JP3076182B2 - ガス供給系におけるガス漏れ防止方法、およびガス漏れ防止装置を備えたガス供給系 - Google Patents

ガス供給系におけるガス漏れ防止方法、およびガス漏れ防止装置を備えたガス供給系

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JP3076182B2
JP3076182B2 JP05237691A JP23769193A JP3076182B2 JP 3076182 B2 JP3076182 B2 JP 3076182B2 JP 05237691 A JP05237691 A JP 05237691A JP 23769193 A JP23769193 A JP 23769193A JP 3076182 B2 JP3076182 B2 JP 3076182B2
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直登 田代
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス漏れ防止方法およ
びその装置に関し、特に、ガスシリンダを加温してガス
供給を行うガス供給系のガス漏れ防止方法およびその装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ClF3ガスのような蒸気圧の低
いガスを供給するガス供給系は、図3に示すように、主
に、ガスを収容するガスシリンダ1Xと、ガス需要設備
に一定圧力のガスを供給するためのレギュレータ2X
と、ガスシリンダ1Xを加温するための恒温槽3Xと、
恒温槽3Xを制御するための恒温槽コントローラ4X
と、その電源5Xとで構成されている。
【0003】次に、このガス供給系の動作について説明
する。
【0004】ガスシリンダ1Xを恒温槽3Xで加温し、
ガスシリンダ1X内の圧力を上昇させる。この際、恒温
槽3Xの温度制御は恒温槽コントローラ4Xで行う。そ
して、ガス需要設備へのガスの供給はレギュレータ2X
にて綿密な圧力調整をして行う。
【0005】例えば、ClF3ガスを供給する場合、通
常ガスシリンダ1Xが設置される場所は25℃程度の環
境であり、ガスシリンダ1Xを加温しない状態ではガス
シリンダ1X内の圧力は0.7kg/cm2g程度であ
る。また、この状態でガスの供給を継続すれば、ClF
3ガスが液体からガスになる時の気化熱によりガスシリ
ンダ1Xの温度が低下していき、圧力低下が発生する。
ガスシリンダ1Xを35℃に加温すれば、常時1.5k
g/cm2g程度の圧力で常時ガスを供給できる。
【0006】また、他のガス供給系としては、図4に示
すように、ガスボンベ1Yを冷却機構11Yによって冷
却できるようにするとともに、予め圧力調整器2Yのガ
ス入口3Yとガス出口4Y間の温度差を測定しておき、
この温度差だけガスボンベ1Yの出口のガス温度が低く
なるように自動制御機構12Yを介して冷却機構11Y
を作動せしめ、ガスボンべ1Yの出口の供給ガスの温度
が圧力調整器2Yのガス出口4Yにおけるガスの温度と
ほぼ等しいか低くなるようにするものがある(特開平1
−266400号公報参照)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の図3に
示したガス供給系では、ガスの圧力をモニターせずにガ
スシリンダを加温しているため、恒温槽の恒温槽コント
ローラが故障し、加温温度が異常な値まで上昇しても保
護動作を行わず、ガスシリンダ内の圧力が上昇し、かつ
ガスシリンダ自体の温度が上昇し、ガスシリンダに設け
られた可溶栓から勢い良くガスが吹き出して漏れてしま
うという問題点がある。このことはガスが有害なもので
ある場合に特に深刻である。
【0008】ClF3ガスの場合、可溶栓の破壊する温
度は45℃〜60℃である。また、45℃〜60℃での
ガスの圧力は2.5kg/cm2g〜5kg/cm2g程
度である。
【0009】そして、ガスシリンダ温度が可溶栓の破壊
温度まで達する以前に、ガスシリンダに設けられた圧力
破壊弁(安全弁)の破壊圧力に達するガスの場合は、圧
力破壊弁からガス漏れを起こす場合もある。
【0010】図4に示したガス供給系では、圧力調整器
のガス出流れ減少を防止できるものの、ガスシリンダか
らの漏れは防止できない。また、単に温度差だけにより
冷却機構を制御するものなので、何等かの外乱により保
護動作が行われない恐れがある。
【0011】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、ガスシリンダ内の異常圧力
上昇に起因するガス漏れを確実に防止するガス漏れ防止
方法およびその装置を提供することを目的する。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のガス漏れ防止方法は、温度制御手段によりガ
スシリンダを温度制御しながら加温して、ガスの送気圧
力を高めて供給を行うガス供給系のガス漏れ防止方法に
おいて、前記ガスシリンダからのガス送気圧力および前
記ガスシリンダの温度を検出し、前記ガス送気圧力およ
び前記温度の検出値の少なくとも一方が対応する許容値
よりも上昇した場合に前記温度制御手段とは別に設けた
制御手段によりインタ−ロック信号を発生させ、前記イ
ンタ−ロック信号により前記温度制御手段に供給する電
流を遮断して前記温度制御手段の動作停止と、前記イン
タ−ロック信号により前記ガスシリンダの冷却とを行う
ことを特徴とするものである。
【0013】また、本発明のガス漏れ防止装置は、ガス
シリンダと、該ガスシリンダを加温するための温度制御
手段とを備え、ガスの送気圧力を高めて供給を行うガス
供給系において、前記ガスシリンダからのガス送気圧力
を検出するための圧力スイッチと、前記ガスシリンダの
温度を検出するための温度センサと、前記ガスシリンダ
を冷却する冷却手段と、前記温度制御手段へ供給する電
流を遮断する電源遮断回路と、前記温度制御手段とは別
個に設けた制御部とを有し、前記ガス送気圧力の許容値
および前記ガスシリンダの温度の許容値が予めそれぞれ
設定され、前記圧力スイッチで検出されたガス送気圧力
および前記温度センサで検出された温度の少なくとも一
方が対応する許容値よりも上昇した場合、前記制御部が
前記電源遮断回路と前記冷却手段とをインタ−ロック信
号により動作させることを特徴とするものである。
【0014】
【作用】万が一、何等かの要因により加温手段が故障し
て、加温温度が異常な値まで上昇した場合、ガスシリン
ダ自体の温度が上昇し、これにより、ガスシリンダ内の
圧力が上昇する。本発明では、ガス送気圧力およびガス
シリンダの温度の少なくとも一方が対応する許容値より
も上昇した場合に、前記ガスシリンダを冷却するととも
に、前記加温動作を停止させる。このように、常時ガス
圧力の上昇および温度の上昇の両方をモニターし、万が
一、一方の検出値による保護動作が行われなくても他方
の検出値による保護動作が行われ、外乱による保護動作
の不実行が発生せず、ガスシリンダに備えられている可
溶栓や圧力破壊弁からのガス漏れを確実に防止できる。
【0015】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0016】図1は本発明のガス漏れ防止装置の第1実
施例の構成図である。
【0017】図1に示すように、ガス供給系において、
ガスシリンダ(ガスボンベ)1aを恒温槽3aで加温
し、ガスシリンダ1a内の圧力を上昇させる。恒温槽3
aの温度制御は恒温槽コントローラ4aで行う。恒温槽
3aと恒温槽コントローラ4aにより加温手段が構成さ
れている。ガス需要設備への供給はレギュレータ2aに
て綿密な圧力調整をして行う。
【0018】圧力スイッチ5aはガス供給配管に設けら
れ、ガス送気圧を検出し、温度センサ6aは、ガスシリ
ンダ1aの温度を検出し、それぞれの検出値は後述する
制御部14aに入力される。冷却手段8aは、ファン9
aとラジエータ12a等から構成され、このファン9a
はラジエータ12aを介して冷風11aをガスシリンダ
1aに吹き付けて冷却することができる。電源遮断回路
7aは、恒温槽3aの電源ラインすなわち電源10aと
恒温槽コントローラ4aとの間に設けられ、電源10a
から恒温槽コントローラ4aに電流を供給したり、該電
流の供給を遮断して恒温槽3aの加温動作を停止可能な
ものである。
【0019】制御部14aは、ガスシリンダ1aからの
前記ガス送気圧力の許容値およびガスシリンダ1aの温
度の許容値が予めそれぞれ設定され、圧力スイッチ5a
で検出されたガス送気圧力および温度センサ6aで検出
された温度のいずれか一方が対応する前記許容値よりも
上昇した場合、電源遮断回路7aを動作させるととも
に、冷却手段8aを動作させる。これにより、恒温槽3
aによるガスシリンダ1aの加温動作は停止し、ガスシ
リンダ1aは冷却手段8aにより強制的に冷却される。
【0020】次に、ガス漏れ防止装置の動作すなわちガ
ス漏れ防止方法について説明する。万が一、恒温槽3a
や恒温槽コントローラ4aが故障し、加温温度が異常上
昇した場合、温度センサ6aおよび圧力スイッチ5aの
少なくとも一方が検出値の異常上昇を検知して動作し、
そして、制御部14aは、インターロック信号を電源遮
断回路7aおよび冷却手段8aにそれぞれ供給する。こ
れにより、冷却手段8aおよび恒温槽3aの電源遮断回
路7aが動作し、ガスシリンダ1aの温度を下げガス漏
れを防止する。すなわち、ガスシリンダ1aに備えられ
ている可溶栓や圧力破壊弁(安全弁)からのガス漏れを
防止できる。
【0021】このように、本実施例は、ガス圧力の上昇
および温度の上昇の両方をモニターし、一方の検出値に
よる保護動作が行われなくても他方の検出値による保護
動作が行われ、外乱による保護動作の不実行が発生せ
ず、ガスシリンダに備えられている可溶栓や圧力破壊弁
からのガス漏れを確実に防止できる。
【0022】図2は本発明のガス漏れ防止装置の第2実
施例の構成図である。
【0023】図2に示すように、本実施例では、冷却手
段8bが、シャワー器13bと該シャワー器13bの配
管に設けられた調節弁12bとから構成され、調節弁1
2bにインターロック信号が入力されると、調節弁12
bが開き、シャワー器13bより水15bがガスシリン
ダ1bに向けて吹き出すものである。その他の構成は第
1実施例のものと同一である。本実施例では、冷却のた
めの水が必要であるが、冷却手段の構造が簡単であると
いう利点がある。
【0024】上記各実施例においては、ガス送気圧力お
よびガスシリンダの温度の検出値のいずれか一方が対応
する許容値よりも上昇した場合に、ガスシリンダの冷却
を行うものを示したが、これに限られず、ガス送気圧力
およびガスシリンダの温度の検出値の両方がそれぞれの
許容値よりも上昇した場合に、ガスシリンダを冷却して
もよい。
【0025】
【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、ガスの異常圧力上昇、ガスシリンダの異
常温度上昇の両方を検知して、万が一、一方の検出値に
よる保護動作が行われなくても他方の検出値による保護
動作が行われるという安全動作が可能で、外乱による保
護動作の不実行が発生せず、ガス漏れを確実に防止でき
るという効果を奏する。
【0026】定量的に言えば、従来、1回/10年の頻
度でガス漏れが発生する危険性を有するのに対し、本発
明のガス供給系では、発生しないようにできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス漏れ防止装置の第1実施例の構成
図である。
【図2】本発明のガス漏れ防止装置の第2実施例の構成
図である。
【図3】従来のガス漏れ防止装置の構成図である。
【図4】他の従来のガス漏れ防止装置の構成図である。
【符号の説明】
1a,1b ガスシリンダ 2a,2b レギュレータ 3a,3b 恒温槽 4a,4b 恒温槽コントローラ 5a,5b 圧力スイッチ 6a,6b 温度センサ 7a,7b 電源遮断回路 8a,8b 冷却機構 9a ファン 10a,10b 電源 11a 冷風 12a ラジエータ 12b 調節弁 13b シャワー器 14a,14b 制御部 15b 水
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F17C 7/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 温度制御手段によりガスシリンダを温度
    制御しながら加温して、ガスの送気圧力を高めて供給を
    行うガス供給系のガス漏れ防止方法において、前記ガス
    シリンダからのガス送気圧力および前記ガスシリンダの
    温度を検出し、前記ガス送気圧力および前記温度の検出
    値の少なくとも一方が対応する許容値よりも上昇した場
    合に前記温度制御手段とは別に設けた制御手段によりイ
    ンタ−ロック信号を発生させ、前記インタ−ロック信号
    により前記温度制御手段に供給する電流を遮断して前記
    温度制御手段の動作停止と、前記インタ−ロック信号に
    より前記ガスシリンダの冷却とを行うことを特徴とす
    る、ガス供給系のガス漏れ防止方法。
  2. 【請求項2】 ガスシリンダと、該ガスシリンダを加温
    するための温度制御手段とを備え、ガスの送気圧力を高
    めて供給を行うガス供給系において、前記ガスシリンダ
    からのガス送気圧力を検出するための圧力スイッチと、
    前記ガスシリンダの温度を検出するための温度センサ
    と、前記ガスシリンダを冷却する冷却手段と、前記温度
    制御手段へ供給する電流を遮断する電源遮断回路と、
    記温度制御手段とは別個に設けた制御部とを有し、前記
    ガス送気圧力の許容値および前記ガスシリンダの温度の
    許容値が予めそれぞれ設定され、前記圧力スイッチで検
    出されたガス送気圧力および前記温度センサで検出され
    た温度の少なくとも一方が対応する許容値よりも上昇し
    た場合、前記制御部が前記電源遮断回路と前記冷却手段
    とをインタ−ロック信号により動作させることを特徴と
    する、ガス漏れ防止装置を備えたガス供給系。
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JP5106987B2 (ja) * 2007-10-30 2012-12-26 日本エア・リキード株式会社 液化ガス供給システム
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