JPH06328042A - 超音波振動アクチュエータ - Google Patents
超音波振動アクチュエータInfo
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- JPH06328042A JPH06328042A JP5125839A JP12583993A JPH06328042A JP H06328042 A JPH06328042 A JP H06328042A JP 5125839 A JP5125839 A JP 5125839A JP 12583993 A JP12583993 A JP 12583993A JP H06328042 A JPH06328042 A JP H06328042A
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- Japan
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- actuator
- keel
- ultrasonic
- plate
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- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】超音波振動アクチュエータに関し、効率がよ
く、医療用又は美容用などにも使用できる小型の超音波
振動アクチュエータを提供することを目的とする。 【構成】弾性振動板１１と、弾性振動板の両面に取り付
けられたキール板１２ａ，１２ｂと、各キール板の表面
に取り付けられた超音波振動子１３ａ，１３ｂとを有
し、各キール板の長さを互いに異ならせて構成される。
く、医療用又は美容用などにも使用できる小型の超音波
振動アクチュエータを提供することを目的とする。 【構成】弾性振動板１１と、弾性振動板の両面に取り付
けられたキール板１２ａ，１２ｂと、各キール板の表面
に取り付けられた超音波振動子１３ａ，１３ｂとを有
し、各キール板の長さを互いに異ならせて構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動アクチュエ
ータに関し、例えば、医療、美容、建築などの分野で利
用される。
ータに関し、例えば、医療、美容、建築などの分野で利
用される。
【０００２】
【従来の技術】従来より、超音波振動アクチュエータと
して、バイモルフ構造のアクチュエータが用いられてい
る。一般的なバイモルフ構造のアクチュエータは、シム
などと呼称される弾性振動板と、この弾性振動板の両側
の表面に互いに対称に取り付けられた圧電セラミックス
とからなる。各圧電セラミックスに対して、分極方向と
電界方向との関係が互いに逆となるように電圧を印加す
ることによって、弾性振動板が曲げ変形を起こし、比較
的大きな変位を取り出すことができる。
して、バイモルフ構造のアクチュエータが用いられてい
る。一般的なバイモルフ構造のアクチュエータは、シム
などと呼称される弾性振動板と、この弾性振動板の両側
の表面に互いに対称に取り付けられた圧電セラミックス
とからなる。各圧電セラミックスに対して、分極方向と
電界方向との関係が互いに逆となるように電圧を印加す
ることによって、弾性振動板が曲げ変形を起こし、比較
的大きな変位を取り出すことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のバイモ
ルフ構造のアクチュエータは、振動電圧を印加すること
によって比較的大きな振幅の振動を得ることができる
が、発生力が小さいため負荷を加えた場合に振幅が小さ
くなり、効率が悪い。
ルフ構造のアクチュエータは、振動電圧を印加すること
によって比較的大きな振幅の振動を得ることができる
が、発生力が小さいため負荷を加えた場合に振幅が小さ
くなり、効率が悪い。
【０００４】したがって、負荷に振動パワーを供給して
機械的な処理又は加工を行うためには、圧電セラミック
