JPH06345432A - チタン酸バリウム粉末の製造方法 - Google Patents
チタン酸バリウム粉末の製造方法Info
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- JPH06345432A JPH06345432A JP13181293A JP13181293A JPH06345432A JP H06345432 A JPH06345432 A JP H06345432A JP 13181293 A JP13181293 A JP 13181293A JP 13181293 A JP13181293 A JP 13181293A JP H06345432 A JPH06345432 A JP H06345432A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 誘電率が高く、誘電率の温度係数及び誘電損
失が小さく、低い温度で焼成でき、グレインサイズが小
さく、かつ、電圧依存性の小さな積層コンデンサの製造
を可能にするチタン酸バリウム粉末を得ること。 【構成】 チタンアルコキシドとマンガンアルコキシド
とを含む溶液をアルカリで加水分解した後、バリウム塩
と水熱反応させる。
失が小さく、低い温度で焼成でき、グレインサイズが小
さく、かつ、電圧依存性の小さな積層コンデンサの製造
を可能にするチタン酸バリウム粉末を得ること。 【構成】 チタンアルコキシドとマンガンアルコキシド
とを含む溶液をアルカリで加水分解した後、バリウム塩
と水熱反応させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチタン酸バリウム粉末の
製造方法、特に、積層コンデンサ等の高誘電率磁器組成
物材料として用いられるチタン酸バリウム粉末の製造方
法に関するものである。
製造方法、特に、積層コンデンサ等の高誘電率磁器組成
物材料として用いられるチタン酸バリウム粉末の製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高誘電率で誘電率の温度変化が小
さな誘電体磁器組成物としては、例えば、チタン酸バリ
ウムを主成分とし、これに副成分としてＢi2Ｏ3−ＴiＯ
2、Ｂi2Ｏ3−ＳnＯ2、Ｂi2Ｏ3−ＺｒＯ2などのビスマス
化合物と希土類元素とを添加したものがあるほか、チタ
ン酸バリウムを主成分とし、これに副成分としてビスマ
ス化合物とＭgＯ，ＳiＯ2などを添加したものが広く採
用されている。
さな誘電体磁器組成物としては、例えば、チタン酸バリ
ウムを主成分とし、これに副成分としてＢi2Ｏ3−ＴiＯ
2、Ｂi2Ｏ3−ＳnＯ2、Ｂi2Ｏ3−ＺｒＯ2などのビスマス
化合物と希土類元素とを添加したものがあるほか、チタ
ン酸バリウムを主成分とし、これに副成分としてビスマ
ス化合物とＭgＯ，ＳiＯ2などを添加したものが広く採
用されている。
【０００３】他方、前記組成の誘電体磁器組成物とは別
に、平坦な誘電率温度特性が得られる組成物として、Ｂ
aＴiＯ3を主成分とし、これにＮb2Ｏ5、Ｎd2Ｏ3及びＭ
n,Ｃr,Ｆe,Ｎi,Ｃoの酸化物を副成分として添加したも
のが、例えば、特開昭５１−１４３８９９号、特開昭５
７−９２５７５号にて提案されている。また、特開昭６
４−４５７７２号にて誘電率が３０００〜５０００と高
く平坦な誘電率温度特性を有する高誘電率磁器組成物が
提案されている。
に、平坦な誘電率温度特性が得られる組成物として、Ｂ
aＴiＯ3を主成分とし、これにＮb2Ｏ5、Ｎd2Ｏ3及びＭ
n,Ｃr,Ｆe,Ｎi,Ｃoの酸化物を副成分として添加したも
のが、例えば、特開昭５１−１４３８９９号、特開昭５
７−９２５７５号にて提案されている。また、特開昭６
４−４５７７２号にて誘電率が３０００〜５０００と高
く平坦な誘電率温度特性を有する高誘電率磁器組成物が
提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、チタン
酸バリウムを主成分とし、これにビスマス化合物を添加
した誘電体磁器組成物は、誘電率が1000〜2000と低く、
高周波での誘電損失（tan δ）が大きいという問題があ
る。しかも、誘電率を高くすると、静電容量の温度変化
