JP3362408B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】この発明は誘電体磁器組成物に関
し、特にたとえば積層セラミックコンデンサなどに用い
られる誘電体磁器組成物に関する。 【0002】 【従来の技術】磁器コンデンサに用いられる誘電体磁器
組成物としては、従来よりチタン酸バリウムを主体とす
るものが数多く知られている。チタン酸バリウムは、1
20℃付近にキュリ点を持ち、10000近くの誘電率
を示す。しかし、チタン酸バリウムだけでは、常温で高
誘電率とはなり得ない。そこで、チタン酸バリウムにい
わゆるシフタ材を加え、キュリ点を常温に移動させて、
誘電体磁器組成物に常温で高誘電率を持たせている。チ
タン酸バリウムに、シフタ材として錫酸化物,ジルコニ
ウム酸化物などを添加した組成物が、高誘電率の誘電体
磁器組成物として知られている。 【0003】しかし、この高誘電率の誘電体磁器組成物
を用いた磁器は、結晶粒径が10μm〜20μmと大き
い。そのため、この組成物を用いて積層セラミックコン
デンサを形成した場合、層の厚み方向に存在する粒子の
数が少なくなり、機械的強度が低くなり、絶縁破壊電圧
も低くなるという欠点があった。 【0004】また、最近の磁器コンデンサは小型化の傾
向にあり、特に積層コンデンサにおいては、磁器誘電体
層の厚みが5μm〜15μmのものが実用化されつつあ
る。このように誘電体層が薄くなるにしたがって、磁器
の構造的な欠陥が特性に反映されやすくなる。そのた
め、磁器組成物としては、高誘電率であるだけでなく、
結晶粒の大きさ(グレインサイズ)が均一かつ微細であ
ることと、空孔が少なくかつ小さいことが望まれてい
る。 【0005】そこで、グレインサイズの小さいチタン酸
バリウムを主体とした誘電体磁器が、たとえば特願昭5
7−160809号,特願昭57−105919号,特
願昭57−196469号などに開示されている。これ
らの誘電体磁器は、チタン酸バリウムに酸化セリウムと
ジルコン酸バリウムとを加え、あるいはチタン酸バリウ
ムに酸化ネオジムを加えることによって、チタン酸バリ
ウムのグレインサイズを小さくしたものである。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グレイ
ンサイズの小さいこれらの誘電体磁器では、誘電率が常
温で最大10000前後であり、グレインサイズの大き
いものに比べると誘電率が小さかった。そのため、積層
コンデンサを小型にした場合、大きい静電容量を得るこ
とが困難であった。また、焼結温度が高く、1300℃
以上の温度で焼成しなければならないため、内部電極と
して高価なPd電極を用いる必要があり、、生産コスト
に占める内部電極材料のコスト比率が高くなってしま
う。特に静電容量の大きいものでは、内部電極数が多く
なるため、さらにコスト高となり、高信頼性にもかかわ
らず、価格面で大きな障害となっていた。 【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、グ
レインサイズが小さく、大きい誘電率を有し、しかも、
これを用いることによって、積層セラミックコンデンサ
の内部電極に比較的安価なAg−Pd合金を用いること
ができる誘電体磁器組成物を提供することである。 【0008】 【課題を解決するための手段】この発明は、Ba,C
a,Ti,Zr,NbおよびRe(ReはTb,Dy,
HoおよびErの中から選ばれる少なくとも1種類の希
土類元素)の各酸化物からなり、次の一般式、{(Ba
1-x-y Cax Rey )O1+y/2m (Ti1-o-pZro
Nbp )O2+p/2 で表され、x,y,o,pおよびm
が、0<x≦0.12、0.0005≦y≦0.04、
0<o≦0.20、0.0005≦p≦0.04、0.