スに大きな電力を加える必要があり、そのため、圧電セ
ラミックス及び弾性振動板などが大きくなり、アクチュ
エータの全体が大型化してしまうという問題があった。
機械的な処理又は加工を行うためには、圧電セラミック
スに大きな電力を加える必要があり、そのため、圧電セ
ラミックス及び弾性振動板などが大きくなり、アクチュ
エータの全体が大型化してしまうという問題があった。
【０００５】そのため、工業用など大型であっても差し
支えのない用途には用いられているが、医療用又は美容
用などには大き過ぎて使用されていない。本発明は、上
述の問題に鑑み、効率がよく、医療用又は美容用などに
も使用できる小型の超音波振動アクチュエータを提供す
ることを目的とする。
支えのない用途には用いられているが、医療用又は美容
用などには大き過ぎて使用されていない。本発明は、上
述の問題に鑑み、効率がよく、医療用又は美容用などに
も使用できる小型の超音波振動アクチュエータを提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るア
クチュエータは、弾性振動板と、前記弾性振動板の両面
に取り付けられたキール板と、前記各キール板の表面に
取り付けられた超音波振動子とを有し、前記各キール板
の長さを互いに異ならせて構成される。
クチュエータは、弾性振動板と、前記弾性振動板の両面
に取り付けられたキール板と、前記各キール板の表面に
取り付けられた超音波振動子とを有し、前記各キール板
の長さを互いに異ならせて構成される。
【０００７】請求項２の発明に係るアクチュエータは、
前記キール板の厚さを互いに異ならせて構成される。請
求項３の発明に係るアクチュエータは、前記各超音波振
動子の厚さを互いに異ならせて構成される。
前記キール板の厚さを互いに異ならせて構成される。請
求項３の発明に係るアクチュエータは、前記各超音波振
動子の厚さを互いに異ならせて構成される。
【０００８】
【作用】キール板の長さ、キール板の厚さ、又は各超音
波振動子の厚さを互いに異ならせることによって、比対
称のバイモルフ構造、すなわち変形バイモルフ構造とも
いうべき構造となり、キール板によって縦波が生じ、負
荷への作用部に縦波が作用する。
波振動子の厚さを互いに異ならせることによって、比対
称のバイモルフ構造、すなわち変形バイモルフ構造とも
いうべき構造となり、キール板によって縦波が生じ、負
荷への作用部に縦波が作用する。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係る第１実施例のアクチュエ
ータ１の断面図、図２は図１のアクチュエータ１の平面
図、図３は超音波振動子１３ａ，１３ｂの分極方向と電
界方向の例を示す図、図４は弾性振動板１１の先端の作
用部ＥＦの振動状態を示す図である。
ータ１の断面図、図２は図１のアクチュエータ１の平面
図、図３は超音波振動子１３ａ，１３ｂの分極方向と電
界方向の例を示す図、図４は弾性振動板１１の先端の作
用部ＥＦの振動状態を示す図である。
【００１０】図１及び図２において、アクチュエータ１
は、弾性振動板１１、キール板１２ａ，１２ｂ、超音波
振動子１３ａ，１３ｂなどから構成されている。弾性振
動板１１は、ステンレス鋼板又は硬質の薄銅板などの金
属、又はエンジニアリングプラスチックなどからなり、
適当にしなやかに撓む弾性を有するものである。
は、弾性振動板１１、キール板１２ａ，１２ｂ、超音波
振動子１３ａ，１３ｂなどから構成されている。弾性振
動板１１は、ステンレス鋼板又は硬質の薄銅板などの金
属、又はエンジニアリングプラスチックなどからなり、
適当にしなやかに撓む弾性を有するものである。
【００１１】キール板１２ａ，１２ｂは、横波による変
位を縦波に変換するためのものであり、弾性振動板１１
とほぼ同様な板厚のステンレス鋼板（又はアルミニウ
ム、ジュラルミン）などからなり、且つ、一方のキール
板１２ａが他方のキール板１２ｂよりも差分ΔＬだけ長
くなっている。これらのキール板１２ａ，１２ｂは、弾
