JPH0240519A - ガス洩れ検査装置 - Google Patents
ガス洩れ検査装置Info
- Publication number
- JPH0240519A JPH0240519A JP19240288A JP19240288A JPH0240519A JP H0240519 A JPH0240519 A JP H0240519A JP 19240288 A JP19240288 A JP 19240288A JP 19240288 A JP19240288 A JP 19240288A JP H0240519 A JPH0240519 A JP H0240519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- tube
- leak
- atmosphere
- leak testing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 17
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 93
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 23
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 23
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- -1 helium ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 241000219122 Cucurbita Species 0.000 description 2
- 235000009852 Cucurbita pepo Nutrition 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 241001494479 Pecora Species 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002371 helium Chemical class 0.000 description 1
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は例えばカーヒータ、コンデンサ、コンプレッサ
電子部品、熱交換機等の気密を要する機器を被試験体と
するガス洩れ検査装置に関する。
電子部品、熱交換機等の気密を要する機器を被試験体と
するガス洩れ検査装置に関する。
上述のような機器の気密性すなわちガス洩れを検査する
装置としてガス洩れ検査用ガス、例えばヘリウムガスを
密閉状態にある被試験体内に供給し、洩れ検査用チー−
プの一端をこの被試験体の外面に近接して移動させ、こ
の洩れ検査用チｈ−ブの他端から排出されるガスを受け
て該ガス中におけるガス洩れ検査用ガス、即ちヘリウム
の分圧又は濃度を分析器により検出し、これによ）ガス
洩れの部位を検査する装置、いわゆるスニファ法を利用
する装置はよく知られている。
装置としてガス洩れ検査用ガス、例えばヘリウムガスを
密閉状態にある被試験体内に供給し、洩れ検査用チー−
プの一端をこの被試験体の外面に近接して移動させ、こ
の洩れ検査用チｈ−ブの他端から排出されるガスを受け
て該ガス中におけるガス洩れ検査用ガス、即ちヘリウム
の分圧又は濃度を分析器により検出し、これによ）ガス
洩れの部位を検査する装置、いわゆるスニファ法を利用
する装置はよく知られている。
第５図は俤来例を示すものであるが被試験体＋１３は密
閉状態にあり、この内部にヘリウムボンベ（２）から、
ｆ−ｚ−プ（３）を介してヘリウムガスが大気圧より誦
い圧力で供給されている。従って仮〕にある部位に洩れ
があるとすればそこからこの被試験体（１）に注入され
ているヘリウムガスは洩れる。これをフレキシブルな細
い管でなるプローブノズル（４）を近接させながら移動
させている時に、このヘリウムが導入され、このノズル
（４）の他端に接続されるリークディテクタ（５）によ
り導入ヘリウムの分圧又は濃度が分析され、この検出値
により洩れの部位が検査する事が出来る。第６図はこの
リークディテクタ（５）の詳細を示すものであるが、プ
ローグノズル（４）から導入されたガスは真空分析管（
６）の上流側端部に配設されるイオンソース（７）内に
導びかれ、こ＼でイオン化され、即ちヘリウムイオンと
なって他のガスもイオン化され、これが分析管（６）内
のイオン通路に沿って配設された電極偏向板（９）の開
口を通って、そのイオン電荷量と質量とにより図に示す
ような各軌跡に浴って走行しマグネット（８）により、
この磁場のいわゆるローレンツ力を受けて図示するよう
に偏向し、ヘリウムイオンだけがイオンコレクタＱＯに
よりコレクトされて、これがプリアンプ（６）により増
巾され、更に直流増巾器□□□により増巾され指示用計
器（６）で検査している部位にガス洩れがあるかどうか
、すなわちヘリウムガスが出ているかどうかを検査する
ようにしている。
閉状態にあり、この内部にヘリウムボンベ（２）から、
ｆ−ｚ−プ（３）を介してヘリウムガスが大気圧より誦
い圧力で供給されている。従って仮〕にある部位に洩れ
があるとすればそこからこの被試験体（１）に注入され
ているヘリウムガスは洩れる。これをフレキシブルな細
い管でなるプローブノズル（４）を近接させながら移動
させている時に、このヘリウムが導入され、このノズル
（４）の他端に接続されるリークディテクタ（５）によ
り導入ヘリウムの分圧又は濃度が分析され、この検出値
により洩れの部位が検査する事が出来る。第６図はこの
リークディテクタ（５）の詳細を示すものであるが、プ
ローグノズル（４）から導入されたガスは真空分析管（
６）の上流側端部に配設されるイオンソース（７）内に
導びかれ、こ＼でイオン化され、即ちヘリウムイオンと
なって他のガスもイオン化され、これが分析管（６）内
のイオン通路に沿って配設された電極偏向板（９）の開
口を通って、そのイオン電荷量と質量とにより図に示す
ような各軌跡に浴って走行しマグネット（８）により、
この磁場のいわゆるローレンツ力を受けて図示するよう
に偏向し、ヘリウムイオンだけがイオンコレクタＱＯに
よりコレクトされて、これがプリアンプ（６）により増
巾され、更に直流増巾器□□□により増巾され指示用計
器（６）で検査している部位にガス洩れがあるかどうか
、すなわちヘリウムガスが出ているかどうかを検査する
ようにしている。
第５図の装置により確かにガス洩れを検査する事が出来
るのであるが、プローブノズル（４）に導入されるガス
中において検知すべきヘリウムのガス濃度が低くて洩れ
があったとしても非常に感度が低い。従って洩れの部位
を誤って検知する場合がある。即ち時間遅れや雑音とし
てのバックグランドガスの影響を受は易い。
るのであるが、プローブノズル（４）に導入されるガス
中において検知すべきヘリウムのガス濃度が低くて洩れ
があったとしても非常に感度が低い。従って洩れの部位
を誤って検知する場合がある。即ち時間遅れや雑音とし
てのバックグランドガスの影響を受は易い。
第７図は他従来例を示すものであるが、本装置によれば
７レキシプルな細管（７）の先端部が被試験体（１）（
第４図に比べ一部を拡大断面図で示す）の外面に近接し
て移動されるのは同様であるがこの他端はポンプ１２Ｈ
に接続されている。このポンプ＋２１Ｊは主として容器
の内にモレキ為う−シーブ（多孔性吸着剤）Ｃ２４を充
填させたボンベのを配設し、これを液体窒素面で冷却し
てなるものである。細管（１）を通って導入されたヘリ
ウムを含むガスはこのモレキエラーシープ＋２４１によ
り選択的に下流側の導管のへと導びかれこの他端がリー
クディテクタ四に接続されている。このリークディテク
タ■は第６図に示すものと同様なものでよい。本装置に
よれば第５図の従来例の欠点を除去するものである。
７レキシプルな細管（７）の先端部が被試験体（１）（
第４図に比べ一部を拡大断面図で示す）の外面に近接し
て移動されるのは同様であるがこの他端はポンプ１２Ｈ
に接続されている。このポンプ＋２１Ｊは主として容器
の内にモレキ為う−シーブ（多孔性吸着剤）Ｃ２４を充
填させたボンベのを配設し、これを液体窒素面で冷却し
てなるものである。細管（１）を通って導入されたヘリ
ウムを含むガスはこのモレキエラーシープ＋２４１によ
り選択的に下流側の導管のへと導びかれこの他端がリー
クディテクタ四に接続されている。このリークディテク
タ■は第６図に示すものと同様なものでよい。本装置に
よれば第５図の従来例の欠点を除去するものである。
即ち感度を向上させることができる。モレキエラーシー
ブ四によりヘリウム以外の他のガスをこれに吸着させる
事により、相対的にヘリウムガスの濃度が上昇し、これ
により感度を上昇させる事が出来る。しかしながら、こ
の装置によれば高価な液体窒素を使い又、モレキエラー
シープ（２４１等の特別な材料を必要とするので装置全
体は高価なものとなる。更にそレキ具う−シープｃ！４
）を通してヘリウムをリークディテクタ＠に供給するた
めに時定数が大きくなる。例えば２０〜３０秒となシ、
シかもこの時定数が調整出来ない欠点がある。特に、感
度が上昇したとしても細管−をある場所から次の場所へ
移動させる場合、時定数が長いと、測定に時間がか＼り
すぎ大きな欠点となる。
ブ四によりヘリウム以外の他のガスをこれに吸着させる
事により、相対的にヘリウムガスの濃度が上昇し、これ
により感度を上昇させる事が出来る。しかしながら、こ
の装置によれば高価な液体窒素を使い又、モレキエラー
シープ（２４１等の特別な材料を必要とするので装置全
体は高価なものとなる。更にそレキ具う−シープｃ！４
）を通してヘリウムをリークディテクタ＠に供給するた
めに時定数が大きくなる。例えば２０〜３０秒となシ、
シかもこの時定数が調整出来ない欠点がある。特に、感
度が上昇したとしても細管−をある場所から次の場所へ
移動させる場合、時定数が長いと、測定に時間がか＼り
すぎ大きな欠点となる。
本発明は上記問題に鑑みてなされ、検査感度を向上させ
、検査のための時定数を任意に設定可能なガス洩れ検査
装置を提供することを目的とする。
、検査のための時定数を任意に設定可能なガス洩れ検査
装置を提供することを目的とする。
上記目的は、ガス洩れ検査用ガスを密閉状態にある被試
験体内に供給し、洩れ検査用チ瓢−ブの一端を前記被試
験体の外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チー−プ
の他端から排出されるガスを受けて、該ガス中における
前記ガス洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析する分析
器を設けたガス洩れ検査装置において、前記洩れ検査用
チ−ブの途中に大気導入用チェーブを連通して接続し、
前記洩れ検査用チューブの前記一端から前記他端までの
フローコンダクタンスと前記大気導入用チエ−１の大気
導入口から前記他端までのフローコンダクタンスとをは
ソ等しくシ、前記接続位置よシ前記一端側で第１電磁弁
を前記洩れ検査用チ凰−プ中罠設け、前記大気導入口側
で第２電磁弁を前記大気導入用チー−ブ中和設けて、前
記第１電磁弁と前記第２電磁弁とを所定時間毎に交互に
開閉し、これに応じて前記分析器に前記洩れ検査用チュ
ーブの一端から導入されるガスと前記大気導入用チー−
プの大気導入口から導入される大気とを交互に供給して
、該分析器によ）検出される前記ガス洩れ検査用ガスの
分圧または濃度を前記所定時間毎の導入ガスと導入大気
との間で減算し、該減算結果′を前記所定時間の開閉の
所定回数分、積分することにより前記被試験体のガス洩
れを検査するようにしたことを特徴とするガス洩れ検査
装置によって達成される。
験体内に供給し、洩れ検査用チ瓢−ブの一端を前記被試
験体の外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チー−プ
の他端から排出されるガスを受けて、該ガス中における
前記ガス洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析する分析
器を設けたガス洩れ検査装置において、前記洩れ検査用
チ−ブの途中に大気導入用チェーブを連通して接続し、
前記洩れ検査用チューブの前記一端から前記他端までの
フローコンダクタンスと前記大気導入用チエ−１の大気
導入口から前記他端までのフローコンダクタンスとをは
ソ等しくシ、前記接続位置よシ前記一端側で第１電磁弁
を前記洩れ検査用チ凰−プ中罠設け、前記大気導入口側
で第２電磁弁を前記大気導入用チー−ブ中和設けて、前
記第１電磁弁と前記第２電磁弁とを所定時間毎に交互に
開閉し、これに応じて前記分析器に前記洩れ検査用チュ
ーブの一端から導入されるガスと前記大気導入用チー−
プの大気導入口から導入される大気とを交互に供給して
、該分析器によ）検出される前記ガス洩れ検査用ガスの
分圧または濃度を前記所定時間毎の導入ガスと導入大気
との間で減算し、該減算結果′を前記所定時間の開閉の
所定回数分、積分することにより前記被試験体のガス洩
れを検査するようにしたことを特徴とするガス洩れ検査
装置によって達成される。
又は、ガス洩れ検査用ガス供給源を密閉状態にある被試
験体の供給口に接続し、洩れ検査用チーープの一端を前
記被試験体の外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チ
ェーブの他端から排出されるガスを受けて、該ガス中に
おける前記ガス洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析す
る分析器を設けたガス洩れ検査装置において、前記ガス
洩れ検査用ガス供給源と前記被試験体の供給口との間に
電磁弁を設け、これを所定時間毎に開閉し、該所定時間
の開弁中と閉弁中とにおいて各々前記分析定時間の開閉
の所定回数分、積分することにより前記被試験体のガス
洩れを検査するようにしたことを特徴とするガス洩れ検
査装置によって達成される。
験体の供給口に接続し、洩れ検査用チーープの一端を前
記被試験体の外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チ
ェーブの他端から排出されるガスを受けて、該ガス中に
おける前記ガス洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析す
る分析器を設けたガス洩れ検査装置において、前記ガス
洩れ検査用ガス供給源と前記被試験体の供給口との間に
電磁弁を設け、これを所定時間毎に開閉し、該所定時間
の開弁中と閉弁中とにおいて各々前記分析定時間の開閉
の所定回数分、積分することにより前記被試験体のガス
洩れを検査するようにしたことを特徴とするガス洩れ検
査装置によって達成される。
〔作 用〕
ガス洩れがないときには、洩れ検査用チ凰−プから導入
されたガス、すなわち大気ガスが分析器に供給される。
されたガス、すなわち大気ガスが分析器に供給される。
大気導入用チー−ブを通って分析器に供給される大気ガ
スとは７ａ−コンダクタンスが同一であるので、分析す
べきガス成分の分圧又は濃度ははｙ同一である。すなわ
ちバックグランドとしての大気ガスにおける分析すべき
ガス成分の分圧又は濃度は時々刻々変化するものである
が時間的に平均すると一定のレベルから見て正負がはゾ
等しく混在しているので互いに打ち消し合って零となる
。
スとは７ａ−コンダクタンスが同一であるので、分析す
べきガス成分の分圧又は濃度ははｙ同一である。すなわ
ちバックグランドとしての大気ガスにおける分析すべき
ガス成分の分圧又は濃度は時々刻々変化するものである
が時間的に平均すると一定のレベルから見て正負がはゾ
等しく混在しているので互いに打ち消し合って零となる
。
従って、ガス洩れがある場合における、このガス分圧又
は濃度は減算結果として、上下に変化するが、所定時間
の第１、第２電磁弁の開閉の一すイクル分の減算結果を
何回か積分すると、バックグランドの変化は殆んど無視
することができ、正確にガス洩れを検査することができ
る。この積分時間（時定数）が長いほどＳハ比は高いも
のとすることができる。
は濃度は減算結果として、上下に変化するが、所定時間
の第１、第２電磁弁の開閉の一すイクル分の減算結果を
何回か積分すると、バックグランドの変化は殆んど無視
することができ、正確にガス洩れを検査することができ
る。この積分時間（時定数）が長いほどＳハ比は高いも
のとすることができる。
また、ガス洩れ検査用ガス供給源と被試験体の供給口と
の間に電磁弁を設け、これを所定時間毎に開閉した場合
にも上述と同様な作用が得られることは明らかである。
の間に電磁弁を設け、これを所定時間毎に開閉した場合
にも上述と同様な作用が得られることは明らかである。
なお、この場合にはフローコンダクタンスの調整は不要
となる。バックグランドとしての大気ガスも、ガスもれ
があった場合の洩れ検査用ガスを含むガスも分析器まで
の通路は同一であるからである。
となる。バックグランドとしての大気ガスも、ガスもれ
があった場合の洩れ検査用ガスを含むガスも分析器まで
の通路は同一であるからである。
以下、本発明の実施例によるガス洩れ検査装置について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
第１図において被試験体（１）に近接して、その外面に
