JPH06349882A - ワイヤボンダのフレーム押さえ装置 - Google Patents
ワイヤボンダのフレーム押さえ装置Info
- Publication number
- JPH06349882A JPH06349882A JP14103793A JP14103793A JPH06349882A JP H06349882 A JPH06349882 A JP H06349882A JP 14103793 A JP14103793 A JP 14103793A JP 14103793 A JP14103793 A JP 14103793A JP H06349882 A JPH06349882 A JP H06349882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- jig
- magnetic force
- heat piece
- frame pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リードフレームを確実に固定することのでき
る技術を提供する。 【構成】 フレーム１のインナーリード部に対してワイ
ヤボンディイングを行うに際し、フレーム１をヒートコ
マ５及びフレーム押さえ治具６によりクランプするフレ
ーム押さえ装置であって、ヒートコマ５及びフレーム押
さえ治具６の各々に電磁石及びこれに類するものを設
け、この電磁石をフレームのクランプ時に磁力発生ユニ
ット７によって励磁する。
る技術を提供する。 【構成】 フレーム１のインナーリード部に対してワイ
ヤボンディイングを行うに際し、フレーム１をヒートコ
マ５及びフレーム押さえ治具６によりクランプするフレ
ーム押さえ装置であって、ヒートコマ５及びフレーム押
さえ治具６の各々に電磁石及びこれに類するものを設
け、この電磁石をフレームのクランプ時に磁力発生ユニ
ット７によって励磁する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームの固定技
術、特に、リードフレームと半導体チップ間のワイヤボ
ンディングを行う際のリードフレームの固定力を向上さ
せるために用いて効果のある技術に関するものである。
術、特に、リードフレームと半導体チップ間のワイヤボ
ンディングを行う際のリードフレームの固定力を向上さ
せるために用いて効果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップのパッドとインナーリード
とのワイヤボンディングを行う場合、ボンディングが正
常に行われるためには、リードフレームが正確に位置決
めされると共に浮き上がりを生じないように固定する必
要がある。
とのワイヤボンディングを行う場合、ボンディングが正
常に行われるためには、リードフレームが正確に位置決
めされると共に浮き上がりを生じないように固定する必
要がある。
【０００３】図２は本発明者によって考え出されたフレ
ーム押さえ機構を示す正面図である。
ーム押さえ機構を示す正面図である。
【０００４】ボンディング位置に搬送されたフレーム１
の下部には、昇降自在にヒートコマ２が配設され、更
に、ヒートコマ２に対向させてフレーム１の上部には、
フレーム押さえ治具３（ウィンドクランパともいう）が
昇降自在に配設されている。なお、ヒートコマ２（ヒー
トステージ）は、フレーム１を加熱するための熱源とな
るヒータ（不図示）を内蔵している。
の下部には、昇降自在にヒートコマ２が配設され、更
に、ヒートコマ２に対向させてフレーム１の上部には、
フレーム押さえ治具３（ウィンドクランパともいう）が
昇降自在に配設されている。なお、ヒートコマ２（ヒー
トステージ）は、フレーム１を加熱するための熱源とな
るヒータ（不図示）を内蔵している。
【０００５】まず、フレーム１をボンディング位置に搬
入（搬出）させる段階では、ヒートコマ２及びフレーム
押さえ治具３は図２に示すようにフレーム１の固定位置
から退避している。この状態のまま、不図示の搬送手段
によってフレーム１が搬入（搬出）される。
入（搬出）させる段階では、ヒートコマ２及びフレーム
押さえ治具３は図２に示すようにフレーム１の固定位置
から退避している。この状態のまま、不図示の搬送手段
によってフレーム１が搬入（搬出）される。
【０００６】この後、ヒートコマ２が下降すると共にフ
