JP2010209933A - ガス容器弁緊急遮断装置 - Google Patents
ガス容器弁緊急遮断装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010209933A JP2010209933A JP2009053639A JP2009053639A JP2010209933A JP 2010209933 A JP2010209933 A JP 2010209933A JP 2009053639 A JP2009053639 A JP 2009053639A JP 2009053639 A JP2009053639 A JP 2009053639A JP 2010209933 A JP2010209933 A JP 2010209933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- limit switch
- signal
- gas
- handle
- air cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
【解決手段】ガス容器の容器弁9を閉じる把手部7と、この把手部を回転させる回転軸と、この回転軸を回転駆動する駆動部と、この駆動部の動作を制御する制御部を備え、
前記把手部には、エアシリンダ15とリミットスイッチ16が設けられ、このエアシリンダのピストンロッド17の進退動作に伴ってリミットスイッチからオン信号またはオフ信号が前記制御部に送られ、このオン信号またはオフ信号に基づいて前記容器弁への前記把手部の装着もしくは離脱が検知されるようになっている。
【選択図】図1
Description
この例の遮断装置は、ガス容器1を収納するシリンダーキャビネット2に取り付けられている。アルシン、ホスフィン、ジボランなどの半導体製造用ガス等が満たされたガス容器1はシリンダーキャビネット2内に収納され、図示しない転倒防止用部材によって転倒しないように直立状態で設置されている。
この例の遮断装置は、前記制御部4、駆動部5、回転軸6および把手部7から概略構成されている。
また、回転軸6は二重管構造となっており、その軸方向に伸縮可能とされその長さを可変できるようにもなっている。
また、この制御部4は、外部に別途設置された管理装置からの指示、例えば地震警報情報などを受信して駆動部5の動作を制御するようにもなっている。
これにより、シリンダーキャビネット2内でガス漏れが発生した場合や地震の場合などには速やかに容器弁9が閉じられ、ガスの供給を停止することができる。
このため、把手部7が容器弁9に装着されていることあるいは把手部7が容器弁9がら離脱していることは制御部4では検知されず、作業者が把手部7の取り付けあるいは取り外しを行った後に、手入力でトリガー信号を制御部4に送り、これを受けて動作プログラムがスタートするようになっている。
請求項1にかかる発明は、ガス容器の容器弁を閉じる把手部と、この把手部を回転させる回転軸と、この回転軸を回転駆動する駆動部と、この駆動部の動作を制御する制御部を備え、
前記把手部には、エアシリンダとリミットスイッチが設けられ、
このエアシリンダのピストンロッドの進退動作に伴ってリミットスイッチからオン信号またはオフ信号が前記制御部に送られ、このオン信号またはオフ信号に基づいて前記容器弁への前記把手部の装着もしくは離脱が検知されるようになっていることを特徴とするガス容器弁緊急遮断装置である。
エアシリンダのピストンロッドがベースプレートを貫通して下方に延びており、このピストンロッドの下端には接触板が設けられ、
リミットスイッチのプランジャがベースプレートの下面から下方に延びるとともにプランジャの先端部が前記接触板に接しうるように、エアシリンダとリミットスイッチとが配置されていることを特徴とする請求項1記載のガス容器弁緊急遮断装置である。
このように、ガス容器弁緊急遮断装置の把手部がガス容器の容器弁に取り付けられている状態あるいは取り外されている状態を人手によらずに制御部にて確実に検知でき、不適切な動作プロガラムがスタートしないようにし、人的な操作ミスを防止できる。
この例における把手部7にあっては、そのベースプレート8に前記係止棒11、11・・以外に複数のエアシリンダ15、15・・と1個のリミットスイッチ16が取り付けられている。
エアシリンダ15には、これを駆動するための駆動用ガスを供給するためのチューブ19が接続されており、エアシリンダ15にチューブ19からの駆動用ガスを送ることでピストンロッド17が前進し、駆動用ガスの送給を停止するとピストンロッド17が内蔵バネによって後退するようになっている。
また、いずれか1個のエアシリンダ15のピストンロッド17が後退した際にその接触板18がリミットスイッチ16のプランジャ20に当接するように、そのエアシリンダ15とリミットスイッチ16との配置位置が決められている。
一方、エアシリンダ15、15・・に駆動用ガスが送られている場合は、ピストンロッド17は前進位置にあり、この時接触板18がプランジャ20から離間してプランジャ20が前進するとともに接触板18、18・・が容器弁9のハンドル10を押し下げ、その反力によってベースプレート8全体が上方に持ち上げられ。把手部7が容器弁9から取り外すことができる状態となる。
初めに、ガス容器1の容器弁9が全閉であることを手動にて確認した後、把手部7を容器弁9のハンドル10に取り付ける。この時、エアシリンダ15には駆動用ガスを供給されておらず、ピストンロッド17は後退位置にありリミットスイッチ16からはオン信号が制御部4に送られる。
制御部4ではこのオン信号を受けて動作プラグラムが把手部7が容器弁9に装着されていると判断する。
把手部7が取り外されている状態では常に駆動用ガスがエアシリンダ15に送られ続け、ピストンロッド17が前進位置にあり、リミットスイッチ16からはオフ信号が継続して制御部4に送られる。
シリンダーキャビネット2では、ガス容器1が複数格納されるのが通例であり、これらガス容器1、1・・の交換時にパージ工程終了後、誤ってガス供給中で容器交換すべきでないガス容器1から把手部4を外すことが防止される。容器交換すべきガス容器1には把手部4が装着されていないので、誤ることがないためである。
Claims (2)
- ガス容器の容器弁を閉じる把手部と、この把手部を回転させる回転軸と、この回転軸を回転駆動する駆動部と、この駆動部の動作を制御する制御部を備え、
前記把手部には、エアシリンダとリミットスイッチが設けられ、
このエアシリンダのピストンロッドの進退動作に伴ってリミットスイッチからオン信号またはオフ信号が前記制御部に送られ、このオン信号またはオフ信号に基づいて前記容器弁への前記把手部の装着もしくは離脱が検知されるようになっていることを特徴とするガス容器弁緊急遮断装置。 - 前記把手部は、円盤状のベースプレートと、このベースプレートの下面から垂下して容器弁のハンドルに係止してこれを回転する複数の係止棒と、前記ベースプレートに取り付けられたエアシリンダとリミットスイッチを備え、
エアシリンダのピストンロッドがベースプレートを貫通して下方に延びており、このピストンロッドの下端には接触板が設けられ、
