JPH0633859B2 - 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 - Google Patents
圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置Info
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- JPH0633859B2 JPH0633859B2 JP8928288A JP8928288A JPH0633859B2 JP H0633859 B2 JPH0633859 B2 JP H0633859B2 JP 8928288 A JP8928288 A JP 8928288A JP 8928288 A JP8928288 A JP 8928288A JP H0633859 B2 JPH0633859 B2 JP H0633859B2
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
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-
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- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置
に関するものである。
に関するものである。
従来例えばドーピングガスとしてはジボランガス(B2H6)
又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガス等との
混合ガスが用いられており、これらガスは通常第２図に
示すようにボンベ１内に例えば純ジボランガスは約３０
バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガスは１００
バールの高圧で貯えられており、供給場所において圧力
調整器（レギュレーター）２によって数バールに減圧さ
れて使用されている。
又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガス等との
混合ガスが用いられており、これらガスは通常第２図に
示すようにボンベ１内に例えば純ジボランガスは約３０
バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガスは１００
バールの高圧で貯えられており、供給場所において圧力
調整器（レギュレーター）２によって数バールに減圧さ
れて使用されている。
前記圧力調整器２としては第３図に示すようなものが使
用されている。
用されている。
第３図において３はガス入口、４はガス出口、５はガス
入口、ガス出口間に介挿したオリフィス、６はこのオリ
フィス５の開度を調節する弁、７〜９は夫々この弁６を
制御するばね及びメンブランを示し、ガス入口３に供給
される供給ガス圧の増減によって弁６によるオリフィス
５の開度が減、増されガス出口４からは常時設定された
圧力のガスが得られるようになる。
入口、ガス出口間に介挿したオリフィス、６はこのオリ
フィス５の開度を調節する弁、７〜９は夫々この弁６を
制御するばね及びメンブランを示し、ガス入口３に供給
される供給ガス圧の増減によって弁６によるオリフィス
５の開度が減、増されガス出口４からは常時設定された
圧力のガスが得られるようになる。
従来このようなガスを用いた場合圧力調整器２が動作不
能となる所謂出流れ現象が生ずることが知られている。
然しながらジボランガス等は極めて有毒であり、出流れ
現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるおそれがあっ
た。
能となる所謂出流れ現象が生ずることが知られている。
然しながらジボランガス等は極めて有毒であり、出流れ
現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるおそれがあっ
た。
本発明の目的はこのような危険を防ぐための圧力調整器
のガス出流れ現象防止方法及び装置を得るにある。
のガス出流れ現象防止方法及び装置を得るにある。
本発明者は種々実験、研究の結果上記出流れ現象は一般
にジボランガスに含まれるＢ系分解重合不純物の蒸気圧
が低くジボランガスが圧力調整器２のオリフィス５を通
過する際断熱自由膨脹によって温度が低下し、ジボラン
ガス中に含まれる前記Ｂ系分解重合不純物が相変化を起
こして固化し、この固化したものがオリフィス５と弁６
間に挟まり、弁６が完全に閉まらなくなる為であるこ
と、及びこの現象を防ぐためには高圧ガス供給源の出口
における供給ガスの温度を前記断熱自由膨張により温度
低下した圧力調整器２のガス出口におけるガスの温度よ
り低くすれば良いことを確かめた。
にジボランガスに含まれるＢ系分解重合不純物の蒸気圧