性振動板１１と弾性結合するように、構造用接着剤（例
えば３Ｍ社のアルミナ構造用接着剤スコッチウエルド）
又は銀ろう付けなどによって、弾性振動板１１の両側の
表面に強固に取り付けられている。
位を縦波に変換するためのものであり、弾性振動板１１
とほぼ同様な板厚のステンレス鋼板（又はアルミニウ
ム、ジュラルミン）などからなり、且つ、一方のキール
板１２ａが他方のキール板１２ｂよりも差分ΔＬだけ長
くなっている。これらのキール板１２ａ，１２ｂは、弾
性振動板１１と弾性結合するように、構造用接着剤（例
えば３Ｍ社のアルミナ構造用接着剤スコッチウエルド）
又は銀ろう付けなどによって、弾性振動板１１の両側の
表面に強固に取り付けられている。
【００１２】超音波振動子１３ａ，１３ｂは、例えばＰ
ＺＴ系の長方形状の圧電セラミックス板と金属板１２ｂ
とをはり合わせて構成された互いに同一の構造のもので
ある。これらの超音波振動子１３ａ，１３ｂは、図３に
よく示されているように、各キール板１２ａ，１２ｂの
表面にそれぞれの分極方向が同一の方向となるように配
置され、キール板１２ａ，１２ｂと同様な構造用接着剤
などによって接着されている。
ＺＴ系の長方形状の圧電セラミックス板と金属板１２ｂ
とをはり合わせて構成された互いに同一の構造のもので
ある。これらの超音波振動子１３ａ，１３ｂは、図３に
よく示されているように、各キール板１２ａ，１２ｂの
表面にそれぞれの分極方向が同一の方向となるように配
置され、キール板１２ａ，１２ｂと同様な構造用接着剤
などによって接着されている。
【００１３】上述のアクチュエータ１は、キール板１２
ａ，１２ｂの長さが互いに異なっているため、弾性振動
板１１に対して対称ではなく、変形バイモルフ構造とも
いうべき構造である。このような構造のアクチュエータ
１は、弾性振動板１１がキール板１２ａ，１２ｂで補強
されていることにより、弾性振動板１１が変位し難くな
り、且つ横波の一部が縦波に変換され、図４に示すよう
に弾性振動板１１の作用部ＥＦの先端（開放端）におい
て一方向にのみΔｘの変位を生じる。
ａ，１２ｂの長さが互いに異なっているため、弾性振動
板１１に対して対称ではなく、変形バイモルフ構造とも
いうべき構造である。このような構造のアクチュエータ
１は、弾性振動板１１がキール板１２ａ，１２ｂで補強
されていることにより、弾性振動板１１が変位し難くな
り、且つ横波の一部が縦波に変換され、図４に示すよう
に弾性振動板１１の作用部ＥＦの先端（開放端）におい
て一方向にのみΔｘの変位を生じる。
【００１４】したがって、超音波振動子１３ａ，１３ｂ
に対して、図３に示すように分極方向と電界方向との関
係が互いに逆となるように、例えば２０〜６０ｋＨｚの
振動電圧を印加することによって、弾性振動板１１の先
端に縦波が伝播されるとともに振動変位が生じ、先端に
おける発生力が大きくなって負荷を加えた場合にも振幅
が余り小さくならず、効率が良い。
に対して、図３に示すように分極方向と電界方向との関
係が互いに逆となるように、例えば２０〜６０ｋＨｚの
振動電圧を印加することによって、弾性振動板１１の先
端に縦波が伝播されるとともに振動変位が生じ、先端に
おける発生力が大きくなって負荷を加えた場合にも振幅
が余り小さくならず、効率が良い。
【００１５】アクチュエータ１の寸法について一例を挙
げると、弾性振動板１１の幅が２０〜４０ｍｍ、長さが
８０〜１５０ｍｍ、厚さが０．３〜０．５ｍｍである。
キール板１２ａ，１２ｂの長さの差分ΔＬは、例えば超
音波振動子１３ａ，１３ｂの振動波の波長λの４分の１
程度とするとよく、例えば波長λが２５ｍｍである場合
には差分ΔＬを７〜８ｍｍとするのがよい。
げると、弾性振動板１１の幅が２０〜４０ｍｍ、長さが
８０〜１５０ｍｍ、厚さが０．３〜０．５ｍｍである。
キール板１２ａ，１２ｂの長さの差分ΔＬは、例えば超
音波振動子１３ａ，１３ｂの振動波の波長λの４分の１
程度とするとよく、例えば波長λが２５ｍｍである場合
には差分ΔＬを７〜８ｍｍとするのがよい。