リミットスイッチのプランジャがベースプレートの下面から下方に延びるとともにプランジャの先端部が前記接触板に接しうるように、エアシリンダとリミットスイッチとが配置されていることを特徴とする請求項1記載のガス容器弁緊急遮断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009053639A JP5243309B2 (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | ガス容器弁緊急遮断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009053639A JP5243309B2 (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | ガス容器弁緊急遮断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010209933A true JP2010209933A (ja) | 2010-09-24 |
JP5243309B2 JP5243309B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=42970324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009053639A Active JP5243309B2 (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | ガス容器弁緊急遮断装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5243309B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0565992A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Kubota Corp | 液化ガス充填容器バルブ開閉装置 |
JPH0632870U (ja) * | 1992-03-31 | 1994-04-28 | 日本酸素株式会社 | 容器弁の遠隔開閉器具 |
JPH07800Y2 (ja) * | 1986-09-03 | 1995-01-11 | 日本酸素株式会社 | 緊急遮断装置を備えたガス容器の収納箱 |
JPH1078199A (ja) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Teisan Kk | バルブ閉止検出装置 |
JP2007155034A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Kubota Corp | ガス充填装置 |
-
2009
- 2009-03-06 JP JP2009053639A patent/JP5243309B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07800Y2 (ja) * | 1986-09-03 | 1995-01-11 | 日本酸素株式会社 | 緊急遮断装置を備えたガス容器の収納箱 |
JPH0565992A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Kubota Corp | 液化ガス充填容器バルブ開閉装置 |
JPH0632870U (ja) * | 1992-03-31 | 1994-04-28 | 日本酸素株式会社 | 容器弁の遠隔開閉器具 |
JPH1078199A (ja) * | 1996-09-04 | 1998-03-24 | Teisan Kk | バルブ閉止検出装置 |
JP2007155034A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Kubota Corp | ガス充填装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5243309B2 (ja) | 2013-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4533928B2 (ja) | 電動アクチュエータ | |
US9073394B1 (en) | Tire changing machine with force detection and control methods | |
JP5638730B1 (ja) | モータ制御装置およびモータ制御システム | |
JP6206745B2 (ja) | 車両用キャニスター検査装置 | |
JP5243309B2 (ja) | ガス容器弁緊急遮断装置 | |
CN108291834B (zh) | 贮罐维护出入腔室 | |
WO2005123319A1 (ja) | 制御装置 | |
JP2006308030A (ja) | ガス漏れ検出装置とそれを用いたガス充填装置 | |
JP2001153261A (ja) | 薬液用エアオペレイトバルブ | |
JP2013052465A (ja) | エアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置 | |
TW201607233A (zh) | 馬達控制裝置及馬達控制系統 | |
JPS5877409A (ja) | 放電加工装置用火災防止装置 | |
JP2020142333A (ja) | 内圧調節システム、ロボットシステム及び内圧調節方法 | |
JP2015100809A (ja) | 管継手締付機 | |
CN109689272A (zh) | 用于维修焊炬的运动控制方法和系统 | |
KR102225436B1 (ko) | Lng 벙커링용 비상분리시스템의 작동 시험 장치 및 이를 이용한 작동 시험 방법 | |
JP4884171B2 (ja) | 管の切断装置 | |
JP6566857B2 (ja) | タンカー用荷役装置 | |
CN108649389A (zh) | 一种化工用自备应急电源快速接入装置 | |
US11953112B2 (en) | Vibration release system for pipeline items | |
JP4445935B2 (ja) | 緊急遮断弁 | |
TW201305474A (zh) | 燃油緊急快閉閥控制系統 | |
JP2010156597A (ja) | 遮断弁故障検知方法及びガスメータ | |
AU2012253209B2 (en) | Valve closing mechanism bracket and gas supply system | |
JP2000179771A (ja) | 管継手 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5243309 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |