JP3470299B2 - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は積層セラミックコンデ
ンサの製造方法に関し、特にＮｉあるいはＮｉ合金から
なる内部電極を有し、たとえば電子機器に用いられる積
層セラミックコンデンサの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に積層セラミックコンデンサの製
造工程では、まず、その表面に内部電極となる電極材料
を塗布したシート状の誘電体材料が準備される。誘電体
材料としては、たとえばＢａＴｉＯ₃ を主成分とする材
料などが用いられる。この電極材料を塗布したシート状
の誘電体材料を積層して熱圧着し、一体化したものを自
然雰囲気中において１２５０〜１３５０℃で焼成するこ
とで、内部電極を有する誘電体磁器が得られる。そし
て、この誘電体磁器の端面に、内部電極と導通する外部
電極を焼き付けて、積層セラミックコンデンサが得られ
る。

【０００３】したがって、このような積層セラミックコ
ンデンサに用いられる内部電極の材料としては、次のよ
うな条件を満たす必要がある。

【０００４】（ａ）誘電体磁器と内部電極とが同時に焼
成されるので、誘電体磁器が焼成される温度以上の融点
を有すること。

【０００５】（ｂ）酸化性の高温雰囲気中においても酸
化されず、しかも誘電体と反応しないこと。

【０００６】このような条件を満足する電極材料として
は、Ｐｔ，Ａｕ，ＰｄあるいはＡｇ−Ｐｄ合金などのよ
うな貴金属が用いられていた。

【０００７】しかしながら、これらの電極材料は優れた
特性を有する反面、高価であった。そのため、積層セラ
ミックコンデンサに占める電極材料費の割合は３０〜７
０％にも達し、製造コストを上昇させる最大の要因とな
っていた。

【０００８】貴金属以外に高融点をもつものとしてＮ
ｉ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｗ，Ｍｏなどの卑金属があるが、これ
らの卑金属は高温の酸化性雰囲気中では容易に酸化され
てしまい、電極としての役目を果たさなくなってしま
う。そのため、これらの卑金属を積層セラミックコンデ
ンサの内部電極として使用するためには、誘電体磁器と
ともに還元性雰囲気中で焼成する必要がある。しかしな
がら、従来の誘電体磁器材料では、このような還元性雰
囲気中で焼成すると著しく還元されてしまい、半導体化
してしまうという欠点があった。

【０００９】このような欠点を克服するために、たとえ
ば特公昭５７−４２５８８号公報に示されるように、チ
タン酸バリウム固溶体において、バリウムサイト／チタ
ンサイトの比を化学量論比より過剰にした誘電体材料が
考えだされた。

【００１０】このような誘電体材料を使用することによ
って、還元性雰囲気中で焼成しても半導体化しない誘電
体磁器を得ることができた。そして、内部電極としてＮ
ｉなどの卑金属を使用した積層セラミックコンデンサの
製造が可能となった。

【発明が解決しようとする課題】

【００１１】しかしながら、内部電極としてＮｉなどの
卑金属を使用した積層セラミックコンデンサは、自然雰
囲気中で焼成されるＰｔ，Ａｕ，ＰｄあるいはＡｇ−Ｐ
ｄ合金などのような貴金属を内部電極とする積層セラミ
ックコンデンサと比較して、高温負荷試験，湿中負荷試
験時の寿命が短く、信頼性が低いという問題点を有して
いた。

【００１２】一方、近年のエレクトロニクスの発展に伴
い、電子部品の小型化が急速に進行し、積層セラミック
コンデンサも小型化の傾向が顕著になってきた。積層セ
ラミックコンデンサを小型化する方法としては、一般的
に大きな誘電率を有する材料を用いて、誘電体層を薄膜
化することが知られている。

【００１３】しかし、大きな誘電率を有する材料は、結
晶粒が大きい。そのため、１５μｍ以下のような薄膜に
なると、１つの層中に存在する結晶粒の数が減少し、著
しく信頼性が低下してしまう。