【００１６】このアクチュエータ１は、例えば化粧品の
塗布及び剥離に用いることができる。すなわち、例えば
顔又は手などにクリームを塗布する場合に、皮膚の表面
にクリームを適量載せた後、超音波振動子１３ａ，１３
ｂを振動させた状態で、弾性振動板１１の作用部ＥＦで
クリームを押しながら皮膚面上を移動させる。そうする
と、クリームが延ばされて塗布されるとともに、超音波
振動によってクリームが毛穴に入り込むなど、皮膚への
浸透性が極めて良好になるとともに、皮膚の皮下組織に
振動を与えて活性化させ、疲労回復などにも効果があ
る。
塗布及び剥離に用いることができる。すなわち、例えば
顔又は手などにクリームを塗布する場合に、皮膚の表面
にクリームを適量載せた後、超音波振動子１３ａ，１３
ｂを振動させた状態で、弾性振動板１１の作用部ＥＦで
クリームを押しながら皮膚面上を移動させる。そうする
と、クリームが延ばされて塗布されるとともに、超音波
振動によってクリームが毛穴に入り込むなど、皮膚への
浸透性が極めて良好になるとともに、皮膚の皮下組織に
振動を与えて活性化させ、疲労回復などにも効果があ
る。
【００１７】また、使用済のクリームを落とす場合、つ
まり所謂化粧落としを行う場合には、超音波振動子１３
ａ，１３ｂを振動させた状態で、作用部ＥＦの先端で皮
膚の表面を押しながら移動させる。そうすると、超音波
振動によって古いクリームが剥離され、容易に化粧落と
しを行うことができる。なお、皮膚の表面が乾燥してい
る場合には、超音波振動が効率よく皮膚に伝播するよう
に、作用部ＥＦに水又は油を掛けるとよい。
まり所謂化粧落としを行う場合には、超音波振動子１３
ａ，１３ｂを振動させた状態で、作用部ＥＦの先端で皮
膚の表面を押しながら移動させる。そうすると、超音波
振動によって古いクリームが剥離され、容易に化粧落と
しを行うことができる。なお、皮膚の表面が乾燥してい
る場合には、超音波振動が効率よく皮膚に伝播するよう
に、作用部ＥＦに水又は油を掛けるとよい。
【００１８】また、アクチュエータ１は、医療における
薬品、ステロイド、石膏などの塗布又は剥離、鋼材など
に生じた錆の錆落とし又は塗料落とし、建築における上
塗り材の剥離など、種々の用途に用いることができる。
なお、アクチュエータ１の実際に使用に当たっては、例
えば図１０に示すようにケース６１に収納することが操
作性の上から好ましい。
薬品、ステロイド、石膏などの塗布又は剥離、鋼材など
に生じた錆の錆落とし又は塗料落とし、建築における上
塗り材の剥離など、種々の用途に用いることができる。
なお、アクチュエータ１の実際に使用に当たっては、例
えば図１０に示すようにケース６１に収納することが操
作性の上から好ましい。
【００１９】上述のアクチュエータ１において、作用部
ＥＦの形状は種々変更することができる。図５は作用部
ＥＦ１の形状の例を示す図である。図５（ａ）は断面
図、図５（ｂ）は平面図である。
ＥＦの形状は種々変更することができる。図５は作用部
ＥＦ１の形状の例を示す図である。図５（ａ）は断面
図、図５（ｂ）は平面図である。
【００２０】図５に示す作用部ＥＦ１では、弾性振動板
１１の先端部に長穴５１が設けられ、且つ所定の角度α
だけ折り曲げられている。折り曲げ部分は滑らかなアー
ル状である。角度αは、通常、１〜４５°の範囲の角度
とされ、例えば２０°程度とされる。このような作用部
ＥＦ１とすると、クリームなどの塗布及び剥離が一層容
易である。
１１の先端部に長穴５１が設けられ、且つ所定の角度α
だけ折り曲げられている。折り曲げ部分は滑らかなアー
ル状である。角度αは、通常、１〜４５°の範囲の角度
とされ、例えば２０°程度とされる。このような作用部
ＥＦ１とすると、クリームなどの塗布及び剥離が一層容
易である。
【００２１】また、折り曲げ部分の外周を鏡面状に仕上
げておき、その面で塗布を行うことができる。この場合
に、折り曲げ部分を振動の腹にしておくと効率がよい。
上述の実施例において、超音波振動子１３ａ，１３ｂの