レーム押さえ治具３が上昇し、最終的には図３に示すよ
うに、フレーム１の上下面がヒートコマ２とフレーム押
さえ治具３で押圧（クランプ）される。この状態のま
ま、半導体チップ（不図示）が搬入され、かつ定位置に
セットされ、この半導体チップのパンプ電極とフレーム
１のインナーリードとのワイヤボンディングが、ボンデ
ィングツール（不図示）によって行われる。
レーム押さえ治具３が上昇し、最終的には図３に示すよ
うに、フレーム１の上下面がヒートコマ２とフレーム押
さえ治具３で押圧（クランプ）される。この状態のま
ま、半導体チップ（不図示）が搬入され、かつ定位置に
セットされ、この半導体チップのパンプ電極とフレーム
１のインナーリードとのワイヤボンディングが、ボンデ
ィングツール（不図示）によって行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の検討によれ
ば、ヒートコマとフレーム押さえ治具によってリードフ
レームを機械的に固定する上記フレーム押さえ技術は、
ヒートコマとフレーム押さえ治具のいずれか一方または
両者に傾きがあるとフレーム全面を均一に押圧すること
ができず、フレームのリードやタブが浮き、ワイヤボン
ディング時の金ボール圧着時剥がれやリード圧着剥がれ
を招くという問題がある。
ば、ヒートコマとフレーム押さえ治具によってリードフ
レームを機械的に固定する上記フレーム押さえ技術は、
ヒートコマとフレーム押さえ治具のいずれか一方または
両者に傾きがあるとフレーム全面を均一に押圧すること
ができず、フレームのリードやタブが浮き、ワイヤボン
ディング時の金ボール圧着時剥がれやリード圧着剥がれ
を招くという問題がある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、リードフレーム
を確実に固定することのできる技術を提供することにあ
る。
を確実に固定することのできる技術を提供することにあ
る。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１１】すなわち、リードフレームのインナーリー
ド部に対してワイヤボンディイングを行うに際し、前記
リードフレームをヒートコマ及びフレーム押さえ治具に
よりクランプするフレーム押さえ装置であって、前記ヒ
ートコマ及び前記フレーム押さえ治具または各治具を取
り付けた機構部分の各々もしくはいずれか一方に設けら
れてクランプ時に電気的に磁力を発生する磁力生成手段
と、この磁力生成手段をフレームクランプ時に励磁する
駆動手段とを設けるようにしている。
ド部に対してワイヤボンディイングを行うに際し、前記
リードフレームをヒートコマ及びフレーム押さえ治具に
よりクランプするフレーム押さえ装置であって、前記ヒ
ートコマ及び前記フレーム押さえ治具または各治具を取
り付けた機構部分の各々もしくはいずれか一方に設けら
れてクランプ時に電気的に磁力を発生する磁力生成手段
と、この磁力生成手段をフレームクランプ時に励磁する
駆動手段とを設けるようにしている。
【００１２】
【作用】上記した手段によれば、フレームに対してヒー
トコマとフレーム押さえ治具による機械的なフレームに
対するクランプ力が付与されたときに、別途、ヒートコ
マ及びフレーム押さえ治具の各々に設けられた磁力生成
手段を駆動手段によって駆動することによって生じる磁
力によるクランプ力が付加される。したがって、クラン
プ力を更に高め、かつ均一にクランプすることが可能に
なる。
トコマとフレーム押さえ治具による機械的なフレームに
対するクランプ力が付与されたときに、別途、ヒートコ
マ及びフレーム押さえ治具の各々に設けられた磁力生成
手段を駆動手段によって駆動することによって生じる磁
力によるクランプ力が付加される。したがって、クラン
プ力を更に高め、かつ均一にクランプすることが可能に
なる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１４】図１は本発明によるワイヤボンダのフレー
ム押さえ装置の一実施例を示す正面図である。なお、以
下においては図２に示したと同一であるものには同一引
用数字を用いたので重複する説明は省略する。
ム押さえ装置の一実施例を示す正面図である。なお、以
下においては図２に示したと同一であるものには同一引
用数字を用いたので重複する説明は省略する。
【００１５】フレーム１をガイドしながらボンディング
のための規定位置へ搬入（または搬出）するために、フ
レーム搬送レール４が水平に配設されている。フレーム
１の上下には、従来と同様にヒートコマ５及びフレーム
押さえ治具６が配設されている。
のための規定位置へ搬入（または搬出）するために、フ
レーム搬送レール４が水平に配設されている。フレーム
１の上下には、従来と同様にヒートコマ５及びフレーム
押さえ治具６が配設されている。
【００１６】ここで、ヒートコマ５及びフレーム押さえ
治具６は、従来のヒートコマ２及びフレーム押さえ治具
３と同一の用途及び機能を有するほか内部に磁力生成手
段としての電磁石を備え、磁力発生ユニット７（駆動手
段）の駆動によって必要に応じてヒートコマ５及びフレ
ーム押さえ治具６を励磁できるようになっている。ヒー
トコマ５とフレーム押さえ治具６は同時に励磁される
が、相互に吸引作用が働くように駆動される。
治具６は、従来のヒートコマ２及びフレーム押さえ治具
３と同一の用途及び機能を有するほか内部に磁力生成手
段としての電磁石を備え、磁力発生ユニット７（駆動手
段）の駆動によって必要に応じてヒートコマ５及びフレ
ーム押さえ治具６を励磁できるようになっている。ヒー
トコマ５とフレーム押さえ治具６は同時に励磁される
が、相互に吸引作用が働くように駆動される。
【００１７】以上の構成において、ヒートコマ５及びフ
レーム押さえ治具６は、フレーム１の搬入（及び搬出）
時にはフレーム１から離間しており、この状態において
フレーム１はフレーム搬送レール４によってガイドされ
ながら定位置へ搬送される。定位置におけるフレーム１
の下側にはヒートコマ５が昇降自在に配設され、上側に
はフレーム押さえ治具６が配設されている。
レーム押さえ治具６は、フレーム１の搬入（及び搬出）
時にはフレーム１から離間しており、この状態において
フレーム１はフレーム搬送レール４によってガイドされ
ながら定位置へ搬送される。定位置におけるフレーム１
の下側にはヒートコマ５が昇降自在に配設され、上側に
はフレーム押さえ治具６が配設されている。
【００１８】ヒートコマ５及びフレーム押さえ治具６
は、フレーム１が定位置に無いときには非励磁であり、
両者から磁力は発生していない。しかし、フレーム１の
搬入が終了し、ヒートコマ５及びフレーム押さえ治具６
によってフレーム１をクランプした時点で、磁力発生ユ
ニット７によりヒートコマ５及びフレーム押さえ治具６
が同時に励磁される。これによる磁力はヒートコマ５及
びフレーム押さえ治具６を吸着しあうように発生する。
は、フレーム１が定位置に無いときには非励磁であり、
両者から磁力は発生していない。しかし、フレーム１の
搬入が終了し、ヒートコマ５及びフレーム押さえ治具６
によってフレーム１をクランプした時点で、磁力発生ユ
ニット７によりヒートコマ５及びフレーム押さえ治具６
が同時に励磁される。これによる磁力はヒートコマ５及
びフレーム押さえ治具６を吸着しあうように発生する。
【００１９】したがって、ヒートコマ５とフレーム押さ
え治具６によるクランプ力に加え、さらにクランプ力が
付与され、フレーム１は確実かつ均一に固定される。ワ
イヤボンディングが終了すると、ヒートコマ５が下降す
ると共にフレーム押さえ治具６が上昇し、さらに磁力発
生ユニット７は動作を停止する。これにより、ヒートコ
マ５及びフレーム押さえ治具６は消磁され、磁力による
クランプ力は消滅する。以上の一連の動作がフレーム１
の搬入ごとに繰り返し実行される。
え治具６によるクランプ力に加え、さらにクランプ力が
付与され、フレーム１は確実かつ均一に固定される。ワ
イヤボンディングが終了すると、ヒートコマ５が下降す
ると共にフレーム押さえ治具６が上昇し、さらに磁力発
生ユニット７は動作を停止する。これにより、ヒートコ
マ５及びフレーム押さえ治具６は消磁され、磁力による
クランプ力は消滅する。以上の一連の動作がフレーム１
の搬入ごとに繰り返し実行される。
【００２０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２１】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２２】すなわち、リードフレームのインナーリー
ド部に対してワイヤボンディングを行うに際し、前記リ
ードフレームをヒートコマ及びフレーム押さえ治具によ
