JPH01266400A - 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 - Google Patents
圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置Info
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- JPH01266400A JPH01266400A JP8928288A JP8928288A JPH01266400A JP H01266400 A JPH01266400 A JP H01266400A JP 8928288 A JP8928288 A JP 8928288A JP 8928288 A JP8928288 A JP 8928288A JP H01266400 A JPH01266400 A JP H01266400A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C7/00—Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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-
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- F17C2250/0631—Temperature
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置
に関するものである。
に関するものである。
従来例えばドーピングガスとしてはジボランガス（Ｂｔ
１１６）又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガ
ス等との混合ガスが用いられており、これらガスは通常
第２図に示すようにボンベ１内に例えば純ジボランガス
は約３０バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガス
は１００バールの高圧で貯えられており、供給場所にお
いて圧力調整器（レギュレーター）２によって数バール
に減圧されて使用されている。
１１６）又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガ
ス等との混合ガスが用いられており、これらガスは通常
第２図に示すようにボンベ１内に例えば純ジボランガス
は約３０バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガス
は１００バールの高圧で貯えられており、供給場所にお
いて圧力調整器（レギュレーター）２によって数バール
に減圧されて使用されている。
前記圧力調整器２としては第３図に示すようなものが使
用されている。
用されている。
第３図において３はガス入口、４はガス出口、５はガス
入口、ガス出口間に介挿したオリフィス、６はこのオリ
フィス５の開度を調節する弁、７〜９は夫々この弁６を
制御するばね及びメンプランを示し、ガス人口３に供給
される供給ガス圧の増減によって弁６によるオリフィス
５の開度が減、増されガス出口４からは常時設定された
圧力のガスが得られるようになる。
入口、ガス出口間に介挿したオリフィス、６はこのオリ
フィス５の開度を調節する弁、７〜９は夫々この弁６を
制御するばね及びメンプランを示し、ガス人口３に供給
される供給ガス圧の増減によって弁６によるオリフィス
５の開度が減、増されガス出口４からは常時設定された
圧力のガスが得られるようになる。
従来このようなガスを用いた場合圧力調整器２が動作不
能となる所謂小流れ現象が生ずることが知られている。
能となる所謂小流れ現象が生ずることが知られている。
然しなからジボランガス等は極めて有毒であり、出流れ
現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるおそれがあっ
た。
現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるおそれがあっ
た。
本発明の目的はこのような危険を防ぐための圧力調整器
のガス出液れ現象防止方法及び装置を得るにある。
のガス出液れ現象防止方法及び装置を得るにある。
本発明者は種々実験、研究の結果上記山塊れ現象は一般
にジボランガスに含まれるＢ系分解重合不純物の蒸気圧
が低くジボランガスが圧力調整器２のオリフィス５を通
過する際断熱自由膨張によって温度が低下し、ジボラン
ガス中に含まれる前記Ｂ系分解重合不純物が相変化を起
こして固化し、この固化したものがオリフィス５と弁６
間に挟まり、弁６が完全に閉まらなくなる為であること
、及びこの現象を防ぐためには高圧ガス供給源の出口に
おける供給ガスの温度を前記断熱自由膨張により温度低
下した圧力調整器２のガス出口におけるガスの温度より
低くすれば良いことを確かめた。
にジボランガスに含まれるＢ系分解重合不純物の蒸気圧
が低くジボランガスが圧力調整器２のオリフィス５を通
過する際断熱自由膨張によって温度が低下し、ジボラン
ガス中に含まれる前記Ｂ系分解重合不純物が相変化を起
こして固化し、この固化したものがオリフィス５と弁６
間に挟まり、弁６が完全に閉まらなくなる為であること
、及びこの現象を防ぐためには高圧ガス供給源の出口に
おける供給ガスの温度を前記断熱自由膨張により温度低
下した圧力調整器２のガス出口におけるガスの温度より
低くすれば良いことを確かめた。
本発明はこのような点に着目して成されたものである。
本発明の圧力調整器のガス出液れ現象防止方法は高圧ガ
ス供給源から圧力調整器を介して減圧して供給されるガ
スを圧力調整器の入口における温′度と圧力調整器内で
のガスの断熱自由膨張による温度低下分との差に相当す
る温度だけ前記高圧ガス供給源内で冷却せしめるように
したことを特徴とする。
ス供給源から圧力調整器を介して減圧して供給されるガ
スを圧力調整器の入口における温′度と圧力調整器内で
のガスの断熱自由膨張による温度低下分との差に相当す
る温度だけ前記高圧ガス供給源内で冷却せしめるように
したことを特徴とする。
本発明の圧力調整器のガス出液れ現象防止装置は高圧ガ
ス供給源に設けた冷却機構と、前記高圧ガス供給源から
のガス温度と減圧用圧力調整器のガス入口及び出口にお
けるガスの温度の関数として前記冷却機構を制御する制
御機構とより成ることを特徴とする。
ス供給源に設けた冷却機構と、前記高圧ガス供給源から
のガス温度と減圧用圧力調整器のガス入口及び出口にお
けるガスの温度の関数として前記冷却機構を制御する制
御機構とより成ることを特徴とする。
本発明方法及び装置によればガスの出流れ現象を完全に
防止することができる。
防止することができる。
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第１図に示すようにガスボンベｌを冷
却機構１１によって冷却できるようにすると共に、この
冷却機構１１を自動制御機構１２によって制御しガスボ
ンベ１のガス出口における供給ガスの温度が圧力調整器
２内におけるガスの断熱自由膨張によって低下した圧力
調整器２の出口温度より少なくとも低くなるようにする
。
却機構１１によって冷却できるようにすると共に、この
冷却機構１１を自動制御機構１２によって制御しガスボ
ンベ１のガス出口における供給ガスの温度が圧力調整器
２内におけるガスの断熱自由膨張によって低下した圧力
調整器２の出口温度より少なくとも低くなるようにする
。
即ち、本発明においては予め圧力調整器２のガス人口３
と出口４間のガス温度差を測定しておき、この温度差だ
けガスボンベ１の出口のガス温度が低くなるよう自動制
御機構１２を介して冷却機構１１を作動せしめ、この結
果ガスボンベ１の出口の供給ガスの温度が圧力調整器２
のガス出口４におけるガスの温度と略等しいか低くなる
ようにする。
と出口４間のガス温度差を測定しておき、この温度差だ
けガスボンベ１の出口のガス温度が低くなるよう自動制
御機構１２を介して冷却機構１１を作動せしめ、この結
果ガスボンベ１の出口の供給ガスの温度が圧力調整器２
のガス出口４におけるガスの温度と略等しいか低くなる
ようにする。
本発明は上記の通りであるから圧力調整器２の出口にお
けるガスの温度は常時ガスボンベ１からの供給ガスと略
同−温度に保たれ、圧力調整器２内において温度低下に
よる不純物の固化を生ずることはない。
けるガスの温度は常時ガスボンベ１からの供給ガスと略
同−温度に保たれ、圧力調整器２内において温度低下に
よる不純物の固化を生ずることはない。
本発明によれば圧力調整器のガス出液れ現象を完全に防
止できる大きな利益がある。
止できる大きな利益がある。
又ジボランガス等のドーピングガスは元来分解し易いが
本発明では冷却機構によって冷却されるのでその分解防
止にも役立つ利益がある。
本発明では冷却機構によって冷却されるのでその分解防
止にも役立つ利益がある。
第１図は本発明の説明図、第２図は従来のガス供給装置
の説明図、第３図はその圧力調整器の詳細説明図である
。
の説明図、第３図はその圧力調整器の詳細説明図である
。
Claims (2)
- （１）高圧ガス供給源から圧力調整器を介して減圧して
供給されるガスを圧力調整器の入口における温度と圧力
調整器内でのガスの断熱自由膨張による温度低下分との
差に相当する温度だけ前記高圧ガス供給源内で冷却せし
めるようにしたことを特徴とする圧力調整器のガス出流
れ現象防止方法。 - （２）高圧ガス供給源に設けた冷却機構と、前記高圧ガ
ス供給源からのガス温度と減圧用圧力調整器のガス入口
及び出口におけるガスの温度の関数として前記冷却機構
を制御する制御機構とより成ることを特徴とする圧力調
整器のガス出流れ現象防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8928288A JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8928288A JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01266400A true JPH01266400A (ja) | 1989-10-24 |
| JPH0633859B2 JPH0633859B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=13966357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8928288A Expired - Lifetime JPH0633859B2 (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633859B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0791599A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-04 | Nec Kyushu Ltd | ガス供給系におけるガス漏れ防止方法、およびガス漏れ防止装置を備えたガス供給系 |
| EP0660028A1 (en) * | 1993-12-27 | 1995-06-28 | Teisan Kabushiki Kaisha | Evaporated gas supply method |
| CN114452848A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-10 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法 |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP8928288A patent/JPH0633859B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0791599A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-04 | Nec Kyushu Ltd | ガス供給系におけるガス漏れ防止方法、およびガス漏れ防止装置を備えたガス供給系 |
| EP0660028A1 (en) * | 1993-12-27 | 1995-06-28 | Teisan Kabushiki Kaisha | Evaporated gas supply method |
| US5546753A (en) * | 1993-12-27 | 1996-08-20 | Teisan K.K. | Evaporated gas supply method |
| CN114452848A (zh) * | 2022-02-23 | 2022-05-10 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0633859B2 (ja) | 1994-05-02 |
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