沿ってガス洩れの位置を検査するために移動されるフレ
キシブルなガス洩れ検査用チューブωはその他端側にお
いて本発明に係わるガス変調器図に接続される。
沿ってガス洩れの位置を検査するために移動されるフレ
キシブルなガス洩れ検査用チューブωはその他端側にお
いて本発明に係わるガス変調器図に接続される。
ガス変調器（ロ）は第１電磁弁ｃｉｌｌ、第２電磁弁（
至）及び大気導入用チ為−ブ箭からなりている。そして
第１電磁弁６υと第２電磁弁国との間の分離点んから分
岐するチューブ（至）の排出端（３２ａ）はリークディ
テクタ時に接続される。なおこのリークディテクタ（至
）は従来例のリークディテクタと同様なものであってよ
い。又、大気導入用チー−プｒ３ηの大気導入口（３７
ａ）の近傍には図示せずともコンダクタンス調整機構が
備えられているものとする。
至）及び大気導入用チ為−ブ箭からなりている。そして
第１電磁弁６υと第２電磁弁国との間の分離点んから分
岐するチューブ（至）の排出端（３２ａ）はリークディ
テクタ時に接続される。なおこのリークディテクタ（至
）は従来例のリークディテクタと同様なものであってよ
い。又、大気導入用チー−プｒ３ηの大気導入口（３７
ａ）の近傍には図示せずともコンダクタンス調整機構が
備えられているものとする。
ガス変調器（ロ）は以上のように構成されるのであるが
、この第１、第２電磁弁３υ（至）の励磁を制御する制
御信号が変調制御器ｃ（Ｓの出力端子（３５ａ）から供
給されるようになっている。また他方の出力端子（３５
ｂ）はやけシ本発明に係わるイオン電流測定器（至）に
接続されている。このイオン電流測定器（至）は可動接
点Ｃ３’Ｊ、減算器器及び積算器１４１）からなってお
シ、この出力は指示用計器１４２に供給される。変調制
御器（へ）の制御信号により上述の可動接点（至）は減
算器顛の入力用の両面定接点（４１ａ）（４１ｂ）のい
づれかに切換えられてリークディテクタ（至）の出力ｖ
１が供給されるようになっている。変調制御器（至）の
制御信号は第２図ん、Ｂに示されるようなチエ−ティフ
ァクタ５０チで相互に静時間のパルス信号であってこの
交互に発生するＡ、Ｂのパルスによりイオン電流器（至
）の可動接点口の切換えおよびガス変調器（ロ）におけ
る電磁弁６υ（至）の交互励磁は同期して行われる。即
ち第１及び第２電磁弁３１１（ト）は所定時間毎に第２
図ん、Ｂに示すようなパルスにより交互に切換えられる
ようになっている。
、この第１、第２電磁弁３υ（至）の励磁を制御する制
御信号が変調制御器ｃ（Ｓの出力端子（３５ａ）から供
給されるようになっている。また他方の出力端子（３５
ｂ）はやけシ本発明に係わるイオン電流測定器（至）に
接続されている。このイオン電流測定器（至）は可動接
点Ｃ３’Ｊ、減算器器及び積算器１４１）からなってお
シ、この出力は指示用計器１４２に供給される。変調制
御器（へ）の制御信号により上述の可動接点（至）は減
算器顛の入力用の両面定接点（４１ａ）（４１ｂ）のい
づれかに切換えられてリークディテクタ（至）の出力ｖ
１が供給されるようになっている。変調制御器（至）の
制御信号は第２図ん、Ｂに示されるようなチエ−ティフ
ァクタ５０チで相互に静時間のパルス信号であってこの
交互に発生するＡ、Ｂのパルスによりイオン電流器（至
）の可動接点口の切換えおよびガス変調器（ロ）におけ
る電磁弁６υ（至）の交互励磁は同期して行われる。即
ち第１及び第２電磁弁３１１（ト）は所定時間毎に第２
図ん、Ｂに示すようなパルスにより交互に切換えられる
ようになっている。
即ち第１電磁弁３１＋が励磁され、第２電磁弁（至）が
励磁されていない時には可動接点口は固定接点（４１ａ
）側に接続されておシ、また所定時間を経て第１電磁弁
Ｃ（１１が消磁され、かわって第２電磁弁（ト）が励磁
されると、これと同期して可動接点口は他方の固定接点
（４１ｂ）側に切換えられるようになっている。
励磁されていない時には可動接点口は固定接点（４１ａ
）側に接続されておシ、また所定時間を経て第１電磁弁
Ｃ（１１が消磁され、かわって第２電磁弁（ト）が励磁
されると、これと同期して可動接点口は他方の固定接点
（４１ｂ）側に切換えられるようになっている。
また減算器ｔ４Ｇにおいては可動接点０９が固定接点（
４１ｂ）側に切換えられる事により入力された信号を、
一方の固定接点（４１ａ）側に切換えられてから再び可
動接点口がこの固定接点（４１ｂ）側に切換えられるま
での間、記憶しているものとする。即ち第２固定接点（
４１ｂ）に切換えられる事により記憶された入力Ｖ、と
第１の固定接点（４１ａ）に切換えられるときに得られ
る入力Ｖ、との間で減算が行われるようになっている。
４１ｂ）側に切換えられる事により入力された信号を、
一方の固定接点（４１ａ）側に切換えられてから再び可
動接点口がこの固定接点（４１ｂ）側に切換えられるま
での間、記憶しているものとする。即ち第２固定接点（
４１ｂ）に切換えられる事により記憶された入力Ｖ、と
第１の固定接点（４１ａ）に切換えられるときに得られ
る入力Ｖ、との間で減算が行われるようになっている。
そしてこの減算結果（Ｖ、−Ｖｔ）が所定時間（０〜ｊ
ｌ、ｊ！〜ｊ！、ｔ！〜ｔ１・・・・・・・・）毎に積
算器Ｇ４］）に供給され、こ−で所定回数の減算結果（
Ｖｓ Ｖｔ）を積算するようにしている。この積算量
を指針針りに供給する。
ｌ、ｊ！〜ｊ！、ｔ！〜ｔ１・・・・・・・・）毎に積
算器Ｇ４］）に供給され、こ−で所定回数の減算結果（
Ｖｓ Ｖｔ）を積算するようにしている。この積算量
を指針針りに供給する。
本発明の実施例は以上のように構成されるが次にこの作
用及びその操作法について説明する。
用及びその操作法について説明する。
先づ検査用チ轟−プ■はガス洩れのない場所におかれる
。この状態で変調制御器（至）を駆動すると第２図Ｎ及
びＢに示すようなパルスをガス変調器（至）におけるそ