りクランプするフレーム押さえ装置であって、前記ヒー
トコマ及び前記フレーム押さえ治具の各々に設けられて
クランプ時に電気的に磁力を発生する磁力生成手段と、
この磁力生成手段をフレームクランプ時に励磁する駆動
手段とを設けるようにしたので、フレームのクランプ力
を更に高め、かつ均一にクランプすることが可能にな
る。
ド部に対してワイヤボンディングを行うに際し、前記リ
ードフレームをヒートコマ及びフレーム押さえ治具によ
りクランプするフレーム押さえ装置であって、前記ヒー
トコマ及び前記フレーム押さえ治具の各々に設けられて
クランプ時に電気的に磁力を発生する磁力生成手段と、
この磁力生成手段をフレームクランプ時に励磁する駆動
手段とを設けるようにしたので、フレームのクランプ力
を更に高め、かつ均一にクランプすることが可能にな
る。
【００２３】さらに、フレームの傾きが生じないように
できる結果、ヒートコマ及びフレーム押さえ治具の調整
が従来に比べて簡単になり、作業性が向上する。
できる結果、ヒートコマ及びフレーム押さえ治具の調整
が従来に比べて簡単になり、作業性が向上する。
【図１】本発明によるワイヤボンダのフレーム押さえ装
置の一実施例を示す正面図である。
置の一実施例を示す正面図である。
【図２】本発明者によって考え出されたフレーム押さえ
機構を示す正面図である。
機構を示す正面図である。
【図３】図２におけるフレーム押さえ機構にあってヒー
トコマ及びフレーム押さえ治具でフレームをクランプし
た状態を示す正面図である。
トコマ及びフレーム押さえ治具でフレームをクランプし
た状態を示す正面図である。
１ フレーム ２ ヒートコマ ３ フレーム押さえ治具 ４ フレーム搬送レール ５ ヒートコマ ６ フレーム押さえ治具 ７ 磁力発生ユニット
Claims (2)
- 【請求項１】 リードフレームのインナーリード部に対
してワイヤボンディイングを行うに際し、前記リードフ
レームをヒートコマ及びフレーム押さえ治具によりクラ
ンプするフレーム押さえ装置であって、前記ヒートコマ
及び前記フレーム押さえ治具または各治具を取り付けた
機構部分の各々またはいずれか一方に設けられてクラン
プ時に電気的に磁力を発生する磁力生成手段と、この磁
力生成手段をフレームクランプ時に励磁する駆動手段と
を具備することを特徴とするワイヤボンダのフレーム押
さえ装置。 - 【請求項２】 前記駆動手段は、前記ヒートコマ及び前
記リードフレーム押さえ治具により発生する磁力が相互
に吸引する方向に駆動することを特徴とする請求項１記
載のワイヤボンダのフレーム押さえ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14103793A JPH06349882A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | ワイヤボンダのフレーム押さえ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14103793A JPH06349882A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | ワイヤボンダのフレーム押さえ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349882A true JPH06349882A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15282770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14103793A Pending JPH06349882A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | ワイヤボンダのフレーム押さえ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06349882A (ja) |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP14103793A patent/JPH06349882A/ja active Pending
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