が低くジボランガスが圧力調整器２のオリフィス５を通
過する際断熱自由膨脹によって温度が低下し、ジボラン
ガス中に含まれる前記Ｂ系分解重合不純物が相変化を起
こして固化し、この固化したものがオリフィス５と弁６
間に挟まり、弁６が完全に閉まらなくなる為であるこ
と、及びこの現象を防ぐためには高圧ガス供給源の出口
における供給ガスの温度を前記断熱自由膨張により温度
低下した圧力調整器２のガス出口におけるガスの温度よ
り低くすれば良いことを確かめた。
より具体的に説明すると、通常供給ガスの温度は圧力調
整器２のガス入口では略大気温度であるが、この温度で
は通常前記不純物の固化は生じない。然るにこのガスが
前記断熱自由膨張により大気温度以下になるため前記不
純物の固化を生ずるものであり、従ってこの温度低下分
だけ、略大気温度である高圧ガス供給源内のガスを冷却
して前記低下温度ならしめ前記不純物の固化を発生せし
めておけば良いことを確かめた。
整器２のガス入口では略大気温度であるが、この温度で
は通常前記不純物の固化は生じない。然るにこのガスが
前記断熱自由膨張により大気温度以下になるため前記不
純物の固化を生ずるものであり、従ってこの温度低下分
だけ、略大気温度である高圧ガス供給源内のガスを冷却
して前記低下温度ならしめ前記不純物の固化を発生せし
めておけば良いことを確かめた。
本発明はこのような点に着目して成されたものである。
本発明の圧力調整器のガス出流れ現象防止方法は高圧ガ
ス供給源から圧力調整器を介して減圧して供給されるガ
スを圧力調整器の入口における温度と圧力調整器内での
ガスの断熱自由膨張による温度低下分との差に相当する
温度だけ前記高圧ガス供給源内で冷却せしめるようにし
たことを特徴とする。
ス供給源から圧力調整器を介して減圧して供給されるガ
スを圧力調整器の入口における温度と圧力調整器内での
ガスの断熱自由膨張による温度低下分との差に相当する
温度だけ前記高圧ガス供給源内で冷却せしめるようにし
たことを特徴とする。
本発明の圧力調整器のガス出流れ現象防止装置は、高圧
ガス供給源に設けた冷却機構と、前記高圧ガス供給源か
らのガス温度と減圧用圧力調整器のガス出口におけるガ
スの温度が略等しくなるよう前記冷却機構を制御する制
御機構とにより成ることを特徴とする。
ガス供給源に設けた冷却機構と、前記高圧ガス供給源か
らのガス温度と減圧用圧力調整器のガス出口におけるガ
スの温度が略等しくなるよう前記冷却機構を制御する制
御機構とにより成ることを特徴とする。
本発明方法及び装置によればガスの出流れ現象を完全に
防止することができる。
防止することができる。
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明においては第１図に示すようにガスボンベ１を冷
却機構１１によって冷却できるようにすると共に、この
冷却機構１１を自動制御機構１２によって制御しガスボ
ンベ１のガス出口における供給ガスの温度が圧力調整器
２内におけるガスの断熱自由膨張によって低下した圧力
調整器２の出口温度より少なくとも低くなるようにす
る。
却機構１１によって冷却できるようにすると共に、この
冷却機構１１を自動制御機構１２によって制御しガスボ
ンベ１のガス出口における供給ガスの温度が圧力調整器
２内におけるガスの断熱自由膨張によって低下した圧力
調整器２の出口温度より少なくとも低くなるようにす
る。
即ち、本発明においては予め圧力調整器２のガス入口３
と出口４間のガスの温度差を測定しておき、この温度差
だけガスボンベ１の出口のガス温度が低くなるよう自動
制御機構１２を介して加熱機構１１を作動せしめ、この
結果ガスボンベ１の出口の供給ガスの温度が圧力調整器
２のガス出口４におけるガスの温度を略等しいか低くな
るようにする。
と出口４間のガスの温度差を測定しておき、この温度差
だけガスボンベ１の出口のガス温度が低くなるよう自動
制御機構１２を介して加熱機構１１を作動せしめ、この
結果ガスボンベ１の出口の供給ガスの温度が圧力調整器
２のガス出口４におけるガスの温度を略等しいか低くな
るようにする。
なお、上記温度差測定は、例えば温度センサーで行な
い、上記冷却機構１１は例えばガスボンベ１を取り巻く
ものである。
い、上記冷却機構１１は例えばガスボンベ１を取り巻く
ものである。
第４図は従来方法及び装置におけるガス温度と時刻の関
係を示し、Ｔ１は例えば大気温度で圧力調整器２のガス
入口におけるガス温度に等しい。Ｔ２は圧力調整器２内
で断熱自由膨張した結果低下したガス温度である。
係を示し、Ｔ１は例えば大気温度で圧力調整器２のガス
入口におけるガス温度に等しい。Ｔ２は圧力調整器２内
で断熱自由膨張した結果低下したガス温度である。
第５図は同じく本発明方法及び装置におけるガス温度と
時刻の関係を示す線図であって、Ｔ３は冷却されたガス
ボンベ１内のガス温度、Ｔ４は圧力調整器２のガス入口
におけるガス温度、Ｔ５は断熱自由膨張によって低下し