れぞれ第１、第２電磁弁６υａａｒｅ供給する、即ち第
２図んにおけるパルスＴ、 、Ｔ、 、Ｔ、、Ｔ、、Ｔ
ｖ、 Ｔ、 、ＴＩ、、Ｔ、の期間（第１の電磁弁３１
１が励磁される。即ち開弁する。また以上のＴ、 、Ｔ
、・・・・・・・・・と等しい時間でこれらが発生して
いない期間にパルスＴＩ 、’ｒ、 、’ｒ、 、Ｔ？
、Ｔｏ、Ｔ１１ ｓ ＴＩｓ 、ＴＩＩＩを発生させ
これにより第２の電磁弁（至）が励磁される。この時第
１の電磁弁６υには励磁信号は与えられていない。第２
電磁弁（ト）は上述のＴ、 、Ｔ、 、 Ｔ、 、・・
・・・・・・の時間開弁する。以上のようにして第１、
第２電磁弁ｃ３１１ｃ！ＥＪが所定時間毎に交互に開閉
する。これと同期してイミン電流測定器■における可動
接点■が固定接点（４１ａ）と（４１ｂ）との間で切換
わる。よって今、チェーブ（至）における洩れ検査用ガ
スの圧力Ｐが第２図Ｃの如く変化するものとする。この
ときリークディテクタ時の出力ｖ８、すなわち可動接点
時における出力Ｖ、は第２図りのように変化するのであ
るが、可動接点口の固定接点（４１ａ）（４１ｂ）への
交互の切換えによ多出力Ｖ、 、Ｖ、は第２図Ｆ、 Ｈ
に示すように変化する。即ち交互に第２図Ｅ、 Ｆに示
されるようなパルス状の出力が得られるのであるが、そ
れぞれ出力間においては出力レベルは零である。この出
力ｖ、 、ｖｌは減算器顛において所定時間毎に減算さ
れ、その結果が積算器ｌで積算され第２図Ｇに示すよう
な出力ｖ４が積算器Ｇ４１）から得られる。
。この状態で変調制御器（至）を駆動すると第２図Ｎ及
びＢに示すようなパルスをガス変調器（至）におけるそ
れぞれ第１、第２電磁弁６υａａｒｅ供給する、即ち第
２図んにおけるパルスＴ、 、Ｔ、 、Ｔ、、Ｔ、、Ｔ
ｖ、 Ｔ、 、ＴＩ、、Ｔ、の期間（第１の電磁弁３１
１が励磁される。即ち開弁する。また以上のＴ、 、Ｔ
、・・・・・・・・・と等しい時間でこれらが発生して
いない期間にパルスＴＩ 、’ｒ、 、’ｒ、 、Ｔ？
、Ｔｏ、Ｔ１１ ｓ ＴＩｓ 、ＴＩＩＩを発生させ
これにより第２の電磁弁（至）が励磁される。この時第
１の電磁弁６υには励磁信号は与えられていない。第２
電磁弁（ト）は上述のＴ、 、Ｔ、 、 Ｔ、 、・・
・・・・・・の時間開弁する。以上のようにして第１、
第２電磁弁ｃ３１１ｃ！ＥＪが所定時間毎に交互に開閉
する。これと同期してイミン電流測定器■における可動
接点■が固定接点（４１ａ）と（４１ｂ）との間で切換
わる。よって今、チェーブ（至）における洩れ検査用ガ
スの圧力Ｐが第２図Ｃの如く変化するものとする。この
ときリークディテクタ時の出力ｖ８、すなわち可動接点
時における出力Ｖ、は第２図りのように変化するのであ
るが、可動接点口の固定接点（４１ａ）（４１ｂ）への
交互の切換えによ多出力Ｖ、 、Ｖ、は第２図Ｆ、 Ｈ
に示すように変化する。即ち交互に第２図Ｅ、 Ｆに示
されるようなパルス状の出力が得られるのであるが、そ
れぞれ出力間においては出力レベルは零である。この出
力ｖ、 、ｖｌは減算器顛において所定時間毎に減算さ
れ、その結果が積算器ｌで積算され第２図Ｇに示すよう
な出力ｖ４が積算器Ｇ４１）から得られる。
このような状態でガス変調器−における大気導入用チュ
ーブ（９）に設けられている図示しないフローコンダク
タンス調整機構の調整によ）第２図Ｇに示される積算器
Ｇ４１１の出力が零となるように調整される。即ち洩れ
検査用のチ為−ブ■の導入端（３０ａ）から分岐チュー
ブ■の排出端（ａ２ａ） ｔでのフローコンダクタンス
と大気導入用チ１−ブーの大気導入口から分岐チーープ
＠の排出端（３２ａ）に至るまでの７−−コンダクタン
スはほり同一となるように調整される。
ーブ（９）に設けられている図示しないフローコンダク
タンス調整機構の調整によ）第２図Ｇに示される積算器
Ｇ４１１の出力が零となるように調整される。即ち洩れ
検査用のチ為−ブ■の導入端（３０ａ）から分岐チュー
ブ■の排出端（ａ２ａ） ｔでのフローコンダクタンス
と大気導入用チ１−ブーの大気導入口から分岐チーープ
＠の排出端（３２ａ）に至るまでの７−−コンダクタン
スはほり同一となるように調整される。
この状態においてチューブ■の一端（３０ａ）を被試験
体（１）の外面に近接させ洩れ位置を検査すべく移動さ
せる。今、洩れ位置にあ〕ヘリウムの分岐チューブ田内
における分圧が所定時間毎に第２図Ｈに示すように変化
したとすれば、リークディテクタ（至）の出力ｖｆとし
はこれが第２図工に示すように大気中のバックグラウン
ドとしてのガスに重畳する形とな夛、これが切換可動接
点国を介して、固定接点（４１ａ）（４１ｂ） ＩＩｃ
交互に供給され、減算器Ｕ〔による減算により第２図Ｈ
に示すヘリウムのガス分圧Ｐｙｓｅに対応するリークデ
ィテクタ關の出力分が積算されていく。よって第２図Ｈ
に示す分圧Ｐｉｅは非常に小さいものであるが、これが
成る時間積分される事により第２図Ｊに示す如くその積
分量ｖ１が増大して行き、これが指針計（転）にあられ
れ、よって確実な洩れを検知する事が出来る。なお、時
々刻々バックグランドのガス分圧が変動するので、各減
算結果もこれに応じて変動するが、検査前の所定の時間
におけるこの積算量ははゾ零とされているので正確な検
査結果が得られる。
体（１）の外面に近接させ洩れ位置を検査すべく移動さ
せる。今、洩れ位置にあ〕ヘリウムの分岐チューブ田内
における分圧が所定時間毎に第２図Ｈに示すように変化
したとすれば、リークディテクタ（至）の出力ｖｆとし
はこれが第２図工に示すように大気中のバックグラウン
ドとしてのガスに重畳する形とな夛、これが切換可動接
点国を介して、固定接点（４１ａ）（４１ｂ） ＩＩｃ
交互に供給され、減算器Ｕ〔による減算により第２図Ｈ
に示すヘリウムのガス分圧Ｐｙｓｅに対応するリークデ
ィテクタ關の出力分が積算されていく。よって第２図Ｈ
