JP2502211Y2 - ボンベ元弁作動装置 - Google Patents
ボンベ元弁作動装置Info
- Publication number
- JP2502211Y2 JP2502211Y2 JP1991016372U JP1637291U JP2502211Y2 JP 2502211 Y2 JP2502211 Y2 JP 2502211Y2 JP 1991016372 U JP1991016372 U JP 1991016372U JP 1637291 U JP1637291 U JP 1637291U JP 2502211 Y2 JP2502211 Y2 JP 2502211Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- valve
- main valve
- storage box
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Landscapes
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案はボンベ元弁作動装置に係
り、特に元弁の弁開度を表示する構成としたボンベ元弁
作動装置に関する。
り、特に元弁の弁開度を表示する構成としたボンベ元弁
作動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造工程で使用される半導
体用材料ガスはガスの種類によって非常に毒性が強いも
の、可燃性のもの、自燃性のもの、支燃性のもの、ある
いはこれらが複合された性質のものがある。これらの有
害なガスを貯蔵するボンベは排気ダクトを備えたボンベ
収納ボックス内に収納されており、ボンベ上部にはボン
ベを閉とする元弁が取付けられている。そして、上記の
ようなボンベの元弁を遠隔操作により自動的に閉弁する
ためのボンベ元弁作動装置が開発されている。
体用材料ガスはガスの種類によって非常に毒性が強いも
の、可燃性のもの、自燃性のもの、支燃性のもの、ある
いはこれらが複合された性質のものがある。これらの有
害なガスを貯蔵するボンベは排気ダクトを備えたボンベ
収納ボックス内に収納されており、ボンベ上部にはボン
ベを閉とする元弁が取付けられている。そして、上記の
ようなボンベの元弁を遠隔操作により自動的に閉弁する
ためのボンベ元弁作動装置が開発されている。
【０００３】この種のボンベ元弁作動装置としては、ボ
ンベを収納するボンベ収納ボックスの天板にアクチュエ
ータを設け、ボンベ設置現場より離れた場所に操作器を
設けてなり、操作器からの操作信号をアクチュエータに
供給する構成とされた装置がある。又、アクチュエータ
にはピストン、シリンダ等よりなる駆動部に圧縮空気を
供給する閉弁配管が接続されており、アクチュエータは
閉弁配管に設けられた電磁弁が操作信号に応じて作動す
ることによりボンベの元弁を閉弁する。
ンベを収納するボンベ収納ボックスの天板にアクチュエ
ータを設け、ボンベ設置現場より離れた場所に操作器を
設けてなり、操作器からの操作信号をアクチュエータに
供給する構成とされた装置がある。又、アクチュエータ
にはピストン、シリンダ等よりなる駆動部に圧縮空気を
供給する閉弁配管が接続されており、アクチュエータは
閉弁配管に設けられた電磁弁が操作信号に応じて作動す
ることによりボンベの元弁を閉弁する。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】従来の装置では、収納
ボックスの外部に設けられたアクチュエータに元弁の弁
開度を表示する目盛が設けられていたため、例えば作業
者は点検時に元弁のハンドルを手動で回して弁開又は弁
閉としたことを、収納ボックスの外に出てアクチュエー
タの目盛を見て弁開度を確認していた。
ボックスの外部に設けられたアクチュエータに元弁の弁
開度を表示する目盛が設けられていたため、例えば作業
者は点検時に元弁のハンドルを手動で回して弁開又は弁
閉としたことを、収納ボックスの外に出てアクチュエー
タの目盛を見て弁開度を確認していた。
【０００５】そのため、作業者は元弁のハンドルを手動
で弁開又は弁閉方向に操作しながら弁開度を確認でき
ず、操作のたびに収納ボックスより外に出なければなら
ず点検操作が面倒であるといった課題があった。
で弁開又は弁閉方向に操作しながら弁開度を確認でき
ず、操作のたびに収納ボックスより外に出なければなら
ず点検操作が面倒であるといった課題があった。
【０００６】そこで、本考案は上記課題を解決したボン
ベ元弁作動装置を提供することを目的とする。
ベ元弁作動装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案は、ガスが封入さ
れ、収納ボックス内に収納されたボンベと、前記ボンベ
に取付けられボンベを開又は閉とする元弁と、前記元弁
のハンドルに嵌合するチャックを有する伝達機構と、前
記収納ボックスに設けられ、前記伝達機構を介して前記
収納ボックス内の前記ハンドルに弁閉方向の駆動力を伝
達するアクチュエータと、前記収納ボックスの外部に設
けられ、前記元弁の弁開度を表示する第１の表示部と、
前記収納ボックス内に設けられ前記元弁の弁開度を表示
する第２の表示部と、よりなる。
れ、収納ボックス内に収納されたボンベと、前記ボンベ
に取付けられボンベを開又は閉とする元弁と、前記元弁
のハンドルに嵌合するチャックを有する伝達機構と、前
記収納ボックスに設けられ、前記伝達機構を介して前記
収納ボックス内の前記ハンドルに弁閉方向の駆動力を伝
達するアクチュエータと、前記収納ボックスの外部に設
けられ、前記元弁の弁開度を表示する第１の表示部と、
前記収納ボックス内に設けられ前記元弁の弁開度を表示
する第２の表示部と、よりなる。
【０００８】
【作用】元弁の弁開度を表示する表示部が収納ボックス
の外部と内部とに設けられているので、点検時収納ボッ
クス内で元弁のハンドルを手動操作しながら弁開度を確
認できる。
の外部と内部とに設けられているので、点検時収納ボッ
クス内で元弁のハンドルを手動操作しながら弁開度を確
認できる。
【０００９】
【実施例】図１乃至図３に本考案になるボンベ元弁作動
装置の一実施例を示す。
装置の一実施例を示す。
【００１０】各図中、ボンベ１は内部に半導体用材料ガ
スが充填され、箱状のボンベ収納ボックス２内に収納さ
れている。又、ボンベ１はボンベ収納ボックス２内にお
いてボンベ固定金具３により垂直状態に保持されてい
る。
スが充填され、箱状のボンベ収納ボックス２内に収納さ
れている。又、ボンベ１はボンベ収納ボックス２内にお
いてボンベ固定金具３により垂直状態に保持されてい
る。
【００１１】ボンベ１の上部には元弁４が取り付けられ
ている。この元弁４はハンドル４ａの回動により開閉す
る。
ている。この元弁４はハンドル４ａの回動により開閉す
る。
【００１２】５はアクチュエータボックスで、ボンベ収
納ボックス２の天板２ａ上面に取付けられている。この
アクチュエータボックス５の上方には元弁４の弁開度を
表示する第１の表示部６が設けられ、アクチュエータボ
ックス５の下方には元弁４の弁開度を表示する第２の表
示部７が設けられている。この第２の表示部７は天板２
ａを貫通してボンベ収納ボックス２内に突出している。
納ボックス２の天板２ａ上面に取付けられている。この
アクチュエータボックス５の上方には元弁４の弁開度を
表示する第１の表示部６が設けられ、アクチュエータボ
ックス５の下方には元弁４の弁開度を表示する第２の表
示部７が設けられている。この第２の表示部７は天板２
ａを貫通してボンベ収納ボックス２内に突出している。
【００１３】従って、作業者は第１の表示部６を見るこ
とにより、ボンベ収納ボックス２の外部から元弁４の弁
開度を確認できる。又、作業者はボンベ収納ボックス２
内で作業しているときは、第２の表示部７より元弁４の
弁開度を容易に確認できる。
とにより、ボンベ収納ボックス２の外部から元弁４の弁
開度を確認できる。又、作業者はボンベ収納ボックス２
内で作業しているときは、第２の表示部７より元弁４の
弁開度を容易に確認できる。
【００１４】上記第１，第２の表示部６，７は同様な構
成であり、後述するロータリアクチュエータ１５の出力
軸１５ａの上、下端に連結され外周に弁開度の目盛を有
する回転ドラム６ａ，７ａと、アクチュエータボックス
５の上面、天板２ａの下面に固定された指針６ｂ，７ｂ
とよりなる。
成であり、後述するロータリアクチュエータ１５の出力
軸１５ａの上、下端に連結され外周に弁開度の目盛を有
する回転ドラム６ａ，７ａと、アクチュエータボックス
５の上面、天板２ａの下面に固定された指針６ｂ，７ｂ
とよりなる。
【００１５】尚、回転ドラム６ａ，７ａの外周の目盛は
％表示であり、１００％の目盛が指針６ｂ，７ｂと一致
したとき元弁４が全開であることを表わし、０％の目盛
が指針６ｂ，７ｂと一致したとき元弁４が全閉であるこ
とを表わす。
％表示であり、１００％の目盛が指針６ｂ，７ｂと一致
したとき元弁４が全開であることを表わし、０％の目盛
が指針６ｂ，７ｂと一致したとき元弁４が全閉であるこ
とを表わす。
【００１６】２０はコントロールボックスで、ボンベ収
納ボックス２より離れた場所に設けられ、その前面には
ロータリアクチュエータ１５を弁閉駆動する際操作され
る弁閉スイッチ２０ａ及び各種スイッチが配設されてい
る。
納ボックス２より離れた場所に設けられ、その前面には
ロータリアクチュエータ１５を弁閉駆動する際操作され
る弁閉スイッチ２０ａ及び各種スイッチが配設されてい
る。
【００１７】コントロールボックス２０の内部は図４に
示すような構成となっている。
示すような構成となっている。
【００１８】コントロールボックス２０には空気源（図
示せず）から圧縮空気が供給される空気配管８と、排気
配管９とが配設されている。空気配管８には逆止弁１
０，減圧弁１１，スピードコントローラとしての可変絞
り１２，電磁弁１３が配設されている。又、電磁弁１３
の出口側に接続された配管１４はアクチュエータボック
ス５内に設けられたロータリアクチュエータ１５の閉弁
側給気口１５ｂに接続されている。
示せず）から圧縮空気が供給される空気配管８と、排気
配管９とが配設されている。空気配管８には逆止弁１
０，減圧弁１１，スピードコントローラとしての可変絞
り１２，電磁弁１３が配設されている。又、電磁弁１３
の出口側に接続された配管１４はアクチュエータボック
ス５内に設けられたロータリアクチュエータ１５の閉弁
側給気口１５ｂに接続されている。
【００１９】ロータリアクチュエータ１５内は出力軸１
５ａに設けられたベーン１５ｃにより右室１５ｄと左室
１５ｅに画成されている。右室１５ｄは閉弁側給気口１
５ｂを介して配管１４と連通しており、左室１５ｅは排
気口１５ｆを介して排気配管１６と連通している。
５ａに設けられたベーン１５ｃにより右室１５ｄと左室
１５ｅに画成されている。右室１５ｄは閉弁側給気口１
５ｂを介して配管１４と連通しており、左室１５ｅは排
気口１５ｆを介して排気配管１６と連通している。
【００２０】電磁弁１３は３ポート・２位置弁で、通常
排気配管９と配管１４とを連通し、後述するように励磁
されると空気配管８と配管１４とを連通するように切換
わる。電磁弁１３が切換わると空気源からの圧縮空気が
減圧弁１１により一定圧に減圧され、且つ可変絞り１２
で設定された一定流量とされてロータリアクチュエータ
１５の右室１５ｄに供給される。これにより、ベーン１
５ｃが左室１５ｅ側へ駆動され出力軸１５ａを弁閉方向
に駆動する。
排気配管９と配管１４とを連通し、後述するように励磁
されると空気配管８と配管１４とを連通するように切換
わる。電磁弁１３が切換わると空気源からの圧縮空気が
減圧弁１１により一定圧に減圧され、且つ可変絞り１２
で設定された一定流量とされてロータリアクチュエータ
１５の右室１５ｄに供給される。これにより、ベーン１
５ｃが左室１５ｅ側へ駆動され出力軸１５ａを弁閉方向
に駆動する。
【００２１】１７はＣＯ2 ユニットで、ＣＯ2 が充填さ
れたボンベを有し、空気源からの圧縮空気が供給できな
くなったとき、あるいは地震発生等の緊急時にボンベの
ＣＯ2 ガスが空気配管８より分岐した分岐配管１８を介
してロータリアクチュエータ１５に供給される。
れたボンベを有し、空気源からの圧縮空気が供給できな
くなったとき、あるいは地震発生等の緊急時にボンベの
ＣＯ2 ガスが空気配管８より分岐した分岐配管１８を介
してロータリアクチュエータ１５に供給される。
【００２２】尚、分岐配管１８には空気配管８に供給さ
れた空気源からの空気がＣＯ2 ユニット１７側へ流れな
いように制限する逆止弁１９が設けられている。
れた空気源からの空気がＣＯ2 ユニット１７側へ流れな
いように制限する逆止弁１９が設けられている。
【００２３】上記構成とされたロータリアクチュエータ
１５の出力軸１５ａは図２に示すボンベ収納ボックス２
の天板２ａを貫通しボンベ収納ボックス２内に突出して
おり、その先端には第２の表示部７の回転ドラム７ａが
固定されている。又ロータリアクチュエータ１５の出力
軸１５ａにはギヤ２１が嵌合しており、出力軸１５ａの
回転駆動力はギヤ２１と、このギヤ２１に噛合するギヤ
２２を介して駆動ギヤ２３に伝達される。
１５の出力軸１５ａは図２に示すボンベ収納ボックス２
の天板２ａを貫通しボンベ収納ボックス２内に突出して
おり、その先端には第２の表示部７の回転ドラム７ａが
固定されている。又ロータリアクチュエータ１５の出力
軸１５ａにはギヤ２１が嵌合しており、出力軸１５ａの
回転駆動力はギヤ２１と、このギヤ２１に噛合するギヤ
２２を介して駆動ギヤ２３に伝達される。
【００２４】駆動ギヤ２３はアクチュエータボックス５
内のベース５ａ，５ｂ間で回転自在に支承され、上下方
向にガタツキのない状態で支持されている。又、駆動ギ
ヤ２３は中央を上下方向に貫通するスプライン孔２３ａ
を有する。このスプライン孔２３ａには外周がスプライ
ン形状とされたロッド２４が摺動自在に挿通されてい
る。ロッド２４は下端が天板２ａを貫通しボンベ収納ボ
ックス２内に突出しており、ボンベ１の高さに併せてロ
ッド２４の突出長さを調整できるようになっている。
内のベース５ａ，５ｂ間で回転自在に支承され、上下方
向にガタツキのない状態で支持されている。又、駆動ギ
ヤ２３は中央を上下方向に貫通するスプライン孔２３ａ
を有する。このスプライン孔２３ａには外周がスプライ
ン形状とされたロッド２４が摺動自在に挿通されてい
る。ロッド２４は下端が天板２ａを貫通しボンベ収納ボ
ックス２内に突出しており、ボンベ１の高さに併せてロ
ッド２４の突出長さを調整できるようになっている。
【００２５】又、ロッド２４下端はピン２４ａを介して
自在継手２５の上端２５ａと連結されており、自在継手
２５の下端２５ｂには継手２６が嵌合している。
自在継手２５の上端２５ａと連結されており、自在継手
２５の下端２５ｂには継手２６が嵌合している。
【００２６】継手２６は上部が自在継手２５の下端２５
ｂに嵌合し、ピン２６ａを介して連結されている。又、
継手２６の下部は手動操作ハンドル２７の軸孔２７ａに
嵌合しピン２７ｂを介して連結されている。
ｂに嵌合し、ピン２６ａを介して連結されている。又、
継手２６の下部は手動操作ハンドル２７の軸孔２７ａに
嵌合しピン２７ｂを介して連結されている。
【００２７】さらに、手動操作ハンドル２７は元弁４の
ハンドル４ａ外周にチャッキングされたチャック２８に
ピン２８ａを介して連結されている。従って、ロータリ
アクチュエータ１５の駆動力は上記構成の伝達機構（ギ
ヤ２１〜２３，ロッド２４，自在継手２５，継手２６，
手動操作ハンドル２７，チャック２８よりなる）２９を
介して元弁４のハンドル４ａに伝達され元弁４を弁閉す
る。
ハンドル４ａ外周にチャッキングされたチャック２８に
ピン２８ａを介して連結されている。従って、ロータリ
アクチュエータ１５の駆動力は上記構成の伝達機構（ギ
ヤ２１〜２３，ロッド２４，自在継手２５，継手２６，
手動操作ハンドル２７，チャック２８よりなる）２９を
介して元弁４のハンドル４ａに伝達され元弁４を弁閉す
る。
【００２８】通常、弁閉操作する際はコントロールボッ
クス２０の弁閉スイッチ２０ａが押下されると、図４に
示す電磁弁１３が励磁されて切換わり、空気源からの圧
縮空気が空気配管８より配管１４を介してロータリアク
チュエータ１５の右室１５ｄに供給される。これにより
ロータリアクチュエータ１５の出力軸１５ａが閉弁方向
に回動するよう駆動される。
クス２０の弁閉スイッチ２０ａが押下されると、図４に
示す電磁弁１３が励磁されて切換わり、空気源からの圧
縮空気が空気配管８より配管１４を介してロータリアク
チュエータ１５の右室１５ｄに供給される。これにより
ロータリアクチュエータ１５の出力軸１５ａが閉弁方向
に回動するよう駆動される。
【００２９】このロータリアクチュエータ１５の駆動力
は前述した伝達機構２９を介して元弁４のハンドル４ａ
に伝達されて、元弁４は弁閉する。この場合、ボンベ収
納ボックス２の天板２ａに設けられたアクチュエータボ
ックス５の第１の表示部６により元弁４の弁開度を外部
から確認できる。
は前述した伝達機構２９を介して元弁４のハンドル４ａ
に伝達されて、元弁４は弁閉する。この場合、ボンベ収
納ボックス２の天板２ａに設けられたアクチュエータボ
ックス５の第１の表示部６により元弁４の弁開度を外部
から確認できる。
【００３０】ここで、点検時の操作について説明する。
点検時又はボンベ交換時は、元弁４のハンドル４ａにチ
ャック２８が取付けられたまま、手動操作ハンドル２７
を回すことにより元弁４を弁閉又は弁開操作する。
点検時又はボンベ交換時は、元弁４のハンドル４ａにチ
ャック２８が取付けられたまま、手動操作ハンドル２７
を回すことにより元弁４を弁閉又は弁開操作する。
【００３１】その際に作業者はボンベ収納ボックス２内
に入って手動操作ハンドル２７を回すことになる。しか
し、ボンベ収納ボックス２内にも図３に示す如く第２の
表示部７が設けられているので、手動操作ハンドル２７
を回わしながら回転ドラム７ａの目盛を見ることによ
り、その場で元弁４の弁開度を確認することができる。
に入って手動操作ハンドル２７を回すことになる。しか
し、ボンベ収納ボックス２内にも図３に示す如く第２の
表示部７が設けられているので、手動操作ハンドル２７
を回わしながら回転ドラム７ａの目盛を見ることによ
り、その場で元弁４の弁開度を確認することができる。
【００３２】従って、手動操作で元弁４を弁開、弁閉操
作しても、ボンベ収納ボックス２の外に出ることなく、
弁開度がわかるので点検操作が容易となりメンテナンス
性が向上している。
作しても、ボンベ収納ボックス２の外に出ることなく、
弁開度がわかるので点検操作が容易となりメンテナンス
性が向上している。
【００３３】尚、上記実施例では第１，第２の表示部
６，７がロータリアクチュエータ１５の上、下部分に設
けられているが、これに限らず、例えば第２の表示部７
をボンベ収納ボックス２内の側面等に設けても良いのは
勿論である。又、表示部６，７の構成を例えば液晶表示
等によりデジタル的に表示する構成としても良い。
６，７がロータリアクチュエータ１５の上、下部分に設
けられているが、これに限らず、例えば第２の表示部７
をボンベ収納ボックス２内の側面等に設けても良いのは
勿論である。又、表示部６，７の構成を例えば液晶表示
等によりデジタル的に表示する構成としても良い。
【００３４】
【考案の効果】上述の如く、本考案になるボンベ元弁作
動装置は、ボンベを開閉する元弁の弁開度を表示する表
示部が収納ボックスの外部だけでなく内部にも設けられ
ているので、点検時収納ボックス内で元弁を弁開又は弁
閉操作しながらその場で弁開度を確認できる。そのた
め、点検作業が従来よりも容易に行えメンテナンス性の
向上が図られている等の特長を有する。
動装置は、ボンベを開閉する元弁の弁開度を表示する表
示部が収納ボックスの外部だけでなく内部にも設けられ
ているので、点検時収納ボックス内で元弁を弁開又は弁
閉操作しながらその場で弁開度を確認できる。そのた
め、点検作業が従来よりも容易に行えメンテナンス性の
向上が図られている等の特長を有する。
【図１】本考案になるボンベ元弁作動装置の一実施例の
斜視図である。
斜視図である。
【図２】アクチュエータボックス及び伝達機構を説明す
るための拡大図である。
るための拡大図である。
【図３】アクチュエータボックスの上、下に設けられた
表示部を示す拡大正面図である。
表示部を示す拡大正面図である。
【図４】コントロールボックスの内部構成及びロータリ
アクチュエータの内部構成を説明するための図である。
アクチュエータの内部構成を説明するための図である。
１ ボンベ ２ ボンベ収納ボックス ４ 元弁 ５ アクチュエータボックス ６ 第１の表示部 ７ 第２の表示部 １５ ロータリアクチュエータ ２０ コントロールボックス ２５ 自在継手 ２７ 手動操作ハンドル ２８ チャック ２９ 伝達機構
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスが封入され、収納ボックス内に収納
されたボンベと、前記 ボンベに取付けられボンベを開又は閉とする元弁
と、前記 元弁のハンドルに嵌合するチャックを有する伝達機
構と、 前記収納ボックスに設けられ、前記伝達機構を介して前
記収納ボックス内の前記ハンドルに弁閉方向の駆動力を
伝達するアクチュエータと、 前記収納ボックスの外部に設けられ、前記元弁の弁開度
を表示する第１の表示部と、 前記収納ボックス内に設けられ前記元弁の弁開度を表示
する第２の表示部と、 よりなるボンベ元弁作動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991016372U JP2502211Y2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ボンベ元弁作動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991016372U JP2502211Y2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ボンベ元弁作動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04111978U JPH04111978U (ja) | 1992-09-29 |
| JP2502211Y2 true JP2502211Y2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=31903393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991016372U Expired - Lifetime JP2502211Y2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ボンベ元弁作動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2502211Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185368A (ja) * | 1991-04-30 | 1994-07-05 | Ind Technol Res Inst | ２サイクルエンジン用の電磁弁作動式排気補助装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100945279B1 (ko) * | 2007-12-06 | 2010-03-03 | 가부시키가이샤 간또 엘 엔지니어링 | 유량 제어장치 |
| KR100985575B1 (ko) * | 2008-05-29 | 2010-10-06 | 주식회사 케이씨텍 | 고압가스통의 개폐밸브 차단기 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP1991016372U patent/JP2502211Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185368A (ja) * | 1991-04-30 | 1994-07-05 | Ind Technol Res Inst | ２サイクルエンジン用の電磁弁作動式排気補助装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04111978U (ja) | 1992-09-29 |
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