率（温度係数）が大きくなり、逆に、静電容量の温度変
化率を小さくすると、誘電率が低下するという相反する
傾向があるため、この組成物をコンデンサの誘電体材料
として用いた場合、コンデンサの小型大容量化には限界
があった。また、副成分としてビスマス化合物を含む組
成物では、焼成時に酸化ビスマスが蒸発して磁器に歪み
を生じたり、組成比が変化して電気的特性にバラツキを
生じる他、これを積層コンデンサ用誘電体材料とし、そ
の電極材料としてＰd又はＡg-Ｐd合金を用いた場合、Ｐ
dとＢi2Ｏ3が反応して電極の特性が損なわれるため、必
然的に、内部電極としてＢi2Ｏ3と反応しない材料、Ｐt
を使用しなければならず、コストの上昇を招くという問
題があった。
酸バリウムを主成分とし、これにビスマス化合物を添加
した誘電体磁器組成物は、誘電率が1000〜2000と低く、
高周波での誘電損失（tan δ）が大きいという問題があ
る。しかも、誘電率を高くすると、静電容量の温度変化
率（温度係数）が大きくなり、逆に、静電容量の温度変
化率を小さくすると、誘電率が低下するという相反する
傾向があるため、この組成物をコンデンサの誘電体材料
として用いた場合、コンデンサの小型大容量化には限界
があった。また、副成分としてビスマス化合物を含む組
成物では、焼成時に酸化ビスマスが蒸発して磁器に歪み
を生じたり、組成比が変化して電気的特性にバラツキを
生じる他、これを積層コンデンサ用誘電体材料とし、そ
の電極材料としてＰd又はＡg-Ｐd合金を用いた場合、Ｐ
dとＢi2Ｏ3が反応して電極の特性が損なわれるため、必
然的に、内部電極としてＢi2Ｏ3と反応しない材料、Ｐt
を使用しなければならず、コストの上昇を招くという問
題があった。
【０００５】また、特開昭５１ー１４３８９９号に記載
の誘電体磁器組成物は、−２５℃〜＋８５℃の狭い範囲
でさえ−２７％以上の誘電率温度変化率を示し、−５５
℃〜＋１２５℃の広い範囲では誘電率温度変化率が±１
５％以下の平坦な温度特性を得ることは不可能である。
他方、特開昭５７ー９２５７５号に記載の誘電体磁器組
成物は、−５５℃〜＋１２５℃の広い範囲で誘電率温度
変化率が±１５％以下のものが得られるが、誘電率が２
８００以上、誘電損失が２．５％以下、焼結温度が１２
５０℃以下という条件を全て満たすことは困難であっ
た。
の誘電体磁器組成物は、−２５℃〜＋８５℃の狭い範囲
でさえ−２７％以上の誘電率温度変化率を示し、−５５
℃〜＋１２５℃の広い範囲では誘電率温度変化率が±１
５％以下の平坦な温度特性を得ることは不可能である。
他方、特開昭５７ー９２５７５号に記載の誘電体磁器組
成物は、−５５℃〜＋１２５℃の広い範囲で誘電率温度
変化率が±１５％以下のものが得られるが、誘電率が２
８００以上、誘電損失が２．５％以下、焼結温度が１２
５０℃以下という条件を全て満たすことは困難であっ
た。
【０００６】さらに、特開昭６４ー４５７７２号に記載
の誘電体磁器組成物は、高い誘電率を示すが、焼成温度
が１２８０℃以上と高く、しかも、電圧依存性が高いた
め最近要求されている薄膜化に対応できないという問題
がある。即ち、最近、電子機器の小型高性能化に伴い、
それに使用される磁器コンデンサ、特に、積層コンデン
サにおいては小型化かつ大容量化のために、磁器誘電体
層の厚みが５〜１５μmと薄膜化される傾向にあるが、
それを実現するためには、誘電体磁器組成物は高誘電率
であるばかりでなく、磁器のグレインサイズが小さく、
電圧依存性も小さいことが要求される。しかしながら、
前記組成物では電圧依存性が大きいため薄膜化が困難で
小型大容量の積層コンデンサを製造することが困難であ
った。
の誘電体磁器組成物は、高い誘電率を示すが、焼成温度
が１２８０℃以上と高く、しかも、電圧依存性が高いた
め最近要求されている薄膜化に対応できないという問題
がある。即ち、最近、電子機器の小型高性能化に伴い、
それに使用される磁器コンデンサ、特に、積層コンデン
サにおいては小型化かつ大容量化のために、磁器誘電体
層の厚みが５〜１５μmと薄膜化される傾向にあるが、
それを実現するためには、誘電体磁器組成物は高誘電率
であるばかりでなく、磁器のグレインサイズが小さく、
電圧依存性も小さいことが要求される。しかしながら、
前記組成物では電圧依存性が大きいため薄膜化が困難で
小型大容量の積層コンデンサを製造することが困難であ
った。
【０００７】従って、本発明の目的は、誘電率が高く、
誘電率の温度係数及び誘電損失が小さく、低い温度で焼
成でき、ＥＩＡに規定されるＸ７Ｒの配合組成で積層コ
ンデンサに適用した場合に、従来の固相法で製造された
チタン酸バリウム粉末を用いた場合に比べて、グレイン
サイズが小さく、かつ、電圧依存性の小さな積層コンデ
ンサを製造することができるチタン酸バリウム粉末を得
ることにある。
誘電率の温度係数及び誘電損失が小さく、低い温度で焼
成でき、ＥＩＡに規定されるＸ７Ｒの配合組成で積層コ
ンデンサに適用した場合に、従来の固相法で製造された
チタン酸バリウム粉末を用いた場合に比べて、グレイン
サイズが小さく、かつ、電圧依存性の小さな積層コンデ
ンサを製造することができるチタン酸バリウム粉末を得
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するための手段として、チタンアルコキシドとマンガ
ンアルコキシドとを含む溶液をアルカリで加水分解した
後、バリウム塩と水熱反応させることによりマンガン含
有チタン酸バリウム粉末を合成するようにしたものであ
る。
決するための手段として、チタンアルコキシドとマンガ
ンアルコキシドとを含む溶液をアルカリで加水分解した
後、バリウム塩と水熱反応させることによりマンガン含
有チタン酸バリウム粉末を合成するようにしたものであ
る。
【０００９】前記チタンアルコキシド及びマンガンアル
コキシドとしては、任意のものを使用できるが、アルコ
キシ基の炭素数が１５以下、好ましくは、８以下のもの
が望ましい。代表的なものとしては、チタンアルコキシ
ドを例にすると、チタン イソブトキシド(Ｔｉ(ＯＣ4Ｈ
9)4)、チタンイソプロポキシド(Ｔi(ＯＣ3Ｈ7）4)、ジ
ブトキシージトリエタノールーアミネートチタン、ジブ
トキシ−ジ(２-(ヒドロキシエチルアミノ)エトキシ)チ
タン(Ｔi(Ｃ4Ｈ9Ｏ)2・〔Ｎ(Ｃ2Ｈ4ＯＨ)2(Ｃ2Ｈ
4Ｏ)〕2)などが挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。また、加水分解するためのアルカリとして
は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモ
ニウムなどが代表的なものとして挙げられる。さらに、
バリウム塩としては、塩酸塩、硝酸塩、硫酸塩などの無
機酸塩を使用すれば良い。
コキシドとしては、任意のものを使用できるが、アルコ
キシ基の炭素数が１５以下、好ましくは、８以下のもの
が望ましい。代表的なものとしては、チタンアルコキシ
ドを例にすると、チタン イソブトキシド(Ｔｉ(ＯＣ4Ｈ
9)4)、チタンイソプロポキシド(Ｔi(ＯＣ3Ｈ7）4)、ジ
ブトキシージトリエタノールーアミネートチタン、ジブ
トキシ−ジ(２-(ヒドロキシエチルアミノ)エトキシ)チ
タン(Ｔi(Ｃ4Ｈ9Ｏ)2・〔Ｎ(Ｃ2Ｈ4ＯＨ)2(Ｃ2Ｈ
4Ｏ)〕2)などが挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。また、加水分解するためのアルカリとして
は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモ
ニウムなどが代表的なものとして挙げられる。さらに、
バリウム塩としては、塩酸塩、硝酸塩、硫酸塩などの無
機酸塩を使用すれば良い。
【００１０】
【作用】チタンアルコキシドとマンガンアルコキシドと
を含む溶液をアルカリで加水分解し、バリウム塩と水熱
反応させると、チタン酸バリウム粉末が合成される。マ
ンガンは、特に、絶縁抵抗を増加させると共に、誘電率
温度特性を平坦化するために添加されるが、その含有量
が０.５モル％を越えると、高温での絶縁抵抗が低下し
たり、誘電率の温度変化率がＥＩＡ規格のＸ７Ｒ特性か
ら外れるので、マンガンの含有量は０.５モル％以下と
した。また、水熱反応は１００℃未満でも進行するが、
この場合、チタン酸バリウムの生成に２４時間以上の反
応時間を要し実用的ではないので、反応温度が高いほど
好ましい。従って、反応容器の材質としては、耐熱性及
び耐圧性に優れたものが好適であるが、その材質として
テトラフルオロエチレンを用いることも可能である。こ
の場合、その耐熱性及び耐圧性の観点からは２００℃以
下が望ましい。
を含む溶液をアルカリで加水分解し、バリウム塩と水熱
反応させると、チタン酸バリウム粉末が合成される。マ
ンガンは、特に、絶縁抵抗を増加させると共に、誘電率
温度特性を平坦化するために添加されるが、その含有量
が０.５モル％を越えると、高温での絶縁抵抗が低下し
たり、誘電率の温度変化率がＥＩＡ規格のＸ７Ｒ特性か
ら外れるので、マンガンの含有量は０.５モル％以下と
した。また、水熱反応は１００℃未満でも進行するが、
この場合、チタン酸バリウムの生成に２４時間以上の反
応時間を要し実用的ではないので、反応温度が高いほど
好ましい。従って、反応容器の材質としては、耐熱性及
び耐圧性に優れたものが好適であるが、その材質として
テトラフルオロエチレンを用いることも可能である。こ
の場合、その耐熱性及び耐圧性の観点からは２００℃以
下が望ましい。
【００１１】
【実施例】以下、本発明方法の実施例について説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。
が、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１２】０.１molのチタンイソプロポキシド(Ｔi
(Ｏ-i-Ｃ3Ｈ7)4)及び０.０００１molのマンガンジメト
キシド（Ｍn(ＯＣＨ3)2）を正確に秤量し、約３０mlの
イソプロピルアルコールと共に内容積約４００mlのテフ
ロン製ビーカーに入れて溶解する。この溶液をウルトラ
デイスパーサーで撹拌しながら、０.２molの水酸化ナト
リウムを含有する水溶液１２０mlを加えて加水分解す
る。次いで、その反応液に０.１５molのＢａＣｌ2・２Ｈ
2Ｏを添加し、オートクレーブ装置を用い、テフロン製
撹拌棒で１５０rpmで撹拌しながら、温度１６０℃、圧
力１０Ｋｇ/cm2の条件で４時間水熱合成を行なう。反応
終了後、ビーカー内の沈殿物を取り出し、洗浄及びろ過
を数回繰り返し、乾燥及び解砕し、得られた粉末を空気
中、１０００℃で２時間仮焼して、チタン酸バリウム粉
末を得た。得られた仮焼粉末は、比表面積：２.５m2/
g、粒子径：０.４μm、Ｂa/Ｔi比：０.９９９であっ
た。また、この仮焼粉末をＸ線回折分析にしたところ、
結晶構造は正方晶であった。
(Ｏ-i-Ｃ3Ｈ7)4)及び０.０００１molのマンガンジメト
キシド（Ｍn(ＯＣＨ3)2）を正確に秤量し、約３０mlの
イソプロピルアルコールと共に内容積約４００mlのテフ
ロン製ビーカーに入れて溶解する。この溶液をウルトラ
デイスパーサーで撹拌しながら、０.２molの水酸化ナト
リウムを含有する水溶液１２０mlを加えて加水分解す
る。次いで、その反応液に０.１５molのＢａＣｌ2・２Ｈ
2Ｏを添加し、オートクレーブ装置を用い、テフロン製
撹拌棒で１５０rpmで撹拌しながら、温度１６０℃、圧
力１０Ｋｇ/cm2の条件で４時間水熱合成を行なう。反応
終了後、ビーカー内の沈殿物を取り出し、洗浄及びろ過
を数回繰り返し、乾燥及び解砕し、得られた粉末を空気
中、１０００℃で２時間仮焼して、チタン酸バリウム粉
末を得た。得られた仮焼粉末は、比表面積：２.５m2/
g、粒子径：０.４μm、Ｂa/Ｔi比：０.９９９であっ
た。また、この仮焼粉末をＸ線回折分析にしたところ、
結晶構造は正方晶であった。
【００１３】前記チタン酸バリウム粉末１００重量部に
対し、Ｎｂ2Ｏ5：１.３５重量部、Ｃｏ2Ｏ3：０．５重
量部、Ｎｄ2Ｏ3：０.７重量部、ＭｎＣＯ3：０．０５重
量部、ＳiＯ2：０.２重量部をそれぞれ添加して誘電体
セラミック原料粉末を調製し、この原料粉末にポリビニ
ルブチラール系バインダ及びエタノールを加え、ボール
ミルで湿式混合してスラリーを調製した。このスラリー
をドクターブレード法によりシート成形し、厚さ約２０
μmの矩形のセラミックグリーンシート得た。この各セ
ラミックグリーンシート上にＰｄを主成分とする導電ペ
ーストを印刷して内部電極形成用導電ペースト層を形成
した後、導電ペースト層の引き出されている側が互い違
いになるように複数枚積層して積層体を得、これを空気
中、１２５０℃で２時間焼成した。得られた積層コンデ
ンサチップの両端面に銀ペーストを塗布し、空気中、７
５０℃で焼付け、内部電極と電気的に接続された外部電
極を形成し、積層コンデンサを得た。
対し、Ｎｂ2Ｏ5：１.３５重量部、Ｃｏ2Ｏ3：０．５重
量部、Ｎｄ2Ｏ3：０.７重量部、ＭｎＣＯ3：０．０５重
量部、ＳiＯ2：０.２重量部をそれぞれ添加して誘電体
セラミック原料粉末を調製し、この原料粉末にポリビニ
ルブチラール系バインダ及びエタノールを加え、ボール
ミルで湿式混合してスラリーを調製した。このスラリー
をドクターブレード法によりシート成形し、厚さ約２０
μmの矩形のセラミックグリーンシート得た。この各セ
ラミックグリーンシート上にＰｄを主成分とする導電ペ
ーストを印刷して内部電極形成用導電ペースト層を形成
した後、導電ペースト層の引き出されている側が互い違
いになるように複数枚積層して積層体を得、これを空気
中、１２５０℃で２時間焼成した。得られた積層コンデ
ンサチップの両端面に銀ペーストを塗布し、空気中、７
５０℃で焼付け、内部電極と電気的に接続された外部電
極を形成し、積層コンデンサを得た。
【００１４】得られた積層コンデンサを試料とし、その
静電容量（Ｃ）、誘電損失（tan δ）、絶縁破壊電圧、
ＤＣバイアス特性、エージング特性、ＣＲ積及び誘電率
の温度変化率を求めた。
静電容量（Ｃ）、誘電損失（tan δ）、絶縁破壊電圧、
ＤＣバイアス特性、エージング特性、ＣＲ積及び誘電率
の温度変化率を求めた。
【００１５】なお、静電容量（Ｃ）及び誘電損失（tan
δ）の測定は、自動ブリッジ式測定器を用い、各試料に
ついて２５℃で１ＫＨz、１Ｖrmsの電圧を印加して行な
った。また、ＤＣバイアス特性は、前記条件下で１.５
ｋＶ/mmの直流電界を重畳した時の静電容量を測定し
て、０ｋＶ/mmの時の静電容量を基準としてその変化率
を求めた。エージング特性は、１５０℃、３０分の条件
下で熱消極を行ない、その直後から１日後の静電容量を
基準としてその値と１０日後に於ける静電容量とから変
化率を求めた。誘電率の温度変化率は、２５℃の静電容
量を基準として−５５℃〜１２５℃の温度範囲にわたる
静電容量の変化率として求めた。
δ）の測定は、自動ブリッジ式測定器を用い、各試料に
ついて２５℃で１ＫＨz、１Ｖrmsの電圧を印加して行な
った。また、ＤＣバイアス特性は、前記条件下で１.５
ｋＶ/mmの直流電界を重畳した時の静電容量を測定し
て、０ｋＶ/mmの時の静電容量を基準としてその変化率
を求めた。エージング特性は、１５０℃、３０分の条件
下で熱消極を行ない、その直後から１日後の静電容量を
基準としてその値と１０日後に於ける静電容量とから変
化率を求めた。誘電率の温度変化率は、２５℃の静電容
量を基準として−５５℃〜１２５℃の温度範囲にわたる
静電容量の変化率として求めた。
【００１６】さらに、２５℃及び１２５℃での絶縁抵抗
を求めるため、絶縁抵抗計を用いて１６Ｖの電圧を２分
間印加し、静電容量（Ｃ）と絶縁抵抗（Ｒ）の積、即
ち、ＣＲ積を求めた。それらの結果を固相法により調製
したチタン酸バリウム粉末を用いた比較例についての結
果と共に表１に示す。
を求めるため、絶縁抵抗計を用いて１６Ｖの電圧を２分
間印加し、静電容量（Ｃ）と絶縁抵抗（Ｒ）の積、即
ち、ＣＲ積を求めた。それらの結果を固相法により調製
したチタン酸バリウム粉末を用いた比較例についての結
果と共に表１に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１に示す結果から明らかなように、本発
明に係るチタン酸バリウム粉末を用いることにより、従
来のものに比して、誘電率、ＣＲ積及び誘電率温度変化
率が向上し、誘電損失も1.2％と従来得られなかった優
れた特性の積層コンデンサが得られる。しかも、絶縁破
壊電圧、DCバイアス特性及びエージング特性のいづれも
著しく向上させることができ、従って、積層コンデンサ
の誘電体層の薄膜化を図ることができる。また、本発明
の実施例の試料は焼結温度が１２５０℃と、従来のもの
の焼結温度１３００℃に比べて、低温焼結させることが
できる。
明に係るチタン酸バリウム粉末を用いることにより、従
来のものに比して、誘電率、ＣＲ積及び誘電率温度変化
率が向上し、誘電損失も1.2％と従来得られなかった優
れた特性の積層コンデンサが得られる。しかも、絶縁破
壊電圧、DCバイアス特性及びエージング特性のいづれも
