JPH0633858B2 - 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 - Google Patents

圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置

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JPH0633858B2
JPH0633858B2 JP63064135A JP6413588A JPH0633858B2 JP H0633858 B2 JPH0633858 B2 JP H0633858B2 JP 63064135 A JP63064135 A JP 63064135A JP 6413588 A JP6413588 A JP 6413588A JP H0633858 B2 JPH0633858 B2 JP H0633858B2
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成禎 野沢
和夫 横木
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    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/12Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
    • F17C13/123Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures for gas bottles, cylinders or reservoirs for tank vehicles or for railway tank wagons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F17C2205/00Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0338Pressure regulators
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置
に関するものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来例えばドーピングガスとしてはジボランガス(B2H6)
又はジボランガスとアルゴン、窒素、シランガス等との
混合ガスが用いられており、これらガスは通常第2図に
示すようにボンベ1内に例えば純ジボランガスは約30
バール、ジボランガスとアルゴン等の混合ガスは100
バールの高圧で貯えられており、供給場所において圧力
調整器(レギュレーター)2によって数バールに減圧さ
れて使用されている。
前記圧力調整器2としては第3図に示すようなものが使
用されている。
第3図において3はガス入口、4はガス出口、5はガス
入口、ガス出口間に介挿したオリフィス、6はこのオリ
フィス5の開度を調節する弁、7〜9は夫々この弁6を
制御するばね及びメンブランを示し、ガス入口3に供給
される供給ガス圧の増減によって弁6によるオリフィス
5の開度が減、増されガス出口4からは常時設定された
圧力のガスが得られるようになる。
従来このようなガスを用いた場合圧力調整器2が動作不
能となる所謂出流れ現象が生ずることが知られている。
然しながらジボランガス等は極めて有毒であり、出流れ
現象を生じた場合には人畜に危害を生ずるおそれがあっ
た。
本発明の目的はこのような危険を防ぐための圧力調整器
のガス出流れ現象防止方法及び装置を得るにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者は種々実験、研究の結果上記出流れ現象は一般
にジボランガスに含まれるB系分解重合不純物の蒸気圧
が低くジボランガスが圧力調整器2のオリフィス5を通
過する際断熱自由膨脹によって温度が低下し、ジボッラ
ンガス中に含まれる前記B系分解重合不純物が相変化を
起こして固化し、この固化したものがオリフィス5と弁
6間に挟まり、弁6が完全に閉まらなくなる為であるこ
と、及びこの現象をふせぐためには圧力調整器2に対す
る供給ガスの温度を圧力調整器2のガス出口におけるガ
スの温度より高くして前記断熱自由膨脹による温度低下
を補償せしめれば良いことを確かめた。
より具体的に説明すると、通常供給ガスの温度は圧力調
整器2のガス入口では略大気温度であるが、この温度で
は通常前記不純物の固化は生じない。然るにこのガスが
前記断熱自由膨張により大気温度以下になるため前記不
純物の固化を生ずるものであり、従ってこの温度低下分
だけ圧力調整器に入るガスを加熱してあらかじめ高めて
おけば良いことを確かめた。
本発明はこのような点に着目して成されたものである。
本発明の圧力調整器のガス出流れ現象防止方法は、高圧
ガス供給源から圧力調整器を介して減圧して供給される
ガスを圧力調整器に入る前に加熱して圧力調整器内での
ガスの断熱自由膨張による温度低下分だけ圧力調整器に
入るガスの温度を高めるようにしたことを特徴とする。
また、本発明の圧力調整器のガス出流れ現象防止装置
は、高圧ガス供給源と減圧用圧力調整器間のガス通路を
加熱する加熱機構と、前記高圧ガス供給源からのガス温
度と前記減圧用圧力調整器のガス出口におけるガスの温
度が略等しくなるよう前記加圧機構を制御する制御機構
とにより成ることを特徴とする。
本発明方法及び装置によればガスの出流れ現象を完全に
防止することができる。
〔実施例〕
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明においては第1図に示すようにガスボンベ1と圧
力調整器2間を連結するガス配管10を加熱機構11に
よって加熱できるようにすると共に、この加熱機構11
を自動制御機構12によって制御し圧力調整器2のガス
入口3における供給ガスの温度が出口4のガス温度より
圧力調整器2内におけるガスの断熱自由膨脹による温度
低下分だけ少なくとも高くなるようガス配管10に熱量
を与える。
即ち本発明においては予め圧力調整器2のガス入口3と
出口4間のガスの温度差を測定しておき、この温度差だ
けガス入口3のガス温度が高くなるよう自動制御機構1
2を介して加熱機構11を作動せしめ、この結果ガスボ
ンベ1よりの供給ガスの温度と圧力調整器2のガス出口
4におけるガスの温度を略等しくなるようにする。
なお、上記温度差測定は、例えば温度センサーで行な
い、上記加熱機構11は例えばガス配管10を取り巻く
電熱線により構成する。
第4図は従来方法及び装置におけるガス温度と時刻の関
係を示しTは例えば大気温度で圧力調整器2のガス入
口におけるガス温度に略等しい。Tは圧力調整器2内
で断熱自由膨張した結果低下したガス温度である。
第5図は同じく本発明方法及び装置におけるガス温度と
時刻の関係を示す線図であって、Tは加熱によって上
昇したガス温度、Tは断熱自由膨張によって低下した
ガス温度である。このTは略Tまたはこれ以上にで
きる。
本発明は上記の通りであるから圧力調整器2の出口にお
けるガスの温度は常時ガスボンベ1からの供給ガスと略
同一温度に保たれ、圧力調整器2内において温度低下に
よる不純物の固化を生ずることはない。
〔発明の効果〕
本発明によれば圧力調整器のガス出流れ現象を完全に防
止できる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の説明図、第2図は従来のガスの供給装
置の説明図、第3図はその圧力調整器の詳細説明図、第
4図,第5図は夫々従来及び本発明方法及び装置におけ
るガス温度と時刻の関係を示す線図である。 1……ガスボンベ、2……圧力調整器、3……ガス入
口、4……ガス出口、5……オリフィス、6……弁、7
〜9……ばね及びメンブラン、10……ガス配管、11
……加熱機構、12……自動制御機構。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高圧ガス供給源から圧力調整器を介して減
    圧して供給されるガスを圧力調整器に入る前に加熱して
    圧力調整器内でのガスの断熱自由膨張による温度低下分
    だけ圧力調整器に入るガスの温度を高めるようにしたこ
    とを特徴とする圧力調整器のガス出流れ現象防止方法。
  2. 【請求項2】高圧ガス供給源と減圧用圧力調整器間のガ
    ス通路を加熱する加熱機構と、前記高圧ガス供給源から
    のガス温度と前記減圧用圧力調整器のガス出口における
    ガスの温度が略等しくなるよう前記加熱機構を制御する
    制御機構とより成ることを特徴とする圧力調整器のガス
    出流れ現象防止装置。
JP63064135A 1988-03-17 1988-03-17 圧力調整器のガス出流れ現象防止方法及び装置 Expired - Lifetime JPH0633858B2 (ja)

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