JPH06333241A - ２次元光ビーム偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 精度よく光ビームを偏向することができ、高
速動作の可能な２次元光ビーム偏向装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 回転可能に保持された球状体６０に、ミラー
５６が固定されている。したがって、球状体６０の中心
を通るＸ軸とＹ軸の双方を中心としてミラー５６を傾け
ることができる。コイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６
ｄに電流を流すことにより、永久磁石６２ａ，６２ｂ，
６２ｃ，６２ｄとの作用により、ミラー５６の傾きを変
えることができる。この傾きは、磁気センサ７０によっ
て検出される。また、コイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，
６６ｄに電流を供給するためのフレキシブル基板６８
ａ，６８ｂ，６８ｃ，６８ｄによって、バネ性がもたら
されている。可動側に、コイル６６ａ，６６ｂ，６６
ｃ，６６ｄを設けるようにしているので、高速動作が可
能である。また、コイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６
ｄに与える制御信号の立上がりを緩やかにし、素子とコ
イル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄの発熱を防いでい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は２次元光ビーム偏向装
置に関し、特にその偏向性能の向上に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置として、特開昭64ー5
8271号公報に図１３に示すようなものが開示されてい
る。レーザ照射ヘッド２から照射されたレーザ光４は、
ミラー６において反射され、対象物１０の照射点８に照
射される。ミラー６は、支点１２を中心として揺動可能
に支持された揺動支軸１４の先端部に固定されている。
揺動支軸１４の中央部には電磁石１６が設けられ、これ
に対向して偏向駆動コイル１８、２０が設けられてい
る。したがって、偏向駆動コイル１８、２０に電流を流
すことにより、揺動支軸１４に固定されたミラー６の角
度を変えて、レーザ光４の照射点８を移動することがで
きる。

【０００３】また、特開昭59ー191148号公報には、図１
４に示すような光ビーム偏向装置が開示されている。ホ
ルダ２２には、支持棒３０が固定されている。支持棒３
０の先端部には、弾性部材３２を介してコイルホルダ２
７が固定されている。コイルホルダ２７の前面にはミラ
ー２８が固定され、側面にはコイル２６が固定されてい
る。コイル２６に対向して、ホルダ２２に永久磁石２４
が固定されている。したがって、コイル２６に流す電流
を制御することにより、弾性部材３２を変形させてミラ
ー２８の角度を変化させることができる。

【０００４】また、特開平2ー298908号公報には、図１５
に示すような光ビーム偏向装置が開示されている。ミラ
ー３４はミラー支持体３６に固定されており、ミラー支
持体３６は可撓性を有するスタンドオフ４４によってベ
ース４２に固定されている。ミラー支持体３６の裏面に
は永久磁石３８が固定され、これに対向してベース４２
にはコイル４０が固定されている。したがって、コイル
４０に流す電流を制御することにより、スタンドオフ４
４を撓ませて、ミラー３４の角度を変化させることがで
きる。

【０００５】ところで、光ビームの偏向位置を正確に決
定するためには、ミラーの傾きを正確に計測しなければ
ならない。１次元の光ビーム偏向装置における傾き検出
を、図１６に示す。ミラー１００は、軸１０２の一端に
固定され、軸１０２の他端には貫通穴を有するボス１０
４が設けられている。このボス１０４の貫通穴には、シ
ャフト１０６が貫通されており、ミラー１００はこのシ
ャフト１０６の中心軸を中心として、矢印Ｄの方向に回
転駆動可能になっている。なお、このミラー１００は、
図示しない駆動手段によって駆動される。ミラー１００
の傾きを検出するため、光センサ１０８、１１０を設け
ている。これにより、光センサ１０８、１１０からミラ
ー１００までの距離を検出して、ミラー１００の傾きを
得ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の光ビーム偏向装置には、次のような問題点
があった。

【０００７】図１３に示すものでは、ミラー６における
反射点が振れ角度によって大きく移動するため、振れ角
度を余り大きくできないという問題点があった。また、
支点１２とミラー６とが離れているため、慣性モーメン
トが大きく、高速動作ができないという問題点もあっ
た。

【０００８】また、図１４や図１５に示すものにおいて
は、弾性部材３２や可撓性のあるスタンドオフ４４を用
いているので、揺動中心が定まっておらず、光ビームを
正確に偏向できないという問題点があった。さらに、弾
性部材３２やスタンドオフ４４の温度による膨張・収縮
によっても揺動中心が変化するので、なおさらであっ
た。

【０００９】また、図１３や図１５に示すものは、可動
する側に重量のある鉄心１６や永久磁石３８を有してい
るので、高速動作が困難であるという問題もあった。

【００１０】一方、図１４に示すもののように、可動す
る側にコイル２６を設けると高速動作は可能となるが、
可動側と固定側に配線（図示せず）を設けなければなら
なかった。このため、ミラー２８を駆動する際に、配線
によって予測困難な応力が発生し、安定した駆動を行う
ことが困難であるという問題もあった。

【００１１】さらに、図１６に示すように、１次元光ビ
ーム駆動装置においてはミラーの傾きを検出することが
行われていたが、２次元光ビーム駆動装置において、２
次元双方向についてミラーの傾きを検出する装置は開示
されていなかった。

【００１２】この発明は、上記のような問題点を解決し
て、精度よく光ビームを偏向することができ、高速動作
の可能な光ビーム偏向装置を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】光ビームを所望の方向に
反射させる２次元光ビーム偏向装置において、表面に光
ビームを反射するミラーを有するミラー板、回転可能に
保持されミラー板に近接して配置された球状体を介し
て、ミラー板を保持するベース部材、ミラー板を第１の
軸を中心として駆動する第１駆動手段、ミラー板を第２
の軸を中心として駆動する第２駆動手段、を備えたこと
を特徴とする２次元光ビーム偏向装置。

【００１４】

【作用】請求項１の２次元光ビーム偏向装置は、回転可
能に保持されるた球状体を介して、ミラー板をベース部
材に保持している。したがって、ミラー板を、第１の軸
および第２の軸の両軸を中心として傾けることができ
る。また、両軸を中心とした傾きを組合わせた傾きを得
ることができる。つまり、球状体の中心を中心点として
ミラー板を全方向に傾けることができ、その中心点がず
れない。さらに、ミラー板に近接して球状体が配置され
ているので、高速駆動を行うことができる。

【００１５】

【実施例】図１に、この発明の一実施例による２次元光
ビーム偏向装置を示す。図１Ａが平面図であり、図１Ｂ
が断面図である。ベース部材５０の中央部には、保持部
材５２が固定されている。ミラー板５４の表面にはミラ
ー５６が貼りつけられており、裏面にはブラケット５８
を介して球状体６０が固定されている。

【００１６】図３に、閉塞部材５５、球状体６０、保持
部材本体５７、ブラケット５８の分解斜視図を示す。保
持部材本体５７の中央部には、貫通穴５３が設けられて
いる。貫通穴５３の内径は、球状体６０の外径よりやや
大きく形成されている。ただし、先端部５３ａの内径
は、球状体６０の外形より小さく形成されている。球状
体６０は貫通穴５３の後端部から内部に導入され、閉塞
部材５５によって貫通穴５３が閉塞される。これによ
り、球状体６０が回転可能に支持される。すなわち、こ
の実施例においては、保持部材本体５７と閉塞部材５５
によって保持部材５２が構成されている。このようにし
て回転可能に支持された球状体６０の穴６１に、ブラケ
ット５８の裏面に設けられた突起５９が挿入されて固定
される。これにより、球状体６０の回転可能な範囲は狭
められるが、ミラー板５４がベース部材５０あるいは保
持部材本体５７と干渉しない所定の範囲内においては依
然として回転可能である。

【００１７】図１において、ミラー５６は、ミラー板５
４を介してブラケット５８に固定されている。したがっ
て、ミラー板５４およびミラー５６は、球状体６０の中
心を通る第１の軸であるＹ軸および第２の軸であるＸ軸
を中心として、傾けることができる。また、両軸を中心
とする傾きを組合わせて傾けることもできる。

【００１８】ミラー板５４には、４つの貫通穴５７ａ，
５７ｂ，５７ｃ，５７ｄが設けられている。一方、ベー
ス部材５０には、永久磁石６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６
２ｄを固定したＵ字状の金属片６４ａ，６４ｂ，６４
ｃ，６４ｄが固定されている。つまり、この実施例で
は、永久磁石６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄとＵ字状
の金属片６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによって磁気
回路（磁石部材）が構成されている。金属片６４ａ，６
４ｂ，６４ｃ，６４ｄの一端は、それぞれ、ミラー板５
４の貫通穴５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄに挿入され
ている。また、ミラー板５４の裏面の貫通穴５７ａ，５
７ｂ，５７ｃ，５７ｄの周囲には、それぞれ、図４に示
すようなコイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄが貼り
つけられている。その際、コイル６６ａ，６６ｂ，６６
ｃ，６６ｄの中央部の穴の中心軸と、貫通穴５７ａ，５
７ｂ，５７ｃ，５７ｄの中心軸とがほぼ合致するような
位置で貼りつけられている。

【００１９】図１において、入射した光ビームαはミラ
ー５６によって反射される。ここで、コイル６６ｂに電
流を流すと、これによって発生した磁束により、金属片
６４ｂとの間で矢印Ａ方向に駆動力が生じる。すなわ
ち、球状体６０の中心を中心としてミラー５６を矢印Ａ
方向に駆動することができる。これにより、光ビームα
の軌跡を変えることができる。また、この際、同時にコ
イル６６ａに、矢印Ｃ方向に駆動するような電流を流せ
ば、高速に駆動することができる。なお、電流の向きを
逆にすることにより、矢印Ｅ方向、Ｆ方向に駆動するこ
とができる。このようにして、Ｙ軸を中心として、ミラ
ー５６を傾けることができる。すなわち、この実施例で
は、永久磁石６２ａ，６２ｂ、金属片６４ａ，６４ｂお
よびコイル６６ａ，６６ｂによって第１の駆動手段が構
成されている。

【００２０】同様に、図２に示すように、永久磁石６２
ｃ，６２ｄ、金属片６４ｃ，６４ｄおよびコイル６６
ｃ，６６ｄによって、第２の駆動手段が構成されてお
り、Ｘ軸を中心としてミラー５６を傾けることができ
る。したがって、コイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６
ｄの電流を制御することにより、図１のＸ軸およびＹ軸
を中心としてミラー５６を傾けることができる。また両
軸を中心とする傾きを組合せることにより、ミラー５６
を任意の方向に傾けることができる。したがって、光ビ
ームαを任意の方向に偏向することができる。

【００２１】特に、この実施例では、駆動するミラー板
５４の側に、永久磁石よりも軽量なコイル６６ａ，６６
ｂ，６６ｃ，６６ｄを設けているので軽量化を図ること
ができ、さらに高速駆動が可能である。

【００２２】この実施例においては、ミラー５６と球状
体６０とが近接しているので次のような効果を生じる。
第一に、慣性モーメントが小さくて済み、高速駆動が可
能である。第二に、ミラー５６を大きく傾けることが可
能となる。第三に、ミラー５６の傾きが変化しても、ミ
ラー５６上における光ビームのスポット位置があまり変
化しない。

【００２３】また、球状体６０の中心を中心としてミラ
ー５６を傾けており、この中心点が変化することはな
い。したがって、高精度に偏向を制御することができ
る。

【００２４】なお、コイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６
６ｄへの電流の供給を制御する制御回路は、別途設けら
れている。これらコイル６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６
ｄに電流を供給するためにリード線等を用いると、ミラ
ー５６を駆動する際に、リード線によって予測不可能な
応力が発生し、正確かつ迅速な駆動ができないという問
題がある。

【００２５】この実施例では、制御回路からコイル６６
ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄへ電流を供給するために、
フレキシブル基板６８ａ，６８ｂ，６８ｃ，６８ｄを用
いている。すなわち、図５に示すように、ミラー板５４
の四隅にフレキシブル基板６８ａ，６８ｂ，６８ｃ，６
８ｄが撓んだ状態で固定されている。なお、フレキシブ
ル基板６８ａはコイル６６ａに接続され、フレキシブル
基板６８ｂはコイル６６ｂに接続され、フレキシブル基
板６８ｃはコイル６６ｃに接続され、フレキシブル基板
６８ｄはコイル６６ｄに接続されている。

【００２６】フレキシブル基板６８ａ，６８ｂ，６８
ｃ，６８ｄは、撓んだ状態で固定され、可撓性を有して
いるので、これにより二次の振動系におけるバネの要素
（図１のＡ方向やＥ方向のバネ要素）を実現することが
できる。つまり、ミラー５６の挙動を計算することが可
能となり、的確かつ高速な駆動が可能となる。

【００２７】また、２次元方向に駆動する場合には、図
５の矢印Ｂ方向に示す回転力が生じてしまい、これによ
って正確な制御が困難となっていたが、フレキシブル基
板６８ａ，６８ｂ，６８ｃ，６８ｄを用いることによ
り、矢印Ｂ方向への回転を抑制することができる。

【００２８】次に、この光ビーム偏向装置の駆動制御に
ついて説明する。この実施例では、駆動制御を精度よく
行うために、図１Ｂに示すような磁気センサ７０を設け
ている。この磁気センサ７０近傍の拡大図を、図６に示
す。ミラー板５４の貫通穴５７ｂ近傍の裏面に、金属片
７４が設けられている。その下部７４ａの形状は、図６
Ｂに示すように、球状体６０の中心を中心とする球面の
一部となっている。また、正面から見ると、図６Ａに示
すように、金属片７４の先端部７４ｂは円弧となってい
る。これに対向するように、ベース部材５０には、セン
サ支柱７２の先端に磁気センサ７０が設けられている。
したがって、ミラー５６のＸ軸に関する傾きに応じて、
磁気センサ７０の出力が変化する。

【００２９】また、図２に示すように、Ｙ軸上の貫通穴
５７ｃの近傍にもＹ軸に関する傾きを検出するための金
属片７５、磁気センサ７１が設けられている。金属片７
５、磁気センサ７１の構成は、上記の金属片７４、磁気
センサ７０と同様である。したがって、ミラー５６のＹ
軸に関する傾きに応じて、磁気センサ７１の出力が変化
する。

【００３０】なお、この実施例では、図６Ａに示すよう
に、金属片７４先端部７４ｂの形状を、点１１１を中心
とした円弧としている。なお、この点１１１は、球状体
６０の中心からミラー板５４に並行に延長した直線が、
金属片７４の幅の中央部に交わる点である。したがっ
て、図６Ｃに示すように、Ｙ軸を中心とする傾きが変ら
ず、Ｘ軸を中心とする傾きだけが変ったとしても、Ｙ軸
に関する磁気センサ７０の出力は変化しない。また、図
６Ａの矢印Ｋ方向に示す検出ストロークを大きくとれる
という利点もある。さらに、図６Ｂに示すように、金属
片７４下部７４ａの形状を、球状体６０の中心を中心と
した球面の一部としている。したがって、図１の矢印Ｂ
方向にミラー板５４が回転しても、磁気センサ７０の出
力は変化しないという利点がある。これらの点は、Ｘ軸
に関する磁気センサ７１に関しても同様である。したが
って、Ｙ軸に関する傾きを磁気センサ７０により、Ｘ軸
に関する傾きを磁気センサ７１によって、分離して計測
することができ、精度よくミラー５６の傾きを検出する
ことができる。

【００３１】図７に、制御手段である制御回路のブロッ
ク図を示す。図では、コイル６６ａ，６６ｂについての
制御回路を示したが、コイル６６ｃ，６６ｄについての
制御回路も同様の構成である。センサ７０の出力は検出
回路６９を介して取り出され、、ミラー板５４の現在の
傾きを得ることができる。この検出回路６９の出力と、
傾き目標である目標信号とを比較して、その差分に対応
した制御値を減算器７４によって得ている。この制御値
を補償回路７６を介して駆動回路７８に与え、制御信号
を生成して、コイル６６ａ，６６ｂに与えている。これ
により、ミラー板５４が駆動される。駆動により、目標
信号と検出回路６９の出力とが等しくなれば（目標の傾
きに到達すれば）、ミラー板５４が停止する。

【００３２】ところで、目標信号として図８Ａに示すよ
うな波形を与えると、制御信号である駆動回路出力は図
８Ｂのようになり、β，γに示すように飽和してしま
う。また、駆動回路７８およびコイル６６ａ，６６ｂに
大電流が流れ、大きな電力を消費するばかりでなく、素
子とコイルが発熱するおそれもあった。また、図８Ｃの
センサ出力からも明らかなように、ミラー板５４に無駄
な振動が生じるという問題もあった。そこで、この実施
例では、目標信号を波形変換回路７２によって図８Ｄに
示すように鈍化させ、鈍化目標信号をもとに、制御信号
を生成するようにしている。このような鈍化目標信号を
用いることにより、図８Ｅに示すように、制御信号が過
大になるのを防止することができる。したがって、回路
に大きな電流が流れず、電力消費が少なくて済み、素子
とコイルの発熱量も小さくすることができる。さらに、
図８Ｆに示すように、ミラー板５４に無駄な振動が生じ
ない。