著しく向上させることができ、従って、積層コンデンサ
の誘電体層の薄膜化を図ることができる。また、本発明
の実施例の試料は焼結温度が１２５０℃と、従来のもの
の焼結温度１３００℃に比べて、低温焼結させることが
できる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、水熱反
応によりチタン酸バリウム粉末を合成するようにしたの
で、従来の固相法に比べて、誘電率が高く、誘電率の温
度係数及び誘電損失が小さく、低い温度で焼成でき、グ
レインサイズが小さく、かつ、電圧依存性の小さな積層
コンデンサを製造することができるチタン酸バリウム粉
末を得ることができる。
応によりチタン酸バリウム粉末を合成するようにしたの
で、従来の固相法に比べて、誘電率が高く、誘電率の温
度係数及び誘電損失が小さく、低い温度で焼成でき、グ
レインサイズが小さく、かつ、電圧依存性の小さな積層
コンデンサを製造することができるチタン酸バリウム粉
末を得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 チタンアルコキシドとマンガンアルコキ
シドとを含む溶液をアルカリで加水分解した後、バリウ
ム塩と水熱反応させることを特徴とするチタン酸バリウ
ム粉末の製造方法。 - 【請求項２】 前記マンガンの含有量が０.５モル％以
下である請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記水熱反応を１００℃以上、かつ、２
００℃以下の温度で行なう請求項１または２に記載の方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13181293A JPH06345432A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | チタン酸バリウム粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13181293A JPH06345432A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | チタン酸バリウム粉末の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06345432A true JPH06345432A (ja) | 1994-12-20 |
Family
ID=15066689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13181293A Pending JPH06345432A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | チタン酸バリウム粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06345432A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100395512B1 (ko) * | 2000-09-08 | 2003-08-25 | 한국과학기술연구원 | 이소결성 초미립 티탄산바륨 분말 제조방법 |
| US6784235B2 (en) | 2000-05-04 | 2004-08-31 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Polyolefin film compositions with permanent antifog properties |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13181293A patent/JPH06345432A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100395512B1 (ko) * | 2000-09-08 | 2003-08-25 | 한국과학기술연구원 | 이소결성 초미립 티탄산바륨 분말 제조방법 |
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