JPH0633900A - 固体粒子と混合されているかまたは固体凝縮液若しくは粒子を生成するガスを含むエンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置 - Google Patents

固体粒子と混合されているかまたは固体凝縮液若しくは粒子を生成するガスを含むエンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置

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JPH0633900A
JPH0633900A JP5117295A JP11729593A JPH0633900A JP H0633900 A JPH0633900 A JP H0633900A JP 5117295 A JP5117295 A JP 5117295A JP 11729593 A JP11729593 A JP 11729593A JP H0633900 A JPH0633900 A JP H0633900A
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particle
pumping
particles
solid
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JP5117295A
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Eric Taberlet
エリツク・タベルレ
Albert Cacard
アルベール・カカール
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Alcatel CIT SA
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Alcatel CIT SA
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04C—APPARATUS USING FREE VORTEX FLOW, e.g. CYCLONES
    • B04C5/00—Apparatus in which the axial direction of the vortex is reversed
    • B04C5/12—Construction of the overflow ducting, e.g. diffusing or spiral exits
    • B04C5/13—Construction of the overflow ducting, e.g. diffusing or spiral exits formed as a vortex finder and extending into the vortex chamber; Discharge from vortex finder otherwise than at the top of the cyclone; Devices for controlling the overflow
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04C—APPARATUS USING FREE VORTEX FLOW, e.g. CYCLONES
    • B04C5/00—Apparatus in which the axial direction of the vortex is reversed
    • B04C5/02—Construction of inlets by which the vortex flow is generated, e.g. tangential admission, the fluid flow being forced to follow a downward path by spirally wound bulkheads, or with slightly downwardly-directed tangential admission
    • B04C5/04—Tangential inlets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体凝縮液または粒子を生成させ得るか、若
しくは当初から固体粒子と混合されているガスを含むエ
ンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置
を提供する。 【構成】 該装置は、不活性パージガスを供給するため
の給気システムを備えており、ポンプ（１）は真空排気
ダクト（１１）に接続されている排気口（３）を有して
おり、真空排気ダクトはその駆動フローがもっぱらポン
プの排気フローである静粒子分離装置（１２）を介して
排気口に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一定の温度および／ま
たは圧力条件の下で固体凝縮液または粒子を生成させる
か、または最初から固体粒子と混合されているガスを含
むエンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体工業において反応性ガスが
ポンプで汲み上げられるような場合に、作業チャンバを
真空排気するために真空ポンプが使用される工業的装置
は、外部に通じ且つポンプの出口に接続された真空排気
ダクトを備えている。ポンプユニットを工場内に運び入
れることは、特に汲み上げられたガスに毒性を有するも
のがあるために許可され得ない。従って排気ガスを外部
に真空排気することがどうしても必要になる。これは、
しばしば「スクラバ」（scrubber）システムと称される
浄化システムと抽出器ファンとを含むダクトを介して行
われる。
【０００３】ポンプで汲み上げられたガスを希釈し且つ
それらをポンプの出口でより迅速に真空排気させ得るよ
うに、例えば多段ルーツポンプのようなポンプユニット
はポンプのさまざまな段に注入される不活性「パージ」
ガスを供給するための給気システムを備えている。これ
によって、上記の凝集液または粒子の真空排気を改良さ
せることが可能になり、それによってポンプの内部が保
護される。しかし、ある期間にわたって粒子が排気ダク
ト内に堆積することにより該ダクトの断面領域が減少す
ることは防げないので、それによって出口で過剰圧力が
発生し、この過剰圧力がポンプを損傷させる。さらにそ
のような粒子はまた、浄化装置がある場合には該装置を
損傷させる原因ともなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、それ
らの欠陥を軽減することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従って本発明は、固体粒
子と混合されているか、または固体凝縮液若しくは粒子
を生成させ得るガスを含むエンクロージャからポンプで
汲み上げるためのポンプ装置を提供する。該装置は、不
活性パージガスを供給するための給気システムを備えて
おり、ポンプは真空排気ダクトに接続されている排気口
を有しており、真空排気ダクトは、その駆動フローがも
っぱらポンプの排気フローである静粒子分離装置を介し
て排気口に接続されている。
【０００６】好ましい実施例において、粒子分離装置
は、その軸に沿って末広パイプが突っ込まれている遠心
分離チャンバに接線方向に給気する収束入口ノズルを含
んでおり、末広パイプの頂端部は真空排気ポンプに接続
されているパイプに導かれ、収束下部を含む遠心分離チ
ャンバは粒子を収集する取外し可能容器に導かれてい
る。
【０００７】
【実施例】添付図面を参照して本発明の実施例を下記に
記載する。
【０００８】図は、固体粒子と混合されているか、若し
くは固体凝縮液または粒子を生成させ得るガスを含むエ
ンクロージャからポンプで汲み上げるための本発明の装
置を示している。
【０００９】該装置は、ポンプで汲み上げられるエンク
ロージャに接続するように設計された吸引口２と、排気
口３とを有するポンプセット１を備えている。
【００１０】ポンプセット１は、ガスを希釈し且つ気水
共発させるのに使用される、例えば窒素のような不活性
パージガスを供給するための給気システムを備えてい
る。該システムは、加圧ガスのシリンダ４を含んでお
り、該シリンダは狭い穴６、７、８、９および１０を介
してポンプセット１のさまざまな段に給気する減圧弁５
を備えている。示されている実施例におけるポンプセッ
トは、例えば、５段を有するが単一の段も可能であるル
ーツポンプである。ポンプセットはまた、スクリュ−ポ
ンプ、「スクロール」（scroll）ポンプ、または不活性
ガス掃引装置を有する分子吸引ポンプのような他の型の
ポンプでもよい。
【００１１】このパージシステムは、腐食ガスを希釈す
ると共に、固体粒子をポンプセット自身の壁上に堆積さ
せることを防ぎながら、該粒子の気水共発を可能にす
る。
【００１２】本発明によると、ポンプセットの排気口３
は静粒子分離装置１２を介して真空排気ダクト１１に接
続されている。
【００１３】粒子分離装置はポンプセット１の排気フロ
ーだけで駆動され、従って排気フローは完全に静止して
いる装置の駆動フローを構成している。
【００１４】粒子分離装置は、パイプ１４を介して粒子
を収集するための容器１７に導かれている収束ノズル１
６によって伸長されている遠心分離チャンバ１５に接線
方向に給気する収束入口ノズル１３を備えている。容器
１７が取外し可能であり、容器の充填レベルの観察を可
能にする検査窓１８が備えられているのは当然である。
【００１５】末広パイプ１９は、その軸に沿って遠心分
離チャンバ１５に突っ込まれており、パイプは固体粒子
を含まないガスを分離装置の本体２１内の内部パイプ２
０を介して真空排気ダクト１１方向に運ぶ。
【００１６】収束入口ノズル１３の出口且つ遠心分離チ
ャンバ１５への入口の前に、該装置はボール２２とスプ
リング２３とを含む安全弁を有している。この弁の目的
は、過剰圧力が偶発的または一時的に発生するような場
合に、ポンプ１の排気フローまたは該フローの一部が直
接真空排気ダクト１１内に解放されることを可能にする
ことである。
【００１７】本発明は、例えば、ドープされた二酸化珪
素を堆積させる方法において、その間に化学反応により
固体酸化物の形態で容易に凝縮され得るガスであるＰＨ
3およびＢ2Ｈ6が生成されるような半導体の製造に適用
される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のポンプ装置を示す図である。
【図２】粒子分離装置の平面図である。しかし図２にお
いて、収集容器は図１の位置に関して９０度回転して示
されている。
【符号の説明】
１ ポンプセット ２ 吸引口 ３ 排気口 ４ ガスシリンダ ５ 減圧弁 １１ 真空排気ダクト １２ 静粒子分離装置 １５ 遠心分離チャンバ １６ 収束ノズル １７ 容器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固体粒子と混合されているか、または固
    体凝縮液若しくは粒子を生成させるガスを含むエンクロ
    ージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置であっ
    て、該装置は、不活性パージガスを供給するための給気
    システムを備えるポンプを含み、該ポンプは真空排気ダ
    クトに接続されている排気口を有しており、前記真空排
    気ダクトは、その駆動フローがもっぱらポンプの排気フ
    ローである静粒子分離装置を介して前記排気口に接続さ
    れている装置。
  2. 【請求項２】 粒子分離装置は、その軸に沿って末広パ
    イプが内部に突っ込まれている遠心分離チャンバに接線
    方向に給気する収束入口ノズルを含んでおり、末広パイ
    プの頂端部が真空排気ポンプに接続されているパイプに
    導かれ、収束下方部を含む遠心分離チャンバが粒子を収
    集するための取外し可能容器に導かれている請求項１に
    記載の装置。
JP5117295A 1992-05-22 1993-05-19 固体粒子と混合されているかまたは固体凝縮液若しくは粒子を生成するガスを含むエンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置 Pending JPH0633900A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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FR9206296 1992-05-22
FR929206296A FR2691382B1 (fr) 1992-05-22 1992-05-22 Installation de pompage pour pomper une enceinte contenant des gaz mélangés à des particules solides ou susceptibles de générer des particules ou condensats solides.

Publications (1)

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JPH0633900A true JPH0633900A (ja) 1994-02-08

Family

ID=9430092

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JP5117295A Pending JPH0633900A (ja) 1992-05-22 1993-05-19 固体粒子と混合されているかまたは固体凝縮液若しくは粒子を生成するガスを含むエンクロージャからポンプで汲み上げるためのポンプ装置

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FR2691382B1 (fr) 1994-09-09
FR2691382A1 (fr) 1993-11-26

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