JPH0635954U - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料室内の圧力を急激に上昇させたり、低下
させないようにして分析に支障が生じないようにした蛍
光Ｘ線分析装置を提供すること。 【構成】 試料室１と真空ポンプ１６との間を接続する
排気流路１５に、開閉弁１９を備えた第１大気開放流路
１７と、開閉弁２０と絞り装置２１とを直列に接続した
第２大気開放流路１８とを互いに並列に接続し、前記試
料室１内の排気または給気が滑らかに行われるように構
成した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、試料に対して一次Ｘ線を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線の強 度に基づいて試料中に含まれる成分の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析装置に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

例えばエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置においては、真空引きが可能なかつ 試料の出し入れができるように開閉自在に構成された試料室内に試料を配置し、 この試料にその下方からＸ線を照射するようにしている。

【０００３】 図２は一般的な蛍光Ｘ線分析装置の構成を示すもので、この図において、１は 試料室で、真空引きが可能なかつ試料の出し入れができるように開閉自在に構成 されている。２は試料励起台で、その上部には開口３を備えた試料載置部４が形 成されている。５は試料で、例えば固体試料である。

【０００４】 前記試料励起台２の下方には、一次Ｘ線６を開口３を介して試料５に向けて発 するＸ線源７と、一次Ｘ線６の試料５への照射により試料５から放出される蛍光 Ｘ線８を検出するＸ線検出器９とが設けられている。１０は波高弁別器１１、演 算器１２、表示器１３などよりなる演算表示部である。

【０００５】 上記構成の装置によれば、試料励起台２の上部に形成された試料載置部４に試 料５を載置したした状態で、Ｘ線源７からの一次Ｘ線６を試料５に対して照射す ると、試料５からは蛍光Ｘ線８が放出され、この蛍光Ｘ線８をＸ線検出器９で検 出し、さらに、Ｘ線検出器９の検出出力を演算表示部１０において処理すること により、試料５中に含まれる成分の量を測定することができる。

【０００６】 このように、前記構成の蛍光Ｘ線分析装置によれば、試料５中に含まれる成分 の量を測定することができるが、成分によっては発生する蛍光Ｘ線のエネルギー の弱いものがあり、蛍光Ｘ線８が通過するパス１４に空気が存在しているような 場合、前記蛍光Ｘ線が吸収を受けて、精度の高い測定が行えなくなる。

【０００７】 そこで、従来においては、固体試料や試料セル内に収容された粒体試料の測定 に際しては、試料室１内を適宜の真空に保持し、その状態で前記測定を行ってい た。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

この場合、留意しなければならないことは、試料室１を大気状態から真空状態 にする場合、真空度を急激に上げたり、また、真空状態になっている試料室１内 を急激に大気状態に戻すようにしないことが肝要である。それは、このように試 料室１内の圧力が急激に変化すると、粒体試料が試料セルから飛び出したり、ま た、比較的軽量の固体試料の場合、試料載置部におけるセット位置が変わり、そ のため一次Ｘ線の照射を受けられなくなってしまうなどの不都合があるからであ る。

【０００９】 本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的とするところは、 試料室内の圧力を急激に上昇させたり、低下させないようにして分析に支障が生 じないようにした蛍光Ｘ線分析装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置は、試料室と真空ポ ンプとの間を接続する排気流路に、開閉弁を備えた第１大気開放流路と、開閉弁 と絞り装置とを直列に接続した第２大気開放流路とを互いに並列に接続し、前記 試料室内の排気または給気が滑らかに行われるように構成されている。

【００１１】

【作用】

例えば試料室内を大気状態から真空にする場合、第１大気開放流路に設けられ た開閉弁を閉じた状態で真空ポンプをオンし、その後暫くして第２大気開放流路 に設けられた開閉弁を閉じる。このようにすることにより、真空引きを開始して 暫くの間は、第２大気開放流路に設けた絞り装置を介して僅かながら大気が試料 室内に流れ込むので、急激な排気ではなく、緩やかな排気（スローバキューム） が行われる。そして、前記第２大気開放流路に設けられた開閉弁を閉じることに より、所定の排気が行われ、結果的に、試料室内の排気が滑らかに行われる。