に示す分圧Ｐｉｅは非常に小さいものであるが、これが
成る時間積分される事により第２図Ｊに示す如くその積
分量ｖ１が増大して行き、これが指針計（転）にあられ
れ、よって確実な洩れを検知する事が出来る。なお、時
々刻々バックグランドのガス分圧が変動するので、各減
算結果もこれに応じて変動するが、検査前の所定の時間
におけるこの積算量ははゾ零とされているので正確な検
査結果が得られる。
本発明の第１実施例は以上のように構成され、作用を行
うのであるが、次のような効果を奏する本のである。即
ちバックグランドの変動分も積分されるのであるが、こ
れは成る時間平均するとはゾ零とされるので、成る時間
以上、上述のような積分を行えば正確に洩れとしてのヘ
リウムの分圧を検知する事が出来、よってガス洩れの位
置を確実に検知する事が出来る。
うのであるが、次のような効果を奏する本のである。即
ちバックグランドの変動分も積分されるのであるが、こ
れは成る時間平均するとはゾ零とされるので、成る時間
以上、上述のような積分を行えば正確に洩れとしてのヘ
リウムの分圧を検知する事が出来、よってガス洩れの位
置を確実に検知する事が出来る。
第３図は本発明の第２実施例による洩れ検査装置を示す
ものである。なお第１図に対応する部分については同一
の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
ものである。なお第１図に対応する部分については同一
の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
即ち本実施例によればヘリウムボンベ（２）と被試験体
（１）′の供給口とを結ぶ管路６１１にガス変調器とし
ての電磁弁団が設けられ、これに変調制御器（ハ）′か
ら第２図Ａに示されるようなパルスが供給される。
（１）′の供給口とを結ぶ管路６１１にガス変調器とし
ての電磁弁団が設けられ、これに変調制御器（ハ）′か
ら第２図Ａに示されるようなパルスが供給される。
この場合、第２図Ｂに示すパルスＰは供給されない。こ
れによりミ磁弁団が所定時間毎に開閉され出力管路６３
側には図示するようなパルス状のヘリウムガス圧力が得
られ、これが被試験体（ｌ）′内に導入される。従うて
リークディテクタ（至）に接続される検査用チー−ブ發
の一熾の近接移動によりガス洩れを検知するのであるが
図示のようなパルスＰが大気ガスのパックグランドに重
畳し、これが上述のような減算により洩れによるヘリウ
ムガスの分圧だけが積分されて指針計りにより洩れを検
知する事が出来る。
れによりミ磁弁団が所定時間毎に開閉され出力管路６３
側には図示するようなパルス状のヘリウムガス圧力が得
られ、これが被試験体（ｌ）′内に導入される。従うて
リークディテクタ（至）に接続される検査用チー−ブ發
の一熾の近接移動によりガス洩れを検知するのであるが
図示のようなパルスＰが大気ガスのパックグランドに重
畳し、これが上述のような減算により洩れによるヘリウ
ムガスの分圧だけが積分されて指針計りにより洩れを検
知する事が出来る。
なお本実施例によれば被試験体（１）′内は試験時間と
共にヘリウムガスの圧力が高くなっていくので第１実施
例よシは感度が小さくなるがよ）構成が簡単とな〕、ま
たコンダクタンスの調整作用を必要としないので操作は
よシ簡単となる。また電磁弁の数も１箇減らす事が出来
るので装置コストをより低下させる事が出来る。
共にヘリウムガスの圧力が高くなっていくので第１実施
例よシは感度が小さくなるがよ）構成が簡単とな〕、ま
たコンダクタンスの調整作用を必要としないので操作は
よシ簡単となる。また電磁弁の数も１箇減らす事が出来
るので装置コストをより低下させる事が出来る。
以上、本発明の各実施例について説明したが勿論、本発
明はこれらに限定される事なく、本発明の技術的思想に
基づいて種々の変形が可能である。
明はこれらに限定される事なく、本発明の技術的思想に
基づいて種々の変形が可能である。
例えば以上の実施例では被試験体に供給される洩れ検査
用のガスとしてヘリウムを用いたが勿論他のガスを用い
てもよい。また以上の実施例では変調制御器（ト）の制
御信号は第２図入、Ｂで示すように、デ轟−ティファク
タは５０チでありたが、勿論、他の割合、例えば第４図
に示すように１：２であってもよい。他方の制御信号は
これらパルス問に発生すればよい。
用のガスとしてヘリウムを用いたが勿論他のガスを用い
てもよい。また以上の実施例では変調制御器（ト）の制
御信号は第２図入、Ｂで示すように、デ轟−ティファク
タは５０チでありたが、勿論、他の割合、例えば第４図
に示すように１：２であってもよい。他方の制御信号は
これらパルス問に発生すればよい。
小さくても、信号／雑音（Ｓ／Ｎ比）が向上し、感度よ
くガス洩れ部位を検査することができ、しかも検査の時
定数を任意に定めることができる。
くガス洩れ部位を検査することができ、しかも検査の時
定数を任意に定めることができる。
第１図は本発明の第１実施例によるガス洩れ検査装置の
ブロック図、第２図は同実施例の作用を説明するための
グラフ、第３図は同第２実施例によるガス洩れ検査装置
のブロック図、第４図は変調制御器四の制御信号の変形
例を示すタイムチャート、第５図は従来例のガス洩れ検
査装置のブロック図、第６図は第５図におけるリークデ
ィテクタの詳細を示す断面図及び第７図は他従来例のガ
ス洩れ検査装置のブロック図である。 なお図において、 Ｃ３１１□□□艶・・・・・・・・・電 磁 弁図・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ガス変調器（ハ）Ｃ
（５１’ ・−・−・・−・−変調制御器（至）・・・
・・・・・・・・・・・・・・・ イオン電流測定器Ｃ
３１・・・・・・・・・・・・・・・・・・可動接点（
４Ｇ・・・・・・・・・・・・・・・・・・減 算 器