【００１４】それゆえに、この発明の主たる目的は、還
元性雰囲気中で焼成しても半導体化せず、しかも結晶粒
径が小さいにもかかわらず、大きな誘電率が得られ、さ
らに低コストで信頼性の高い小型大容量の積層セラミッ
クコンデンサの製造方法を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明は、複数の内部
電極を介在させて積層された誘電体磁器焼結体と、誘電
体磁器焼結体の内部電極に電気的に接続されるように設
けられた外部電極とを含む積層セラミックコンデンサの
製造方法において、不純物として含まれるアルカリ金属
酸化物の含有量が０．０３重量％以下、ハロゲンの含有
量が０．０３重量％以下の一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペ
ロブスカイト型酸化物（ただし、ＡはＢａ，Ｓｒ，Ｃａ
およびＭｇのうちの少なくとも１種類、ＢはＴｉ，Ｚｒ
およびＮｂのうちの少なくとも１種類）を水熱反応を利
用して得る工程と、該一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペロブ
スカイト型酸化物に、該一般式ＡＢＯ ₃ のＡサイト構成
元素および／またはＢサイト構成元素の化合物を、一般
式（ＭＯ） _x ・Ｍ′Ｏ ₂ （ただし、１．０００≦ｘ≦
１．０３５、ＭはＢａ，Ｓｒ，ＣａおよびＭｇのうちの
少なくとも１種類、Ｍ′はＴｉ，ＺｒおよびＮｂのうち
の少なくとも１種類）で表される組成物が得られるよう
に添加し、仮焼して原料粉末を得る工程と、該原料粉末
を含有するグリーンシートを成形する工程と、該グリー
ンシートにＮｉおよびＮｉ合金のうちの１種類を含有す
る導電ペースト層を形成する工程と、該導電ペースト層
を形成したグリーンシートを複数枚積層して生の積層体
を得る工程と、該生の積層体を焼成して、ＮｉおよびＮ
ｉ合金のうちの１種類を内部電極として備えた誘電体磁
器焼結体を得る工程と、を備えることを特徴とする、積
層セラミックコンデンサの製造方法である。

【００１６】前記一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペロブスカ
イト型酸化物に、該一般式ＡＢＯ ₃ のＡサイト構成元素
および／またはＢサイト構成元素の化合物とともに、前
記一般式（ＭＯ） _x ・Ｍ′Ｏ ₂ で表される組成物を１０
０重量部として、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉの各酸
化物をＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，Ｃｒ₂ Ｏ₃ ，ＣｏＯ，Ｎ
ｉＯと表したとき、前記各酸化物の少なくとも１種類以
上を合計で２．０重量部以下添加するのが好ましい。

【００１７】

【作用】積層セラミックコンデンサの原料粉末として
は、一般式ＡＢＯ₃ で表されるペロブスカイト型の酸化
物がよく用いられる。このペロブスカイト型の酸化物の
製造方法としては、従来Ａ群元素（ＡはＢａ，Ｓｒ，Ｃ
ａ，Ｍｇ）の炭酸塩と、Ｂ群元素（ＢはＴｉ，Ｚｒ，Ｎ
ｂ）の酸化物との混合物を１０００℃以上で仮焼し、そ
の後粉砕して原料粉末を得る方法が用いられている。磁
器焼結体の結晶粒径を小さくするために、これらの原料
粉末の微細化が要望されているが、従来の製造方法で
は、仮焼時に焼結が進み、粗大粒子を多量に含むので、
微細で均一な粒度を有する粉末を得ることは困難であっ
た。

【００１８】この問題を解決するための試みとして、共
沈法，アルコキシド法，加水分解法，水熱合成法などに
よって、原料粉末の合成が行われている。中でも、水熱
反応によって合成された粉末は、粒子が微細であるだけ
でなく、組成が均一であり、従来の製造方法によって作
製された原料粉末を用いた誘電体磁器焼結体に比較し
て、結晶粒径が小さく、大きな誘電率が得られるという
ことが知られている。

【００１９】一方、水熱合成法で合成されるペロブスカ
イト型酸化物粉末は、出発原料として塩化物が用いられ
ることが多く、また、結晶化を促進するために、鉱化剤
としてＮａＯＨ，ＫＯＨなどの各種の塩溶液を用いるの
が一般的である。そのため、Ｎａ₂ Ｏ，Ｋ₂ Ｏなどのア
ルカリ金属酸化物とＣｌなどのハロゲンが不純物として
取り込まれている。

【００２０】本発明者らは、ＮｉまたはＮｉ合金からな
る内部電極を有する積層セラミックコンデンサの誘電体
磁器焼結体の原料粉末として、水熱合成法で合成される
ペロブスカイト型酸化物粉末を用いる場合に、不純物と
して存在するＮａ₂ Ｏ，Ｋ₂Ｏなどのアルカリ金属酸化
物およびＣｌなどのハロゲンの含有量が、その高温負荷
試験，湿中負荷試験時の寿命に大きく影響することを見
いだした。

【００２１】すなわち、水熱反応を利用して製造した一
般式ＡＢＯ₃ で表されるペロブスカイト型酸化物（ただ
し、ＡはＢａ，Ｓｒ，ＣａまたはＭｇ、ＢはＴｉ，Ｚｒ
またはＮｂ）の不純物として含まれるアルカリ金属酸化
物およびハロゲンの含有量がいずれも０．０３重量％以
下の原料粉末を用いて、一般式（ＭＯ）_x ・Ｍ′Ｏ
₂（ただし、１．０００≦ｘ≦１．０３５、ＭはＢａ，
Ｓｒ，ＣａまたはＭｇ、Ｍ′はＴｉ，ＺｒまたはＮｂ）
の誘電体磁器組成物を調製することによって、還元雰囲
気中においても、その特性を劣化させることなく焼成す
ることができ、内部電極として、卑金属であるＮｉおよ
びＮｉ合金を用いた高信頼性の積層セラミックコンデン
サを得ることができる。さらに、前記誘電体磁器組成物
を１００重量部として、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ
の各酸化物をＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，Ｃｒ₂ Ｏ₃ ，Ｃｏ
Ｏ，ＮｉＯと表したとき、各酸化物の少なくとも１種類
以上を２．０重量部以下添加することによって、さらに
信頼性が向上する。

【００２２】また、水熱反応によって合成された原料粉
末を用いていることから、結晶粒径が小さく、大きな誘
電率が得られるため、１つの誘電体層中に存在する結晶
粒の数を増やすことができる。そのため、誘電体層の厚
みを薄くしても、信頼性の低下を防ぐことができ、大き
な容量を有する積層セラミックコンデンサを得ることが
できる。

【００２３】

【発明の効果】この発明によれば、還元性雰囲気中で焼
成しても還元されず、高温負荷試験，湿中負荷試験時に
絶縁抵抗が劣化しない誘電体磁器組成物を得ることがで
きるので、この誘電体磁器組成物を用いることによっ
て、電極材料として卑金属を用いても、高信頼性の積層
セラミックコンデンサを提供することができる。さら
に、この誘電体磁器組成物は、比較的低温で焼成可能で
あるため、積層セラミックコンデンサのコストダウンを
図ることができる。

【００２４】また、この誘電体磁器組成物を用いた積層
セラミックコンデンサでは、高誘電率であるにもかかわ
らず、結晶粒が小さい。したがって、誘電体層を薄膜化
しても、従来の積層セラミックコンデンサのように層中
に存在する結晶粒の量が少なくならない。このため、電
圧依存性が小さく、信頼性が高く、しかも小型で大容量
の積層セラミックコンデンサを得ることができる。

【００２５】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、以下の実施例の詳細な説明から一層明
らかとなろう。

【００２６】

【実施例】

実施例１ まず、０．０８４モルのチタンイソプロポキシド（Ｔｉ
（ＯＣ₃ Ｈ₇ ）₄ ）と０．０１６モルのジルコニウムイ
ソブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ₄ Ｈ₉ ）₄ ）とを秤量して、
約３００ｍｌのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に溶
解させた溶液を数種類用意した。これらの溶液を十分に
攪拌した後、それぞれに０．２モル〜０．６モルのＮａ
ＯＨを含有する水溶液１２０ｃｃを加えて加水分解させ
た。これらの加水分解させた溶液それぞれに、０．０９
モルのＢａＣｌ₂ ・２Ｈ₂ Ｏと０．０１モルのＣａＣｌ
₂ ・２Ｈ₂ Ｏとを、Ｎ₂ ガスを吹き込みながら添加，混
合して、混合溶液を得た。そののち、これらの混合溶液
をそれぞれ５００ｍｌのオートクレーブに入れ、２００
℃で１０時間水熱処理した。水熱処理後、冷却して得ら
れたスラリをろ過して、純水で洗浄した。そして、再び
希釈，ろ過，洗浄を１回〜１０回繰り返し行った後、１
１０℃で乾燥した。このようにして、表１に示すような
不純物としてのＮａ量とＣｌ量とが異なった５種類の
（Ｂａ_0.9 Ｃａ_0.1 ）（Ｔｉ_0.84Ｚｒ_0.16）Ｏ₃ の白色
粉末を得た。これらの５種類の白色粉末の（ＢａＣａ）
／（ＴｉＺｒ）比は１．００であった。

【００２７】

【表１】

【００２８】次に、上記の５種類の（Ｂａ_0.9 Ｃ
ａ_0.1 ）（Ｔｉ_0.84Ｚｒ_0.16）Ｏ₃ 粉末とともに、純度
９９．８％以上のＢａＣＯ₃ ，ＣａＣＯ₃ ，ＴｉＯ₂ ，
ＺｒＯ₂ ，ＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，Ｃｒ₂ Ｏ₃ ，Ｃｏ
Ｏ，ＮｉＯを準備した。これらの原料を用いて、｛ (Ｂ
ａ_0.9 Ｃａ_0.1 ）Ｏ｝_x ( Ｔｉ_0.84Ｚｒ_0.16）Ｏ₂ の組
成式で表され、ｘが表２に示す割合となるように配合し
て、配合原料を得た。なお、ＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，Ｃ
ｒ₂ Ｏ₃ ，ＣｏＯ，ＮｉＯについては、｛ (Ｂａ_0.9 Ｃ
ａ_0.1 ）Ｏ｝_x ( Ｔｉ_0.84Ｚｒ_0.16）Ｏ₂ を１００重量
部としたときの添加量を示す。この配合原料をボールミ
ルで湿式混合し、粉砕したのち乾燥し、空気中において
１１００℃で２時間仮焼して仮焼物を得た。この仮焼物
を乾式粉砕機によって粉砕し、粒径が１μｍ以下の原料
粉末を得た。この原料粉末に、ポリビニルブチラール系
バインダおよびエタノールなどの有機溶剤を加えて、ボ
ールミルによって湿式混合し、セラミックスラリを調製
した。そののち、セラミックスラリをドクターブレード
法によってシート成形し、厚み２３μｍの矩形のグリー
ンシートを得た。

【００２９】

【表２】

【００３０】次に、このセラミックグリーンシート上
に、Ｎｉを主体とする導電ペーストを印刷し、内部電極
を構成するための導電ペースト層を形成した。導電ペー
スト層が形成されたセラミックグリーンシートを、導電
ペーストの引き出されている側が互い違いとなるように
複数枚積層し、積層体を得た。得られた積層体をＮ₂ 雰
囲気中において３５０℃の温度に加熱し、バインダを燃
焼させたのち、酸素分圧が１０^-9〜１０^-12 ＭＰａのＨ
₂ −Ｎ₂ −空気ガスからなる還元性雰囲気中において表
３に示す温度で２時間焼成し、セラミック焼結体を得
た。得られたセラミック焼結体の表面を、走査型電子顕
微鏡で倍率１５００倍で観察し、グレインサイズを測定
した。

