JPH06332177A - 不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、これを含有する樹脂組成物及びカラーフィルター用樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】アルカリ現像可能で画素を形成する際、解像性
良好で、現像部に残渣の残らないカラーフィルター用感
光性樹脂組成物を得ること。 【構成】ハーフエステル化された無水マレイン酸とスチ
レン、イソブチレン（メタ）アクリル酸エステル又はベ
ンジル（メタ）アクリレートとの共重合物を含有するカ
ラーフィルター用感光性樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線基板加工
用、カラーフィルター用等のネガレジストとして有用な
現像性に優れ、予備乾燥後のレジスト表面のタック性の
ない不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、これを含有する
感光性樹脂組成物及びカラーフィルター用樹脂組成物に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、省資源、省エネルギー、作業性向
上、生産性向上などの理由により各種分野において紫外
線硬化型樹脂組成物が多用されてきている。プリント配
線基板加工、カラーフィルター作製分野においても、同
様の理由によりソルダーレジストインキ、マーキングイ
ンキなど種々のインキが従来の熱硬化型樹脂から紫外線
硬化型樹脂へと移行してきている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】プリント配線基板加
工、カラーフィルター作製などに使用されるネガレジス
トで現在市販されているものは、有機溶剤を現像液とし
て使用するものや、希アルカリ水溶液で現像するものが
あるが、有機溶剤を使用するものは、環境汚染、作業者
の有機溶剤吸引による健康障害などの問題がある。

【０００４】また、希アルカリ水溶液で現像できるもの
は、レジストに使用している樹脂の親水性が低いため、
現像部に残渣、残膜が発生し後加工に問題を生じ、さら
には現像時間が非常に長いという問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の課
題を解決するため鋭意検討した結果、現像時に、現像部
の残渣、残膜が発生しない、現像時間の短いネガレジス
トに有用な、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を提供す
ることに成功した。すなわち、本発明は、 〔１〕無水マレイン酸と無水マレイン酸と共重合可能な
１種類以上のモノマーとからなる共重合体であって、該
無水マレイン酸部が下記式（１）

【０００６】

【化３】

【０００７】（式（１）中Ｘはアクリロイルまたはメタ
クリロイル基を、ｎは１または２をそれぞれ表す。）で
表される化合物、及び下記式（２）

【０００８】

【化４】

【０００９】〔式（２）中Ｒはアルキル基、アルキルフ
ェニル基、アルカロイル基又はメタクリロイル基を表
し、ｎは２以上を表す。〕で表される化合物によりハー
フエステル化されている事を特徴とする不飽和基含有ポ
リカルボン酸樹脂 〔２〕前項〔１〕記載の共重合体の重量平均分子量が５
０００以上である前項〔１〕記載の不飽和基含有ポリカ
ルボン酸樹脂 〔３〕無水マレイン酸と共重合可能な１種類以上のモノ
マーが、スチレン、α−メチルスチレン、イソブチレ
ン、（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はベンジル
（メタ）アクリレートである前項〔１〕記載の不飽和基
含有ポリカルボン酸樹脂 〔４〕前項〔１〕〜〔３〕記載の不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物 〔５〕前項〔４〕記載の感光性樹脂組成物と顔料を含有
するカラーフィルター用樹脂組成物を提供する。