（４１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・積 算
器時間 第４図 時間 第５図 第６ 図
ブロック図、第２図は同実施例の作用を説明するための
グラフ、第３図は同第２実施例によるガス洩れ検査装置
のブロック図、第４図は変調制御器四の制御信号の変形
例を示すタイムチャート、第５図は従来例のガス洩れ検
査装置のブロック図、第６図は第５図におけるリークデ
ィテクタの詳細を示す断面図及び第７図は他従来例のガ
ス洩れ検査装置のブロック図である。 なお図において、 Ｃ３１１□□□艶・・・・・・・・・電 磁 弁図・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ガス変調器（ハ）Ｃ
（５１’ ・−・−・・−・−変調制御器（至）・・・
・・・・・・・・・・・・・・・ イオン電流測定器Ｃ
３１・・・・・・・・・・・・・・・・・・可動接点（
４Ｇ・・・・・・・・・・・・・・・・・・減 算 器
（４１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・積 算
器時間 第４図 時間 第５図 第６ 図
Claims (2)
- （１）ガス洩れ検査用ガスを密閉状態にある被試験体内
に供給し、洩れ検査用チューブの一端を前記被試験体の
外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チューブの他端
から排出されるガスを受けて該ガス中における前記ガス
洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析する分析器を設け
たガス洩れ検査装置において、前記洩れ検査用チューブ
の途中に大気導入用チューブを連通して接続し、前記洩
れ検査用チューブの前記一端から前記他端までのフロー
コンダクタンスと前記大気導入用チューブの大気導入口
から前記他端までのフローコンダクタンスとをほゞ等し
くし、前記接続位置より前記一端側で第１電磁弁を前記
洩れ検査用チューブ中に設け、前記大気導入口側で第２
電磁弁を前記大気導入用チューブ中に設けて、前記第１
電磁弁と前記第２電磁弁とを所定時間毎に交互に開閉し
、これに応じて前記分析器に前記洩れ検査用チューブの
一端から導入されるガスと前記大気導入用チューブの大
気導入口から導入される大気とを交互に供給して、該分
析器により検出される前記ガス洩れ検査用ガスの分圧ま
たは濃度を前記所定時間毎の導入ガスと導入大気との間
で減算し、該減算結果を前記所定時間の開閉の所定回数
分、積分することにより前記被試験体のガス洩れを検査
するようにしたことを特徴とするガス洩れ検査装置。 - （２）ガス洩れ検査用ガス供給源を密閉状態にある被試
験体の供給口に接続し、洩れ検査用チューブの一端を前
記被試験体の外面に近接して移動させ、該洩れ検査用チ
ューブの他端から排出されるガスを受けて、該ガス中に
おける前記ガス洩れ検査用ガスの分圧又は濃度を分析す
る分析器を設けたガス洩れ検査装置において、前記ガス
洩れ検査用ガス供給源と前記被試験体の供給口との間に
電磁弁を設け、これを所定時間毎に開閉し、該所定時間
の開弁中と閉弁中とにおいて各々前記分析器により検出
される前記ガス洩れ検査用ガスの分圧または濃度との間
で減算し、該減算結果を前記所定時間の開閉の所定回数
分、積分することにより前記被試験体のガス洩れを検査
するようにしたことを特徴とするガス洩れ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63192402A JP2665774B2 (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | ガス洩れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63192402A JP2665774B2 (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | ガス洩れ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240519A true JPH0240519A (ja) | 1990-02-09 |
| JP2665774B2 JP2665774B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=16290718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63192402A Expired - Lifetime JP2665774B2 (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | ガス洩れ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2665774B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0815078A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Ulvac Japan Ltd | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| KR100609586B1 (ko) * | 2005-03-30 | 2006-08-08 | 씨제이라이온 주식회사 | 실링커터와 이를 이용한 포장비닐백 |
| CN115541123A (zh) * | 2022-11-21 | 2022-12-30 | 昆明北方红外技术股份有限公司 | 气体检漏仪necl参数测试系统及方法 |