【００３１】焼成後、得られた焼結体の両端面にＡｇペ
ーストを塗布し、Ｎ₂ 雰囲気中において６００℃の温度
で焼き付け、内部電極と電気的に接続された外部電極を
形成した。このようにして得られた積層セラミックコン
デンサの外形寸法は、幅１．６ｍｍ，長さ３．２ｍｍ，
厚さ１．２ｍｍであり、内部電極間に介在する誘電体セ
ラミック層の厚みは１５μｍである。また、有効誘電体
セラミック層の総数は１９であり、一層当たりの対向電
極の面積は２．１ｍｍ² である。

【００３２】静電容量（Ｃ）および誘電損失（ｔａｎ
δ）は、自動ブリッジ式測定器を用いて、周波数１ｋＨ
ｚ，１Ｖ_rms ，温度２５℃にて測定し、静電容量から誘
電率（ε）を算出した。次に、絶縁抵抗（Ｒ）を測定す
るために、絶縁抵抗計を用い、２５Ｖの直流電圧を２分
間印加して、２５℃，８５℃での絶縁抵抗（Ｒ）を測定
し、静電容量（Ｃ）と絶縁抵抗（Ｒ）との積、すなわち
ＣＲ積を求めた。また、温度変化に対する静電容量の変
化率を測定した。さらに、直流破壊電圧値を測定し、１
ｋＨｚ，１Ｖ_rms の電圧を印加し、直流電圧を１３Ｖ重
畳したときの静電容量の変化率を測定した。なお、温度
変化に対する静電容量の変化率については、２０℃での
静電容量を基準とした−２５℃と８５℃での変化率（Δ
Ｃ／Ｃ₂₀）を示した。

【００３３】高温負荷試験としては、各試料を１００個
ずつ準備し、温度８５℃にて直流電圧を５０Ｖ印加し
て、１０００時間経過後の絶縁抵抗を測定した。また、
湿中負荷試験としては、各試料を１００個ずつ準備し、
湿度９５％，温度７０℃にて直流電圧を２５Ｖ印加し
て、１０００時間経過後の絶縁抵抗を測定した。なお、
高温負荷試験，湿中負荷試験ともに、１０００時間経過
後の絶縁抵抗値（Ｒ）と静電容量（Ｃ）との積、すなわ
ちＣＲ積を調べた。そして、ＣＲ積が５０ＭΩ・μＦ以
下の試料を不良として、その個数を調べた。

【００３４】比較例として、純度９９．８％以上のＢａ
ＣＯ₃ ，ＣａＣＯ₃ ，ＴｉＯ₂ ，ＺｒＯ₂ ，ＭｎＯ₂ を
準備し、これらの原料を用いて、｛ (Ｂａ_0.9 Ｃ
ａ_0.1 ）Ｏ｝_1.01( Ｔｉ_0.8 Ｚｒ_0.2 ）Ｏ₂ ＋０．２５
重量％ＭｎＯ₂ の組成となるように配合して、配合原料
を得た。この配合原料をボールミルで湿式混合し、粉砕
したのち乾燥し、空気中において１１００℃で２時間仮
焼して仮焼物を得た。この仮焼物を乾式粉砕機によって
粉砕し、粒径が１μｍ以下の原料粉末を得た。この原料
粉末を用いて、上述と同様の方法によって、積層コンデ
ンサを作製した。そして、上述の各特性を測定した。