【００１０】本発明を詳細に説明する。本発明の不飽和
基含有ポリカルボン酸樹脂は、無水マレイン酸と、無水
マレイン酸と共重合可能な１種類以上のモノマーを後記
する割合で、ラジカル発生剤を用いて重合したのち、前
記式（１）及び（２）で表される化合物を、塩基性触媒
の存在下に付加反応させることによりえられる。無水マ
レイン酸と共重合させるモノマーは、共重合可能なモノ
マーであればいずれを用いても良く、多種併用しても良
い。特に有用なモノマーとしてはスチレン、α−メチル
スチレン、イソブチレン、（メタ）アクリル酸アルキル
エステル、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられ
る。無水マレイン酸とこれに共重合させるモノマーの割
合は、無水マレイン酸１ｍｏｌに対し、共重合させるモ
ノマーの合計が１〜５ｍｏｌ、さらに好ましくは、１〜
３ｍｏｌの割合が良好である。無水マレイン酸と、これ
に共重合させるモノマーは、酢酸エステル、ジオキサ
ン、キシレンなどの重合を阻害しない有機溶剤に溶解さ
せ、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキ
サイド、ラウロイルパーオキサイドなどのラジカル発生
剤を、無水マレイン酸と、これに共重合させるモノマー
の合計重量の０．１〜５重量％、さらに好ましくは０．
５〜２重量％の範囲で加え、７０℃〜１００℃の温度範
囲で、５〜１０時間反応させる事によりそれらの共重合
体が得られる。前記のようにして得られた共重合体は、
感光性樹脂として要求される感度、解像性膜強度が十分
であるためにその分子量は５０００以上好ましくは８０
００〜５００００である事が好ましい。この共重合体は
既知の方法で単離、乾燥した後、次工程のハーフエステ
ル化に供せられる。

【００１１】上記の共重合体を、エチルセロソルブアセ
テート、ブチルセロソルブアセテートなどの、ハーフエ
スエル化反応を阻害しない有機溶剤に溶解したのち、ピ
リジン、トリエチルアミン、２−メチルイミダゾール等
の塩基性触媒を共重合体の重量に対し、０．０５〜１重
量％、さらに好ましくは０．１〜０．６重量％の範囲内
で添加する。

【００１２】次に、上記反応液に、共重合体中の無水マ
レイン酸のモル数に対し、５〜６０モル％、さらに好ま
しくは１０〜５０モル％の範囲内で前記式（２）で表さ
れる化合物を加え、９５〜１００℃に加熱し、同温度で
１〜５時間反応させる。ここで式（２）で表される化合
物の具体例としてはポリエチレングリコールモノメタア
クリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポ
リオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキ
シエチレンモノアルキレート等が挙げられる。

【００１３】さらに、前記式（２）で表される化合物を
反応させた残りの無水マレイン酸部のモル数と同モル数
の前記式（１）で表される化合物を加え、９５〜１００
℃に加熱し、同温度で１〜５時間反応させる事により、
本発明の易現像性の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂が
得られる。ここで式（２）で表される化合物の具体例と
しては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペン
タエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタメタクリレートが挙げられ、上記モル数の範囲内
で、単独で用いるか、２種類以上併用しても良い。

【００１４】又、本発明では、現像性及び後述する光硬
化後の膜物性を調整する目的で、前記式（２）で表され
る化合物の一部をその他のアルコールに置き換えてハー
フエステル化しても良い。その具体例としては、メタノ
ール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、
ブタノール、イソブタノール、２−エチルヘキサノール
等のアルコール類が挙げられ、反応は前記式（２）で表
される化合物と同時に加えて反応させ、式（２）で表さ
れる化合物のモル数に対し５０モル％以下の範囲で加え
られる。

【００１５】上記の様にして得られた易現像性の不飽和
基含有ポリカルボン酸樹脂は、後述するようなその他の
樹脂、光重合開始剤等を混合して本発明の感光性樹脂組
成物が調製される。

【００１６】その他の樹脂としては光又は熱により架橋
または重合可能なモノマー、オリゴマー、プレポリマー
が挙げられる。

【００１７】光により架橋又は重合可能なモノマー、オ
リゴマー、プレポリマーの例としては次のものが挙げら
れる。エチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリ
レート、エチレングリコールジメタアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタク
リレート、のような１価又は多価アルコールのアクリル
酸又はメタクリル酸のエステル類；多価アルコールと１
塩基酸又は多塩基酸を縮合して得られるポリエステルプ
レポリマーに（メタ）アクリル酸を反応して得られるポ
リエステル（メタ）アクリレート；ポリオール基と２個
のイソシアネート基を持つ化合物を反応させた後（メ
タ）アクリル酸を反応して得られるポリウレタン（メ
タ）アクリレート；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、
ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキ
シ樹脂、ポリカルボン酸グリシジルエステル、ポリオー
ルポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ
樹脂、アミンエポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エ
ポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂など
のエポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させて得ら
れるエポキシ（メタ）アクリレート等の通常の光重合性
樹脂が挙げられる。