分極方向が互いに逆の方向に向くように配置し、電界方
向が互いに同一の方向となるように振動電圧を印加して
もよい。その場合には、各超音波振動子１３ａ，１３ｂ
の内側の面を共通電極にはできないから、超音波振動子
１３ａ，１３ｂをキール板１２ａ，１２ｂに接着するに
当たって絶縁しておくか、又は絶縁材料を用いる必要が
ある。
げておき、その面で塗布を行うことができる。この場合
に、折り曲げ部分を振動の腹にしておくと効率がよい。
上述の実施例において、超音波振動子１３ａ，１３ｂの
分極方向が互いに逆の方向に向くように配置し、電界方
向が互いに同一の方向となるように振動電圧を印加して
もよい。その場合には、各超音波振動子１３ａ，１３ｂ
の内側の面を共通電極にはできないから、超音波振動子
１３ａ，１３ｂをキール板１２ａ，１２ｂに接着するに
当たって絶縁しておくか、又は絶縁材料を用いる必要が
ある。
【００２２】図６は作用部ＥＦ２の形状の他の例を示す
断面図である。図６においては、弾性振動板１１の先端
部を屈曲させることによって図の下方へ平行に突出した
面部５２が形成されており、この面部５２に長穴５３が
設けられている。この作用部ＥＦ２によると、長穴５３
の周縁によってクリームなどを剥離することができ、剥
離したクリームが飛散することなく長穴５３内に溜めら
れる。
断面図である。図６においては、弾性振動板１１の先端
部を屈曲させることによって図の下方へ平行に突出した
面部５２が形成されており、この面部５２に長穴５３が
設けられている。この作用部ＥＦ２によると、長穴５３
の周縁によってクリームなどを剥離することができ、剥
離したクリームが飛散することなく長穴５３内に溜めら
れる。
【００２３】図７は本発明に係る第２実施例のアクチュ
エータ１ａの断面図である。アクチュエータ１ａは、弾
性振動板２１、キール板２２ａ，２２ｂ、超音波振動子
２３ａ，２３ｂなどから構成されている。
エータ１ａの断面図である。アクチュエータ１ａは、弾
性振動板２１、キール板２２ａ，２２ｂ、超音波振動子
２３ａ，２３ｂなどから構成されている。
【００２４】これらの部材の材質及び機能は上述のアク
チュエータ１と同様であるが、アクチュエータ１と相違
する点は、キール板２２ａ，２２ｂの長さが互いに同一
であり、且つこれらの厚さｔ１，ｔ２が互いに相違する
ことである。つまり、一方のキール板２２ａの厚さｔ１
が、他方のキール板２２ｂの厚さｔ２よりも大きく、厚
さにΔｔ（＝ｔ１−ｔ２）の差異がある。
チュエータ１と同様であるが、アクチュエータ１と相違
する点は、キール板２２ａ，２２ｂの長さが互いに同一
であり、且つこれらの厚さｔ１，ｔ２が互いに相違する
ことである。つまり、一方のキール板２２ａの厚さｔ１
が、他方のキール板２２ｂの厚さｔ２よりも大きく、厚
さにΔｔ（＝ｔ１−ｔ２）の差異がある。
【００２５】すなわち、上述のアクチュエータ１が長さ
の差分ΔＬによって変形バイモルフ構造となっていた
が、このアクチュエータ１ａは、厚さの差分Δｔによっ
て変形バイモルフ構造となっているのである。
の差分ΔＬによって変形バイモルフ構造となっていた
が、このアクチュエータ１ａは、厚さの差分Δｔによっ
て変形バイモルフ構造となっているのである。
【００２６】このアクチュエータ１ａにおいても、アク
チュエータ１と同様に、作用部ＥＦ３において変位と縦
波が生じ、負荷に振動パワーを供給して処理又は加工を
効率よく行うことができる。アクチュエータ１ａは、ア
クチュエータ１と比較すると、キール板２２ａが厚くな
るために若干効率の点で不利であるが、弾性振動板２１
の長さを短くして小型にすることができ、また大出力を
取り出せる利点がある。
チュエータ１と同様に、作用部ＥＦ３において変位と縦
波が生じ、負荷に振動パワーを供給して処理又は加工を
効率よく行うことができる。アクチュエータ１ａは、ア
クチュエータ１と比較すると、キール板２２ａが厚くな
るために若干効率の点で不利であるが、弾性振動板２１
の長さを短くして小型にすることができ、また大出力を
取り出せる利点がある。
【００２７】上述の実施例において、音響Ｑの互いに異
なる材料によってキール板２２ａ，２２ｂを作成しても
よい。図８は本発明に係る第３実施例のアクチュエータ
１ｂの断面図である。
なる材料によってキール板２２ａ，２２ｂを作成しても
よい。図８は本発明に係る第３実施例のアクチュエータ
１ｂの断面図である。
【００２８】アクチュエータ１ｂは、弾性振動板３１、
キール板３２ａ，３２ｂ、超音波振動子３３ａ，３３ｂ
などから構成されている。これらの部材の材質及び機能
は上述のアクチュエータ１と同様であるが、アクチュエ
ータ１と相違する点は、キール板３２ａ，３２ｂの長さ
が互いに同一であり、且つ、超音波振動子３３ａ，３３
ｂの厚さｕ１，ｕ２が互いに相違することである。つま
り、一方の超音波振動子３３ａの厚さｕ１が、他方の超
音波振動子３３ｂの厚さｕ２よりも大きく、厚さにΔｕ
（＝ｕ１−ｕ２）の差異がある。
キール板３２ａ，３２ｂ、超音波振動子３３ａ，３３ｂ
などから構成されている。これらの部材の材質及び機能
は上述のアクチュエータ１と同様であるが、アクチュエ
ータ１と相違する点は、キール板３２ａ，３２ｂの長さ
が互いに同一であり、且つ、超音波振動子３３ａ，３３
ｂの厚さｕ１，ｕ２が互いに相違することである。つま
り、一方の超音波振動子３３ａの厚さｕ１が、他方の超
音波振動子３３ｂの厚さｕ２よりも大きく、厚さにΔｕ
（＝ｕ１−ｕ２）の差異がある。
【００２９】すなわち、このアクチュエータ１ｂは、超
音波振動子３３ａ，３３ｂの厚さの差分Δｕによって変
形バイモルフ構造となっているのである。このアクチュ
エータ１ｂにおいても、アクチュエータ１と同様に、作
用部ＥＦ４において変位と縦波が生じ、負荷に振動パワ
ーを供給して処理又は加工を効率よく行うことができ
る。アクチュエータ１ｂは、アクチュエータ１と比較す
ると、弾性振動板３１の長さを短くして全体を小型化す
ることができる。
音波振動子３３ａ，３３ｂの厚さの差分Δｕによって変
形バイモルフ構造となっているのである。このアクチュ
エータ１ｂにおいても、アクチュエータ１と同様に、作
用部ＥＦ４において変位と縦波が生じ、負荷に振動パワ
ーを供給して処理又は加工を効率よく行うことができ
る。アクチュエータ１ｂは、アクチュエータ１と比較す
ると、弾性振動板３１の長さを短くして全体を小型化す
ることができる。
【００３０】図９は本発明に係る第４実施例のアクチュ
エータ１ｃの平面図である。アクチュエータ１ｃは、弾
性振動板４１、キール板４２ａ，４２ｂ、超音波振動子
４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆなどから構成されている。
エータ１ｃの平面図である。アクチュエータ１ｃは、弾
性振動板４１、キール板４２ａ，４２ｂ、超音波振動子
４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆなどから構成されている。
【００３１】これらの部材の材質及び機能は上述のアク
チュエータ１と同様であるが、アクチュエータ１と相違
する点は、超音波振動子４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆが、そ
れぞれ円形のものであり、一方の面に３個づつ並べて配
置されていることである。これらの超音波振動子４３ａ
〜ｃ，４３ｄ〜ｆは、それぞれ並列に接続され、それぞ
れ同一の振動電圧が印加されて駆動される。
チュエータ１と同様であるが、アクチュエータ１と相違
する点は、超音波振動子４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆが、そ
れぞれ円形のものであり、一方の面に３個づつ並べて配
置されていることである。これらの超音波振動子４３ａ
〜ｃ，４３ｄ〜ｆは、それぞれ並列に接続され、それぞ
れ同一の振動電圧が印加されて駆動される。
【００３２】図１０はケースに収容されたアクチュエー