【００３５】以上の各試験の結果を表３に示す。

【００３６】

【表３】

【００３７】実施例２ ０．１モルのチタンイソプロポキシド（Ｔｉ（ＯＣ₃ Ｈ
₇ ）₄ ）と０．００１モルのマグネシウムイソプロポキ
シド（Ｍｇ（ＯＣ₃ Ｈ₇ ）₂ ）とを秤量して、約３００
ｍｌのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に溶解させ、
十分に攪拌した後、０．２モルのＫＯＨを含有する水溶
液１２０ｃｃを加えて加水分解させた。この加水分解さ
せた溶液に、０．０７９モルのＢａＣｌ₂ ・２Ｈ₂ Ｏと
０．０２モルのＳｒＣｌ₂ とを、Ｎ₂ ガスを吹き込みな
がら添加，混合して、混合溶液を得た。そののち、この
混合溶液をそれぞれ５００ｍｌのオートクレーブに入
れ、１７０℃で６時間水熱処理した。水熱処理後、冷却
して得られたスラリをろ過して、純水で洗浄した。そし
て、再び希釈，ろ過，洗浄を数回繰り返し行った後、１
１０℃で乾燥し、（Ｂａ_0.79Ｓｒ_0.2 Ｍｇ_0.01）ＴｉＯ
₃ の白色粉末を得た。この白色粉末の（ＢａＳｒＭｇ）
／Ｔｉ比は０．９９５であり、Ｋ量は０．０１５重量
％、Ｃｌ量は０．０１重量％であった。

【００３８】次に、上記の（Ｂａ_0.79Ｓｒ_0.2 Ｍ
ｇ_0.01）ＴｉＯ₃ 粉末とともに、純度９９．８％以上の
ＢａＣＯ₃ ，ＳｒＣＯ₃ ，ＭｇＯ，ＭｎＯ₂ を準備し
た。これらの原料を用いて、｛（Ｂａ_0.79Ｓｒ_0.2 Ｍｇ
_0.01）Ｏ｝_1.01ＴｉＯ₂ ＋０．２５重量％ＭｎＯ₂ の組
成となるように配合して、配合原料を得た。この配合原
料をボールミルで湿式混合し乾燥したのち、空気中にお
いて１１００℃で２時間仮焼して仮焼物を得た。この仮
焼物を乾式粉砕機によって粉砕し、粒径が１μｍ以下の
原料粉末を得た。この原料粉末を用いて、実施例１と同
様の方法によって、積層コンデンサを作製した。そし
て、実施例１と同様の各特性を測定した。

【００３９】比較例として、純度９９．８％以上のＢａ
ＣＯ₃ ，ＳｒＣＯ₃ ，ＭｇＯ，ＭｎＯ₂ を準備し、これ
らの原料を用いて、｛（Ｂａ_0.79Ｓｒ_0.2 Ｍｇ_0.01）
Ｏ｝_1.01ＴｉＯ₂ ＋０．２５重量％ＭｎＯ₂ の組成とな
るように配合して、配合原料を得た。この配合原料をボ
ールミルで湿式混合し、粉砕したのち乾燥し、空気中に
おいて１１００℃で２時間仮焼して仮焼物を得た。この
仮焼物を乾式粉砕機によって粉砕し、粒径が１μｍ以下
の原料粉末を得た。この原料粉末を用いて、上述と同様
の方法によって、積層コンデンサを作製した。そして、
上述の各特性を測定した。

【００４０】以上の各試験の結果を表４に示す。

【００４１】

【表４】

【００４２】

【００４３】

【００４４】

【００４５】

【００４６】

【００４７】

【００４８】表３，表４から明らかなように、この発明
にかかる積層セラミックコンデンサは、従来の製造方法
によって作製された粉末を用いた積層セラミックコンデ
ンサに比較して、誘電率および破壊電圧が高く、電圧依
存性が小さい。しかも、この積層セラミックコンデンサ
は、比較的低温で焼結可能であり、焼結後の粒径も小さ
い。さらに、この積層セラミックコンデンサは、高温負
荷および湿中負荷時の絶縁抵抗の劣化寿命が長く、優れ
た信頼性を示す。

【００４９】しかしながら、この発明の範囲外では、次
のような特性を示す。

【００５０】試料番号４のように、水熱反応を利用して
製造した原料粉末のアルカリ金属の含有量が０．０３重
量を超えると、高温負荷寿命での不良数が多くなり好ま
しくない。また、試料番号５のように、水熱反応を利用
して製造した原料粉末のハロゲンの含有量が０．０３重
量を超えると、高温負荷寿命および湿中負荷寿命での不
良数が多くなり好ましくない。