【００１８】また、本発明の易現像性の不飽和基含有ポ
リカルボン酸樹脂以外の不飽和基含有ポリカルボン酸樹
脂、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールＦ型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、
ポリカルボン酸グリシジルエステル、ポリオールポリグ
リシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、ア
ミンエポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹
脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキ
シ基と（メタ）アクリル酸を反応させて得られるヒドロ
キシ基に酸無水物を反応させたエポキシ（メタ）アクリ
レート−カルボン酸付加物；無水マレイン酸と共重合可
能な、エチレン、プロペン、イソブチレン、スチレン、
ビニルフェノール、アクリル酸、アクリル酸エステル、
アクリルアミド等のモノマーとの共重合体の無水マレイ
ン酸部にヒドロキシエチルアクリレート等のアルコール
性のヒドロキシ基を持つアクリレートやグリシジルメタ
クリレート等のエポキシ基をもつアクリレートを反応さ
せハーフエステル化した化合物；アクリル酸、アクリル
酸エステルとヒドロキシエチルアクリレート等のアルコ
ール性のヒドロキシ基を持つアクリレートの共重合体の
−ＯＨ基にさらにアクリル酸を反応せしめた化合物等も
挙げられる。

【００１９】上記のような光重合性の化合物は単独又は
混合して使用されその合計量が、本発明の不飽和基含有
ポリカルボン酸樹脂の重量を１００部とした場合、５０
〜１５０部、さらに好ましくは、８０〜１２０部の範囲
で使用される。

【００２０】熱により架橋又は重合可能な化合物の例と
しては、エポキシ化合物を挙げる事ができる。エポキシ
化合物は本発明の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂等と
熱的に反応し架橋する事により耐熱性を向上させる。具
体的なエポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ノボラ
ック型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸グリシジルエステ
ル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂
環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、トリフェノー
ルメタン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポ
キシ樹脂などが挙げられる。

【００２１】上記のようなエポキシ化合物は単独又は混
合して使用され、その合計量が、本発明の不飽和基含有
ポリカルボン酸樹脂の重量を１００部とした場合、５〜
３０部、さらに好ましくは、１０〜２０部の範囲で使用
される。

【００２２】光重合開始剤の例としては次のものが挙げ
られる。具体的には、ベンジル；ベンゾインエーテル；
ベンゾインイソブチルエーテル；ベンゾインイソプロピ
ルエーテル；ベンゾフェノン；ベンゾイル安息香酸；ベ
ンゾイル安息香酸メチル；４−ベンゾイル−４’−メチ
ルジフェニルサルファイド；ベンジルメチルケタール；
２−ｎ−ブトキシエチル−４−ジメチルアミノベンゾエ
ート；２−クロロチオキサントン；２，４−ジエチルチ
オキサントン；２，４−ジイソプロピルチオキサント
ン；ジメチルアミノメチルベンゾエート；ｐ−ジメチル
アミノ安息香酸イソアミル；３，３’−ジメチル−４−
メトキシベンゾフェノン；２，４−ジメチルチオキサン
トン；１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ
−２−メチルプロパン−１−オン；１−ヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン；２−ヒドロキシ−２−メチ
ル−１−フェニルプロパン−１−オン；１−（４−イソ
プロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロ
パン−１−オン；イソプロピルチオキサントン；メチロ
ベンゾイルフォーメート；２−メチル−１−〔４−（メ
チルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１
−オン等。

【００２３】これらの光重合開始剤は単独又は２種以上
を混合して使用することができ本発明の易現像性の不飽
和基含有ポリカルボン酸樹脂とその他の樹脂の総重量に
対し、０．５〜１０重量％、好ましくは０．５〜５重量
％の範囲内で添加される。本発明の感光性樹脂組成物は
前記した不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、その他の樹
脂、光重合開始剤を前記したような割合に混合すること
によって得られる。

【００２４】上記の様な方法で得られた、本発明の感光
性樹脂組成物は、そのまま又は顔料を加えてカラーフィ
ルター用樹脂組成物として使用する。

【００２５】使用されうる顔料としては、可視光を透過
させる必要上、透過光の波長の１／２以下の粒度に粉砕
して使用するのが望ましく、さらに望ましくは、平均個
数粒度が、２００ｎｍ以下に分散されている顔料を使用
するのが好ましい。

【００２６】青の顔料の例としては、フタロシアニン系
顔料等、赤の顔料の例としては、キナクリドン系顔料、
ペリレン系顔料、ピロロ・ピロール系顔料、アントラキ
ノン系顔料等が、緑の顔料の例としては、ハロゲン化フ
タロシアニン系顔料等が好ましい例としてそれぞれ挙げ
られるが、これらは、単独で用いるか、あるいは他の顔
料を加えて調色して用いても構わない。また、ブラック
マトリクス用顔料の例としては、カーボン、チタンカー
ボン、酸化鉄、アゾ系黒色顔料等が挙げられこれらは単
独あるいは２種以上を併用しても良い。

【００２７】これらの赤色、緑色、青色、黒色の顔料
は、あらかじめ、溶剤と分散剤を用い、サンドグライン
ダーなどの分散機で分散して微粒子化顔料としたのち、
その顔料分が、感光性樹脂に対して、１０〜６０重量
％、好ましくは２０〜５０重量％の範囲になるように混
合する事により本発明のカラーフィルター用樹脂組成物
が調製される。

【００２８】尚、本発明のカラーフィルター用樹脂組成
物は、後述する様な塗工機に適正な粘度まで有機溶剤に
より希釈することが望ましく、有機溶剤の具体例として
は、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブア
セテート、イソプロピルセロソルブアセテート、メトキ
シイソプロピルグリコールアセテート、エトキシイソプ
ロピルグリコールアセテート、ジグライムなどがある
が、これらに制限される物ではない。

【００２９】上記のようにして得られた本発明のカラー
フィルター用樹脂組成物は、系内の異物を除去する目的
で、フィルタリングすることが望ましく、フィルタリン
グは通常の濾過機を用いて実施される。

【００３０】本発明のカラーフィルター用樹脂組成物を
用いたカラーフィルターの一般的な調製法は次の通りで
ある。本発明のカラーフィルター用樹脂組成物を必要に
より前記した溶媒に溶解して塗工液となし、スピンナー
等により、平滑なガラス板、Ｃｒを蒸着させたガラス板
等の基材に塗布され、さらに溶剤を乾燥することにより
平滑な塗膜とされる。この塗膜に目的とする画像を形成
するために、ネガマスクを通して紫外線を照射する。こ
の際、全塗膜に均一に平行光線が照射されるようにマス
クアライメント等の装置を用いる。次にこの照射された
塗膜を短時間加熱し、重合を促進させた後、現像液の流
水あるいは、シャワー中にさらし、未硬化部分を溶解さ
せ、現像することにより目的とする画像（カラーフィル
ター）が得られる。現像方法としては、浸漬揺動法、シ
ャワー現像法などがあり、現像液としては、炭酸ソー
ダ、炭酸カリ、苛性ソーダ、苛性カリなどの無機アルカ
リや、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、ジエ
タノールアミン、トリエタノールアミンなどの有機アル
カリが用いられ、これらの濃度はアルカリによりさまざ
まであるが、１％前后の希薄水溶液で使用される。又、
界面活性剤を併用しても良く、ノニオン系、アニオン
系、カチオン系いづれの界面活性剤でも使用可能で、１
％前后の濃度で使用するのが一般的である。

【００３１】

【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳しく説明
する。

【００３２】実施例１ スチレン−無水マレイン酸共重合物（共重合比１：１、
分子量１００００）２８０重量部をエチルセロソルブア
セテート１０３６重量部に常温で溶解した後、トリエチ
ルアミンを５．６重量部、ハイドロキノンモノメチルエ
ーテルを１．４重量部、日本油脂株式会社製ポリエチレ
ングリコールモノメタクリレート（商品名 ブレンマー
ＰＥ−３５０）を６１．０重量部、常温で加えた後、
９０〜９５℃で３時間反応させた。上記反応液を８０℃
に冷却したのち、ペンタエリスリトールトリアクリレー
トを３５９．８重量部加え、再度９０〜９５℃で３時間
反応させる事により、本発明の易現像性の不飽和基含有
ポリカルボン酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液
を得た。この溶液の粘度は３２０ＣＰＳ（２５℃）、酸
価（溶剤を除いた成分）１１１．３ｍｇＫＯＨ／ｇであ
り、赤外分光法による測定で酸無水物基のピークはみら
れなかった。

