JPH0632870U - 容器弁の遠隔開閉器具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 毒性ガス容器の弁を遠隔操作によって開閉す
るとともに、使用しない場合には、常に一定の設定状態
を保持する回転駆動機が取付けられた容器弁の遠隔開閉
器具。 【構成】 回転駆動機は、両端に空気の導入口が設けら
れた中空柱状の駆動機本体内部に、左右の移動自在に収
納され、上記弁の把手を回転させる把手とほぼ同軸の歯
車と噛み合う、長さ方向に歯状溝が設けられた軸棒の先
端両側に対して受圧板がそれぞれ垂直位置となるように
固定された構成の駆動部材の、上記一方の受圧板と駆動
機本体内端部との間に、空気を開放した場合、駆動部材
を上記駆動機本体内の定位置に保持せしめるスプリング
を設けた容器弁の遠隔開閉器具。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体材料ガスのような毒性を有するガスを充填したガスボンベ容器 の弁を遠隔操作によって開閉するとともに、使用しない場合には常に一定の設定 状態を保持する回転駆動機が取付けられた容器弁の遠隔開閉器具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体材料を製造するに当っては、アルシン、ホスフィン、シラン、ディボラ ン、ジクロールシラン、塩化水素、塩素等のガスを使用しているが、これらのガ スは毒性、発火性、更には腐蝕性があったりして、大気への拡散は安全衛生上極 めて危険であって好ましくない。このため万が一、容器より充填してあるガスが 漏洩した場合、これらガスが大気へ拡散しないように、充填容器を収納箱に収容 して、大気より隔離して配置せしめている。

【０００３】 例えば、図３に示すように有毒ガスを充填した容器（ガスボンベ）１は正面に 容器搬出入用の扉２Ａ，２Ａが設けられた鋼板等の材料からなる容器収納箱２内 に背板２Ｂに懸架された鎖あるいはベルト等の固定部材３で転倒しないように固 定されて収容されている。そして容器１内のガスは容器１の弁４に連結された配 管５より、収納箱２のたとえば側壁２Ｃに気密に貫通して設置した接続金具６を 介して使用先に供給される。そして収納箱２の下方壁部に空気取入口７が設けら れ、又天井部には換気扇８を設備した排気口９が設けられている。

【０００４】 このように有毒性のガスを充填した容器１は通常収納箱２に納められ、扉２Ａ ，２Ａを閉じて周囲と隔離して配置され、危険な有毒ガスが漏洩しても周囲に拡 散させずに排気口９を介してこれに適宜接続する除害装置（図示せず）に送り込 んで処理できるようにしてある。

【０００５】 しかるにこのような方法では危険な有毒ガスを使用する場合、弁４の開閉は扉 ２Ａ，２Ａを開いた状態で弁４の把手４Ａを手動によって回転しなければならな い。従って把手４Ａの回転によって弁４を開閉した時、配管５の結合部の気密性 が不充分であったり、弁４自体の気密性に欠けていて、前記有毒性のガスが漏洩 した場合、ガスは作業者に直接触れたり、又周囲に拡散したりして、極めて危険 である。

【０００６】 そのため、扉２Ａ，２Ａを閉じて、容器を完全に収納箱２に収納した状態で遠 隔操作によって把手４Ａを回転する。

【０００７】 上記遠隔操作には、電気動力によるもの、空気圧によるもの等が従来公知であ り、空気圧によるものとしては例えば実開昭６０−９３０９８号公報に記載され たものがあげられる。図４ないし図６には上記従来の容器弁の遠隔開閉器具を示 すもので、容器１の弁４を開閉するハンドル部材１１は、その下面に下方に向け て突出した複数の爪部材１２を容器１の弁４の把手４Ａに係合するような配置で 設けられており、またハンドル部材１１の中心には貫通孔１３が穿設され、該貫 通孔１３の内周面に厚み方向に沿って多数の溝１４が刻設されている。

【０００８】 一方、貫通孔１３に挿通される軸部材１５は、下端部に鍔１６を形成するとと もに、その上部に軸線方向の多数の細溝１７を、少なくともハンドル部材１１の 厚みに相当する長さ刻設されている。

【０００９】 このように形成された軸部材１５を貫通孔１３に下方より挿通して、一体的に 結合して把手回動具１８が構成される。この把手回動部材１８はハンドル部材１ １と軸部材１５とがスプラインあるいはセレーション係合して一体的に回転可能 に結合されている。

【００１０】 以上のようにハンドル部材１１と軸部材１５とを一体化した把手回動具１８は 、軸部材１５の上部端を従来公知の空気圧式による回転駆動機２０に連結せしめ て使用される。即ち図６は空気圧による回転駆動機２０を用いたもので、該機２ ０は、両端に空気導入口２１，２２を設けてなる中空柱状の回転駆動機本体２３ 内に、該回転駆動機本体２３の内壁２３Ａに気密に、かつ移動可能に設けた二枚 の受圧板２４Ａ，２４Ｂを軸棒２５の両端に固着して駆動部材２４が構成されて いる。上記受圧板２４Ａ，２４Ｂは回転駆動機本体２３内を左右に移動するよう に回転駆動機本体２３内に空間２６が生じるように軸棒２５の長さを調整して配 置されている。

【００１１】 又、軸棒２５には軸方向にそって歯状溝２７が刻設されてラックが形成され、 該歯状溝２７は、両端を軸受２８に支持された回転軸２９に固設された歯車（ピ ニオン）３０と噛合している。

【００１２】 そして、このような空気圧式回転駆動機２０では左側の空気導入口２１より加 圧空気を導入すると受圧板２４Ａが加圧空気を受けて駆動部材２４は右方向に移 動する。この結果、軸棒２５が右に移動するので、軸棒２５に刻設された歯状溝 ２７に噛合している歯車３０が右回転する。そしてこの右回転は回転軸２９を介 してこれに接続されている把手回動具１８の軸部材１５を右回動せしめ、更にこ れに係合する把手回動具１８のハンドル部材１１を右回動せしめて弁４の把手４ Ａを右回転せしめる。

【００１３】 一方、左側の空気導入口２１よりの加圧空気の供給を停止して右側の空気導入 口２２より加圧空気を導入すれば、駆動部材２４は左に移動すると共に軸棒２５ が左方に移動し、この結果軸棒２５の歯状溝２７に噛合している歯車３０は左旋 回し、そしてこれに接続している把手回動具１８は左回転して容器弁４の把手４ Ａを左回転せしめ得る。

【００１４】 従って空気圧式の回転駆動機２０では弁の開閉の回転方向の如何によって加圧 空気を回転駆動機本体２３の左右の空気導入口２１又は２２に切換えて、供給す れば遠隔操作によって弁の開閉を行なうことができる。 また、駆動部材２４の回転駆動機本体２３に対する位置は、把手の開度を示し ており、駆動部材２４を空間２６方向に移動させることによって弁が開くように なっている。

【００１５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来の容器弁の遠隔開閉器具は、加圧空気を導入し、把手 を回転調節して容器内のガスを適宜使用するが、加圧空気の供給を停止すると、 駆動部材２４はその時点で停止する。したがって、次の運転時には初期設定位置 がその時々によって異なり、操作しにくくなるため、手動で駆動部材２４の位置 を定位置に設定しなければならない不都合があった。

【００１６】 本考案は上記の事情に鑑みてなされたもので、加圧空気の供給を停止して、駆 動部材をフリーとすると、駆動部材は自動的に回転駆動機本体に対して所定の位 置となる容器弁の遠隔開閉器具を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る容器弁の遠隔開閉器具においては、容器弁の把手に係合するハン ドル部材と該ハンドル部材を軸部材を介して回転させる空気圧式の回転駆動機を 備えた容器弁の遠隔開閉器具において、上記回転駆動機は、両端に空気の導入口 が設けられた中空柱状の駆動機本体内部に、左右の移動自在に収納され、この左 右の動きを把手の回転運動とする、長さ方向に歯状溝が設けられた軸棒の先端両 側に対して受圧板がそれぞれ軸棒に対して垂直位置となるように固定された構成 の駆動部材の、上記受圧板と駆動機本体内端部との間の一方に、空気を開放した 場合、駆動部材を上記駆動機本体内の定位置に保持せしめるスプリングを設けた ことを問題解決の手段とした。

【００１８】 スプリングを取付ける側は、駆動部材が移動して弁が閉じる側の受圧板と回転 駆動部本体の間が、駆動部材の移動幅が小さくてすむので操作上好ましい。

【００１９】

【作用】 本考案は、上記の構成となっているので、加圧空気の供給が停止すると、駆動 部材２４は、受圧板と回転駆動機本体内端部の間に取付けられているコイルスプ リングによって移動され、回転駆動機本体に対する駆動部材の位置が設定される 。

【００２０】

【実施例】

図１は本考案に係る回転駆動機構３１の一実施例を示すもので、図６と同一部 分には同一符号を付してその説明を簡略化する。

【００２１】 図中符号３２は、駆動部材２４の回転駆動機本体に対する位置を示すインジケ ータで、駆動部材２４が回転駆動機本体２３の空間２６と反対側に移動すると弁 ４が閉じる方向に歯車３０が回転するようになっており、弁４の閉じる割合は、 駆動部材２４に固定された指針３３の目盛３２ａを指す位置によって示されるよ うになっている。

【００２２】 上記駆動部材２４の空部２６と反対側の受圧板２４Ｂと回転駆動機本体２３の 内端部との間にはコイルスプリング３４が取付けられており、空気導入口２１， ２２への加圧空気の供給が停止した場合、回転駆動機本体２３に対する駆動部材 ２４の位置はコイルスプリング３４によって設定されるとともに指針３３はＳの 位置となる。なお、３５は受圧板２４Ａ，２４Ｂに取付けられたＯリングである 。

【００２３】 上記回転駆動機２０は、上記の構成となっているので、空気導入口２１から加 圧空気を導入すると、スプリングコイルは圧縮され、駆動部材２４は左に移動す るとともに、指針３３はＳ₁ に移動し、弁４は完全に閉となる。この状態におい て空気導入口２２から加圧空気を徐々に導入すると、駆動部材２４は左方向に移 動し、指針３３によって弁の開度が示される。

【００２４】 上記回転駆動機２０に加圧空気が供給されていない時は、駆動部材２４はコイ ルスプリング３４によって初期設定位置に自動的に復帰され、指針３３はＳの位 置となる。

【００２５】 なお図２は、コイルスプリング３４が取付けられている受圧板２４Ｂの部分を 示すもので、軸棒２５の受圧板２４Ｂに対する取付け強度を高めるため補強脚３ ６を用いたものである。この場合、軸棒２５は受圧板２４Ａ，２４Ｂに直接取付 け、さらに補強脚３６で補強しても、或いは補強脚３６によって間接的に固定し てもよい。

【００２５】 また、上記コイルスプリングを空間２６側、すなわち受圧板２４Ａと回転駆動 機本体２３の内端部との間に取付けてもよいが、コイルスプリングの長さが長く なり、駆動部材２４の回転駆動機本体２３に対する設定が不安定化するので、空 間２６の反対側に取付けることが望ましい。

【００２６】

【考案の効果】

以上説明したように、本発明に係る容器弁の遠隔開閉器具はコイルスプリング の取付けによって駆動部材の回転駆動機本体に対する初期設定位置に自動的に復 帰するので、初期設定位置を手動で行なう必要がなくなり、容器弁の遠隔開閉が 大幅に改良され、操作が容易となる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る回転駆動機の一実施例を示す一部
断面視した正面図である。

【図２】受圧板と回転駆動機内端部の間にコイルスプリ
ングをセットした状態を示す詳細図である。

【図３】毒性ガスを充填したボンベの通常の収納箱の斜
視図である。

【図４】従来のハンドル部材、軸部材の一部切欠きした
図である。

【図５】従来のハンドル部材、軸部材を組立てた斜視図
である。

【図６】従来使用されている容器弁に、ハンドル部材、
軸部材、回転駆動機よりなる容器弁の遠隔開閉器具の一
部破断した斜視図である。

【符号の説明】

１ 容器 ２ 収納箱 ２Ａ 扉 ２Ｂ 背板 ２Ｃ 側壁 ３ 固定部材 ４ 弁 ４Ａ 把手 ５ 配管 ６ 接続金具 ７ 空気取入口 ８ 換気扇 ９ 排気口 １１ ハンドル部材 １２ 爪部材 １３ 貫通孔 １４ 溝 １５ 軸部材 １６ 鍔 １７ 細溝 １８ 把手回動具 ２０ 回転駆動機 ２１，２２ 空気導入口 ２３ 回転駆動機本体 ２４ 駆動部材 ２４Ａ，２４Ｂ 受圧板 ２５ 軸棒 ２６ 空間 ２７ 歯状溝 ２８ 軸受 ２９ 回転軸 ３０ 歯車 ３１ 回転駆動機 ３２ インジケータ ３２ａ 目盛 ３３ 指針 ３４ コイルスプリング ３５ Ｏリング ３６ 補強脚 Ｓ スプリングによる駆動部材の設定位置 Ｓ₁ 弁が完全に閉じられる位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 小島 博 福岡県北九州市小倉北区東港２丁目３番１ 号 日本酸素株式会社北九州工場内 (72)考案者 山口 ▲しゅん▼一 福岡県北九州市小倉北区東港２丁目３番１ 号 日本酸素株式会社北九州工場内 (72)考案者 広見 健二 福岡県行橋市西泉３丁目10−12 (72)考案者 豊田 康夫 福岡県北九州市小倉北区上富野３丁目16番 ８号 不二興産株式会社内

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器弁の把手に係合するハンドル部材と
   該ハンドル部材を軸部材を介して回転させる空気圧式の
   回転駆動機を備えた容器弁の遠隔開閉器具において、上
   記回転駆動機は、両端に空気の導入口が設けられた中空
   柱状の駆動機本体内部に、左右の移動自在に収納され、
   この左右の動きを把手の回転運動とする、長さ方向に歯
   状溝が設けられた軸棒の先端両側に対して受圧板がそれ
   ぞれ軸棒に対して垂直位置となるように固定された構成
   の駆動部材の、上記受圧板と駆動機本体内端部との間の
   一方に、空気を開放した場合、駆動部材を上記駆動機本
   体内の定位置に保持せしめるスプリングを設けたことを
   特徴とする容器弁の遠隔開閉器具。
2. 【請求項２】 スプリングが取付けられる受圧板と回転
   駆動部本体の内端部の間が、駆動部材が移動して弁が閉
   じる側の受圧板と回転駆動部本体内端部の間である請求
   項１記載の容器弁の遠隔開閉器具。