【００５１】試料番号６のように、（ＭＯ）／Ｍ′Ｏ₂
比ｘが１．００未満であれば、還元雰囲気で焼成したと
きに、磁器が還元され、半導体化して絶縁抵抗が低下し
好ましくない。一方、試料番号９のように、（ＭＯ）／
Ｍ′Ｏ₂ 比ｘが１．０３５を超えると、焼結性が極端に
悪くなり好ましくない。

【００５２】試料番号１２のように、ＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂
Ｏ₃ ，Ｃｒ₂ Ｏ₃ ，ＣｏＯ，ＮｉＯの含有量が２．０重
量部を超えると、絶縁抵抗が低下し、高温負荷寿命およ
び湿中負荷寿命での不良数が多くなり好ましくない。

【００５３】なお、この発明にかかる積層セラミックコ
ンデンサの磁器焼結体において、微量のシリカおよび酸
化物ガラスのような焼結助材を添加することは、得られ
る積層セラミックコンデンサの特性を何ら損なうもので
はない。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−87456（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−250626（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−92865（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−93211（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−114906（ＪＰ，Ａ) 特公 昭54−38288（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭42−7800（ＪＰ，Ｂ１)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の内部電極を介在させて積層された
   誘電体磁器焼結体と、前記誘電体磁器焼結体の前記内部
   電極に電気的に接続されるように設けられた外部電極と
   を含む積層セラミックコンデンサの製造方法において、不純物として含まれるアルカリ金属酸化物の含有量が
   ０．０３重量％以下、ハロゲンの含有量が０．０３重量
   ％以下の一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペロブスカイト型酸
   化物（ただし、ＡはＢａ，Ｓｒ，ＣａおよびＭｇのうち
   の少なくとも１種類、ＢはＴｉ，ＺｒおよびＮｂのうち
   の少なくとも１種類）を水熱反応を利用して得る工程
   と、 該一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペロブスカイト型酸化物
   に、該一般式ＡＢＯ ₃ のＡサイト構成元素および／また
   はＢサイト構成元素の化合物を、一般式（ＭＯ） _x ・
   Ｍ′Ｏ ₂ （ただし、１．０００≦ｘ≦１．０３５、Ｍは
   Ｂａ，Ｓｒ，ＣａおよびＭｇのうちの少なくとも１種
   類、Ｍ′はＴｉ，ＺｒおよびＮｂのうちの少なくとも１
   種類）で表される組成物が得られるように添加し、仮焼
   して原料粉末を得る工程と、 該原料粉末を含有するグリーンシートを成形する工程
   と、 該グリーンシートにＮｉおよびＮｉ合金のうちの１種類
   を含有する導電ペースト層を形成する工程と、 該導電ペースト層を形成したグリーンシートを複数枚積
   層して生の積層体を得る工程と、 該生の積層体を焼成して、ＮｉおよびＮｉ合金のうちの
   １種類を内部電極として備えた誘電体磁器焼結体を得る
   工程と、 を備えることを特徴とする、 積層セラミックコンデンサ
   の製造方法。
2. 【請求項２】 前記一般式ＡＢＯ ₃ で表されるペロブス
   カイト型酸化物に、該一般式ＡＢＯ ₃ のＡサイト構成元
   素および／またはＢサイト構成元素の化合物とともに、
   前記一般式（ＭＯ） _x ・Ｍ′Ｏ ₂ で表される組成物を１
   ００重量部として、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉの各
   酸化物をＭｎＯ₂ ，Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，Ｃｒ₂ Ｏ₃ ，ＣｏＯ，
   ＮｉＯと表したとき、前記各酸化物の少なくとも１種類
   以上を合計で２．０重量部以下添加することを特徴とす
   る、請求項１記載の積層セラミックコンデンサの製造方
   法。