【００３３】次の式で示される構成成分をそれぞれ
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）として

【００３４】

【化５】

【００３５】

【化６】

【００３６】

【化７】

【００３７】本実施例で得られたポリカルボン酸樹脂は
上記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を主成な構成成分とする
ハーフエステル化樹脂であった。

【００３８】実施例２ スチレン−無水マレイン酸共重合物（共重合比１：１、
分子量１００００）４０重量部をエチルセロソルブアセ
テート１４８重量部に常温で溶解した後、トリエチルア
ミンを０．８重量部、ハイドロキノンモノメチルエーテ
ルを０．２重量部、日本油脂株式会社製ポリエチレング
リコールモノメタクリレート（商品名ブレンマー ＰＥ
−３５０）を１７．５重量部、常温で加えた後、９０〜
９５℃で３時間反応させた。上記反応液を８０℃に冷却
したのち、ペンタエリスリトールトリアクリレートを４
４．１重量部加え、再度９０〜９５℃で３時間反応させ
る事により、本発明の易現像性の不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液を得た。

【００３９】この溶液の粘度は３２５ＣＰＳ（２５
℃）、酸価（溶剤を除いた成分）１１０．３ｍｇＫＯＨ
／ｇであり、赤外分光法による測定で酸無水物基のピー
クはみられなかった。又得られたポリカルボン酸樹脂の
構成成分（前記）の比は次の通りであった。 （Ａ）：（Ｂ）：（Ｃ）＝１００：２５：７５

【００４０】実施例３ スチレン−無水マレイン酸共重合物（共重合比１：１、
分子量１００００）４０重量部をエチルセロソルブアセ
テート１４５重量部に常温で溶解した後、トリエチルア
ミンを１重量部、ハイドロキノンモノメチルエーテルを
０．２重量部、日本油脂株式会社製ポリエチレングリコ
ールモノメタクリレート（商品名ブレンマー ＰＥ−３
５０）を３５．０重量部、常温でさらに加えた後、９０
〜９５℃で３時間反応させた。上記反応液を８０℃に冷
却したのち、ペンタエリスリトールトリアクリレートを
２９．４重量部加え、再度９０〜９５℃で３時間反応さ
せる事により、本発明の易現像性の不飽和基含有ポリカ
ルボン酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液を得
た。

【００４１】この溶液の粘度は３４２ＣＰＳ（２５
℃）、酸価１０７．５ｍｇＫＯＨ／ｇであり、赤外分光
法による測定で酸無水物基のピークはみられなかった。
又得られたポリカルボン酸樹脂の構成成分（前記）の比
は次の通りであった。 （Ａ）：（Ｂ）：（Ｃ）＝１００：５０：５０

【００４２】実施例４ スチレン−無水マレイン酸共重合物（共重合比２：１、
分子量１００００）４５．９重量部をエチルセロソルブ
アセテート１３７重量部に常温で溶解した後、トリエチ
ルアミンを１重量部、ハイドロキノンモノメチルエーテ
ルを０．２重量部、日本油脂株式会社製ポリエチレング
リコールモノメタクリレート（商品名ブレンマー ＰＥ
−３５０）を６．４５重量部、常温で加えた後、９０〜
９５℃で３時間反応させた。上記反応液を８０℃に冷却
したのち、ペンタエリスリトールトリアクリレートを３
９．３重量部加え、再度９０〜９５℃で３時間反応させ
る事により、本発明の易現像性の不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液を得た。

【００４３】この溶液の粘度は３３７ＣＰＳ（２５
℃）、酸価９３．５ｍｇＫＯＨ／ｇであり、赤外分光法
による測定で酸無水物基のピークはみられなかった。又
得られたポリカルボン酸樹脂の構成成分（上記）の比は
次の通りであった。 （Ａ）：（Ｂ）：（Ｃ）＝２００：１２．５：８７．５

【００４４】実施例５ 実施例１で得られた本発明の不飽和基含有ポリカルボン
酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液を６重量部、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのエチルセ
ロソルブアセテート溶液を４重量部、チバ−ガイギー社
製光重合開始剤イルガキュアー９０７を０．２重量部、
ジエチルチオキサントンを０．０５重量部を、混合する
ことにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。

【００４５】実施例６〜８ 実施例２〜４で得られた本発明の不飽和基含有ポリカル
ボン酸樹脂のエチルセロソルブアセテート溶液を用い
て、実施例５と同様な方法でそれぞれ本発明の感光性樹
脂組成物を得た。

【００４６】実施例９ 以下の顔料を用いて、下記の方法で顔料分散ペーストを
作製した。（混合比は重量比である。）

【００４７】

【表１】

【００４８】上記、各顔料混合物２０部に対し、分散剤
としてソルビタン脂肪酸エステル系化合物を４部加え、
さらにエチルセロソルブアセテートを７６部加え、サン
ドミルにて分散化を行った。ここで分散化した赤、青、
緑、黒おのおのの顔料粒子の平均個数分布は２００ｎｍ
以下であった。この顔料分散ペーストを実施例６で得ら
れた感光性樹脂組成物に対し、それぞれ４０重量％加え
る事により、４色のカラーフィルター用樹脂組成物を得
た。

【００４９】実施例１０〜１３ 実施例９で得られた４種類の顔料分散ペーストを実施例
５〜８で得られた４種類の感光性樹脂組成物に加える事
により、１６種のカラーフィルター用樹脂組成物を得
た。

【００５０】応用例１ 実施例６で得られた感光性樹脂組成物をガラス基板にス
ピンナーにて塗布、乾燥したのち、ネガマスクを通じ、
超高圧水銀灯にて２００ｍＪ露光した。次いで、２５℃
の１重量％炭酸ナトリウム水溶液の流水中に６０秒間浸
す事により現像を実施した。現像した画素は解像度良好
で、現像部には残渣が見られなかった。

【００５１】応用例２ 実施例１１で得られた４色のカラーフィルター用樹脂組
成物をガラス基板にスピンナーにて塗布、乾燥したの
ち、ネガマスクを通じ、超高圧水銀灯にて２００ｍＪ露
光した。次いで、２５℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶
液の流水中に６０秒間浸す事により現像を実施した。現
像した赤、緑、青、黒それぞれの画素は解像度良好で、
現像部には残渣が見られなかった。

【００５２】

【発明の効果】その解像度が良好で、現像部の残渣のな
い感光性樹脂組成物、およびカラーフィルター用樹脂組
成物が得られた。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】無水マレイン酸と無水マレイン酸と共重合
   可能な１種類以上のモノマーとからなる共重合体であっ
   て、該無水マレイン酸部が下記式（１） 【化１】 （式（１）中Ｘはアクリロイルまたはメタクリロイル基
   を、ｎは１または２をそれぞれ表す。）で表される化合
   物、及び下記式（２） 【化２】 〔式（２）中Ｒはアルキル基、アルキルフェニル基、ア
   ルカロイル基又はメタクリロイル基を表し、ｎは２以上
   を表す。〕で表される化合物によりハーフエステル化さ
   れている事を特徴とする不飽和基含有ポリカルボン酸樹
   脂。
2. 【請求項２】請求項１記載の共重合体の重量平均分子量
   が５０００以上である請求項１記載の不飽和基含有ポリ
   カルボン酸樹脂。
3. 【請求項３】無水マレイン酸と共重合可能な１種類以上
   のモノマーが、スチレン、α−メチルスチレン、イソブ
   チレン、（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はベン
   ジル（メタ）アクリレートである請求項１記載の不飽和
   基含有ポリカルボン酸樹脂。
4. 【請求項４】請求項１〜３記載の不飽和基含有ポリカル
   ボン酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物
5. 【請求項５】請求項４の感光性樹脂組成物と顔料を含有
   するカラーフィルター用樹脂組成物。 【０００１】