【００３３】なお、波形変換回路７２は、ディジタルデ
ータの段階で鈍化させ、その後、アナログ信号に変換し
てもよく、また、フィルタ回路などによってアナログ的
に鈍化させるようにしてもよい。

【００３４】上記実施例では、図６に示すように磁気セ
ンサ７０（磁気センサ７１）を配置したが、図９Ａに示
すように配置してもよい。この実施例においては、ミラ
ー板５４の裏面に磁気センサ７０よりも十分大きい面積
を有する円盤状の金属片７４を貼り付けている。磁気セ
ンサ７０は、これに対向するように設けられている。図
６に示すような磁気センサ７０の配置では、図１のＢ方
向にミラー板５４が回転した場合にセンサ出力が変化し
てしまうという問題があった。これに対し、図９の実施
例によれば、図９Ｂ、図９Ｃに示すように、ミラー板５
４がＢ方向に回転しても、センサ出力は変化しない。た
だし、図９Ｄ、図９Ｅに示すように、Ｙ軸を中心とする
傾きが変らなくとも、Ｘ軸を中心とする傾きが変るとセ
ンサ出力が変化してしまう問題がある。つまり、他軸の
傾きによって、センサ出力が変化してしまうという問題
がある。また、金属片７４と磁気センサ７０とを離しす
ぎると検出出力が得られなくなるので、図６の実施例に
比べて、検出ストロークＫを余り大きくとれないという
問題もある。したがって、図９の実施例は、矢印Ｂ方向
の回転に対する検出誤差が大きく問題となる場合に有効
である。

【００３５】また、図１０Ａに示すように、磁気センサ
７０（磁気センサ７１）を配置してもよい。この実施例
においては、ミラー板５４の裏面に板状の金属片７４を
固定している。磁気センサ７０は、これの側面に対向す
るように設けられている。この実施例では、図９の実施
例に比べ検出ストロークＫを大きくすることができる。
ただし、図１０Ｂ、図１０Ｃに示すように、ミラー板５
４がＢ方向に回転すると、センサ出力が変化するという
問題がある。また、図９の実施例と同様、図１０Ｄ、図
１０Ｅに示すように、Ｙ軸を中心とした傾きが変らなく
とも、Ｘ軸を中心とした傾きが変るとセンサ出力が変化
してしまう問題がある。

【００３６】また、磁気センサ７０に代えて、図１１Ａ
に示すように光センサとして発光素子９０、受光素子９
２を用いてもよい。すなわち、発光素子９０からの光を
ミラー板５４の裏面にて反射させ、これを受光素子９２
で受けるようにしてもよい。これにより、Ｘ軸に関する
傾きを検出することができる。また、Ｙ軸方向の傾きに
ついても、図１１Ｂに示すように、発光素子９１、受光
素子９３を設けることにより検出することができる。こ
のように、光センサを用いれば、検出ストロークＫを大
きくとることができ、ミラー板５４がＢ方向に回転して
もセンサ出力が変化しない。さらに、他軸の傾きによっ
てセンサ出力が変化することがない。したがって、精度
よくミラー５６の傾きを検出することができる。

【００３７】なお、ミラー５６の傾きを検出できるセン
サであればどのようなものを用いてもよい。ただし、外
乱光、汚れ、素子の劣化等に対しては、光センサを用い
るものより、磁気センサを用いるものの方が、影響を受
けにくい点で有利である。

【００３８】上記実施例では、球状体６０をミラー板５
４の側に固定し、ベース部材５０の側で球状体６０を回
転可能に保持している。しかし、図１２Ａに示すよう
に、球状体６０をベース部材５０の側に固定し、ミラー
板５４の側で球状体６０を回転可能に保持してもよい。
この実施例における保持部材９８には、中央部に球状体
６０の外径よりやや大きい内径を有する貫通穴９８ａが
形成されている。また、貫通穴９８ａの下端部の内径
は、球状体６０の外径よりも小さく形成されている。一
方、球状体６０からは棒状部材６１が突出しており、そ
の先端部にはネジ６１ａが形成されている。組立の際に
は、貫通穴９８ａの上部から、球状体６０を導入し閉塞
部材９９によって閉塞する。次に、ネジ６１ａをベース
部材５０のネジ穴５０ａに螺入して固定する。このよう
にして、Ｘ軸およびＹ軸（図１参照）の双方を中心とし
てミラー板５４を傾けることができるように、ミラー板
５４が保持される。なお、棒状部材６１のベース部材５
０への固定方法は、接着、圧入等であってもよい。

【００３９】また、上記実施例では、球状体６０と棒状
部材６１とが一体として形成されていたが、図１２Ｂに
示すように、球状体６０と棒状部材１０３とをピン１０
５によって固定してもよい。すなわち、球状体６０に設
けた穴と棒状部材１０３に設けた穴にピン１０５を挿入
することによって、両者を固定している。ミラー板５４
の裏面に設けられたブラケット１０１は、球面状の穴を
有しており、これに球状体６０がはめ込まれている。し
たがって、Ｘ軸およびＹ軸（図１参照）の双方を中心と
してミラー板５４を傾けることができるように、ミラー
板５４が保持される。

【００４０】上記実施例では、４つのコイル６６ａ，６
６ｂ，６６ｃ，６６ｄと４つの永久磁石６２ａ，６２
ｂ，６２ｃ，６２ｄを設けているが、コイル６６ａ，６
６ｃ（６６ｂ，６６ｄ）と永久磁石６２ａ，６２ｃ（６
２ｂ，６２ｄ）だけでもよい。なお、上記実施例では、
球状体６０にブラケット５８を固定し、さらにこのブラ
ケットにミラー板５４を固定したが、直接、ミラー板５
４を球状体６０に固定してもよい。

【００４１】さらに、上記実施例では、ミラー板５４に
ミラー５６を貼りつけているが、ミラー板５４の表面を
直接ミラーとして形成するようにしてもよい。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の２次元光ビーム偏向装置は、
回転可能に保持された球状体を介して、ミラー板をベー
ス部材に保持している。したがって、ミラー板を、第１
の軸および第２の軸の両軸を中心として傾けることがで
きる。また、両軸を中心とした傾きを組合わせた傾きを
得ることができる。つまり、球状体の中心を中心点とし
てミラー板を全方向に傾けることができ、その中心点が
ずれない。さらに、ミラー板に近接して球状体が配置さ
れているので、高速駆動を行うことができる。

【００４３】すなわち、この発明によれば、精度よく光
ビームを偏向することができ、高速動作の可能な２次元
光ビーム偏向装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による２次元光ビーム偏向
装置を示す図である。

【図２】図１ＡのＹ軸方向に関する断面図である。

【図３】閉塞部材５５、球状体６０、保持部材本体５
３、ブラケット５８の分解斜視図である。

【図４】コイル６６の詳細を示す図である。

【図５】光ビーム偏向装置を示す斜視図である。

【図６】磁気センサ７０の配置を示す詳細図である。

【図７】制御回路のブロック図で表した図である。

【図８】制御回路の動作を示す波形図である。

【図９】他の実施例による磁気センサ７０の配置を示す
図である。

【図１０】他の実施例による磁気センサ７０の配置を示
す図である。

【図１１】他の実施例による光センサの配置を示す図で
ある。

【図１２】他の実施例による、球状体６０の保持状態を
示す図である。

【図１３】従来の光ビーム偏向装置を示す図である。

【図１４】従来の光ビーム偏向装置を示す図である。

【図１５】従来の光ビーム偏向装置を示す図である。

【図１６】従来の光ビーム偏向装置の傾き検出を示す図
である。

【符号の説明】

５０・・・ベース部材 ５２・・・保持部材 ５４・・・ミラー板 ５６・・・ミラー ６０・・・球状体 ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ・・・永久磁石 ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ・・・鉄片 ６６ａ，６６ｂ，６６ｃ，６６ｄ・・・コイル ７０・・・磁気センサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光ビームを所望の方向に反射させる２次元
   光ビーム偏向装置において、 表面に光ビームを反射するミラーを有するミラー板、 回転可能に保持されミラー板に近接して配置された球状
   体を介して、ミラー板を保持するベース部材、 ミラー板を第１の軸を中心として駆動する第１駆動手
   段、 ミラー板を第２の軸を中心として駆動する第２駆動手
   段、 を備えたことを特徴とする２次元光ビーム偏向装置。