JP3521946B2 - 蒸発ガス供給方法 - Google Patents
蒸発ガス供給方法Info
- Publication number
- JP3521946B2 JP3521946B2 JP33235593A JP33235593A JP3521946B2 JP 3521946 B2 JP3521946 B2 JP 3521946B2 JP 33235593 A JP33235593 A JP 33235593A JP 33235593 A JP33235593 A JP 33235593A JP 3521946 B2 JP3521946 B2 JP 3521946B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- gas
- evaporative gas
- enthalpy
- abs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/12—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
- F17C13/123—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures for gas bottles, cylinders or reservoirs for tank vehicles or for railway tank wagons
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/01—Shape
- F17C2201/0104—Shape cylindrical
- F17C2201/0109—Shape cylindrical with exteriorly curved end-piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/01—Shape
- F17C2201/0104—Shape cylindrical
- F17C2201/0119—Shape cylindrical with flat end-piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/05—Size
- F17C2201/056—Small (<1 m3)
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0323—Valves
- F17C2205/0326—Valves electrically actuated
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0338—Pressure regulators
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0337—Heat exchange with the fluid by cooling
- F17C2227/0341—Heat exchange with the fluid by cooling using another fluid
- F17C2227/0344—Air cooling
- F17C2227/0346—Air cooling by forced circulation, e.g. using a fan
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0337—Heat exchange with the fluid by cooling
- F17C2227/0341—Heat exchange with the fluid by cooling using another fluid
- F17C2227/0353—Heat exchange with the fluid by cooling using another fluid using cryocooler
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0337—Heat exchange with the fluid by cooling
- F17C2227/0358—Heat exchange with the fluid by cooling by expansion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/03—Control means
- F17C2250/032—Control means using computers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/043—Pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/0439—Temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
- F17C2250/0605—Parameters
- F17C2250/0626—Pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、容器に充填された１次
圧力の蒸発ガスを断熱膨張により２次圧力に降圧して一
定の消費設備に供給する蒸発ガス供給方法に関する。
圧力の蒸発ガスを断熱膨張により２次圧力に降圧して一
定の消費設備に供給する蒸発ガス供給方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場に蒸発ガスを供給する場合、
当該蒸発ガスの長期間の供給を実現する為、シリンダー
キャビネットに当該蒸発ガスを高圧状態（例えば５２kg