99≦m≦1.03の関係を満足する主成分100重量
部に対して、副成分として、Mn,Fe,Cr,Co,
Niの各酸化物をMnO2 ,Fe23 ,Cr23
CoOおよびNiOと表したとき、各酸化物の少なくと
も1種類を合計量で0.01〜0.5重量部添加含有
し、さらに、BaO−SrO−Li2 O−SiO2 を主
成分とする酸化物ガラスを0.01重量部〜5.0重量
部含み、大気中で焼成された誘電体磁器組成物である。 【0009】 【発明の効果】この発明にかかる誘電体磁器組成物を用
いれば、誘電率が12000以上あり、しかも、高誘電
率であるにもかかわらず、結晶粒が3μm以下と小さい
積層セラミックコンデンサを得ることができる。したが
って、積層セラミックコンデンサの誘電体層を薄膜化し
ても、従来の積層セラミックコンデンサのように、層中
に存在する結晶粒の量が少なくならない。このため、信
頼性が高く、しかも小型で大容量の積層セラミックコン
デンサを得ることができる。さらに、1200℃以下の
比較的低温で焼成可能であるため、内部電極としてAg
−Pd合金の使用が可能であり、安価な積層セラミック
コンデンサを得ることができる。 【0010】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。 【0011】 【実施例】 (実施例1)まず、原料として、純度99.8%以上の
BaCO3 ,CaCO3 ,Tb2 3 ,Dy2 3 ,H
2 3 ,Er2 3 ,TiO2 ,ZrO2 ,Nb2
5 ,MnO2 ,Fe2 3 ,Cr2 3 ,CoO,Ni
Oを準備した。これらの原料を{ (Ba1-x-y Cax
y ) O1+y/2 m ( Ti1-o-p Zro Nbp ) O
2+p/2 の組成式で表され、x,y,o,p,mが表1に
示す割合となるように配合して、配合原料を得た。ここ
で、ReはTb,Dy,Ho,Erから選ばれる少なく
とも1種類である。この配合原料をボールミルで湿式混
合し、粉砕したのち乾燥し、空気中において1100℃
で2時間仮焼して仮焼物を得た。この仮焼物を乾式粉砕
機によって粉砕し、粒径が1μm以下の粉砕物を得た。
この粉砕物に、予め準備した粒径1μm以下のBaO−
SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化物ガラ
スを表1に示す配合比となるように秤量して加え、さら
に純水と酢酸ビニルバインダを加えて、ボールミルで1
6時間湿式混合して混合物を得た。 【0012】 【表1】 【0013】この混合物を乾燥し造粒したのち、200
0kg/cm2 の圧力で成形し、直径10mm,厚さ5
mmの円板を得た。得られた円板を表2に示す温度で2
時間焼成し、円板状の磁器を得た。得られた磁器の表面
を、走査型電子顕微鏡で倍率1500倍で観察し、グレ
インサイズを測定した。 【0014】 【表2】【0015】そして、得られた磁器の主表面に銀電極を
焼き付けて測定試料(コンデンサ)とした。得られた試
料について、室温での誘電率(ε),誘電損失(tan
δ)および温度変化に対する静電容量(C)の変化率を
測定した。なお、誘電率(ε)および誘電損失(tan
δ)は、温度25℃,1kHz,1Vrms の条件で測定
した。また、温度変化に対する静電容量の変化率につい
ては、20℃での静電容量を基準とした−25℃と85
℃での変化率(ΔC/C20)および−25℃から85℃
の範囲内で絶対値としてその変化率が最大である値(|
ΔC/C20max )を示した。 【0016】さらに、また、絶縁抵抗計によって、50
0Vの直流電圧を2分間印加したのちの絶縁抵抗値を測
定した。絶縁抵抗は、25℃および85℃の値を測定
し、それぞれの体積抵抗率の対数(logρ)を算出し
た。これらの測定結果を表2に示す。 【0017】表1および表2から明らかなように、この
発明の誘電体磁器組成物を用いたコンデンサは、誘電率
が12000以上と高く、誘電損失tanδが2.0%
以下で、温度に対する静電容量の変化率が、−25℃〜
85℃の範囲でJIS規格に規定するF特性規格を満足
する。しかも、このコンデンサでは、25℃,85℃に
おける絶縁抵抗が、体積抵抗率の対数(logρ)で表
したときに、12以上と高い値を示す。さらに、この発
明の誘電体磁器組成物は、焼成温度も1200℃以下と
比較的低温で焼結可能であり、粒径についても3μm以
下と小さい。 【0018】次に、各組成の限定理由について説明す
る。 【0019】{ (Ba1-x-y Cax Rey ) O1+y/2
m ( Ti1-o-p Zro Nbp ) O2+p/2 において、試料
番号1のように、Ca量xが0の場合、磁器の焼結性が
悪くなり、誘電損失tanδが2.0%を超え、絶縁抵
抗の低下が生じ好ましくない。また、試料番号17のよ
うに、Ca量xが0.12を超えると、再び焼結性が極
度に悪くなり、誘電率が低下し好ましくない。 【0020】さらに、試料番号2のように、Re量yが
0.0005未満であれば、誘電損失tanδが2.0
%を超え、さらに結晶粒径が3μmより大きくなるた
め、誘電体層を薄膜化できず好ましくない。一方、試料
番号18のように、Re量yが0.04を超えると、誘
電率が12000未満となり、静電容量の温度変化率が
大きくなり好ましくない。 【0021】また、試料番号3のように、Zr量oが0
の場合、静電容量の温度変化率が大きくなり好ましくな
い。一方、試料番号19のように、Zr量oが0.20
を超えると、焼結性が低下し、誘電率が12000未満
になり好ましくない。 【0022】試料番号4のように、Nb量pが0.00
05未満の場合、誘電率εが12000未満になり、さ
らに結晶粒径が3μmより大きくなるため、誘電体層を
薄膜化できず好ましくない。一方、試料番号20のよう
に、Nb量pが0.04を超えると、25℃,85℃で
の絶縁抵抗が大幅に低下し好ましくない。 【0023】試料番号5のように、{ (Ba1-x-y Ca
x Rey ) O1+y/2 m ( Ti1-o-p Zro Nbp ) O
2+p/2 のモル比mが0.99未満では、絶縁抵抗が低下
し、結晶粒径が3μmより大きくなり好ましくない。一
方、試料番号21のように、モル比mが1.03を超え
ると、焼結性が極端に悪くなり好ましくない。 【0024】さらに、試料番号6のように、添加物
(A)としてのMnO2 ,Fe2 3 ,Cr2 3 ,C
oO,NiOの添加量が0.01重量部未満の場合、8
5℃以上での絶縁抵抗が小さくなり、高温中における長
時間使用の信頼性が低下し好ましくない。一方、試料番
号22のように、これらの添加物の量が0.5重量部を
超えると、誘電損失tanδが2.0%を超えて大きく
なり、同時に絶縁抵抗も劣化し好ましくない。 【0025】また、試料番号7のように、添加物(B)
としてのBaO−SrO−Li2 O−SiO2 を主成分
とする酸化物ガラスの添加量が0.01重量部未満の場
合、焼結性が悪くなり、誘電損失tanδが2.0%を
超えて好ましくない。一方、試料番号23のように、B
aO−SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化
物ガラスの添加量が5.0重量部を超えると、誘電率が
12000未満に低下し好ましくない。 【0026】(実施例2)実施例1の試料番号12の誘
電体セラミック原料粉末を用意した。この誘電体セラミ
ック原料粉末に、ポリビニルブチラール系バインダおよ
びエタノールなどの有機溶剤を加え、ボールミルによっ
て湿式混合して、セラミック・スラリーを調整した。そ
の後、このセラミック・スラリーを、ドクターブレード
法によってシート成形し、厚み16μmの矩形のグリー
ンシートを得た。 【0027】次に、このセラミック・グリーンシート上
に、Pdを主体とする導電ペーストを印刷し、内部電極
を構成するための導電ペースト層を形成した。そして、
導電ペースト層が形成されたセラミック・グリーンシー
トを、導電ペースト層の引き出されている側が互い違い
となるように複数枚積層し、積層体を得た。 【0028】得られた積層体を空気中において、表3に
示す温度で2時間焼成した。焼成後、得られたセラミッ
ク焼結体の両端面に銀ペーストを塗布し、大気中におい
て750℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的に接続
された外部電極を形成した。 【0029】 【表3】【0030】上述のようにして得られた積層コンデンサ
の外形寸法は、幅1.6mm,長さ3.2mm,厚さ
1.2mmであり、内部電極間に介在する誘電体セラミ
ック層の厚みは10μmである。また、有効誘電体セラ
ミック層の総数は19であり、一層当たりの対向電極の
面積は2.1mm2 である。 【0031】静電容量(C)および誘電損失(tan
δ)は、自動ブリッジ式測定器を用いて、周波数1kH
z,1Vrms,温度25℃にて測定し、静電容量から
誘電率(ε)を算出した。次に、絶縁抵抗(R)を測定
するために、絶縁抵抗計を用いて、16Vの直流電圧を
2分間印加した。そして、静電容量(C)と絶縁抵抗
(R)との積、すなわちCR積を求めた。 【0032】また、20℃での静電容量を基準とした−
25℃と+85℃での温度変化に対する静電容量の変化
率(ΔC/C20)を測定した。さらに、直流破壊電圧値
B.D.V(V)と抗折強度とを測定した。 【0033】なお、抗折強度は、図1に示す抗折強度測
定装置10を用いて測定した。抗折強度測定装置10は
試料保持台12を含む。試料保持台12上には、被試験
積層セラミックコンデンサ14が置かれる。被試験積層
セラミックコンデンサ14は、加圧ピン16によって加
圧される。そして、加圧された圧力が置き針付きテンシ
ョンゲージ18によって表示される。なお、この試験に
際して、試料保持台12の治具のスパンは2mmとし
た。 【0034】比較例として、BaTiO3 100モル%
に対して、BaZrO3 18.5モル%,CaZrO3
8.9モル%を添加し、上述と同様の方法によって、積
層セラミックコンデンサを作製した。そして、この比較
例について、上述の各特性を測定した。 【0035】また、それぞれの積層セラミックコンデン
サの表面を走査型電子顕微鏡にて、倍率1500倍で観
察し、グレインサイズを測定した。 【0036】以上の各試験の結果を、表3に合わせて示
す。 【0037】表3から明らかなように、この発明の組成
物による積層セラミックコンデンサは、比較例に比べ
て、グレインサイズが小さく、誘電損失も小さい。ま
た、この発明の組成物による積層セラミックコンデンサ
は、比較例に比べて、2倍程度の絶縁破壊電圧および抗
折強度を有する。 【0038】なお、上記実施例では、出発原料として、
BaCO3 ,CaCO3 ,Tb2 3 ,Dy2 3 ,H
2 3 ,Er2 3 ,TiO2 ,ZrO2 ,Nb2
5 などの酸化物粉末を用いたが、これら酸化物粉末に限
定するものではなく、アルオキシド法や共沈法、あるい
は水熱合成法により作成された粉末を用いてもよく、こ
れらの粉末を用いることにより、本実施例で示した特性
よりも向上することも有り得る。 【0039】このように、この発明の組成物による積層
セラミックコンデンサは、誘電体セラミック層が10μ
m以下と薄くなっても、十分に対応でき、小型大容量の
積層セラミックコンデンサとして期待できる。さらに、
焼成温度が1200℃以下と低いため、内部電極として
30Ag−70Pd(数字は重量%)あるいは70Ag
−30Pd(数字は重量%)などのAg−Pd合金の使
用が可能である。
【図面の簡単な説明】 【図1】試料の抗折強度を測定するための抗折強度測定
装置を示す図解図である。 【符合の説明】 10 抗折強度測定装置 12 試料保持台 14 被試験積層セラミックコンデンサ 16 加圧ピン 18 置き針付きテンションゲージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−174709(JP,A) 特開 昭59−138003(JP,A) 特開 昭61−248304(JP,A) 特開 平5−242729(JP,A) 特開 平5−250916(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01B 3/12 303 C04B 35/46 H01G 4/12 358

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 Ba,Ca,Ti,Zr,NbおよびR
    e(ReはTb,Dy,HoおよびErの中から選ばれ
    る少なくとも1種類の希土類元素)の各酸化物からな
    り、次の一般式 {(Ba1-x-y Cax Rey )O1+y/2m (Ti
    1-o-p Zro Nbp )O2+p/2 で表され、x,y,o,pおよびmが、 0<x≦0.12 0.0005≦y≦0.04 0<o≦0.20 0.0005≦p≦0.04 0.99≦m≦1.03 の関係を満足する主成分100重量部に対して、副成分
    として、Mn,Fe,Cr,Co,Niの各酸化物をM
    nO2 ,Fe23 ,Cr23 ,CoOおよびNiO
    と表したとき、各酸化物の少なくとも1種類を合計量で
    0.01〜0.5重量部添加含有し、さらに、BaO−
    SrO−Li2 O−SiO2 を主成分とする酸化物ガラ
    スを0.01重量部〜5.0重量部含み、大気中で焼成
    された誘電体磁器組成物。
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