Ｐに電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応
する周波数の電気信号を入力することができる。従っ
て、非圧電基板に電極周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ等し
い波長の弾性表面波を励振することができる。また、非
圧電基板に励振されている電極周期長Ｌ１またはＬ２に
ほぼ等しい波長を有する弾性表面波をすだれ状電極Ｑか
ら電気信号として出力させることができる。
【００１３】本発明の超音波タッチパネルの駆動時、非
圧電基板の板面における弾性表面波の伝搬路、つまりす
だれ状電極Ｐ，Ｑ間の一部が人指または物体に接触され
るとその弾性表面波が消滅または減衰する。従って、そ
れに伴ってすだれ状電極Ｑに出力される電気信号も消滅
または減衰する。このようにして、本発明の超音波タッ
チパネルは応答時間が短く感度が良い。超音波送受波装
置において超音波デバイスＡおよびＢを電極周期長が小
さい方の電極指が互いに内側になるように、つまり電極
間距離が小さくなるように配置することにより、非圧電
基板に励振する弾性表面波の減衰を抑制することができ
る。これは、電極周期長が小さいほど高周波の弾性表面
波が非圧電基板に励振され、高周波の弾性表面波ほど減
衰されやすいことを解決するためのものである。
圧電基板の板面における弾性表面波の伝搬路、つまりす
だれ状電極Ｐ，Ｑ間の一部が人指または物体に接触され
るとその弾性表面波が消滅または減衰する。従って、そ
れに伴ってすだれ状電極Ｑに出力される電気信号も消滅
または減衰する。このようにして、本発明の超音波タッ
チパネルは応答時間が短く感度が良い。超音波送受波装
置において超音波デバイスＡおよびＢを電極周期長が小
さい方の電極指が互いに内側になるように、つまり電極
間距離が小さくなるように配置することにより、非圧電
基板に励振する弾性表面波の減衰を抑制することができ
る。これは、電極周期長が小さいほど高周波の弾性表面
波が非圧電基板に励振され、高周波の弾性表面波ほど減
衰されやすいことを解決するためのものである。
【００１４】非圧電基板の超音波送受波装置を有しない
方の板面に少なくとも１種類の色で表示される表示装置
の表示画面を備え、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号
の周波数と表示画面の色とを対応させる構造を採用する
ことにより、表示画面の同一箇所に描かれた色別された
情報を入力することが周波数を切り換えることによって
可能になる。つまり、弾性表面波が励振された非圧電基
板の板面における前記箇所を周波数ごとに触指すること
によって入力することが可能になることから、表示画面
の情報密度の向上を図ることができる。
方の板面に少なくとも１種類の色で表示される表示装置
の表示画面を備え、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号
の周波数と表示画面の色とを対応させる構造を採用する
ことにより、表示画面の同一箇所に描かれた色別された
情報を入力することが周波数を切り換えることによって
可能になる。つまり、弾性表面波が励振された非圧電基
板の板面における前記箇所を周波数ごとに触指すること
によって入力することが可能になることから、表示画面
の情報密度の向上を図ることができる。
【００１５】超音波デバイスにおける圧電薄板の厚さを
すだれ状電極の電極周期長以下にし、すだれ状電極の電
極周期長を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表
面波の波長にほぼ等しくする構造を採用することによ
り、すだれ状電極から加えられる電気的エネルギーが弾
性表面波に変換される度合を大きくすることができるだ
けでなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響イン
ピーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去する
ことができる。なお、すだれ状電極の電極周期長すなわ
ち弾性表面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さいほど効果は大きい。
すだれ状電極の電極周期長以下にし、すだれ状電極の電
極周期長を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表
面波の波長にほぼ等しくする構造を採用することによ
り、すだれ状電極から加えられる電気的エネルギーが弾
性表面波に変換される度合を大きくすることができるだ
けでなく、圧電薄板と非圧電基板との界面での音響イン
ピーダンスの不整合等によって生じる反射等を除去する
ことができる。なお、すだれ状電極の電極周期長すなわ
ち弾性表面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さいほど効果は大きい。
【００１６】圧電薄板として圧電セラミックを採用し、
その圧電セラミックの分極軸の方向と厚さ方向とを平行
にする構造を採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
その圧電セラミックの分極軸の方向と厚さ方向とを平行
にする構造を採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
【００１７】圧電薄板としてＰＶＤＦその他の高分子圧
電フィルムを採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
電フィルムを採用することにより、非圧電基板に効率よ
く１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波を励
振することができる。
【００１８】すだれ状電極を圧電薄板と非圧電基板との
界面に設けた構造を採用することにより、すだれ状電極
に加えられる電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に
変換することができる。
界面に設けた構造を採用することにより、すだれ状電極
に加えられる電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に
変換することができる。
【００１９】超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板における触指部分の特定ができる。これは超
音波送受波装置の数が多い程きめ細かな特定が可能とな
る。従って、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号の周波
数を切り換えることにより前記表示装置の表示画面に描
かれた情報を入力する場合、その表示画面の情報をより
きめ細かなものにすることが可能となる。すなわち、触
指部分のより細かな特定が可能なことから、より細かな
情報の入力が可能となる。
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板における触指部分の特定ができる。これは超
音波送受波装置の数が多い程きめ細かな特定が可能とな
る。従って、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号の周波
数を切り換えることにより前記表示装置の表示画面に描
かれた情報を入力する場合、その表示画面の情報をより
きめ細かなものにすることが可能となる。すなわち、触
指部分のより細かな特定が可能なことから、より細かな
情報の入力が可能となる。
【００２０】
【実施例】図１は本発明の超音波タッチパネルの第１の
実施例を示す断面図である。本実施例は超音波デバイス
Ａ，Ｂおよびガラス基板３から成る。超音波デバイスＡ
およびＢはそれぞれ圧電磁器薄板１およびすだれ状電極
２から成る。圧電磁器薄板１は厚さ２２０μｍのＴＤＫ
製９１Ａ材（製品名）で成る。すだれ状電極２はアルミ
ニウム薄膜で成る。ガラス基板３は厚さ１．９ｍｍの硼
珪酸ガラスで成る。すだれ状電極２は圧電磁器薄板１上
に設けられている。圧電磁器薄板１はガラス基板３上に
設けられている。圧電磁器薄板１は厚さ約２０μｍのエ
ポキシ系樹脂によってガラス基板３上に固着されてい
る。すだれ状電極２は電極周期長が６２０μｍで５対の
電極指と、電極周期長が２９５μｍで５対の電極指とか
ら構成されている正規型のものである。但し本図では１
種類のみの電極指が描かれている。
実施例を示す断面図である。本実施例は超音波デバイス
Ａ，Ｂおよびガラス基板３から成る。超音波デバイスＡ
およびＢはそれぞれ圧電磁器薄板１およびすだれ状電極
２から成る。圧電磁器薄板１は厚さ２２０μｍのＴＤＫ
製９１Ａ材（製品名）で成る。すだれ状電極２はアルミ
ニウム薄膜で成る。ガラス基板３は厚さ１．９ｍｍの硼
珪酸ガラスで成る。すだれ状電極２は圧電磁器薄板１上
に設けられている。圧電磁器薄板１はガラス基板３上に
設けられている。圧電磁器薄板１は厚さ約２０μｍのエ
ポキシ系樹脂によってガラス基板３上に固着されてい
る。すだれ状電極２は電極周期長が６２０μｍで５対の
電極指と、電極周期長が２９５μｍで５対の電極指とか
ら構成されている正規型のものである。但し本図では１
種類のみの電極指が描かれている。
【００２１】図２はすだれ状電極２の平面図である。す
だれ状電極２は２種類の電極周期長を有している。図１
の超音波タッチパネルにおいて超音波デバイスＡのすだ
れ状電極２は入力用として用いられ、超音波デバイスＢ
のすだれ状電極２は出力用として用いられる。このとき
超音波デバイスＡおよびＢは電極周期長が２９５μｍの
電極指が互いに内側になるように配置される。これは、
電極周期長が小さいほど高周波の弾性表面波がガラス基
板３に励振され、高周波の弾性表面波ほど減衰されやす
いことを考慮したものである。このようにして、すだれ
状電極２の電極周期長が小さい方ほど弾性表面波の伝搬
路長（すなわち電極間距離）が小さくなるように配置さ
れる。
だれ状電極２は２種類の電極周期長を有している。図１
の超音波タッチパネルにおいて超音波デバイスＡのすだ
れ状電極２は入力用として用いられ、超音波デバイスＢ
のすだれ状電極２は出力用として用いられる。このとき
超音波デバイスＡおよびＢは電極周期長が２９５μｍの
電極指が互いに内側になるように配置される。これは、
電極周期長が小さいほど高周波の弾性表面波がガラス基
板３に励振され、高周波の弾性表面波ほど減衰されやす
いことを考慮したものである。このようにして、すだれ
状電極２の電極周期長が小さい方ほど弾性表面波の伝搬
路長（すなわち電極間距離）が小さくなるように配置さ
れる。
【００２２】図１の超音波タッチパネルの駆動時、超音
波デバイスＡのすだれ状電極２から電極周期長２９５μ
ｍにほぼ相応する周波数を有する電気信号を入力すると
その電気信号が弾性表面波に変換されて超音波デバイス
Ａの圧電磁器薄板１を伝搬し、さらにガラス基板３を伝
搬する。ガラス基板３を伝搬している弾性表面波のうち
超音波デバイスＢのすだれ状電極２の示す電極周期長２
９５μｍにほぼ等しい波長の弾性表面波のみが電気信号
に変換されて超音波デバイスＢのすだれ状電極２から出
力される。このようにして、超音波デバイスＡおよびＢ
は１組の超音波送受波装置を構成している。ガラス基板
３上の超音波デバイスＡ，Ｂの間の領域が人指または物
体に接触されると超音波デバイスＡ，Ｂ間を伝搬してい
る弾性表面波が減衰する。従って、それに伴って超音波
デバイスＢのすだれ状電極２に出力される電気信号も減
衰する。このようにして、ガラス基板３に人指または物
体が接触したことが感知される。なお、超音波デバイス
Ａのすだれ状電極２から電極周期長６２０μｍにほぼ相
応する周波数を有する電気信号を入力すれば、ガラス基
板３には波長がほぼ６２０μｍの弾性表面波が励振され
ることになる。
波デバイスＡのすだれ状電極２から電極周期長２９５μ
ｍにほぼ相応する周波数を有する電気信号を入力すると
その電気信号が弾性表面波に変換されて超音波デバイス
Ａの圧電磁器薄板１を伝搬し、さらにガラス基板３を伝
搬する。ガラス基板３を伝搬している弾性表面波のうち
超音波デバイスＢのすだれ状電極２の示す電極周期長２
９５μｍにほぼ等しい波長の弾性表面波のみが電気信号
に変換されて超音波デバイスＢのすだれ状電極２から出
力される。このようにして、超音波デバイスＡおよびＢ
は１組の超音波送受波装置を構成している。ガラス基板
３上の超音波デバイスＡ，Ｂの間の領域が人指または物
体に接触されると超音波デバイスＡ，Ｂ間を伝搬してい
る弾性表面波が減衰する。従って、それに伴って超音波
デバイスＢのすだれ状電極２に出力される電気信号も減
衰する。このようにして、ガラス基板３に人指または物
体が接触したことが感知される。なお、超音波デバイス
Ａのすだれ状電極２から電極周期長６２０μｍにほぼ相
応する周波数を有する電気信号を入力すれば、ガラス基
板３には波長がほぼ６２０μｍの弾性表面波が励振され
ることになる。
【００２３】図３は図１の超音波タッチパネルを伝搬す
る弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、弾性
表面波の波数ｋと圧電磁器薄板１の厚さｄとの積（ｋ
ｄ）または弾性表面波の波長λに対するｄの割合（ｄ／
λ）に対する各モードの位相速度を示す図である。但
し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス基板３
と接触する方の板面（ガラス側板面）が電気的に開放状
態にあってもう一方の空気に接触する方の板面（空気側
板面）が電気的に短絡状態にあるものと、圧電磁器薄板
１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に短絡状
態にあるものである。本実施例においては圧電磁器薄板
１の板面に金属薄膜を被覆することによりその板面を電
気的に短絡状態にしている。本図において“ｓｈｏｒ
ｔ”は短絡状態を、“ｏｐｅｎ”は開放状態であること
を示す。弾性表面波には複数個のモードがある。零次モ
ードは基本レイリー波であり、零次モードはｋｄ値が零
のときガラス基板３のレイリー波速度に一致していて、
ｋｄ値が大きくなるにつれて圧電磁器薄板１のレイリー
波速度に収束している。１次以上のモードではカットオ
フ周波数が存在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラ
ス基板３の横波速度に収束している。本図において○印
は実測値を示す。
る弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、弾性
表面波の波数ｋと圧電磁器薄板１の厚さｄとの積（ｋ
ｄ）または弾性表面波の波長λに対するｄの割合（ｄ／
λ）に対する各モードの位相速度を示す図である。但
し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス基板３
と接触する方の板面（ガラス側板面）が電気的に開放状
態にあってもう一方の空気に接触する方の板面（空気側
板面）が電気的に短絡状態にあるものと、圧電磁器薄板
１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に短絡状
態にあるものである。本実施例においては圧電磁器薄板
１の板面に金属薄膜を被覆することによりその板面を電
気的に短絡状態にしている。本図において“ｓｈｏｒ
ｔ”は短絡状態を、“ｏｐｅｎ”は開放状態であること
を示す。弾性表面波には複数個のモードがある。零次モ
ードは基本レイリー波であり、零次モードはｋｄ値が零
のときガラス基板３のレイリー波速度に一致していて、
ｋｄ値が大きくなるにつれて圧電磁器薄板１のレイリー
波速度に収束している。１次以上のモードではカットオ
フ周波数が存在し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラ
ス基板３の横波速度に収束している。本図において○印
は実測値を示す。
【００２４】図４は図１の超音波タッチパネルを伝搬す
る弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、ｋｄ
値またはｄ／λ値に対する各モードの位相速度を示す図
である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガ
ラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状態にあ
るものと、圧電磁器薄板１のガラス側板面が電気的に短
絡状態にあって空気側板面が電気的に開放状態にあるも
のを用いた。零次モードではｆｄ値が零のときガラス基
板３のレイリー波速度に一致していて、ｋｄ値が大きく
なるにつれて圧電磁器薄板１のレイリー波速度に収束し
ている。１次以上のモードではカットオフ周波数が存在
し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラス基板３の横波
速度に収束している。本図において○印は実測値を示
す。
る弾性表面波の速度分散曲線を示す特性図であり、ｋｄ
値またはｄ／λ値に対する各モードの位相速度を示す図
である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガ
ラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状態にあ
るものと、圧電磁器薄板１のガラス側板面が電気的に短
絡状態にあって空気側板面が電気的に開放状態にあるも
のを用いた。零次モードではｆｄ値が零のときガラス基
板３のレイリー波速度に一致していて、ｋｄ値が大きく
なるにつれて圧電磁器薄板１のレイリー波速度に収束し
ている。１次以上のモードではカットオフ周波数が存在
し、ｋｄ値がそれぞれの最小のときガラス基板３の横波
速度に収束している。本図において○印は実測値を示
す。
【００２５】図５は圧電磁器薄板１の異なる２つの電気
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面にすだれ状電極２（ＩＤＴ）を設け空気側板面を電気
的に短絡状態にしたものを用いている。高次モードのｋ
2 は零次モードに比べて大きな値を示す。特に１次モー
ドではｋｄ＝１．８においてｋ2 ＝１７．７％という最
大値を示している。
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面にすだれ状電極２（ＩＤＴ）を設け空気側板面を電気
的に短絡状態にしたものを用いている。高次モードのｋ
2 は零次モードに比べて大きな値を示す。特に１次モー
ドではｋｄ＝１．８においてｋ2 ＝１７．７％という最
大値を示している。
【００２６】図６は圧電磁器薄板１の異なる２つの電気
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面にすだれ状電極２を設け空気側板面を電気的に開放状
態にしたものを用いている。高次モードのｋ2 は零次モ
ードに比べて大きな値を示す。
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面にすだれ状電極２を設け空気側板面を電気的に開放状
態にしたものを用いている。高次モードのｋ2 は零次モ
ードに比べて大きな値を示す。
【００２７】図７は圧電磁器薄板１の異なる２つの電気
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面を電気的に短絡状態にし空気側板面にすだれ状電極２
を設けたものを用いている。
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面を電気的に短絡状態にし空気側板面にすだれ状電極２
を設けたものを用いている。
【００２８】図８は圧電磁器薄板１の異なる２つの電気
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面を電気的に開放状態にし空気側板面にすだれ状電極２
を設けたものを用いている。
的境界条件下での位相速度差から算出した実効的電気機
械結合係数ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図である。
但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板
面を電気的に開放状態にし空気側板面にすだれ状電極２
を設けたものを用いている。
【００２９】図３〜８より、１次以上のモードでは図１
の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面波の速度がガ
ラス基板３単体を伝搬する弾性表面波の速度と等しいと
きｋ2 が最大値を示すことがわかる。すだれ状電極２が
２種類の電極指を有することから図１の超音波タッチパ
ネルは２つの周波数による駆動が可能であるが、特に図
６の１次モードと２次モードの弾性表面波を利用するこ
とが最も有効であることが分かる。すなわち、図１の超
音波タッチパネルを設計する場合、圧電磁器薄板１のガ
ラス側板面にすだれ状電極２を設け空気側板面を電気的
に開放状態にし、すだれ状電極２の２つの電極周期長を
それぞれ１次モードおよび２次モードの弾性表面波の波
長に相応する値にすることが最も効果的である。
の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面波の速度がガ
ラス基板３単体を伝搬する弾性表面波の速度と等しいと
きｋ2 が最大値を示すことがわかる。すだれ状電極２が
２種類の電極指を有することから図１の超音波タッチパ
ネルは２つの周波数による駆動が可能であるが、特に図
６の１次モードと２次モードの弾性表面波を利用するこ
とが最も有効であることが分かる。すなわち、図１の超
音波タッチパネルを設計する場合、圧電磁器薄板１のガ
ラス側板面にすだれ状電極２を設け空気側板面を電気的
に開放状態にし、すだれ状電極２の２つの電極周期長を
それぞれ１次モードおよび２次モードの弾性表面波の波
長に相応する値にすることが最も効果的である。
【００３０】図９は１次モードにおけるｋ2 の最大値近
傍のｆｄ値（１．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す
特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板
１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状
態にあるものを用いている。また、ｆｄは弾性表面波の
周波数ｆと圧電磁器薄板１の厚さｄとの積を示す。Ｕ
1 ，Ｕ3 はそれぞれ水平成分、垂直成分の変位を示して
いる。縦軸は圧電磁器薄板１の厚さ（Ｘ3 ）方向の長さ
（深さ）を厚さｄで規格化したものである。本図におい
て深さ０は圧電磁器薄膜１とガラス基板３との界面を示
す。横軸はそれぞれの成分の変位を最大値（Ｕ1 2 ＋Ｕ3
2）1/2で規格化したものである。１次モードのガラス基
板３中の変位成分の割合は５８％である。
傍のｆｄ値（１．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す
特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板
１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放状
態にあるものを用いている。また、ｆｄは弾性表面波の
周波数ｆと圧電磁器薄板１の厚さｄとの積を示す。Ｕ
1 ，Ｕ3 はそれぞれ水平成分、垂直成分の変位を示して
いる。縦軸は圧電磁器薄板１の厚さ（Ｘ3 ）方向の長さ
（深さ）を厚さｄで規格化したものである。本図におい
て深さ０は圧電磁器薄膜１とガラス基板３との界面を示
す。横軸はそれぞれの成分の変位を最大値（Ｕ1 2 ＋Ｕ3
2）1/2で規格化したものである。１次モードのガラス基
板３中の変位成分の割合は５８％である。
【００３１】図１０は２次モードにおけるｋ2 の最大値
近傍のｆｄ値（２．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示
す特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄
板１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放
状態にあるものを用いている。２次モードのガラス基板
３中の変位成分の割合は５２％である。
近傍のｆｄ値（２．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示
す特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄
板１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放
状態にあるものを用いている。２次モードのガラス基板
３中の変位成分の割合は５２％である。
【００３２】図１１は３次モードにおけるｋ2 の最大値
近傍のｆｄ値（３．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示
す特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄
板１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放
状態にあるものを用いている。３次モードのガラス基板
３中の変位成分の割合は４７％である。
近傍のｆｄ値（３．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示
す特性図である。但し、圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄
板１のガラス側板面と空気側板面とが共に電気的に開放
状態にあるものを用いている。３次モードのガラス基板
３中の変位成分の割合は４７％である。
【００３３】図１２は零次モードにおけるｆｄ＝０．７
ＭＨｚ・ｍｍでの変位分布を示す特性図である。但し、
圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板面が電
気的に開放状態にあって空気側板面が電気的に短絡状態
にあるものを用いた。すだれ状電極２は空気側に設けら
れている。零次モードの波は圧電磁器薄板１の表面近傍
に集中している波であり、ｆｄ値が∞で圧電磁器薄板１
の表面波に収束する波である。
ＭＨｚ・ｍｍでの変位分布を示す特性図である。但し、
圧電磁器薄板１は、圧電磁器薄板１のガラス側板面が電
気的に開放状態にあって空気側板面が電気的に短絡状態
にあるものを用いた。すだれ状電極２は空気側に設けら
れている。零次モードの波は圧電磁器薄板１の表面近傍
に集中している波であり、ｆｄ値が∞で圧電磁器薄板１
の表面波に収束する波である。
【００３４】図９〜１２より、ガラス基板３へ弾性表面
波を励振するためには１次モードまたは２次以上の高次
モードの使用が有効であることがわかる。これはガラス
基板３中の変位成分が大きいモードの方が有効であるか
らである。
波を励振するためには１次モードまたは２次以上の高次
モードの使用が有効であることがわかる。これはガラス
基板３中の変位成分が大きいモードの方が有効であるか
らである。
【００３５】図１に示す超音波タッチパネルにおいてガ
ラス基板３に弾性表面波を励振する場合、圧電磁器薄板
１とガラス基板３との界面で音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を考慮する必要がある。反射
係数を最小にする手段としては、超音波タッチパネルに
おける表面波速度とガラス基板３単体の表面波速度とが
等しくなるように超音波タッチパネルを設計すること、
表面波の波長λに対する圧電磁器薄板１の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さくなるように超音波タッチパネルを設
計すること等が挙げられる。ｄ値が一定である場合には
３次よりは２次、２次よりは１次モードの方が有効であ
る。
ラス基板３に弾性表面波を励振する場合、圧電磁器薄板
１とガラス基板３との界面で音響インピーダンスの不整
合等によって生じる反射等を考慮する必要がある。反射
係数を最小にする手段としては、超音波タッチパネルに
おける表面波速度とガラス基板３単体の表面波速度とが
等しくなるように超音波タッチパネルを設計すること、
表面波の波長λに対する圧電磁器薄板１の厚さｄの割合
（ｄ／λ）が小さくなるように超音波タッチパネルを設
計すること等が挙げられる。ｄ値が一定である場合には
３次よりは２次、２次よりは１次モードの方が有効であ
る。
【００３６】図１３は本発明の超音波タッチパネルの第
２の実施例を示す平面図である。本実施例は１４個の超
音波デバイスＸ1，Ｘ2，Ｘ3，Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3，Ｙ1，Ｙ
2，Ｙ3，Ｙ4，Ｕ1，Ｕ2，Ｕ3，Ｕ4と、ガラス基板６
と、表示画面７（本図には描かれていない）とから成
る。表示画面７は表示装置の一部を成している。超音波
デバイスＸ1，Ｘ2，Ｘ3およびＹ1，Ｙ2，Ｙ3，Ｙ4は出
力用に用いられ、超音波デバイスＴ1，Ｔ2，Ｔ3および
Ｕ1，Ｕ2，Ｕ3，Ｕ4は入力用に用いられる。このように
して前記１４個の超音波デバイスから７組の超音波送受
波装置が構成されている。前記７組の超音波送受波装置
はガラス基板６上に設けられ、ガラス基板６はさらに表
示画面７上に設けられている。ガラス基板６は長さ７０
ｍｍ、幅５５ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのパイレックスガラ
スで成る。前記１４個の超音波デバイスは同一の材質か
ら成り、同一の形状を成し、同一の機能を果たす。
２の実施例を示す平面図である。本実施例は１４個の超
音波デバイスＸ1，Ｘ2，Ｘ3，Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3，Ｙ1，Ｙ
2，Ｙ3，Ｙ4，Ｕ1，Ｕ2，Ｕ3，Ｕ4と、ガラス基板６
と、表示画面７（本図には描かれていない）とから成
る。表示画面７は表示装置の一部を成している。超音波
デバイスＸ1，Ｘ2，Ｘ3およびＹ1，Ｙ2，Ｙ3，Ｙ4は出
力用に用いられ、超音波デバイスＴ1，Ｔ2，Ｔ3および
Ｕ1，Ｕ2，Ｕ3，Ｕ4は入力用に用いられる。このように
して前記１４個の超音波デバイスから７組の超音波送受
波装置が構成されている。前記７組の超音波送受波装置
はガラス基板６上に設けられ、ガラス基板６はさらに表
示画面７上に設けられている。ガラス基板６は長さ７０
ｍｍ、幅５５ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのパイレックスガラ
スで成る。前記１４個の超音波デバイスは同一の材質か
ら成り、同一の形状を成し、同一の機能を果たす。
【００３７】図１３の超音波タッチパネルにおける前記
１４個の超音波デバイスはそれぞれ圧電磁器薄板４およ
びすだれ状電極５から成る。圧電磁器薄板４は長さ１０
ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ２２０μｍのＴＤＫ製９１Ａ材
（製品名）で成る。すだれ状電極５はアルミニウム薄膜
で成る。すだれ状電極５は圧電磁器薄板４上に設けられ
ている。圧電磁器薄板４は厚さ約２０μｍのエポキシ系
樹脂によってガラス基板６上に固着されている。すだれ
状電極５は電極周期長が６２０μｍで５対の電極指と、
電極周期長が２９５μｍで５対の電極指とから成り、電
極交叉幅は５ｍｍである。
１４個の超音波デバイスはそれぞれ圧電磁器薄板４およ
びすだれ状電極５から成る。圧電磁器薄板４は長さ１０
ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ２２０μｍのＴＤＫ製９１Ａ材
（製品名）で成る。すだれ状電極５はアルミニウム薄膜
で成る。すだれ状電極５は圧電磁器薄板４上に設けられ
ている。圧電磁器薄板４は厚さ約２０μｍのエポキシ系
樹脂によってガラス基板６上に固着されている。すだれ
状電極５は電極周期長が６２０μｍで５対の電極指と、
電極周期長が２９５μｍで５対の電極指とから成り、電
極交叉幅は５ｍｍである。
【００３８】図１３に示す超音波タッチパネルの駆動
時、表示画面７には数種類の情報が同時に描かれてい
て、それらの情報は種類ごとに色分けされている。しか
も図１３の超音波タッチパネルには、入力用超音波デバ
イスから入力する電気信号の周波数と、その色分けされ
た情報とが対応するようなシステムが組み込まれてい
る。なお、表示画面７の情報はガラス基板６を介して見
られるようになっている。ガラス基板６上における７組
の超音波送受波装置によって構成される弾性表面波の伝
搬路、たとえば２つの超音波デバイスＸ1，Ｔ1間の領域
とＹ1，Ｕ1間の領域との交叉する領域が人指または物体
に接触されると、前記交叉領域を伝搬している弾性表面
波が減衰または消滅する。従って、それに伴って超音波
デバイスＸ1 のすだれ状電極５および超音波デバイスＹ
1 のすだれ状電極５に出力される電気信号も減衰または
消滅する。このようにして、ガラス基板６に人指または
物体が接触したことが感知されるばかりでなく、その位
置がＸ軸方向およびＹ軸方向の座標から読み取れる。し
かも、前記位置に対応する部分の表示画面７の情報を入
力することがガラス基板６の前記位置を接触することに
より可能となる。さらに、入力用超音波デバイスから入
力する電気信号の周波数を切り換える操作を行うことに
より、同一の位置のガラス基板６を接触することにより
表示画面７の該同一の位置における２種類の情報を入力
することも可能となる。すなわち、２種類の周波数を用
いれば同一の位置に示される２種類の情報の入力が可能
になる。
時、表示画面７には数種類の情報が同時に描かれてい
て、それらの情報は種類ごとに色分けされている。しか
も図１３の超音波タッチパネルには、入力用超音波デバ
イスから入力する電気信号の周波数と、その色分けされ
た情報とが対応するようなシステムが組み込まれてい
る。なお、表示画面７の情報はガラス基板６を介して見
られるようになっている。ガラス基板６上における７組
の超音波送受波装置によって構成される弾性表面波の伝
搬路、たとえば２つの超音波デバイスＸ1，Ｔ1間の領域
とＹ1，Ｕ1間の領域との交叉する領域が人指または物体
に接触されると、前記交叉領域を伝搬している弾性表面
波が減衰または消滅する。従って、それに伴って超音波
デバイスＸ1 のすだれ状電極５および超音波デバイスＹ
1 のすだれ状電極５に出力される電気信号も減衰または
消滅する。このようにして、ガラス基板６に人指または
物体が接触したことが感知されるばかりでなく、その位
置がＸ軸方向およびＹ軸方向の座標から読み取れる。し
かも、前記位置に対応する部分の表示画面７の情報を入
力することがガラス基板６の前記位置を接触することに
より可能となる。さらに、入力用超音波デバイスから入
力する電気信号の周波数を切り換える操作を行うことに
より、同一の位置のガラス基板６を接触することにより
表示画面７の該同一の位置における２種類の情報を入力
することも可能となる。すなわち、２種類の周波数を用
いれば同一の位置に示される２種類の情報の入力が可能
になる。
【００３９】図１４は図１３に示す超音波タッチパネル
をｒｆパルスを用いて駆動する場合の構成図である。入
力用すだれ状電極にｒｆパルスが印加されると出力用
すだれ状電極に電気信号が出力され、その電気信号
は増幅器によって増幅される。増幅器から出力された電
気信号は倍電圧整流器により直流電圧に変換され
る。このときガラス基板６上を触指した場合と触指しな
い場合とでは直流電圧に差が生じる。スレッシュホー
ルド電圧を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指
しない場合における直流電圧をコンパレータを使用す
ることによりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定で
きる。触指した場合の電圧は０Ｖであり、触指しない
場合の電圧は５Ｖであった。
をｒｆパルスを用いて駆動する場合の構成図である。入
力用すだれ状電極にｒｆパルスが印加されると出力用
すだれ状電極に電気信号が出力され、その電気信号
は増幅器によって増幅される。増幅器から出力された電
気信号は倍電圧整流器により直流電圧に変換され
る。このときガラス基板６上を触指した場合と触指しな
い場合とでは直流電圧に差が生じる。スレッシュホー
ルド電圧を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指
しない場合における直流電圧をコンパレータを使用す
ることによりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定で
きる。触指した場合の電圧は０Ｖであり、触指しない
場合の電圧は５Ｖであった。
【００４０】図１５は図１２に示す超音波タッチパネル
を遅延線発振器を形成して駆動する場合の構成図であ
る。該遅延線発振器では入力する電気信号の周波数をｆ
１（電極周期長６２０μｍに対応）またはｆ２（電極周
期長２９５μｍに対応）に設定するためのスイッチが設
けられていて、フィルタを使用した場合には周波数がｆ
１に設定される。入力用すだれ状電極に電気信号が入力
されると出力用すだれ状電極に電気信号が出力され増幅
器によって増幅される。増幅器から出力された電気信号
は倍電圧整流器により直流電圧に変換される。この
ときガラス基板６上を触指した場合と触指しない場合と
では直流電圧に差が生じる。スレッシュホールド電圧
を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指しない場
合における直流電圧をコンパレータを使用することに
よりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定できる。この
遅延線発振器による方法はパルス発生器が不要であるこ
とから装置のさらなる小型化が可能である。
を遅延線発振器を形成して駆動する場合の構成図であ
る。該遅延線発振器では入力する電気信号の周波数をｆ
１（電極周期長６２０μｍに対応）またはｆ２（電極周
期長２９５μｍに対応）に設定するためのスイッチが設
けられていて、フィルタを使用した場合には周波数がｆ
１に設定される。入力用すだれ状電極に電気信号が入力
されると出力用すだれ状電極に電気信号が出力され増幅
器によって増幅される。増幅器から出力された電気信号
は倍電圧整流器により直流電圧に変換される。この
ときガラス基板６上を触指した場合と触指しない場合と
では直流電圧に差が生じる。スレッシュホールド電圧
を適切な値に設定すれば、触指した場合と触指しない場
合における直流電圧をコンパレータを使用することに
よりそれぞれ２つの所定の値の電圧に設定できる。この
遅延線発振器による方法はパルス発生器が不要であるこ
とから装置のさらなる小型化が可能である。
【００４１】図１６は図１５に示す遅延線発振器におけ
る発振のスペクトルを示す特性図である。但し、入力す
る電気信号の周波数がｆ１のときのものである。ｆｏは
基本波を示し５．１１８６ＭＨｚである。図１３に示す
超音波タッチパネルを１次モードで設計していることか
ら、他のモードの影響を受けずに安定な発振を得られて
いる。また、表面波がほとんど広がることなく伝搬する
ことから、他の波の影響を受けずに容易に発振させるこ
とができる。
る発振のスペクトルを示す特性図である。但し、入力す
る電気信号の周波数がｆ１のときのものである。ｆｏは
基本波を示し５．１１８６ＭＨｚである。図１３に示す
超音波タッチパネルを１次モードで設計していることか
ら、他のモードの影響を受けずに安定な発振を得られて
いる。また、表面波がほとんど広がることなく伝搬する
ことから、他の波の影響を受けずに容易に発振させるこ
とができる。
【００４２】図１７および図１８は図１３に示す超音波
タッチパネルの入出力すだれ状電極間における周波数に
対する挿入損失と位相との関係を示す特性図である。但
し、入力する電気信号の周波数がｆ１のときのものを示
し、図１７はガラス基板６上を触指しない場合を、図１
８はガラス基板６上を触指した場合を示す。触指したこ
とにより挿入損失が−３６．２ｄＢから−４６．０ｄＢ
に約１０ｄＢ変化するとともに、位相の乱れが生じてい
ることが確認される。この挿入損失の変化はタッチパネ
ルの信号処理を行う上で十分な変化である。
タッチパネルの入出力すだれ状電極間における周波数に
対する挿入損失と位相との関係を示す特性図である。但
し、入力する電気信号の周波数がｆ１のときのものを示
し、図１７はガラス基板６上を触指しない場合を、図１
８はガラス基板６上を触指した場合を示す。触指したこ
とにより挿入損失が−３６．２ｄＢから−４６．０ｄＢ
に約１０ｄＢ変化するとともに、位相の乱れが生じてい
ることが確認される。この挿入損失の変化はタッチパネ
ルの信号処理を行う上で十分な変化である。
【００４３】
【発明の効果】本発明の超音波タッチパネルによれば、
超音波デバイスＡのすだれ状電極Ｐを入力用としすだれ
状電極Ｐから電気信号を入力する構造を採用することに
より、非圧電基板に弾性表面波を励振させることができ
る。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧電基板単
体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しくなるよう
な構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐから加え
られる電気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合
を大きくすることができるだけでなく、圧電薄板と非圧
電基板との界面での音響インピーダンスの不整合等によ
って生じる反射等を除去することができる。超音波デバ
イスＢのすだれ状電極Ｑを出力用とする構造を採用する
とともに、すだれ状電極ＰとＱとを弾性表面波の送受波
の指向軸が共通になるように互いに１対１に対を成すよ
うな構造を採用することにより、非圧電基板に励振され
ている弾性表面波をすだれ状電極Ｑから電気信号として
出力させることができる。すだれ状電極ＰおよびＱとし
て少なくとも２つの電極周期長Ｌ１およびＬ２を示す構
造を採用することにより、すだれ状電極Ｐに電極周期長
Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数の電気信号を入力
することができることから、非圧電基板に電極周期長Ｌ
１またはＬ２にほぼ等しい波長の弾性表面波を励振する
ことができる。また、非圧電基板に励振されている電極
周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する波長を有する弾性
表面波をすだれ状電極Ｑから電気信号として出力させる
ことができる。非圧電基板の板面における弾性表面波の
伝搬路の一部が人指または物体に接触されるとその弾性
表面波が消滅または減衰するから、それに伴ってすだれ
状電極Ｑに出力される電気信号も消滅または減衰する。
このようにして、本発明の超音波タッチパネルは低消費
電力で高電圧を用いること無しに効率良く弾性表面波を
非圧電基板に励振することができるだけでなく、応答時
間が短く感度も良い。
超音波デバイスＡのすだれ状電極Ｐを入力用としすだれ
状電極Ｐから電気信号を入力する構造を採用することに
より、非圧電基板に弾性表面波を励振させることができ
る。このときこの弾性表面波の位相速度が非圧電基板単
体における弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しくなるよう
な構造を採用することにより、すだれ状電極Ｐから加え
られる電気的エネルギーが弾性表面波に変換される度合
を大きくすることができるだけでなく、圧電薄板と非圧
電基板との界面での音響インピーダンスの不整合等によ
って生じる反射等を除去することができる。超音波デバ
イスＢのすだれ状電極Ｑを出力用とする構造を採用する
とともに、すだれ状電極ＰとＱとを弾性表面波の送受波
の指向軸が共通になるように互いに１対１に対を成すよ
うな構造を採用することにより、非圧電基板に励振され
ている弾性表面波をすだれ状電極Ｑから電気信号として
出力させることができる。すだれ状電極ＰおよびＱとし
て少なくとも２つの電極周期長Ｌ１およびＬ２を示す構
造を採用することにより、すだれ状電極Ｐに電極周期長
Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する周波数の電気信号を入力
することができることから、非圧電基板に電極周期長Ｌ
１またはＬ２にほぼ等しい波長の弾性表面波を励振する
ことができる。また、非圧電基板に励振されている電極
周期長Ｌ１またはＬ２にほぼ相応する波長を有する弾性
表面波をすだれ状電極Ｑから電気信号として出力させる
ことができる。非圧電基板の板面における弾性表面波の
伝搬路の一部が人指または物体に接触されるとその弾性
表面波が消滅または減衰するから、それに伴ってすだれ
状電極Ｑに出力される電気信号も消滅または減衰する。
このようにして、本発明の超音波タッチパネルは低消費
電力で高電圧を用いること無しに効率良く弾性表面波を
非圧電基板に励振することができるだけでなく、応答時
間が短く感度も良い。
【００４４】非圧電基板の超音波送受波装置を有しない
方の板面に少なくとも１種類の色で表示される表示装置
の表示画面を備え、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号
の周波数と表示画面の色とを対応させる構造を採用する
ことにより、表示画面の同一箇所に描かれた色別された
情報を入力することが周波数を切り換えることによって
可能になる。つまり、弾性表面波が励振された非圧電基
板の板面における前記箇所を周波数ごとに触指すること
によって入力することが可能になる。
方の板面に少なくとも１種類の色で表示される表示装置
の表示画面を備え、すだれ状電極Ｐに入力する電気信号
の周波数と表示画面の色とを対応させる構造を採用する
ことにより、表示画面の同一箇所に描かれた色別された
情報を入力することが周波数を切り換えることによって
可能になる。つまり、弾性表面波が励振された非圧電基
板の板面における前記箇所を周波数ごとに触指すること
によって入力することが可能になる。
【００４５】すだれ状電極の電極周期長すなわち弾性表
面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合（ｄ／
λ）をできるだけ小さくし、すだれ状電極の電極周期長
を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波の波
長にほぼ等しくする構造を採用することにより、すだれ
状電極から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に
変換される度合を大きくすることができるだけでなく、
圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピーダンス
および場の不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。なお、圧電薄板の厚さｄを一定にする構造
を採用するならば、すだれ状電極の電極周期長を３次よ
りは２次、２次よりは１次モードの弾性表面波の波長に
ほぼ等しくする構造を併用することにより効果が増大す
る。
面波の波長λに対する圧電薄板の厚さｄの割合（ｄ／
λ）をできるだけ小さくし、すだれ状電極の電極周期長
を１次モードまたは２次以上のモードの弾性表面波の波
長にほぼ等しくする構造を採用することにより、すだれ
状電極から加えられる電気的エネルギーが弾性表面波に
変換される度合を大きくすることができるだけでなく、
圧電薄板と非圧電基板との界面での音響インピーダンス
および場の不整合等によって生じる反射等を除去するこ
とができる。なお、圧電薄板の厚さｄを一定にする構造
を採用するならば、すだれ状電極の電極周期長を３次よ
りは２次、２次よりは１次モードの弾性表面波の波長に
ほぼ等しくする構造を併用することにより効果が増大す
る。
【００４６】圧電薄板として圧電セラミック、ＰＶＤＦ
その他の高分子圧電フィルムを採用することにより、非
圧電基板に効率よく１次モードまたは２次以上のモード
の弾性表面波を励振することができる。圧電セラミック
はその分極軸の方向を厚さ方向と一致させる構造を採用
することにより、非圧電基板に効率よく１次モードまた
は２次以上のモードの弾性表面波を励振することができ
る。
その他の高分子圧電フィルムを採用することにより、非
圧電基板に効率よく１次モードまたは２次以上のモード
の弾性表面波を励振することができる。圧電セラミック
はその分極軸の方向を厚さ方向と一致させる構造を採用
することにより、非圧電基板に効率よく１次モードまた
は２次以上のモードの弾性表面波を励振することができ
る。
【００４７】すだれ状電極を圧電薄板と非圧電基板との
界面に設けた構造を採用することにより、すだれ状電極
に加えられる電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に
変換することができる。
界面に設けた構造を採用することにより、すだれ状電極
に加えられる電気的エネルギーを効率よく弾性表面波に
変換することができる。
【００４８】超音波送受波装置を非圧電基板の一方の板
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板に触指したことが感知されるばかりでなく、
触指部分の特定ができる。これは超音波送受波装置の数
が多い程きめ細かな特定が可能となる。従って、すだれ
状電極Ｐに入力する電気信号の周波数を切り換えること
により前記表示装置の表示画面に描かれた情報を入力す
る場合、その表示画面の情報密度の向上を図ることが可
能となる。すなわち、触指部分のより細かな特定が可能
なことから、より大容量の情報の入力が可能となる。
面に少なくとも２つ設ける構造を採用し、しかも一方の
前記超音波送受波装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間
の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超音波送受波
装置における超音波デバイスＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝
搬路とを互いに直交させる構造を採用することにより、
非圧電基板に触指したことが感知されるばかりでなく、
触指部分の特定ができる。これは超音波送受波装置の数
が多い程きめ細かな特定が可能となる。従って、すだれ
状電極Ｐに入力する電気信号の周波数を切り換えること
により前記表示装置の表示画面に描かれた情報を入力す
る場合、その表示画面の情報密度の向上を図ることが可
能となる。すなわち、触指部分のより細かな特定が可能
なことから、より大容量の情報の入力が可能となる。
【図１】本発明の超音波タッチパネルの第１の実施例を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】すだれ状電極２の平面図。
【図３】図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面
波の速度分散曲線を示す特性図。
波の速度分散曲線を示す特性図。
【図４】図１の超音波タッチパネルを伝搬する弾性表面
波の速度分散曲線を示す特性図。
波の速度分散曲線を示す特性図。
【図５】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条件
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図６】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条件
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図７】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条件
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図８】圧電磁器薄板１の異なる２つの電気的境界条件
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
下での位相速度差から算出した実効的電気機械結合係数
ｋ2 とｋｄ値との関係を示す特性図。
【図９】１次モードにおけるｋ2 の最大値近傍のｆｄ値
（１．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
（１．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
【図１０】２次モードにおけるｋ2 の最大値近傍のｆｄ
値（２．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
値（２．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
【図１１】３次モードにおけるｋ2 の最大値近傍のｆｄ
値（３．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
値（３．０ＭＨｚ・ｍｍ）での変位分布を示す特性図。
【図１２】零次モードにおけるｆｄ＝０．７ＭＨｚ・ｍ
ｍでの変位分布を示す特性図。
ｍでの変位分布を示す特性図。
【図１３】本発明の超音波タッチパネルの第２の実施例
を示す平面図。
を示す平面図。
【図１４】図１３に示す超音波タッチパネルをｒｆパル
スを用いて駆動する場合の構成図。
スを用いて駆動する場合の構成図。
【図１５】図１３に示す超音波タッチパネルを遅延線発
振器を形成して駆動する場合の構成図。
振器を形成して駆動する場合の構成図。
【図１６】図１５に示す遅延線発振器における発振のス
ペクトルを示す特性図。
ペクトルを示す特性図。
【図１７】図１３に示す超音波タッチパネルの入出力す
だれ状電極間における周波数に対する挿入損失と位相と
の関係を示す特性図。
だれ状電極間における周波数に対する挿入損失と位相と
の関係を示す特性図。
【図１８】図１３に示す超音波タッチパネルの入出力す
だれ状電極間における周波数に対する挿入損失と位相と
の関係を示す特性図。
だれ状電極間における周波数に対する挿入損失と位相と
の関係を示す特性図。
１ 圧電磁器薄板 ２ すだれ状電極 ３ ガラス基板 ４ 圧電磁器薄板 ５ すだれ状電極 ６ ガラス基板 ７ 表示画面 Ａ，Ｂ 超音波デバイス Ｘ1，Ｘ2，Ｘ3 超音波デバイス Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3 超音波デバイス Ｙ1，Ｙ2，Ｙ3，Ｙ4 超音波デバイス Ｕ1，Ｕ2，Ｕ3，Ｕ4 超音波デバイス
Claims (8)
- 【請求項１】 超音波デバイスＡおよびＢで成る超音波
送受波装置を非圧電基板の一方の板面に少なくとも１つ
設けて成る超音波タッチパネルにおいて、 前記超音波デバイスＡは圧電薄板ａに少なくとも１組の
すだれ状電極Ｐを備えて成り、前記超音波デバイスＢは
圧電薄板ｂに少なくとも１組のすだれ状電極Ｑを備えて
成り、 前記すだれ状電極ＰおよびＱにおける電極周期長には少
なくともＬ１とＬ２との２つが有り、 前記すだれ状電極Ｐに前記電極周期長Ｌ１またはＬ２に
ほぼ相応する周波数の電気信号を入力し、前記非圧電基
板の前記一方の板面に前記電極周期長Ｌ１またはＬ２に
ほぼ等しい波長の弾性表面波を励振する手段と、 前記非圧電基板に励振された該弾性表面波の波長に応じ
て前記すだれ状電極Ｑに現れる電気信号を出力する手段
とが設けてあり、 前記非圧電基板の前記一方の板面における前記弾性表面
波の伝搬路の一部に人指または物体が接触したことを、
前記すだれ状電極Ｑに出力される前記電気信号の大きさ
から感知することを特徴とする超音波タッチパネル。 - 【請求項２】 前記非圧電基板のもう一方の板面に少な
くとも１種類の色で表示される表示装置の表示画面が備
えられていて、 前記すだれ状電極Ｐに入力する電気信号の周波数と前記
表示画面の前記色とを対応させる手段が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波タッチパネ
ル。 - 【請求項３】 前記圧電薄板ａまたはｂの厚さは前記す
だれ状電極ＰまたはＱの電極周期長以下であって、 前記すだれ状電極ＰまたはＱの電極周期長は１次モード
または２次以上のモードの弾性表面波の波長にほぼ等し
いことを特徴とする請求項１または２に記載の超音波タ
ッチパネル。 - 【請求項４】 前記１次モードまたは２次以上の前記モ
ードの弾性表面波の位相速度は前記非圧電基板単体に励
振される弾性表面波の伝搬速度にほぼ等しいことを特徴
とする請求項３に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項５】 前記圧電薄板ａまたはｂが圧電セラミッ
クで成り、該圧電セラミックの分極軸の方向は該圧電セ
ラミックの厚さ方向と平行であることを特徴とする請求
項１，２，３または４に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項６】 前記圧電薄板ａまたはｂがＰＶＤＦその
他の高分子圧電フィルムで成ることを特徴とする請求項
１，２，３または４に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項７】 前記圧電薄板ａまたはｂは前記すだれ状
電極ＰまたはＱが設けられている方の板面を介して前記
非圧電基板に固着されていることを特徴とする請求項
１，２，３，４，５または６に記載の超音波タッチパネ
ル。 - 【請求項８】 前記超音波送受波装置が前記非圧電基板
の前記一方の板面に少なくとも２つ設けてあり、 一方の前記超音波送受波装置における前記超音波デバイ
スＡ，Ｂ間の弾性表面波の伝搬路と、もう一方の前記超
音波送受波装置における前記超音波デバイスＡ，Ｂ間の
弾性表面波の伝搬路とが互いに直交していることを特徴
とする請求項１から７までに記載の超音波タッチパネ
ル。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21833892A JPH0643996A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 超音波タッチパネル |
| PCT/JP1993/001028 WO1994002911A1 (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| US08/374,599 US5717434A (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| EP93916211A EP0651902A1 (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| AU45851/93A AU4585193A (en) | 1992-07-24 | 1993-07-23 | Ultrasonic touch system |
| TW83100428A TW230855B (ja) | 1992-07-24 | 1994-01-19 | |
| CN94100323A CN1092918A (zh) | 1992-07-24 | 1994-01-22 | 超声波触摸系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21833892A JPH0643996A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 超音波タッチパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0643996A true JPH0643996A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16718304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21833892A Pending JPH0643996A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 超音波タッチパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643996A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675600A1 (en) * | 1994-03-30 | 1995-10-04 | The Whitaker Corporation | Reflective mode ultrasonic touch sensitive switch |
| US10302572B2 (en) | 2011-12-16 | 2019-05-28 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Reagent card alignment system |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP21833892A patent/JPH0643996A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675600A1 (en) * | 1994-03-30 | 1995-10-04 | The Whitaker Corporation | Reflective mode ultrasonic touch sensitive switch |
| US10302572B2 (en) | 2011-12-16 | 2019-05-28 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Reagent card alignment system |
| US10900910B2 (en) | 2011-12-16 | 2021-01-26 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Reagent card alignment method for sample dispensing |
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