/cm 2.abs）で充填しておき、それを膨張弁で減圧して
供給していた。
当該蒸発ガスの長期間の供給を実現する為、シリンダー
キャビネットに当該蒸発ガスを高圧状態（例えば５２kg
/cm 2.abs）で充填しておき、それを膨張弁で減圧して
供給していた。
【０００３】以下、従来の蒸発ガス供給システムを図１
０および図１１を参照して説明する。ここで、図１０は
従来の蒸発供給装置の概要を示す図、図１１は膨張弁に
おける圧力変化を示す図である。
０および図１１を参照して説明する。ここで、図１０は
従来の蒸発供給装置の概要を示す図、図１１は膨張弁に
おける圧力変化を示す図である。
【０００４】シリンダーキャビネット１には、高圧（１
次圧力）の状態で蒸発ガス２が充填されている。このシ
リンダーキャビネット１から半導体工場などの消費設備
３まで配管４が敷設され、その途中に膨張弁５が取り付
けられている。この膨張弁５によりシリンダーキャビネ
ット１内の蒸発ガス２は減圧され、消費設備で使用でき
る低圧（２次圧力）の蒸発ガス２が供給される。
次圧力）の状態で蒸発ガス２が充填されている。このシ
リンダーキャビネット１から半導体工場などの消費設備
３まで配管４が敷設され、その途中に膨張弁５が取り付
けられている。この膨張弁５によりシリンダーキャビネ
ット１内の蒸発ガス２は減圧され、消費設備で使用でき
る低圧（２次圧力）の蒸発ガス２が供給される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の蒸発ガス供給方
法によると、蒸発ガス２はシリンダーキャビネット１に
長期間保存されることから、供給される蒸気ガス２は飽
和状態もしくはそれに近い状態になっている。この状態
から蒸発ガス２を膨張弁５を介して供給すると、液封が
生じる。例えば、一次圧力が５０kg/cm 2 の１００％Ｎ
2 Ｏを膨張弁５に導き、二次圧力５kg/cm 2 に減圧した
場合、９７％がガス、３％が液体を含むＮ2 Ｏになる。
その結果、液封が生じ、消費設備３に当該蒸発ガス２を
一定の流量で供給できないという問題が生じていた。
法によると、蒸発ガス２はシリンダーキャビネット１に
長期間保存されることから、供給される蒸気ガス２は飽
和状態もしくはそれに近い状態になっている。この状態
から蒸発ガス２を膨張弁５を介して供給すると、液封が
生じる。例えば、一次圧力が５０kg/cm 2 の１００％Ｎ
2 Ｏを膨張弁５に導き、二次圧力５kg/cm 2 に減圧した
場合、９７％がガス、３％が液体を含むＮ2 Ｏになる。
その結果、液封が生じ、消費設備３に当該蒸発ガス２を
一定の流量で供給できないという問題が生じていた。
【０００６】そこで、本発明は蒸発ガスの液封を防止す
ることができる、蒸発ガス供給方法を提供することを目
的とする。
ることができる、蒸発ガス供給方法を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は容器に充填された１次圧力の蒸発ガスを断
熱膨張により２次圧力に降圧して一定の消費設備に供給
する蒸発ガス供給方法であって、容器内の蒸発ガスを冷
却することにより、当該容器に充填された蒸発ガスのエ
ンタルピを、当該蒸発ガスの圧力−エンタルピ線図にお
いて飽和蒸気線上の２次圧力のエンタルピ以上に増加さ
せるステップと、容器に充填された蒸発ガスを断熱膨張
させて降圧し、上記消費設備に供給するステップと、を
含んで構成される。
に、本発明は容器に充填された１次圧力の蒸発ガスを断
熱膨張により２次圧力に降圧して一定の消費設備に供給
する蒸発ガス供給方法であって、容器内の蒸発ガスを冷
却することにより、当該容器に充填された蒸発ガスのエ
ンタルピを、当該蒸発ガスの圧力−エンタルピ線図にお
いて飽和蒸気線上の２次圧力のエンタルピ以上に増加さ
せるステップと、容器に充填された蒸発ガスを断熱膨張
させて降圧し、上記消費設備に供給するステップと、を
含んで構成される。
【０００８】
【作用】本発明は以上のように構成されているので、容
器に充填された蒸発ガスは、断熱膨張される前に少なく
とも飽和蒸気線上の２次圧力におけるエンタルピになる
ように冷却される。この蒸発ガスは断熱膨張されると、
２次圧力に降圧されるが、断熱膨張される蒸発ガスは、
既に飽和蒸気線上の２次圧力におけるエンタルピになっ
ているので、消費設備に供給される２次圧力において液
化は生じない。よって、液封が防止される。
器に充填された蒸発ガスは、断熱膨張される前に少なく
とも飽和蒸気線上の２次圧力におけるエンタルピになる
ように冷却される。この蒸発ガスは断熱膨張されると、
２次圧力に降圧されるが、断熱膨張される蒸発ガスは、
既に飽和蒸気線上の２次圧力におけるエンタルピになっ
ているので、消費設備に供給される２次圧力において液
化は生じない。よって、液封が防止される。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る蒸気ガス供給
方法を添付図面を参照して説明する。なお、説明におい
て、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略
する。
方法を添付図面を参照して説明する。なお、説明におい
て、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略
する。
【００１０】まず最初に、本発明の原理を図２〜図８に
基づき説明する。図２〜図８はいずれもＮ2 Ｏの圧力−
エンタルピ線図において、１次圧力Ｐ1 から２次圧力Ｐ
2 ＝４kg/cm 2 .absに減圧したときの状態変化を示す。
図２はＰ1 ＝８２kg/cm 2 .abs、図３はＰ1 ＝７４kg/c
m 2 .abs、図４はＰ1 ＝６４kg/cm 2 .abs、図５はＰ1
＝５２kg/cm 2 .abs、図６はＰ1 ＝４３kg/cm 2 .abs、
図７はＰ1 ＝３４kg/cm 2 .abs、図８はＰ1 ＝２５kg/c
m 2 .absを示す。
基づき説明する。図２〜図８はいずれもＮ2 Ｏの圧力−
エンタルピ線図において、１次圧力Ｐ1 から２次圧力Ｐ
2 ＝４kg/cm 2 .absに減圧したときの状態変化を示す。
図２はＰ1 ＝８２kg/cm 2 .abs、図３はＰ1 ＝７４kg/c
m 2 .abs、図４はＰ1 ＝６４kg/cm 2 .abs、図５はＰ1
＝５２kg/cm 2 .abs、図６はＰ1 ＝４３kg/cm 2 .abs、
図７はＰ1 ＝３４kg/cm 2 .abs、図８はＰ1 ＝２５kg/c
m 2 .absを示す。
【００１１】図２は、内部温度が４０℃のシリンダーキ
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝８
２kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約１８％が液化する。
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝８
２kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約１８％が液化する。
【００１２】図３は、内部温度がＮ2 Ｏの臨界温度であ
る３６．５℃のシリンダーキャビネット１に充填された
Ｎ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝７４kg/cm 2 .abs（Ａ点）か
らＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧するときの状態
変化を示す。この場合、減圧時の断熱膨張により温度は
約−６３℃にまで降下し、ガスの約２２％が液化する。
る３６．５℃のシリンダーキャビネット１に充填された
Ｎ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝７４kg/cm 2 .abs（Ａ点）か
らＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧するときの状態
変化を示す。この場合、減圧時の断熱膨張により温度は
約−６３℃にまで降下し、ガスの約２２％が液化する。
【００１３】図４は、内部温度が３０℃のシリンダーキ
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝６
４kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約１０％が液化する。
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝６
４kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約１０％が液化する。
【００１４】図５は、内部温度が２０℃のシリンダーキ
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝５
２kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約３％が液化する。
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝５
２kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下し、ガ
スの約３％が液化する。
【００１５】図６は、内部温度が１０℃のシリンダーキ
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝４
３kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下する
が、Ｂ点は飽和蒸気線（飽和限界線）上にあり、断熱膨
張によっても液化しない。なお、Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .abs
における飽和限界線上のエンタルピを、以下の説明の便
宜上、「飽和限界エンタルピ（＝ｈ2SC ）」と定義す
る。
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝４
３kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６３℃にまで降下する
が、Ｂ点は飽和蒸気線（飽和限界線）上にあり、断熱膨
張によっても液化しない。なお、Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .abs
における飽和限界線上のエンタルピを、以下の説明の便
宜上、「飽和限界エンタルピ（＝ｈ2SC ）」と定義す
る。
【００１６】図７は、内部温度が０℃のシリンダーキャ
ビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝３４
kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６０℃にまで降下する
が、Ｂ点は飽和限界線より右側、すなわち、過熱蒸気の
状態にあるので、断熱膨張によっても液化しない。
ビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝３４
kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ
点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、減圧
時の断熱膨張により温度は約−６０℃にまで降下する
が、Ｂ点は飽和限界線より右側、すなわち、過熱蒸気の
状態にあるので、断熱膨張によっても液化しない。
【００１７】図８は、内部温度が−１０℃のシリンダー
キャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝
２５kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs
（Ｂ点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、
減圧時の断熱膨張により温度は約−５７℃にまで降下す
るが、断熱膨張過程およびＢ点共に飽和限界線より右側
に位置するので、膨張弁５内で液化は一切しない。な
お、Ｐ1 ＝２５kg/cm 2 .absは飽和限界線における最大
のエンタルピを示し、以下の説明の便宜上、この圧力を
「最大エンタルピ圧力（＝Ｐhmax）」と定義する。
キャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝
２５kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs
（Ｂ点）に減圧するときの状態変化を示す。この場合、
減圧時の断熱膨張により温度は約−５７℃にまで降下す
るが、断熱膨張過程およびＢ点共に飽和限界線より右側
に位置するので、膨張弁５内で液化は一切しない。な
お、Ｐ1 ＝２５kg/cm 2 .absは飽和限界線における最大
のエンタルピを示し、以下の説明の便宜上、この圧力を
「最大エンタルピ圧力（＝Ｐhmax）」と定義する。
【００１８】これらの発明者のデータから、発明者は、
キャビネットシリンダー１から膨張弁５に送られる
蒸気ガス２の状態を図６、図７、図８の状態にしておけ
ば、膨張弁５内での液化を防止することができること、
図２、３、４、５の状態から図６、７、８の状態に
するには蒸発ガス２を冷却すればよいこと、を発見し
た。
キャビネットシリンダー１から膨張弁５に送られる
蒸気ガス２の状態を図６、図７、図８の状態にしておけ
ば、膨張弁５内での液化を防止することができること、
図２、３、４、５の状態から図６、７、８の状態に
するには蒸発ガス２を冷却すればよいこと、を発見し
た。
【００１９】の発見は図２〜図８に示された断熱膨張
過程に基づくものであり、の発見は図２〜図８に併記
された等温線の位置関係に基づく。
過程に基づくものであり、の発見は図２〜図８に併記
された等温線の位置関係に基づく。
【００２０】次に、図１を参照して、本発明者が案出し
た蒸発ガスの供給システムを説明する。図１は、本発明
の一実施例に係る蒸発ガスの供給システムを示す概略図
である。従来技術に係るシステムとの差異は、シリンダ
ーキャビネット１に冷却手段１０を付加したこと、シリ
ンダーキャビネット１に充填された蒸発ガスの状態を特
定できる物理量（圧力、温度など）を検出しうる状態変
化モニター手段１１を備えている点である。
た蒸発ガスの供給システムを説明する。図１は、本発明
の一実施例に係る蒸発ガスの供給システムを示す概略図
である。従来技術に係るシステムとの差異は、シリンダ
ーキャビネット１に冷却手段１０を付加したこと、シリ
ンダーキャビネット１に充填された蒸発ガスの状態を特
定できる物理量（圧力、温度など）を検出しうる状態変
化モニター手段１１を備えている点である。
【００２１】前述したように、シリンダーキャビネット
１には、高圧（１次圧力）の状態で蒸発ガス２が充填さ
れている。そのため、一部は液化している。このシリン
ダーキャビネット１から半導体工場などの消費設備３ま
で配管４が敷設され、その途中に膨張弁５が取り付けら
れている。配管４には断熱材が覆われており、外部から
の熱は遮断されている。この膨張弁５によりシリンダー
キャビネット１内の蒸発ガス２は減圧され、消費設備で
使用できる低圧（２次圧力）の蒸発ガス２が供給され
る。シリンダーキャビネット１には冷却手段１０および
状態変化モニター手段１１が設置されている。
１には、高圧（１次圧力）の状態で蒸発ガス２が充填さ
れている。そのため、一部は液化している。このシリン
ダーキャビネット１から半導体工場などの消費設備３ま
で配管４が敷設され、その途中に膨張弁５が取り付けら
れている。配管４には断熱材が覆われており、外部から
の熱は遮断されている。この膨張弁５によりシリンダー
キャビネット１内の蒸発ガス２は減圧され、消費設備で
使用できる低圧（２次圧力）の蒸発ガス２が供給され
る。シリンダーキャビネット１には冷却手段１０および
状態変化モニター手段１１が設置されている。
【００２２】冷却手段１０としては、シリンダーキャビ
ネット１に風を吹き付ける空冷方式、液体でシリンダー
キャビネット１の外周を冷却する液冷方式などを適用で
きる。また、状態変化モニター手段１１としては、温度
計、圧力計、湿度計、サーモスタットなどを使用でき
る。
ネット１に風を吹き付ける空冷方式、液体でシリンダー
キャビネット１の外周を冷却する液冷方式などを適用で
きる。また、状態変化モニター手段１１としては、温度
計、圧力計、湿度計、サーモスタットなどを使用でき
る。
【００２３】なお、本発明に係る蒸発ガス供給方法は、
(a) シリンダーキャビネット１に充填されたときの１次
圧力がＰhmaxを越え、かつ、(b) シリンダーキャビネッ
ト１に充填されたときの１次圧力におけるエンタルピが
ｈ2sc 未満である場合（１次圧力の蒸発ガスをそのまま
断熱膨張させると液化が生じる場合）に有用である。
(a) シリンダーキャビネット１に充填されたときの１次
圧力がＰhmaxを越え、かつ、(b) シリンダーキャビネッ
ト１に充填されたときの１次圧力におけるエンタルピが
ｈ2sc 未満である場合（１次圧力の蒸発ガスをそのまま
断熱膨張させると液化が生じる場合）に有用である。
【００２４】したがって、最初に、シリンダーキャビネ
ット１内の蒸発ガス２の状態が上記(a),(b) を満たすか
否かを判断する。これらを満たす状態である場合、その
まま断熱膨張させると液化するので、シリンダーキャビ
ネット１を冷却手段１０により冷却する。この冷却によ
り、１次圧力の蒸発ガス２は、飽和蒸気線に沿って下降
する。この場合、状態変化モニター手段１１により、冷
却手段１０による蒸発ガス１の状態変化を常にモニター
し、そのエンタルピがｈ2sc に到達するまで状態を検知
する。検知方法としては、蒸発ガス２のエンタルピを直
接検知してもよいが、エンタルピの状態を間接的に示す
圧力、温度などで検知してもよい。所望の状態に到達し
たら、キャビネットシリンダー１内の蒸発ガス２を膨張
弁５に送出し、消費設備３に供給するために降圧させ
る。
ット１内の蒸発ガス２の状態が上記(a),(b) を満たすか
否かを判断する。これらを満たす状態である場合、その
まま断熱膨張させると液化するので、シリンダーキャビ
ネット１を冷却手段１０により冷却する。この冷却によ
り、１次圧力の蒸発ガス２は、飽和蒸気線に沿って下降
する。この場合、状態変化モニター手段１１により、冷
却手段１０による蒸発ガス１の状態変化を常にモニター
し、そのエンタルピがｈ2sc に到達するまで状態を検知
する。検知方法としては、蒸発ガス２のエンタルピを直
接検知してもよいが、エンタルピの状態を間接的に示す
圧力、温度などで検知してもよい。所望の状態に到達し
たら、キャビネットシリンダー１内の蒸発ガス２を膨張
弁５に送出し、消費設備３に供給するために降圧させ
る。
【００２５】本発明は以上のように構成されているの
で、確実に膨張弁における液化を防止することができ
る。特に、膨張弁の後流側にレギュレータなど、数％の
液体が含まれている蒸発ガスにより悪影響を受ける装置
（例えば、レギュレータ）が設置されている場合、効果
的である。
で、確実に膨張弁における液化を防止することができ
る。特に、膨張弁の後流側にレギュレータなど、数％の
液体が含まれている蒸発ガスにより悪影響を受ける装置
（例えば、レギュレータ）が設置されている場合、効果
的である。
【００２６】上記実施例は、一段で断熱膨張する場合を
一例として説明したが、本発明は多段で断熱膨張する場
合にも適用できる。この場合、最後の断熱膨張を行なう
前の蒸発ガスのエンタルピが、ｈ2sc に到達するように
蒸発ガスを冷却する。
一例として説明したが、本発明は多段で断熱膨張する場
合にも適用できる。この場合、最後の断熱膨張を行なう
前の蒸発ガスのエンタルピが、ｈ2sc に到達するように
蒸発ガスを冷却する。
【００２７】以下、本発明の参考例を説明する。例え
ば、２段で断熱膨張を行なう際、ｈ2sc ＝１５５(kcal/
kg) 、ｈ1 ＝１４８(kcal/kg) 、第１段の断熱膨張と第
２段の断熱膨張との間で必然的にΔｈ＝５(kcal/kg) だ
けエンタルピが増加する場合、目標とすべきエンタルピ
はｈ2sc からΔｈを差し引いた１５０(kcal/kg) にな
る。よって、断熱膨張がなされる前の蒸発ガスの状態が
少なくとも１５０(kcal/kg) になるように、キャビネッ
トシリンダーを冷却すればよい。
ば、２段で断熱膨張を行なう際、ｈ2sc ＝１５５(kcal/
kg) 、ｈ1 ＝１４８(kcal/kg) 、第１段の断熱膨張と第
２段の断熱膨張との間で必然的にΔｈ＝５(kcal/kg) だ
けエンタルピが増加する場合、目標とすべきエンタルピ
はｈ2sc からΔｈを差し引いた１５０(kcal/kg) にな
る。よって、断熱膨張がなされる前の蒸発ガスの状態が
少なくとも１５０(kcal/kg) になるように、キャビネッ
トシリンダーを冷却すればよい。
【００２８】図９は、内部温度が３０℃のシリンダーキ
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを２つの膨張弁５で初
期圧力Ｐ1 ＝６４kg/cm 2 .abs（Ａ点）から供給圧力Ｐ
2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｃ点）に減圧するときの状態変化
を示す。蒸発ガスは、上述したように、当初のエンタル
ピｈ1 が（ｈ2sc −Δｈ）以上になるように冷却され
る。その後、蒸発ガス２は最初の膨張弁により中間圧力
Ｐc ＝１０kg/cm 2 .absまで減圧され、最後の膨張弁に
供給されるまでにΔｈだけエンタルピ値が増し、最後の
膨張弁により供給圧力Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .absに減圧され
る。最終減圧時の断熱膨張により、温度は約−５５℃に
まで降下するが、Ｃ点は飽和蒸気線より右側、すなわ
ち、過熱蒸気領域に位置しているので、断熱膨張によっ
て液化は生じない。
ャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを２つの膨張弁５で初
期圧力Ｐ1 ＝６４kg/cm 2 .abs（Ａ点）から供給圧力Ｐ
2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｃ点）に減圧するときの状態変化
を示す。蒸発ガスは、上述したように、当初のエンタル
ピｈ1 が（ｈ2sc −Δｈ）以上になるように冷却され
る。その後、蒸発ガス２は最初の膨張弁により中間圧力
Ｐc ＝１０kg/cm 2 .absまで減圧され、最後の膨張弁に
供給されるまでにΔｈだけエンタルピ値が増し、最後の
膨張弁により供給圧力Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .absに減圧され
る。最終減圧時の断熱膨張により、温度は約−５５℃に
まで降下するが、Ｃ点は飽和蒸気線より右側、すなわ
ち、過熱蒸気領域に位置しているので、断熱膨張によっ
て液化は生じない。
【００２９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、多種多様の変形が可能である。本実施例で
は、断熱膨張する装置として膨張弁を使用しているが、
これに限定されるものではなく、断熱膨張機能を有する
ものであればよい。
のではなく、多種多様の変形が可能である。本実施例で
は、断熱膨張する装置として膨張弁を使用しているが、
これに限定されるものではなく、断熱膨張機能を有する
ものであればよい。
【００３０】また、本実施例ではＮ2 Ｏを一例として説
明しているが、臨界温度が室温に近く、常温における蒸
気圧が高く、かつ、流量が大きい蒸発ガス（例えばＨＣ
ｌ）に適用できる。
明しているが、臨界温度が室温に近く、常温における蒸
気圧が高く、かつ、流量が大きい蒸発ガス（例えばＨＣ
ｌ）に適用できる。
【００３１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、蒸発ガスの液封を有効に防止することがで
きる。
ているので、蒸発ガスの液封を有効に防止することがで
きる。
【図１】本発明の一実施例に係る蒸発ガスの供給システ
ムを示す概略図。
ムを示す概略図。
【図２】内部温度が４０℃のシリンダーキャビネット１
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝８２kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝８２kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
【図３】内部温度がＮ2 Ｏの臨界温度である３６．５℃
のシリンダーキャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張
弁５でＰ1 ＝７４kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg
/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧するときの状態変化を示す
図。
のシリンダーキャビネット１に充填されたＮ2 Ｏを膨張
弁５でＰ1 ＝７４kg/cm 2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg
/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧するときの状態変化を示す
図。
【図４】内部温度が３０℃のシリンダーキャビネット１
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝６４kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝６４kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
【図５】内部温度が２０℃のシリンダーキャビネット１
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝５２kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝５２kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
【図６】内部温度が１０℃のシリンダーキャビネット１
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝４３kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝４３kg/cm 2 .a
bs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧す
るときの状態変化を示す図。
【図７】内部温度が０℃のシリンダーキャビネット１に
充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝３４kg/cm 2 .abs
（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧する
ときの状態変化を示す図。
充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝３４kg/cm 2 .abs
（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に減圧する
ときの状態変化を示す図。
【図８】内部温度が−１０℃のシリンダーキャビネット
１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝２５kg/cm
2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に
減圧するときの状態変化を示す図。
１に充填されたＮ2 Ｏを膨張弁５でＰ1 ＝２５kg/cm
2 .abs（Ａ点）からＰ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｂ点）に
減圧するときの状態変化を示す図。
【図９】内部温度が３０℃のシリンダーキャビネット１
に充填されたＮ2 Ｏを２つの膨張弁５で初期圧力Ｐ1 ＝
６４kg/cm 2 .abs（Ａ点）から中間圧力Ｐc ＝１０kg/c
m 2 .abs（Ｂ点）、供給圧力Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｃ
点）に減圧するときの状態変化を示す図。
に充填されたＮ2 Ｏを２つの膨張弁５で初期圧力Ｐ1 ＝
６４kg/cm 2 .abs（Ａ点）から中間圧力Ｐc ＝１０kg/c
m 2 .abs（Ｂ点）、供給圧力Ｐ2 ＝４kg/cm 2 .abs（Ｃ
点）に減圧するときの状態変化を示す図。
【図１０】従来の蒸発供給装置の概要を示す図。
【図１１】膨張弁における圧力変化を示す図。
１…シリンダーキャビネット、２…蒸発ガス、３…消費
設備、４…配管、５…膨張弁、１０…冷却手段、１１…
状態変化モニター手段。
設備、４…配管、５…膨張弁、１０…冷却手段、１１…
状態変化モニター手段。
Claims (4)
- 【請求項１】 容器に充填された１次圧力の蒸発ガスを
断熱膨張により２次圧力に降圧して一定の消費設備に供
給する蒸発ガス供給方法であって、 容器内の蒸発ガスを冷却することにより、当該容器に充
填された蒸発ガスのエンタルピを、当該蒸発ガスの圧力
−エンタルピ線図において飽和蒸気線上の２次圧力のエ
ンタルピ以上に増加させる第１ステップと、 上記容器に充填された蒸発ガスを断熱膨張させて降圧
し、上記消費設備に供給する第２ステップと、 を含み、 前記蒸発ガスの断熱膨張は、膨張弁を用いて行なわれ
る、蒸発ガス供給方法。 - 【請求項２】 前記蒸発ガスのエンタルピを増加させる
際、当該蒸発ガスの温度又は／及び圧力を検知すること
により、エンタルピの状態変化をモニターする、請求項
１記載の蒸発ガス供給方法。 - 【請求項３】 前記蒸発ガスは、Ｎ２Ｏである、請求項
１記載の蒸発ガス供給方法。 - 【請求項４】 前記容器内の蒸発ガスは、当該容器を冷
却することにより冷却する、請求項１記載の蒸発ガス供
給方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33235593A JP3521946B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 蒸発ガス供給方法 |
| US08/361,389 US5546753A (en) | 1993-12-27 | 1994-12-22 | Evaporated gas supply method |
| DE69420531T DE69420531T2 (de) | 1993-12-27 | 1994-12-23 | Verdampftes Gazzufuhrverfahren |
| EP94403010A EP0660028B1 (en) | 1993-12-27 | 1994-12-23 | Evaporated gas supply method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33235593A JP3521946B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 蒸発ガス供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190299A JPH07190299A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3521946B2 true JP3521946B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=18254039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33235593A Expired - Fee Related JP3521946B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 蒸発ガス供給方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5546753A (ja) |
| EP (1) | EP0660028B1 (ja) |
| JP (1) | JP3521946B2 (ja) |
| DE (1) | DE69420531T2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6199384B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-03-13 | American Air Liquide Inc. | System and method for controlled delivery of liquefied gases including control aspects |
| JP2006283812A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Japan Air Gases Ltd | 液化ガスの供給システムおよび供給方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3121999A (en) * | 1961-06-26 | 1964-02-25 | Union Carbide Corp | Dilution system for evaporation gas |
| DE3622423A1 (de) * | 1986-07-03 | 1988-01-14 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren zur entnahme tiefsiedender kaeltemittel aus kaelte- und klimaanlagen |
| US4878510A (en) * | 1987-10-13 | 1989-11-07 | American Air Liquide | Method for reducing pressure of highly compressed gases without generation of condensation droplets |
| JPH0633859B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1994-05-02 | テイサン株式会社 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33235593A patent/JP3521946B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-12-22 US US08/361,389 patent/US5546753A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-23 DE DE69420531T patent/DE69420531T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-23 EP EP94403010A patent/EP0660028B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0660028B1 (en) | 1999-09-08 |
| US5546753A (en) | 1996-08-20 |
| JPH07190299A (ja) | 1995-07-28 |
| DE69420531D1 (de) | 1999-10-14 |
| EP0660028A1 (en) | 1995-06-28 |
| DE69420531T2 (de) | 2000-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0771698A (ja) | 高圧ガス供給設備 | |
| JP3521946B2 (ja) | 蒸発ガス供給方法 | |
| WO2019126974A1 (en) | Method and apparatus for supplying hydrogen to a hydrogen storage | |
| EP0507673B1 (en) | Process and device for preventing the liquefaction-leakage phenomenon of gas in a pressure regulator | |
| JP3856538B2 (ja) | 冷凍装置 | |
| US3282061A (en) | Gas liquefier plant with low pressure storage | |
| US3552135A (en) | Fluid cooling arrangement employing liquified gas | |
| JPH0492197A (ja) | 極低温液体用貯蔵タンクおよび配管のガス吹込み予冷法 | |
| US11092292B2 (en) | Method for reheating an atmospheric vaporizer using a gas originating from a cryogenic air separation unit | |
| JP2000283395A (ja) | 液化ガスの貯蔵供給設備 | |
| JPS59117281A (ja) | 超電導装置 | |
| WO2023182362A1 (ja) | 液化ガス貯蔵タンクのクールダウン方法 | |
| JPH06159819A (ja) | 空気調和機及び空気調和機の制御方法 | |
| JPH0735933B2 (ja) | ヘリウム等の液化装置 | |
| JPH07151394A (ja) | 冷凍装置 | |
| JPH01305264A (ja) | 冷凍装置 | |
| JPH06323648A (ja) | 冷凍装置 | |
| JP2021021527A (ja) | 温度式膨張弁及び冷凍サイクルシステム | |
| KR100204752B1 (ko) | 대형차량용 에어컨의 안정화방법 | |
| JPH0633870B2 (ja) | 燃料ガス主管圧力制御装置 | |
| JPH01107058A (ja) | 極低温装置の制御方法 | |
| JPH02251053A (ja) | ヒートポンプ式給湯機 | |
| JPS5880483A (ja) | 液化石油ガスの再液化法 | |
| JPH0522832B2 (ja) | ||
| JPH07107387B2 (ja) | クライオポンプの予冷制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031216 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20031219 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040119 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040203 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220 Year of fee payment: 4 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220 Year of fee payment: 4 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |