JPH06332150A

JPH06332150A - マスクデータ自動処理システム

Info

Publication number: JPH06332150A
Application number: JP11684393A
Authority: JP
Inventors: Sueo Hamamoto; 末雄濱本
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-05-19
Filing date: 1993-05-19
Publication date: 1994-12-02

Abstract

(57)【要約】【目的】マスクデータ作成及び検査処理の実行を自動
化することにより、処理効率向上、作業ミス撲滅を図
る。【構成】オペレータは、マスク作成仕様の選択及び処
理手順を入力装置１で入力する。コンピュータ３は、マ
スク作成仕様及び処理手順に従ってマスク作成仕様の情
報をデータファイル２から読み取り、処理を実行する。
処理の進行状態は、状態情報を記述した状態情報ファイ
ル６に出力される。コンピュータ３は、状態情報ファイ
ル６を読み込んで実行状況報告レポートを表示装置７に
表示させる。特に複雑な判断を要するような事態であれ
ば、オペレータに対処を促す。単純再実行で済むものに
ついては、コンピュータ３が自動的に判断して該当する
処理を再起動させる。【効果】一連の処理をまとめて処理手順に設定でき、
標準仕様の一部が異なる場合や標準外の場合等でも、一
度作成した処理条件データを各処理工程で共用できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体のマスクデー
タ処理工程において、マスクデータ作成及び検査処理を
自動的に実行することが可能な、マスクデータ自動処理
システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においてマスクデータ作
成処理とは、レイアウト設計の完了した回路パターン
を、マスク描画装置が解読可能な書式に変換する処理を
指す。近年、回路規模増大、パターンの微細化が顕著と
なり、マスクデータの容量増大、マスクパターンそのも
のの複雑度合の増大といった事態が発生している。マス
クデータ作成及び検査処理において、従来は、データ容
量の増大、パターンの微細化に対応するため、高性能ワ
ークステーション、スーパー・コンピュータを利用し、
処理時間短縮やスループット向上を図ってきており、個
々の処理毎では一定の成果を挙げている。

【０００３】しかし、ハードウエアやソフトウエアの強
化及び改良による処理能力向上の進行度合に対して、マ
スクデータの容量増大の進行度合はより顕著であり、さ
らなる高速化手段として、超並列計算機の活用等、活発
に研究・実用化の努力がなされ、一部において実績を挙
げつつある。

【０００４】従来より、マスクデータ作成及び検査処理
の効率向上のため、個々の処理システムに改良を加え、
人手の介入をできるだけ回避する手段が開発されてきて
いる。たとえば、マスク描画装置へのデータ変換処理に
おいては、マスク作成仕様をデータベース登録してお
き、標準仕様であれば、複雑な製造条件を全て手入力せ
ずとも、条件番号あるいは条件名等、参照コードを入力
すれば、自動的に処理コンピュータへの命令を生成する
ことが可能である。また、マスクデータ検査処理におい
ては、大量・複雑なマスクパターンを目視照査したため
の見落としによる欠陥マスクの発生を防止するため、マ
スクパターンをビットマップ化し、画像処理応用技術を
利用して、自動的に検査パターンと基準パターンとの差
異を検出することが可能となっている。

【０００５】しかし、従来技術においては、処理環境が
単一コンピュータ、複数コンピュータであるかに拘ら
ず、処理の単位毎に個別に処理手順を設定して、実行を
行うため、標準的な仕様のみであればよいが、標準仕様
の一部が異なる場合や、標準外の場合などでは、一度作
成した処理条件データのうち、次工程でも同一のデータ
を使用する場合であっても、最初から入力せざるを得
ず、効率低下、ミスの発生を招いていた。さらに、個別
の処理毎で実行結果の確認を行うため、外部記憶装置の
一時的使用率増加等の理由により、仮に処理が異常終了
していてもその場で確認できるとは限らず、処理の中断
を招く危険性があった。

【０００６】図１８は従来のマスクデータ作成工程を示
す図である。図１８（ａ）はサイジングを行う工程に用
いられるシステムの構成を示しており、図において、３
ｂはサイジングを行うためのサイジング手段、２ａはサ
イジングに用いられる標準仕様を収納しており適宜その
データをサイジング手段３ｂに付与する仕様ファイル、
４１はサイジングに必要な入力データを収納しておりそ
のデータを適宜サイジング手段３ｂに付与する入力デー
タファイル、１ａはサイジング手段３ｂに対してサイジ
ングの種類の選択や必要なデータを入力するための入力
装置、５１はサイジング手段３ｂによって処理されたデ
ータを収納する出力データファイルである。

【０００７】図１８（ｂ）は論理処理を行う工程に用い
られるシステムの構成を示しており、図において、３ｃ
は論理処理を行うための論理処理手段、２ｂは論理処理
に用いられる標準仕様を収納しており適宜そのデータを
論理処理手段３ｃに付与する仕様ファイル、４２は論理
処理に必要な入力データを収納しておりそのデータを適
宜論理処理手段３ｃに付与する入力データファイル、１
ｂは論理処理手段３ｃに対して論理処理の種類の選択や
必要なデータを入力するための入力装置、５２は論理処
理手段３ｃによって処理されたデータを収納する出力デ
ータファイルである。

【０００８】図１８（ｃ）は描画データの作成を行う工
程に用いられるシステムの構成を示しており、図におい
て、３ｄは描画データ作成を行うための描画データ作成
手段、２ｃは描画データ作成に用いられる標準仕様を収
納しており適宜そのデータを描画データ作成手段３ｄに
付与する仕様ファイル、４３は描画データ作成に必要な
入力データを収納しておりそのデータを適宜描画データ
作成手段３ｄに付与する入力データファイル、１ｃは描
画データ作成手段３ｄに対して描画データ作成の種類の
選択や必要なデータを入力するための入力装置、５３は
描画データ作成手段３ｄによって処理されたデータを収
納する出力データファイルである。

【０００９】図１８（ｄ）は描画データ検査を行う工程
に用いられるシステムの構成を示しており、図におい
て、３ｅは描画データ検査を行うための描画データ検査
手段、２ｄは描画データ検査に用いられる標準仕様を収
納しており適宜そのデータを描画データ検査手段３ｅに
付与する仕様ファイル、４３は描画データ検査に必要な
入力データを収納しておりそのデータを適宜描画データ
検査手段３ｅに付与する入力データファイル、１ｄは描
画データ検査手段３ｅに対して描画データ検査の種類の
選択や必要なデータを入力するための入力装置、５３は
描画データ検査手段３ｅによって処理されたデータを収
納する出力データファイルである。

【００１０】図１８（ａ）〜図１８（ｄ）に示すよう
に、描画データを作成するためには、サイジング、論理
処理、描画データの作成及び作成された描画データの検
査等の工程を行う複数のシステムを用いる。従来のマス
クデータ作成工程において、各工程が独立しており、た
とえ同じデータであっても各工程において入力装置１ａ
〜１ｄから標準仕様と異なる仕様等を入力することが必
要となる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】従来のマスクデータ処
理システムは以上のように構成されており、マスクデー
タ作成及び検査処理における効率向上、ミス削減のため
の従来の方法は、あくまで個別の処理の範囲に限られ、
各々の処理間に連携はとられておらず、処理の進行と制
御は、あくまで人手に頼っていた。したがって、複数の
処理工程に亘って同一の処理条件データを必要とする場
合でも、入力装置１ａ〜１ｄ等を用いて個々に人手で入
力せざるをえないため入力ミスが発生するという問題点
があった。

【００１２】また、処理結果に何等かの異常があった場
合、システム上の複雑な問題である場合は別として、外
部記憶装置の一時的容量不足等、単純に再実行すれば二
度目には問題なく実行可能な場合であっても、専門技術
者の解析待ちとして処理が中断され、そのために製造納
期遅延が発生する等の問題点があった。

【００１３】この発明は、上記のような課題を解消する
ためになされもので、マスクデータ作成及び検査処理工
程において、単一または複数の処理コンピュータを統括
的に管理することにより、複雑な処理条件入力によるミ
スを無くし、かつ、システムが自動的に判断して処理の
再実行を行うことにより、処理の中断を防止することが
可能な、マスクデータ自動処理システムを得ることを目
的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係るマスク
データ自動処理システムは、レイアウト設計の完了した
回路パターンからマスクデータを作成するために、前記
回路パターンに係るデータを自動的に処理するマスクデ
ータ自動処理システムであって、処理すべきデータを付
与するデータ付与手段と、前記データ付与手段によって
与えられた前記データを処理する複数の処理手段と、半
導体のウエハプロセス条件により個別に定まる、前記マ
スクを作成するためのマスク作成仕様、及びマスクデー
タ作成やその検査のために前記複数の処理手段の動作を
規定する処理手順を与える入力手段と、前記マスク作成
仕様及び前記処理手順に基づいて、前記複数の処理手段
を制御する制御手段とを備えて構成されている。

【００１５】第２の発明に係るマスクデータ自動処理シ
ステムは、第１の発明のマスクデータ自動処理システム
において、前記入力手段から与えられた前記処理手順を
記述したデータを記憶しておく処理手順記憶手段をさら
に備え、前記制御手段が前記処理手順記憶手段に記憶さ
れている前記データに基づいて前記複数の処理手段に所
望の処理を実行させることを特徴とする。

【００１６】第３の発明に係るマスクデータ自動処理シ
ステムは、第２の発明のマスクデータ自動処理システム
において、前記制御手段は、管理コンピュータを含み、
前記複数の処理手段は、所望の処理に割り付けられた複
数の処理コンピュータを含み、前記管理コンピュータが
前記複数の処理コンピュータを制御して、前記処理コン
ピュータに前記所望の処理を実行させることを特徴とす
る。

【００１７】第４の発明に係るマスクデータ自動処理シ
ステムは、第１の発明のマスクデータ自動処理システム
において、前記処理手段において実行された処理の状態
を示す状態情報を出力する状態情報出力手段をさらに備
えて構成されている。

【００１８】第５の発明に係るマスクデータ自動処理シ
ステムは、第４の発明のマスクデータ自動処理システム
において、前記状態情報出力手段が出力する前記状態情
報の内容を表示する表示手段をさらに備えて構成されて
いる。

【００１９】第６の発明に係るマスクデータ自動処理シ
ステムは、第４の発明のマスクデータ自動処理システム
において、前記処理手順記憶手段が記憶している前記処
理手順を修正する修正手段と、修正された処理手順を記
述したデータを記憶する修正処理手順記憶手段とをさら
に備え、前記修正処理手順記憶手段に記憶されている前
記データに基づいて、前記制御手段が前記複数の処理手
段に所望の処理を再実行させることを特徴とする。

【００２０】

【作用】第１の発明における制御手段は、マスク作成仕
様及び複数の処理手段の動作を規定する処理手順に基づ
いて、データ付与手段によって付与されたデータを、複
数の処理手段に処理させるので、入力手段によって与え
られる情報を処理手順ごとに入力しなくてもよく、同一
内容の情報を複数回手入力することによる入力ミスを防
止することが可能となる。

【００２１】第２の発明における処理手順記憶手段は、
入力手段から与えられた処理手順を記述したデータを記
憶しており、制御手段が処理手順記憶手段に記憶されて
いるデータに基づいて複数の処理手段に所望の処理を実
行させるため、各々の処理内容に対して、最適な処理手
段を組み合わせて自動的に実行することが可能となり、
処理効率の向上が可能となる。

【００２２】第３の発明における管理コンピュータは、
複数の処理コンピュータを制御して、処理コンピュータ
に割り付けられた所望の処理を実行させるため、各々の
処理に対して、最適な処理コンピュータを選択でき，処
理効率の向上が可能となる。

【００２３】第４の発明における状態情報出力手段は、
処理手段において実行された処理の状態を示す状態情報
を出力するので、例えば、出力された状態情報をデータ
ファイルに記憶しておき、その内容を表示装置に表示さ
せるなどの処置をすることができ、各処理手段毎に、処
理経過と結果の確認を効率よく実施することが可能とな
る。

【００２４】第５の発明における表示手段は、状態情報
出力手段が出力する状態情報の内容を表示するので、処
理手段における処理結果と経過の確認が一括して行え、
各処理手段を効率よく稼働させることが可能となる。

【００２５】第６の発明における修正手段は、処理手順
記憶手段が記憶している処理手順を修正する。修正され
た処理手順を記述したデータは、修正処理手順記憶手段
に記憶され、このデータに基づいて、制御手段が複数の
処理手段に所望の処理を再実行させるため、処理手段を
効率よく稼働させ、かつ、処理結果確認遅れによる処理
中断の発生を防止することが可能となる。

【００２６】

【実施例】まず、この発明に係るマスクデータ自動処理
システムの概念を図１を用いて説明する。図１におい
て、１はマスクデータ作成やその検査のために前記複数
の処理手段の動作を規定する処理手順や半導体のウエハ
プロセス条件により個別に定まるマスクを作成するため
の仕様を入力するための入力装置、２はマスクデータの
作成に用いられる標準仕様を収納したマスク作成仕様フ
ァイル、３ａは入力装置１、マスク作成仕様ファイル２
及びレイアウトデータファイル４からデータを引き出
し、各処理手段間でデータの受渡しを行わせながら各処
理手段で処理を実行させる制御手段、３ｂは制御手段３
ａに制御されサイジングを行うためのサイジング手段、
３ｃは制御手段３ａに制御され論理処理を行うための論
理処理手段、３ｄは制御手段３ａに制御されマスク描画
データ作成を行うための描画データ作成手段、３ｅは制
御手段３ａに制御されマスク描画データ検査を行うため
のマスク描画データ検査手段、４はマスクデータの作成
に必要なレイアウトデータを収納しておりそのデータを
適宜制御手段３ａに付与するレイアウトデータファイ
ル、５は各手段３ｂ〜３ｅ等にによって処理されたデー
タを収納する描画データファイルである。

【００２７】レイアウト設計の完了した回路パターンが
記述されたレイアウトデータをマスク描画データに変換
する時のマスクデータ自動処理システムの動作について
説明する。オペレータは、入力装置１を用いて、マスク
データを作成するために必要なサイジング等の工程に使
用する手段３ｂ〜３ｅを選択する。その際、例えばサイ
ジング手段３ｂに複数の態様が設定されている場合に
は、その種類の選択も合わせて行う。また、オペレータ
は、選択した手段に対してどの手段を何番目に行うかの
処理手順を入力装置１を用いて入力する。

【００２８】マスク作成仕様ファイル２に収納されてい
る標準仕様を用いてマスクデータの処理を行うことがで
きる場合には、マスクデータの作成に関する仕様をオペ
レータが入力する必要はないが、標準仕様の一部に変更
がある等、それ以外の場合には、入力装置１からマスク
作成仕様に関する必要なデータを入力する。

【００２９】制御手段３ａは、入力された処理手順にし
たがってレイアウトデータ、マスク作成仕様に関するデ
ータあるいは各処理手段が出力するデータを、サイジン
グ手段３ｂ等の処理手段に配分して、マスク描画データ
の作成を実行する。作成されたマスク描画データは、マ
スク描画データファイル５に収納される。

【００３０】例えば、サイジング手段３ｂと描画データ
作成手段３ｄとを選択し、処理順序もこの順序で行うも
のとする。この場合にはまず、オペレータは、入力装置
１を用いて、レイアウトデータファイル４及びマスク作
成仕様ファイル２からデータを引き出すとともに、新た
に入力されたデータを合わせて必要なデータが入力され
るように指示する。そして、制御手段３ａは、サイジン
グ手段３ｂを制御し、引き出したデータを用いてサイジ
ングを行わせる。サイジングが完了すると描画データ作
成手段３ｄにデータを渡して、制御手段３ａの制御の下
に描画データ作成手段３ｄが描画データの作成を行う。
作成されたマスク描画データは、描画データ検査工程を
省いてマスク描画データファイル５に収納させる。

【００３１】このように、標準仕様以外のマスク作成仕
様によってマスク描画データを作成する場合であって
も、従来のマスクデータ処理システムのように、処理工
程毎に一々マスク作成仕様を入力する必要がなくなる。

【００３２】図２は、この発明に係るマスクデータ自動
処理システムの構成の概要を示す図である。図２におい
て、１はキーボード等の入力装置、２はマスク作成仕様
を記述したマスク作成仕様データファイル、３はソフト
ウエアによって構築されたサイジング、論理処理、描画
データ作成及び描画データ検査を行うのための手段を備
えるコンピュータ、４は入力となるレイアウトデータフ
ァイル、５は出力となるマスク描画データファイル、６
はコンピュータ３において実行される処理の状態情報を
記述する状態情報ファイル、７はコンピュータ３から出
力される状態情報ファイル６の記述内容を一覧表示する
ためのＣＲＴ等の表示装置、８１は処理手順を記述する
処理手順ファイルである。以下、同一箇所または関連箇
所には、同一または派生番号を付す。また、同一箇所ま
たは関連箇所については、特に支障のない限り説明の重
複を避け、相違箇所のみの説明にとどめる。

【００３３】マスクデータ作成処理を実行する場合、マ
スク作成仕様ファイル２からどのマスク作成仕様を使用
するのか入力装置１で選択するとともにファイルにない
仕様があればその仕様を入力し、それにしたがってコン
ピュータ３がマスク作成仕様の情報をレイアウトデータ
ファイル２から読み取る。次に、どのような処理を実施
するかを同じく入力装置１で入力し、コンピュータ３に
司令する。その際、予め処理手順を規定しておき、それ
を処理手順ファイル８１に記述する。そして、コンピュ
ータ３が独自に処理手順ファイル８１の処理手順を逐次
参照しながら処理を進めることも可能である。

【００３４】処理の進行状態は、コンピュータ３から状
態情報として状態情報ファイル６に出力される。システ
ムは、状態情報ファイル６を読み込んで実行状況報告レ
ポートとして、表示装置に表示させる。特に複雑な判断
を要するような事態であれば、この実行状況報告レポー
トの画面上で、問題のある処理の表示箇所を点滅させる
などしてオペレータに対処を促す。単純再実行で済むも
のについては、システムが自動的に判断して該当する処
理を再起動させる。処理が終了し、描画データの作成が
完了すると、コンピュータ３からマスク描画データがマ
スク描画データファイル５に出力される。

【００３５】なお、複数の処理を行う場合、個々の処理
機能・処理目的の違いにより入力ファイルであるレイア
ウトデータファイル４と出力ファイルである描画データ
ファイル５は、その内容、目的が必ずしも一定ではな
く、中間的位置付けとしてのファイルも存在する。しか
し、説明の都合上、以下の実施例においては、一律に
「入力データファイル」、「出力データファイル」との
み記述している。また、説明文中、特に断らない限り、
「マスクデータ」と、「マスク描画データ」は同様の意
味に使用している。

【００３６】以下、この発明の第１実施例を図について
説明する。図３はこの発明の第１実施例によるマスクデ
ータ自動処理システムの構成の概念を説明するための図
である。図３に示すマスクデータ自動処理システムは、
図１に示したマスクデータ自動処理システムに処理手順
ファイル８１をさらに備えて構成されいる。入力装置１
を用いて処理手順を記述した処理手順ファイル８１を作
成しておき、処理手順ファイル８１に収納されているデ
ータに従って各処理手段３ｂ〜３ｅが処理を進める。そ
の際、各処理手段３ｂ〜３ｄは、制御手段３ａの制御の
下に動作してもよく、またオペレータの操作によって処
理手順ファイル８１の処理手順にしたがって動作しても
よい。マスクデータ自動処理システムが処理手順ファイ
ル８１を持つことによって、処理手順を予め規定してお
くことが可能となる。

【００３７】図４は、この発明の第１実施例によるマス
クデータ自動処理システムの構成を示す図である。図４
において、３０は管理コンピュータ、９は管理コンピュ
ータ３０に接続されたネットワーク、３１〜３４はネッ
トワーク９上に相互接続された処理コンピュータ、１は
管理コンピュータ３０に対して所望の動作を指示するた
めの入力装置、２は製造プロセス条件により個別に定ま
るマスク作成仕様を記述したマスク作成仕様ファイルで
ある。

【００３８】また、４１〜４４は対応する処理コンピュ
ータ３１〜３４に入力データを付与する入力データファ
イル、５１は処理コンピュータ３１から出力されたデー
タを収納するとともにデータを処理コンピュータ３２に
付与する出力データファイル、５２は処理コンピュータ
３２から出力されたデータを収納するとともにデータを
処理コンピュータ３３に付与する出力データファイル、
５３は処理コンピュータ３３から出力されたデータを収
納するとともにデータを処理コンピュータ３４に付与す
る出力データファイル、５４は処理コンピュータ３４か
ら出力されたデータを収納する出力データファイル、８
１は管理コンピュータ３０から出力されたマスクデータ
作成及び検査のための個別の処理手順を記述するととも
に、各処理コンピュータ３１〜３４に対してそのデータ
を付与する処理手順ファイルである。

【００３９】次に、図４に示したマスクデータ自動処理
システムの動作について図５を用いて説明する。図５
は、図４に示したマスクデータ自動処理システムの動作
を示すフローチャートである。管理コンピュータ３０に
おいて、入力装置１を用いてマスク作成仕様の一覧の中
からマスク作成仕様の選択を行う（ステップＳ１０）。
次に、ステップＳ１１では、選択されたマスク作成仕様
が標準仕様か、否かの判断を行う。非標準仕様であれば
ステップＳ１２へ制御を移す。Ｓ１２では、マスク工程
に対するパターンの白黒指定、レイアウトデータのレイ
ヤ番号との対応、マスク描画データの最少分解能とマス
ク倍率他、全ての仕様を個別に入力しなければならな
い。

【００４０】次にステップＳ１３へ移る。また、ステッ
プＳ１１で標準仕様と判断された場合には、直接ステッ
プＳ１３へ移る。ここでは、管理コンピュータ３０にお
いて、入力装置１を用いて、実際にマスク描画データを
作成するマスク工程番号を選択する。ステップＳ１４で
は、管理コンピュータ３０において、入力装置１を用い
て、処理手順を具体的に選択する。マスク描画データの
作成テストのみであれば、マスクデータ検査処理は実施
しないなどの選択が可能である。次に、ステップＳ１５
では、管理コンピュータ３０が上記各ステップで得た情
報を基に、処理手順ファイル８１を作成する。

【００４１】ステップＳ１６では、対象となる処理コン
ピュータ３１〜３４に対して、手作業で処理の実行を司
令し、各処理コンピュータ３１〜３４において、処理手
順ファイル８１を参照して各処理が実行される。処理コ
ンピュータ３１は入力データファイル４１から必要なデ
ータを取り出して、処理手順ファイル８１で指定された
所定の手順を実行し、データを出力データファイル５１
に対して出力する。処理コンピュータ３２は入力データ
ファイル４２から必要なデータを取り出すとともに出力
データファイル５１からも必要なデータを取り出して、
処理手順ファイル８１で指定された所定の手順を実行
し、データを出力データファイル５２に対して出力す
る。同様に、処理コンピュータ３３，３４においても入
力データファイル４３，４４、出力データファイル５
２，５３を用いてそれぞさ処理が実行され、処理された
データが出力データファイル５３，５４に収納される。

【００４２】次に、この発明の第２実施例を図について
説明する。図６はこの発明の第２実施例によるマスクデ
ータ自動処理システムの構成を示す図である。図６に示
すマスクデータ自動処理システムが図４に示したマスク
データ自動処理システムと異なる点は、処理コンピュー
タ３１〜３４を識別することができる点である。そのた
め、管理コンピュータ３０が処理コンピュータ３１〜３
４に所定の処理を割り付けて実行させることができる。

【００４３】図６において、３１ａ〜３４ａは各処理コ
ンピュータ３１〜３４が有する固体識別番号付与手段で
あり、また処理手順ファイル８１は管理コンピュータ３
０とのデータ受渡しが可能になっており、その他の構成
は図４に示したマスクデータ自動処理システムと同様で
ある。固体識別番号付与手段３１ａ〜３４ａは、例えば
処理コンピュータ３１〜３４に内蔵された記憶装置に記
憶された識別番号であり、管理コンピュータ３０から処
理コンピュータ３１〜３４に紹介があれば、処理コンピ
ュータ３１〜３４はその識別番号ＩＤ１〜ＩＤ４を管理
コンピュータへ出力する。

【００４４】次に、このマスクデータ自動処理システム
の動作について図７を用いて説明する。図７は、図６に
示したマスクデータ自動処理システムの動作を示すフロ
ーチャートである。第１実施例で説明した図５に示すス
テップＳ１０〜ステップＳ１５と同様の手順を経て、管
理コンピュータ３０において、処理手順ファイル８１が
準備されているものとする。まず、管理コンピュータ３
０は、処理手順ファイル８１を読み込む（ステップＳ２
０）。同時に、処理手順ファイル８１に記述されている
処理を処理コンピュータ３１〜３４に割り付ける（ステ
ップＳ２１）。

【００４５】そして、ステップＳ２２で最初に行われる
処理の順番が与えられる。次にステップＳ２３で、管理
コンピュータ３０は、一番目に割り付けた処理コンピュ
ータに対して各処理の具体的処理司令を行う。例えば、
処理コンピュータ３１にサイジング処理を割り付けた場
合、管理コンピュータ３０は、固体識別番号の紹介に対
して識別番号ＩＤ１を返信する処理コンピュータ３１へ
処理手順ファイル８１に記述されているサイジング処理
の手順を出力してサイジング処理を実行させる。

【００４６】一番目の処理が終了すると、ステップＳ２
４に進み、すべての処理が終了したかどうかを管理コン
ピュータ３０が判断する。そして、終了していなければ
ステップＳ２５で次の処理を指示するように設定し、処
理を行う。必要な処理コンピュータの個数だけ、処理を
繰り返すことにより、マスク描画データの作成が実行さ
れる。

【００４７】このように、処理コンピュータ３１〜３４
に割り付けることによって、処理に適した処理コンピュ
ータを選択することができるとともに、処理中のオペレ
ータの介入を削減することができる。

【００４８】なお、上記実施例では各処理コンピュータ
３１〜３４が識別番号を保有している場合を示したが、
予め処理コンピュータの台数が固定されている場合は、
識別番号を管理コンピュータ３０が保有していてもよ
い。

【００４９】次に、この発明の第３実施例を図について
説明する。図８はこの発明の第３実施例によるマスクデ
ータ自動処理システムの構成の概念を説明するための図
である。図８に示すマスクデータ自動処理システムは、
図１に示したマスクデータ自動処理システムに状態情報
ファイル６０をさらに備えて構成されいる。状態情報フ
ァイル６０には各処理手段３ｂ〜３ｅから処理の実施状
態が入力される。このように、マスクデータ自動処理シ
ステムが状態情報ファイル６０を持つことによって、実
施された処理の状況を確認することが可能となる。

【００５０】図９はこの発明の第３実施例によるマスク
データ自動処理システムの構成を示す図である。図９に
おいて、６１〜６４は処理コンピュータ３１〜３４での
処理の状態情報を記述した状態情報ファイルであり、処
理コンピュータ３１〜３４は自己の処理状態を判断して
状態情報ファイル６１〜６４に出力する機能を有してい
るが、その他の構成は図４に示したマスクデータ自動処
理システムと同様である。

【００５１】次に、このマスクデータ自動処理システム
の動作について図１０を用いて説明する。図１０は、図
９に示したマスクデータ自動処理システムの動作を示す
フローチャートである。第１実施例で説明した図５に示
すステップＳ１０〜ステップＳ１５と同様の手順を経
て、管理コンピュータ３０において、処理手順ファイル
８１が準備されているものとする。

【００５２】以下は、処理途中における各処理コンピュ
ータ３１〜３４の動作を示すものである。まず、処理コ
ンピュータ３１〜３４は、処理手順ファイル８１の記述
に従い処理を実行する（ステップＳ３０）。ステップＳ
３１において、各処理コンピュータ３１〜３４は、実行
開始時点で、いったん正常起動かどうかの確認を行う。
正常起動でなければ、ステップＳ３６へ制御を移す。ス
テップＳ３６では、状態情報ファイル６１〜６４に「異
常終了」と書き込み、その処理コンピュータ３１〜３４
での処理を終了する。

【００５３】ステップＳ３１において正常起動と判断さ
れた場合、次のステップＳ３３に進み、状態情報ファイ
ル６１〜６４に「正常起動」と書き込む。そして、ステ
ップＳ３４では、そのまま処理を続行する。処理が終了
すると、正常かどうか調べる（ステップＳ３４）。異常
終了の場合は、ステップＳ３９へ制御を移す。ステップ
Ｓ３６では、状態情報ファイル６１〜６４に、「異常終
了」と書き込んで終わる。ステップＳ３４で、正常に終
了したと判断された場合は、ステップＳ３５へ制御を移
し、状態情報ファイル６１〜６４に「正常終了」と書き
込んで処理を終了する。従って、各処理が終了したの
ち、状態情報ファイル６１〜６４に書き込まれた内容か
ら処理コンピュータ３１〜３４における処理状況を知る
ことができる。

【００５４】次に、この発明の第４実施例を図について
説明する。図１１はこの発明の第４実施例によるマスク
データ自動処理システムの構成の概念を説明するための
図である。図１１に示すマスクデータ自動処理システム
は、図８に示したマスクデータ自動処理システムに表示
装置７をさらに備えて構成されている。この表示装置７
は状態情報ファイル６０の内容を表示するための装置で
あり、各処理手段３ｂ〜３ｅの処理結果と経過の確認が
一括して行えるようになる。

【００５５】図１２は第４実施例によるマスクデータ自
動処理システムの構成を示す図である。図１２におい
て、６１〜６４は処理コンピュータ３１〜３４との状態
情報の入出力が可能な状態情報ファイル、７は処理コン
ピュータ３１〜３４における各々または全ての状態情報
ファイル６１〜６４の記述内容を表示する、管理コンピ
ュータ３０に接続された表示装置であり、その他の構成
は図６に示したマスクデータ自動処理システムの構成と
同様である。

【００５６】次に、このマスクデータ自動処理システム
の動作について図１３を用いて説明する。図１３は、図
１２に示したマスクデータ自動処理システムの動作を示
すフローチャートである。第２実施例で説明した図７に
示すステップＳ２１までの手順を経て、管理コンピュー
タ３０において、処理手順ファイル８１が準備されてい
るものとする。ステップＳ４０で管理コンピュータ３０
は、実行しなければならない所定の処理手順を処理手順
ファイル８１から探す。もし、所定の処理手順がなけれ
ば、管理コンピュータ３０は、表示装置７に「処理な
し」と表示して終わる（ステップＳ４９）。

【００５７】処理しなければならない処理手順が存在す
る場合、処理手順ファイル８１からその処理手順を読み
込み（ステップＳ４１）、その中に割り付けられた処理
コンピュータ３１〜３４の識別番号ＩＤ１〜ＩＤ４を取
得する（ステップＳ４２）。次に、管理コンピュータ３
０は、処理コンピュータ３１〜３４を介して該当する処
理コンピュータ３１〜３４に対応した状態情報ファイル
６１〜６４を台数分だけ読み込む（ステップＳ４３〜４
６）。ステップＳ４７で処理手順ファイル８１内に処理
しなければならない処理手順が他にもあるかどうか探
す。あれば、ステップＳ４１に戻る。なければ、表示装
置７に処理状況レポートを表示して終わる（ステップＳ
４８）。以上の構成から各処理コンピュータ３１〜３４
で実施した処理毎に、処理経過と結果の確認を効率よく
実施することが可能となる。

【００５８】なお、上記実施例では各処理コンピュータ
３１〜３４が識別番号を保有している場合を示したが、
予め処理コンピュータの台数が固定されている場合は、
識別番号を管理コンピュータ３０が保有していてもよ
い。

【００５９】次に、この発明の第５実施例を図について
説明する。図１４はこの発明の第５実施例によるマスク
データ自動処理システムの構成の概念を説明するための
図である。図１４に示すマスクデータ自動処理システム
は、図８に示したマスクデータ自動処理システムに表示
装置７及び処理手順ファイル８１１をさらに備えて構成
されいる。この表示装置７は各処理手段３ｂ〜３ｄでの
処理の中断等を表示するための装置であり、処理手順フ
ァイル８１１は処理の中断等があって処理手順を編集し
なおして再処理を行うためのデータファイルである。こ
のような構成によって、処理結果確認遅れによる処理中
断の発生を防止することが可能となる。

【００６０】図１５はこの発明の第５実施例によるマス
クデータ自動処理システムの構成を示す図である。図１
５において、状態情報ファイル８１１は状態情報ファイ
ル６１〜６４の記述内容により、中断された処理を復旧
するため編集された処理手順を記述するデータファイル
であり、入力装置１から入力され管理コンピュータ３０
から出力されたマスクデータ作成及び検査のための個別
の処理手順を記述するとともに、各処理コンピュータ３
１〜３４に対してそのデータを付与する。図１５に示し
たマスクデータ自動処理システムのその他の構成は、図
１２に示したマスクデータ自動処理システムと同様であ
る。

【００６１】次に、このマスクデータ自動処理システム
の動作について図１６及び図１７を用いて説明する。図
１６及び図１７は、図１５に示したマスクデータ自動処
理システムの動作を示すフローチャートである。第２実
施例で説明した図７に示すステップＳ２１までの手順を
経て、管理コンピュータ３０において、処理手順ファイ
ル８１が準備されているものとする。ステップＳ５０で
管理コンピュータ３０は、実行しなければならない所定
の処理手順を処理手順ファイル８１から探す。もし、所
定の処理手順がなければ、そのまま終わる。

【００６２】処理しなければならない処理手順があれ
ば、ステップＳ５１で、処理手順ファイル８１から実行
しなければならない処理手順を読み込む。その中に割り
付けられた処理コンピュータ３１〜３４の識別番号ＩＤ
１〜ＩＤ４を取得する（ステップＳ５２）。予め処理コ
ンピュータの台数が固定されている場合は、識別番号Ｉ
Ｄもシステムが保有している。

【００６３】ステップＳ５３で、最初に処理を実施する
処理コンピュータの番号があり得られる。そして、ステ
ップＳ５４で、処理を割り付けられた処理コンピュータ
が処理を実行し、処理が終了すれば状態情報ファイルに
処理状況を出力する。

【００６４】ステップＳ５５で、その処理コンピュータ
の処理状況を判断し、処理の終了が正常終了であれば、
ステップＳ５９に制御を移す。

【００６５】ステップＳ５５で、その処理コンピュータ
の処理状況を判断し、処理の終了が異常終了であれば、
ステップＳ５６に制御を移す。ステップＳ５６では、人
手復旧が必要かどうかあらかじめ定めたルールに基づい
て判定する。人手復旧必要となれば、該当処理コンピュ
ータ３１〜３４の状態情報ファイル６１〜６４に「人手
復旧」と書き込み（ステップＳ５８）、ステップＳ５９
へ制御を移す。

【００６６】ステップＳ５６で人手復旧不要な状態と判
断すれば、該当処理コンピュータ３１〜３４の処理手順
ファイル８１を編集して新たな処理手順を作成して処理
手順ファイル８１１に記述し、処理を再起動する（ステ
ップＳ５７）。そして、ステップＳ５９へ制御を移す。

【００６７】ステップＳ５９で、割り付けられた処理コ
ンピュータがすべて処理を実行したかどうかを判断す
る。まだ処理を実行していない処理コンピュータがあれ
ば、ステップＳ５４に制御を移し、次の処理が割り付け
られている処理コンピュータに処理を実施させるように
設定する（ステップＳ６０）。そして、ステップＳ５４
に制御を移す。以後、該当する処理コンピュータ３１〜
３４に対応した状態情報ファイル６１〜６４があるだけ
処理を繰り返す。

【００６８】ステップＳ５９で、割り付けられた処理が
すべて終了していると判断されれば、ステップＳ６１に
制御を移す。

【００６９】ステップＳ６１で、処理手順ファイル８１
内の所定の処理手順が終わりかどうか探す。そして、処
理手順ファイル８１において、処理すべき処理手順が全
て終了していれば処理を終了する。もし、処理すべき処
理手順があれば、ステップＳ５１に制御を移し、さらに
処理を実行する。

【００７０】特に複雑な判断を要するような事態であれ
ば、この実行状況報告レポートの画面上で、問題のある
処理の表示箇所を点滅させるなどしてオペレータに対処
を促す。単純再実行で済むものについては、システムが
自動的に判断して該当する処理を再起動させる。

【００７１】このように、状態情報ファイル６１〜６４
の記述内容により処理の実行に対してフィード・バック
をかけることができる。一連の処理の実行につき、自動
的に状態確認を行い、かつ、確認結果を実行系にフィー
ド・バックすることができるため、外部記憶装置の一時
的使用率増加等の理由により、仮に処理が異常終了して
いてもその場で確認でき、自動起動できる等、処理の中
断が確実に防止可能となる。

【００７２】以上説明した各実施例によれば、管理コン
ピュータ３０と、ネットワーク９上の相互接続された単
数または複数の処理コンピュータ３１〜３４と、管理コ
ンピュータ３０に対して所望の動作を指示するための入
力装置１と、製造プロセス条件により個別に定まるマス
ク作成仕様を記述したデータファイル２と、マスクデー
タ作成及び検査のための個別の処理手順を記述したデー
タファイル８１とを備えており、処理コンピュータが単
一または複数であるに拘らず、一連の処理をまとめて処
理手順に設定して実行するため、標準的な仕様のみでな
く、標準仕様の一部が異なる場合や、標準外の場合など
でも、一度作成した処理条件データのうち、次工程で同
一のデータを使用する場合であっても、最初から入力す
る必要はなく、効率向上、ミスの撲滅を図ることが可能
となる。

【００７３】さらに、管理コンピュータ３０は、オペレ
ーティング・システムの如何に拘らず、処理コンピュー
タ３１〜３４の上位に位置付けられるため、処理コンピ
ュータ３１〜３４は、エンジニアリング・ワーク・ステ
ーションのみならず、スーパーコンピュータ、超並列計
算機といった、該当する処理毎に最適な計算機を選択す
ることができ、処理環境には一切制約を受けることがな
い。

【００７４】なお、上記の説明では処理コンピュータを
複数台使用するものとしたが、使用する処理コンピュー
タは一台であってもよく、使用する処理コンピュータの
台数は処理に応じて適時に設定される。

【００７５】また、上記各実施例の説明では処理コンピ
ュータ３１〜３４が一連の処理をシリーズに行い、それ
にともなって各処理コンピュータ３１〜３３の出力した
出力データファイル５１〜５３を次の処理コンピュータ
３２〜３４が用いる場合を説明したが、出力データファ
イル３１〜３４は一括して管理コンピュータ３０で管理
してもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。

【００７６】また、上記各実施例の説明では処理コンピ
ュータ３１〜３４が順に一連の処理をシリーズに行う場
合を説明したが、処理コンピュータ３１〜３４が処理す
る順番及び相互の関係は自由に設定することができる。

【００７７】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明のマ
スクデータ自動処理システムによれば、半導体のウエハ
プロセス条件により個別に定まる、前記マスクを作成す
るためのマスク作成仕様、及びマスクデータ作成やその
検査のために前記複数の処理手段の動作を規定する処理
手順を与える入力手段と、前記マスク作成仕様及び前記
処理手順に基づいて、前記複数の処理手段を制御する制
御手段と複数の処理手段を制御する制御手段とを備えて
構成されているので、入力手段によって一度入力された
マスク作成仕様および処理手順は、複数の処理手段で共
用することができ、マスクデータ作成の効率向上及び操
作の過誤を減少させることができるという効果がある。

【００７８】請求項２記載の発明のマスクデータ自動処
理システムによれば、入力手段から与えられた処理手順
を記述したデータを記憶しておく処理手順記憶手段をさ
らに備え、制御手段が処理手順記憶手段に記憶されてい
るデータに基づいて複数の処理手段に所望の処理を実行
させるので、複数の処理手段での一連の処理を設定で
き、マスクデータ作成効率を向上することができるとい
う効果がある。

【００７９】請求項３記載の発明のマスクデータ自動処
理システムによれば、制御手段は、管理コンピュータを
含み、複数の処理手段は、所望の処理に割り付けられた
複数の処理コンピュータを含み、管理コンピュータが複
数の処理コンピュータを制御して、処理コンピュータに
所望の処理を実行させるので、処理内容に対して最適な
処理コンピュータを選択でき、マスクデータ作成効率を
向上することができるという効果がある。

【００８０】請求項４記載の発明のマスクデータ自動処
理システムによれば、処理手段において実行された処理
の状態を示す状態情報を出力する状態情報出力手段をさ
らに備えて構成されているので、処理経過と処理結果の
確認を効率よく実施でき、マスクデータ作成効率を向上
することができるという効果がある。

【００８１】請求項５記載の発明のマスクデータ自動処
理システムによれば、状態情報出力手段が出力する状態
情報の内容を表示する表示手段を備えて構成されている
ので、複数の処理手段の処理結果と処理経過を一括して
確認でき、処理手段を効率よく稼動してマスクデータ作
成効率を向上することができるという効果がある。

【００８２】請求項６記載の発明のマスクデータ自動処
理システムによれば、処理手順記憶手段が記憶している
処理手順を修正する修正手段と、修正された処理手順を
記述したデータを記憶する修正処理手順記憶手段とをさ
らに備え、修正処理手順記憶手段に記憶されているデー
タに基づいて、制御手段が複数の処理手段に所望の処理
を再実行させるので、処理結果確認遅れによる処理中断
の発生を防止することができ、マスクデータ作成効率を
向上することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るマスクデータ自動処理システム
の概念図である。

【図２】この発明に係るマスクデータ自動処理システム
の構成の概要を示す図である。

【図３】この発明の第１実施例によるマスクデータ自動
処理システムの概念図である。

【図４】この発明の第１実施例によるマスクデータ自動
処理システムの構成を示す図である。

【図５】この発明の第１実施例によるマスクデータ自動
処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図６】この発明の第２実施例によるマスクデータ自動
処理システムの構成を示す図である。

【図７】この発明の第２実施例によるマスクデータ自動
処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図８】この発明の第３実施例によるマスクデータ自動
処理システムの概念図である。

【図９】この発明の第３実施例によるマスクデータ自動
処理システムの構成を示す図である。

【図１０】この発明の第３実施例によるマスクデータ自
動処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図１１】この発明の第４実施例によるマスクデータ自
動処理システムの概念図である。

【図１２】この発明の第４実施例によるマスクデータ自
動処理システムの構成を示す図である。

【図１３】この発明の第４実施例によるマスクデータ自
動処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図１４】この発明の第５実施例によるマスクデータ自
動処理システムの概念図である。

【図１５】この発明の第５実施例によるマスクデータ自
動処理システムの構成を示す図である。

【図１６】この発明の第５実施例によるマスクデータ自
動処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図１７】この発明の第５実施例によるマスクデータ自
動処理システムの動作を示すフローチャートである。

【図１８】従来のマスクデータ処理システムの概念図で
ある。

【符号の説明】

１入力装置２マスク作成仕様ファイル３コンピュータ４レイアウトデータファイル５マスク描画データファイル６状態情報ファイル７表示装置３０管理コンピュータ３１〜３４処理コンピュータ４１〜４４入力データファイル５１〜５４出力データファイル６１〜６４状態情報ファイル８１処理手順ファイル８１１処理手順ファイル９ネットワーク

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年７月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】しかし、従来技術においては、処理環境が
単一コンピュータ、複数コンピュータであるかに拘ら
ず、処理の単位毎に個別に処理手順を設定して、実行を
行うため、標準的な仕様のみであればよいが、標準仕様
の一部が異なる場合や、標準外の場合などでは、一度作
成した処理条件データのうち、次工程でも同一のデータ
を使用する場合であっても、次工程の処理手順設定時に
は、最初から入力せざるを得ず、効率低下、ミスの発生
を招いていた。さらに、個別の処理毎で実行結果の確認
を行うため、外部記憶装置の一時的使用率増加等の理由
により、仮に処理が異常終了していてもその場で確認で
きるとは限らず、処理の中断を招く危険性があった。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】以下、この発明の第１実施例を図について
説明する。図３はこの発明の第１実施例によるマスクデ
ータ自動処理システムの構成の概念を説明するための図
である。図３に示すマスクデータ自動処理システムは、
図１に示したマスクデータ自動処理システムに処理手順
ファイル８１をさらに備えて構成される。入力装置１を
用いて処理手順を記述した処理手順ファイル８１を作成
しておき、処理手順ファイル８１に収納されているデー
タに従って各処理手段３ｂ〜３ｅが処理を進める。その
際、各処理手段３ｂ〜３ｄは、制御手段３ａの制御の下
に動作してもよく、またオペレータの操作によって処理
手順ファイル８１の処理手順にしたがって動作してもよ
い。マスクデータ自動処理システムが処理手順ファイル
８１を持つことによって、処理手順を予め規定しておく
ことが可能となる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】ステップＳ１６では、対象となる処理コン
ピュータ３１〜３４に対して、手作業で処理の実行を司
令し、各処理コンピュータ３１〜３４において、処理手
順ファイル８１を参照して各処理が実行される。処理コ
ンピュータ３１は入力データファイル４１から必要なデ
ータを取り出して、処理手順ファイル８１で指定された
所定の手順を実行し、データを出力データファイル５１
に対して出力する。処理コンピュータ３２は入力データ
ファイル４２から必要なデータを取り出すとともに出力
データファイル５１からも必要なデータを取り出して、
処理手順ファイル８１で指定された所定の手順を実行
し、データを出力データファイル５２に対して出力す
る。同様に、処理コンピュータ３３，３４においても入
力データファイル４３，４４、出力データファイル５
２，５３を用いてそれぞれ処理が実行され、処理された
データが出力データファイル５３，５４に収納される。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４３】図６において、３１ａ〜３４ａは各処理コ
ンピュータ３１〜３４が有する個体識別番号付与手段で
あり、また処理手順ファイル８１は管理コンピュータ３
０とのデータ受渡しが可能になっており、その他の構成
は図４に示したマスクデータ自動処理システムと同様で
ある。個体識別番号付与手段３１ａ〜３４ａは、例えば
処理コンピュータ３１〜３４に内蔵された記憶装置に記
憶された識別番号であり、管理コンピュータ３０から処
理コンピュータ３１〜３４に照会があれば、処理コンピ
ュータ３１〜３４はその識別番号ＩＤ１〜ＩＤ４を管理
コンピュータへ出力する。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４５】そして、ステップＳ２２で最初に行われる
処理の順番が与えられる。次にステップＳ２３で、管理
コンピュータ３０は、一番目に割り付けた処理コンピュ
ータに対して各処理の具体的処理司令を行う。例えば、
処理コンピュータ３１にサイジング処理を割り付けた場
合、管理コンピュータ３０は、個体識別番号の照会に対
して識別番号ＩＤ１を返信する処理コンピュータ３１へ
処理手順ファイル８１に記述されているサイジング処理
の手順を出力してサイジング処理を実行させる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５９】次に、この発明の第５実施例を図について
説明する。図１４はこの発明の第５実施例によるマスク
データ自動処理システムの構成の概念を説明するための
図である。図１４に示すマスクデータ自動処理システム
は、図８に示したマスクデータ自動処理システムに表示
装置７及び処理手順ファイル８１１をさらに備えて構成
される。この表示装置７は各処理手段３ｂ〜３ｄでの処
理の中断等を表示するための装置であり、処理手順ファ
イル８１１は処理の中断等があって処理手順を編集しな
おして再処理を行うためのデータファイルである。この
ような構成によって、処理結果確認遅れによる処理中断
の発生を防止することが可能となる。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６０】図１５はこの発明の第５実施例によるマス
クデータ自動処理システムの構成を示す図である。図１
５において、処理手順ファイル８１１は状態情報ファイ
ル６１〜６４の記述内容により、中断された処理を復旧
するため編集された処理手順を記述するデータファイル
であり、入力装置１から入力され管理コンピュータ３０
から出力されたマスクデータ作成及び検査のための個別
の処理手順を記述するとともに、各処理コンピュータ３
１〜３４に対してそのデータを付与する。図１５に示し
たマスクデータ自動処理システムのその他の構成は、図
１２に示したマスクデータ自動処理システムと同様であ
る。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６３】ステップＳ５３で、処理コンピュータの台
数カウンタの値が初期化される。そして、ステップＳ５
４で、処理を割り付けられた処理コンピュータが処理を
実行し、処理が終了すれば状態情報ファイルに処理状況
を出力する。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７２】以上説明した各実施例によれば、管理コン
ピュータ３０と、ネットワーク９上の相互接続された単
数または複数の処理コンピュータ３１〜３４と、管理コ
ンピュータ３０に対して所望の動作を指示するための入
力装置１と、製造プロセス条件により個別に定まるマス
ク作成仕様を記述したデータファイル２と、マスクデー
タ作成及び検査のための個別の処理手順を記述したデー
タファイル８１とを備えており、処理コンピュータが単
一または複数であるに拘らず、一連の処理をまとめて処
理手順に設定して実行するため、標準的な仕様のみでな
く、標準仕様の一部が異なる場合や、標準外の場合など
でも、一度作成した処理条件データのうち、次工程で同
一のデータを使用する場合であっても、次工程の処理手
順設定時には、最初から入力する必要はなく、効率向
上、ミスの撲滅を図ることが可能となる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レイアウト設計の完了した回路パターン
からマスクデータを作成するために、前記回路パターン
に係るデータを自動的に処理するマスクデータ自動処理
システムにおいて、処理すべきデータを付与するデータ付与手段と、前記データ付与手段によって与えられた前記データを処
理する複数の処理手段と、半導体のウエハプロセス条件により個別に定まる、前記
マスクを作成するためのマスク作成仕様、及びマスクデ
ータ作成やその検査のために前記複数の処理手段の動作
を規定する処理手順を与える入力手段と、前記マスク作成仕様及び前記処理手順に基づいて、前記
複数の処理手段を制御する制御手段と、を備える、マス
クデータ自動処理システム。
【請求項２】前記入力手段から与えられた前記処理手
順を記述したデータを記憶しておく処理手順記憶手段を
さらに備え、前記制御手段が前記処理手順記憶手段に記憶されている
前記データに基づいて前記複数の処理手段に所望の処理
を実行させることを特徴とする、請求項１記載のマスク
データ自動処理システム。
【請求項３】前記制御手段は、管理コンピュータを含
み、前記複数の処理手段は、所望の処理に割り付けられた複
数の処理コンピュータを含み、前記管理コンピュータが前記複数の処理コンピュータを
制御して、前記処理コンピュータに前記所望の処理を実
行させることを特徴とする、請求項２記載のマスクデー
タ自動処理システム。
【請求項４】前記処理手段において実行された処理の
状態を示す状態情報を出力する状態情報出力手段をさら
に備える、請求項１記載のマスクデータ自動処理システ
ム。
【請求項５】前記状態情報出力手段が出力する前記状
態情報の内容を表示する表示手段をさらに備える、請求
項４記載のマスクデータ自動処理システム。
【請求項６】前記処理手順記憶手段が記憶している前
記処理手順を修正する修正手段と、修正された処理手順を記述したデータを記憶する修正処
理手順記憶手段とをさらに備え、前記修正処理手順記憶手段に記憶されている前記データ
に基づいて、前記制御手段が前記複数の処理手段に所望
の処理を再実行させることを特徴とする、請求項４記載
のマスクデータ自動処理システム。