【００１２】 一方、真空状態にある試料室内を大気状態に戻す場合、真空ポンプを停止した 状態に保つと共に、第２大気開放流路に設けられた開閉弁を開き、その後暫くし て第１大気開放流路に設けられた開閉弁を開く。このようにすることにより、給 気開始から暫くの間は急激な給気ではなく、緩やかな給気（スローリーク）が行 われる。そして、第１大気開放流路に設けられた開閉弁を開くことにより、所定 の給気が行われ、結果的に、試料室内の給気が滑らかに行われる。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案の実施例を、図面に基づいて説明する。

【００１４】 図１は本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置の給・排気系統を概略的に示す図で、こ の図において、１５は試料室１に接続された排気流路で、真空ポンプ１６を備え ている。この真空ポンプ１６の他端側は例えば大気開放されており、また、図外 のコントローラによってオンオフ制御される。

【００１５】 １７，１８は試料室１と真空ポンプ１６との間の排気流路１５に対し接続され る互いに並列な流路で、真空ポンプ１６に近い流路１７（以下、第１大気開放流 路１７と云う）には、開閉弁１９が介装され、その他端は大気開放されている。 また、試料室１により近い流路１８（以下、第２大気開放流路１８と云う）には 、開閉弁２０と絞り装置２１とが直列に接続された状態で介装され、その他端側 は大気開放されている。

【００１６】 前記開閉弁１９，２０としては例えば電磁弁が用いられ、前記コントローラで 開閉制御される。また、絞り装置２１としてはニードル弁またはキャピラリが用 いられ、流量を例えば１／１０程度に絞り込むことができる。

【００１７】 次に、上述のように構成された蛍光Ｘ線分析装置の動作について説明すると、 例えば試料室１内を大気状態から真空にする場合、第１大気開放流路１７に設け られた開閉弁１９を閉じた状態で真空ポンプ１６をオンし、その後暫くして第２ 大気開放流路１８に設けられた開閉弁２０を閉じる。このようにすることにより 、真空引きを開始して暫くの間は、第２大気開放流路１８に設けられた絞り装置 ２１を介して僅かながら大気が試料室１内に流れ込むので、急激な排気ではなく 、スローバキュームが行われる。そして、前記真空ポンプ１６をオンしてから例 えば５〜６秒経過後に、第２大気開放流路１８に設けられた開閉弁２０を閉じる ことにより、所定の排気が行われ、結果的に、試料室１内の排気が滑らかに行わ れる。

【００１８】 一方、真空状態にある試料室１内を大気状態に戻す場合、真空ポンプ１６を停 止した状態に保つと共に、第２大気開放流路１８に設けられた開閉弁２０を開き 、その後暫くして第１大気開放流路１７に設けられた開閉弁１９を開く。このよ うにすることにより、給気開始から暫くの間は急激な給気ではなく、スローリー クが行われる。そして、前記開閉弁２０の開いて後、例えば５〜６秒経過後に、 第１大気開放流路１７の開閉弁１９を開くことにより、所定の給気が行われ、結 果的に、試料室１内の給気が滑らかに行われる。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、試料室内を真空にしたり、大気状態に 戻すような場合に、その内部圧力が急激に上昇したり、低下することがなくなる 。従って、試料室内に配置された固体試料が不用意に移動したり、試料セル内の 粒体試料が飛散すると云ったことがなくなり、測定に支障が生ずることがなくな る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置の排気系統を概
略的に示す図である。

【図２】一般的な蛍光Ｘ線分析装置の構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…試料室、５…試料、６…一次Ｘ線、８…蛍光Ｘ線、
１５…排気流路、１６…真空ポンプ、１７…第１大気開
放流路、１８…第２大気開放流路、１９，２０…開閉
弁、２１…絞り装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空ポンプによって真空引きされる試料
   室内に設けられた試料に対して一次Ｘ線を照射し、その
   とき試料から放出される蛍光Ｘ線の強度に基づいて試料
   中に含まれる成分分析を行うようにした蛍光Ｘ線分析装
   置において、前記試料室と真空ポンプとの間を接続する
   排気流路に、開閉弁を備えた第１大気開放流路と、開閉
   弁と絞り装置とを直列に接続した第２大気開放流路とを
   互いに並列に接続し、前記試料室内の排気または給気が
   滑らかに行われるように構成したことを特徴とする蛍光
   Ｘ線分析装置。