たガス温度である。このＴ５は少なくともＴ３またはこ
れ以上にできる。
時刻の関係を示す線図であって、Ｔ３は冷却されたガス
ボンベ１内のガス温度、Ｔ４は圧力調整器２のガス入口
におけるガス温度、Ｔ５は断熱自由膨張によって低下し
たガス温度である。このＴ５は少なくともＴ３またはこ
れ以上にできる。
本発明は上記の通りであるから圧力調整器２の出口にお
けるガスの温度は常時ガスボンベ１からの供給ガスと略
同一温度に保たれ、圧力調整器２内において温度低下に
よる不純物の固化を生ずることはない。
けるガスの温度は常時ガスボンベ１からの供給ガスと略
同一温度に保たれ、圧力調整器２内において温度低下に
よる不純物の固化を生ずることはない。
本発明によれば圧力調整器のガス出流れ現象を完全に防
止できる大きな利益がある。
止できる大きな利益がある。
又ジボランガス等のドーピングガスは元来分解し易いが
本発明では冷却機構によって冷却されるのでその分解防
止にも役立つ利益がある。
本発明では冷却機構によって冷却されるのでその分解防
止にも役立つ利益がある。
第１図は本発明の説明図、第２図は従来のガスの供給装
置の説明図、第３図はその圧力調整器の詳細説明図、第
４図，第５図は夫々従来及び本発明方法及び装置におけ
るガス温度と時刻の関係を示す線図である。 １……ガスボンベ、２……圧力調整器、３……ガス入
口、４……ガス出口、５……オリフィス、６……弁、７
〜９……ばね及びメンブラン、１１……冷却機構、１２
……自動制御機構。
置の説明図、第３図はその圧力調整器の詳細説明図、第
４図，第５図は夫々従来及び本発明方法及び装置におけ
るガス温度と時刻の関係を示す線図である。 １……ガスボンベ、２……圧力調整器、３……ガス入
口、４……ガス出口、５……オリフィス、６……弁、７
〜９……ばね及びメンブラン、１１……冷却機構、１２
……自動制御機構。
Claims (2)
- 【請求項１】高圧ガスの供給源から圧力調整器を介して
減圧して供給されるガスを圧力調整器の入口における温
度と圧力調整器内でのガスの断熱自由膨張による温度低
下分との差に相当する温度だけ前記高圧ス供給源内で冷
却せしめるようにしたことを特徴とする圧力調整器のガ
ス出流れ現象防止方法。 - 【請求項２】高圧ガス供給源に設けた冷却機構と、前記
高圧ガス供給源からのガス温度と減圧用圧力調整器のガ
ス出口におけるガスの温度が略等しくなるよう前記冷却
機構を制御する制御機構とより成ることを特徴とする圧
力調整器のガス出流れ現象防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8928288A JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8928288A JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01266400A JPH01266400A (ja) | 1989-10-24 |
| JPH0633859B2 true JPH0633859B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=13966357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8928288A Expired - Lifetime JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633859B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3076182B2 (ja) * | 1993-09-24 | 2000-08-14 | 九州日本電気株式会社 | ガス供給系におけるガス漏れ防止方法、およびガス漏れ防止装置を備えたガス供給系 |
| JP3521946B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2004-04-26 | ジャパン・エア・ガシズ株式会社 | 蒸発ガス供給方法 |
| CN114452848A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-10 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法 |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP8928288A patent/JPH0633859B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01266400A (ja) | 1989-10-24 |
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