JPH0635488Y2 - イオンレーザ装置 - Google Patents
イオンレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0635488Y2 JPH0635488Y2 JP15640687U JP15640687U JPH0635488Y2 JP H0635488 Y2 JPH0635488 Y2 JP H0635488Y2 JP 15640687 U JP15640687 U JP 15640687U JP 15640687 U JP15640687 U JP 15640687U JP H0635488 Y2 JPH0635488 Y2 JP H0635488Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnet
- temperature
- ion laser
- voltage
- preheating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はイオンレーザ装置に関し、特に冷却水の温度変
化によってイオンレーザスタート時にプラズマ収束用電
磁石の予熱用に印加する電圧を制御するようにした装置
に関する。
化によってイオンレーザスタート時にプラズマ収束用電
磁石の予熱用に印加する電圧を制御するようにした装置
に関する。
イオンレーザ装置の収束用電磁石は、その電流通過によ
って発熱する。電磁石は、それに使用する磁性材が定め
られた温度範囲以内にある限り、設計された磁界を発生
する。この温度範囲はそれ程厳密でなく広いが、それで
も電磁石を水で冷却することで、発熱を防止している。
さて、電磁石を動作させる前は冷却水で冷却されている
ので、イオンレーザ装置をスタートしても中々温度上昇
がなく、定温度までの時間がかかる。この時間を短くす
るため、通常スタート時に電磁石に大電流を流す。
って発熱する。電磁石は、それに使用する磁性材が定め
られた温度範囲以内にある限り、設計された磁界を発生
する。この温度範囲はそれ程厳密でなく広いが、それで
も電磁石を水で冷却することで、発熱を防止している。
さて、電磁石を動作させる前は冷却水で冷却されている
ので、イオンレーザ装置をスタートしても中々温度上昇
がなく、定温度までの時間がかかる。この時間を短くす
るため、通常スタート時に電磁石に大電流を流す。
電磁石に大電流を流し、定常動作に移るまでの時間が予
熱時間である。従来は、設計上冷却水は最低水温にある
ものとし、電磁石に印加する電圧を定めていた。そして
ある一定時間後に、電圧をプラズマ収束用電圧に下げる
ようにしていた。実際は、予熱時間内で電磁石の温度が
上昇する過程で、冷却水の温度も上昇するが、この点の
考慮はなされていない。したがって、上記の電磁石に加
える印加電圧のステップ的な変化では、スムーズに温度
が定値にならず、温度安定化の時間が長くなる欠点があ
った。
熱時間である。従来は、設計上冷却水は最低水温にある
ものとし、電磁石に印加する電圧を定めていた。そして
ある一定時間後に、電圧をプラズマ収束用電圧に下げる
ようにしていた。実際は、予熱時間内で電磁石の温度が
上昇する過程で、冷却水の温度も上昇するが、この点の
考慮はなされていない。したがって、上記の電磁石に加
える印加電圧のステップ的な変化では、スムーズに温度
が定値にならず、温度安定化の時間が長くなる欠点があ
った。
本考案の目的は、上記の欠点を除去し、冷却水の温度上
昇を考慮して、合理的に電磁石を予熱するようにしたイ
オンレーザ装置を提供することにある。
昇を考慮して、合理的に電磁石を予熱するようにしたイ
オンレーザ装置を提供することにある。
本考案のイオンレーザ装置は、電磁石の温度を検出する
温度センサと，冷却水の温度による前記温度センサの出
力変化から予熱期間中に前記電磁石の印加電圧を制御す
る手段とを有するようにしたものである。
温度センサと，冷却水の温度による前記温度センサの出
力変化から予熱期間中に前記電磁石の印加電圧を制御す
る手段とを有するようにしたものである。
イオンレーザ装置はスタート時に電磁石に大電流を流
し、温度が上昇するが冷却水により温度が低下し、温度
センサが一定の温度以下になったことを検出すると、制
御信号を発生し、例えばリレー回路を動作させ、電磁石
にかかる電圧をスタート時にかかる電圧より低く、しか
しプラズマ収束用の定常時にかかる電圧より高い中間電
圧に設定する。このような中間電圧の設定により、その
後定められた時間にプラズマ収束用電圧に切換えても電
磁石はスムーズに定常温度に移ることができる。
し、温度が上昇するが冷却水により温度が低下し、温度
センサが一定の温度以下になったことを検出すると、制
御信号を発生し、例えばリレー回路を動作させ、電磁石
にかかる電圧をスタート時にかかる電圧より低く、しか
しプラズマ収束用の定常時にかかる電圧より高い中間電
圧に設定する。このような中間電圧の設定により、その
後定められた時間にプラズマ収束用電圧に切換えても電
磁石はスムーズに定常温度に移ることができる。
以下、本考案の一実施例につき図面を参照して説明す
る。第１図は全体の構成ブロック図、第２図は電圧制御
を行なうリレーの制御信号の発生部分を示す回路ブロッ
ク図である。第１図で、１はイオンレーザ管２を放電さ
せる直流電源で、陽極３と陰極４との間に大電流を流
す。また、イオンレーザスタート時にプラズマ収束用電
磁石５の予熱用に電圧を印加する。スタート時には、リ
レー12,13は開いて、直列になったダイオード列14の両
端電圧が印加電圧となって、最大の予熱電圧を与え、短
時間に電磁石５は高い温度になる。
る。第１図は全体の構成ブロック図、第２図は電圧制御
を行なうリレーの制御信号の発生部分を示す回路ブロッ
ク図である。第１図で、１はイオンレーザ管２を放電さ
せる直流電源で、陽極３と陰極４との間に大電流を流
す。また、イオンレーザスタート時にプラズマ収束用電
磁石５の予熱用に電圧を印加する。スタート時には、リ
レー12,13は開いて、直列になったダイオード列14の両
端電圧が印加電圧となって、最大の予熱電圧を与え、短
時間に電磁石５は高い温度になる。
しかし、給排水管６を通って直流電源１とイオンレーザ
管２とプラズマ収束用の電磁石５を冷却する冷却水の温
度が低いため、電磁石５の温度は下がり、電磁石５に取
付けてある温度を検出するサーミスタ７の抵抗値が上が
る。第２図に示すように、サーミスタ７は制御信号発生
回路に組込まれており、基準電圧に対して、ブリッジ回
路の１辺に配置されている。点９の電位が点10の電位よ
り下がり比較増幅器11が動作し、リレー12を閉じる。こ
れによって、ダイオード列14の直列ダイオード数が減少
し、電磁石５に印加する予熱電圧を最大予熱電圧より下
げる。そしてある一定時間が経過すると、図示していな
いタイマによりリレー13が閉じ、電磁石５にかかる電圧
はプラズマ収束の電圧に低減される。すでに中間的に電
磁石５の予熱電圧が低下されているので、プラズマ収束
の電圧への切換は、スムーズにできる。
管２とプラズマ収束用の電磁石５を冷却する冷却水の温
度が低いため、電磁石５の温度は下がり、電磁石５に取
付けてある温度を検出するサーミスタ７の抵抗値が上が
る。第２図に示すように、サーミスタ７は制御信号発生
回路に組込まれており、基準電圧に対して、ブリッジ回
路の１辺に配置されている。点９の電位が点10の電位よ
り下がり比較増幅器11が動作し、リレー12を閉じる。こ
れによって、ダイオード列14の直列ダイオード数が減少
し、電磁石５に印加する予熱電圧を最大予熱電圧より下
げる。そしてある一定時間が経過すると、図示していな
いタイマによりリレー13が閉じ、電磁石５にかかる電圧
はプラズマ収束の電圧に低減される。すでに中間的に電
磁石５の予熱電圧が低下されているので、プラズマ収束
の電圧への切換は、スムーズにできる。
以上説明したように本考案は、冷却水の温度変化によっ
て生ずるプラズマ収束用電磁石の抵抗値変化に対応し
て、イオンレーザスタート時にプラズマ収束用電磁石の
予熱用に印加する電圧を制御回路を使って制御すること
により、プラズマ収束用電磁石の予熱用印加電圧を適正
値に設定し、イオンレーザ動作中にプラズマ収束用とし
て流す電流を最短時間で安定させられるという効果があ
る。
て生ずるプラズマ収束用電磁石の抵抗値変化に対応し
て、イオンレーザスタート時にプラズマ収束用電磁石の
予熱用に印加する電圧を制御回路を使って制御すること
により、プラズマ収束用電磁石の予熱用印加電圧を適正
値に設定し、イオンレーザ動作中にプラズマ収束用とし
て流す電流を最短時間で安定させられるという効果があ
る。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図はリレーを
制御する信号の発生回路図である。 １……直流電源、２……イオンレーザ管、 ３……陽極、４……陰極、 ５……（プラズマ収束用）電磁石、 ６……給排水管、７……サーミスタ、 ８……基準電圧、11……比較増幅器、 12,13……リレー。
制御する信号の発生回路図である。 １……直流電源、２……イオンレーザ管、 ３……陽極、４……陰極、 ５……（プラズマ収束用）電磁石、 ６……給排水管、７……サーミスタ、 ８……基準電圧、11……比較増幅器、 12,13……リレー。
Claims (1)
- 【請求項１】水冷されたプラズマ収束用電磁石を、イオ
ンレーザスタート時に大電流で予熱し、イオンレーザ動
作時には、プラズマ収束用電流に切換えるイオンレーザ
装置において、 前記電磁石の温度を検出する温度センサと，冷却水の温
度による前記温度センサの出力変化から予熱期間中に前
記電磁石の印加電圧を制御する手段とを有することを特
徴とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15640687U JPH0635488Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | イオンレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15640687U JPH0635488Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | イオンレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0160563U JPH0160563U (ja) | 1989-04-17 |
| JPH0635488Y2 true JPH0635488Y2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=31434917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15640687U Expired - Lifetime JPH0635488Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | イオンレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0635488Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP15640687U patent/JPH0635488Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0160563U (ja) | 1989-04-17 |
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