| CN116465572A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-07-21 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 电池检测设备及其检测电池的方法、装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940137A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-05 | Shimadzu Corp | リ−クテスト装置 |
| JPS6076239U (ja) * | 1983-10-31 | 1985-05-28 | 株式会社島津製作所 | リ−クデテクタ |
-
1988
- 1988-08-01 JP JP63192402A patent/JP2665774B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940137A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-05 | Shimadzu Corp | リ−クテスト装置 |
| JPS6076239U (ja) * | 1983-10-31 | 1985-05-28 | 株式会社島津製作所 | リ−クデテクタ |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0815078A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Ulvac Japan Ltd | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| KR100609586B1 (ko) * | 2005-03-30 | 2006-08-08 | 씨제이라이온 주식회사 | 실링커터와 이를 이용한 포장비닐백 |
| CN115541123A (zh) * | 2022-11-21 | 2022-12-30 | 昆明北方红外技术股份有限公司 | 气体检漏仪necl参数测试系统及方法 |
| CN115541123B (zh) * | 2022-11-21 | 2023-03-03 | 昆明北方红外技术股份有限公司 | 气体检漏仪necl参数测试系统及方法 |
| CN116465572A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-07-21 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 电池检测设备及其检测电池的方法、装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2665774B2 (ja) | 1997-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5990172B2 (ja) | 漏れ検出器 | |
| JPH07286927A (ja) | 漏れ試験の方法および装置 | |
| US8752412B2 (en) | Sniffing leak detector | |
| JP6791944B2 (ja) | 密封製品の耐漏洩性を制御する方法及び漏洩検出装置 | |
| JP2008541076A (ja) | クオーツウィンドウセンサを備えたスニッファ漏れ検知器 | |
| CN110376272A (zh) | 气体分压的在线测量装置及其在线测量方法 | |
| JP3391027B2 (ja) | サーチガス漏洩検出器 | |
| US4845360A (en) | Counterflow leak detector with high and low sensitivity operating modes | |
| JP2018533741A (ja) | 酸素を用いたリーク検知 | |
| JP3737132B2 (ja) | 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法 | |
| JPH0240519A (ja) | ガス洩れ検査装置 | |
| US4348887A (en) | Apparatus for determining the effects of dilution and/or diffusion on the gaseous components of a gas flow | |
| JP3166859B2 (ja) | 軽質のガスを用いたテストガス漏れ検査のための真空・漏れ検査装置 | |
| JP3390506B2 (ja) | ガス漏れ検査装置 | |
| CN215811476U (zh) | 一种流量式气密测试装置 | |
| JPH04122833A (ja) | 漏れ試験方法および装置 | |
| JPH0741441U (ja) | リークデテクタ | |
| US11199467B2 (en) | Device and method for distinguishing a test gas escaping from a leak from interfering gas | |
| JP4182913B2 (ja) | 気体試料導入装置 | |
| JPH0465967B2 (ja) | ||
| JP2004340726A (ja) | 漏洩検知装置 | |
| JPH09292302A (ja) | リークデテクタ | |
| JP3246390U (ja) | 質量分析装置及び漏洩検出装置 | |
| JPH0816634B2 (ja) | ガス洩れ検査装置 | |
| JPH10267721A (ja) | 内燃機関の排ガス流量測定装置 |