タ１ｄを示す断面図である。図１０のアクチュエータ１
ｄは、図１に示すアクチュエータ１を、クッションゴム
６２，６３などによって浮遊した状態でケース６１内に
収容し、口部にシリコンゴム６４を注入して密封し、超
音波振動子１３ａ，１３ｂへの駆動電源を供給するため
のリード線６５をケース６１から引き出したものであ
る。
タ１ｄを示す断面図である。図１０のアクチュエータ１
ｄは、図１に示すアクチュエータ１を、クッションゴム
６２，６３などによって浮遊した状態でケース６１内に
収容し、口部にシリコンゴム６４を注入して密封し、超
音波振動子１３ａ，１３ｂへの駆動電源を供給するため
のリード線６５をケース６１から引き出したものであ
る。
【００３３】このアクチュエータ１ｄによると、ケース
６１を手で握って簡便に使用することができる。上述の
実施例のアクチュエータ１〜１ｄを、化粧落としやクリ
ームの塗布などの美容用に使用する際に、皮膚と弾性振
動板１１との間に電圧を印加しておくことによって、電
圧還元法による還元作用によって皮膚の清浄化及び活性
化が図られる。
６１を手で握って簡便に使用することができる。上述の
実施例のアクチュエータ１〜１ｄを、化粧落としやクリ
ームの塗布などの美容用に使用する際に、皮膚と弾性振
動板１１との間に電圧を印加しておくことによって、電
圧還元法による還元作用によって皮膚の清浄化及び活性
化が図られる。
【００３４】例えば、適当な直流電圧の一方の電極をク
リップなどを利用して耳たぶに接続し、他方の電極をア
クチュエータ１ｄの弾性振動板１１に接続しておくと、
アクチュエータ１ｄを顔に使用するときに皮膚と弾性振
動板１１との間に電圧が印加されることとなり、一層の
美容効果が発揮される。この場合に、弾性振動板１１に
金又は銀などによるメッキを施しておくことによって、
これらの金属による触媒作用が発揮される。顔以外の手
足などの皮膚に対しても同様である。
リップなどを利用して耳たぶに接続し、他方の電極をア
クチュエータ１ｄの弾性振動板１１に接続しておくと、
アクチュエータ１ｄを顔に使用するときに皮膚と弾性振
動板１１との間に電圧が印加されることとなり、一層の
美容効果が発揮される。この場合に、弾性振動板１１に
金又は銀などによるメッキを施しておくことによって、
これらの金属による触媒作用が発揮される。顔以外の手
足などの皮膚に対しても同様である。
【００３５】上述の実施例において、第１〜３実施例の
構造を互いに適宜組み合わせて変形バイモルフ構造とし
てもよい。また、超音波振動子の形状及び個数、作用部
ＥＦの形状などとの組み合わせも任意である。その他、
弾性振動板、キール板、又は超音波振動子の材質、形
状、寸法、個数などは、本発明の主旨に沿って上述以外
に種々変更することができる。
構造を互いに適宜組み合わせて変形バイモルフ構造とし
てもよい。また、超音波振動子の形状及び個数、作用部
ＥＦの形状などとの組み合わせも任意である。その他、
弾性振動板、キール板、又は超音波振動子の材質、形
状、寸法、個数などは、本発明の主旨に沿って上述以外
に種々変更することができる。
【００３６】本発明の変形バイモルフ構造による超音波
振動アクチュエータは、医療、美容、健康、建築、金属
加工など、種々の用途に適用することができる。
振動アクチュエータは、医療、美容、健康、建築、金属
加工など、種々の用途に適用することができる。
【００３７】
【発明の効果】本発明によると、効率がよく、医療用又
は美容用などにも使用できる小型の超音波振動アクチュ
エータを提供することができる。
は美容用などにも使用できる小型の超音波振動アクチュ
エータを提供することができる。
【図１】本発明に係る第１実施例のアクチュエータの断
面図である。
面図である。
【図２】図１のアクチュエータの平面図である。
【図３】超音波振動子の分極方向と電界方向の例を示す
図である。
図である。
【図４】弾性振動板の先端の作用部ＥＦの振動状態を示
す図である。
す図である。
【図５】作用部の形状の例を示す図である。
【図６】作用部の形状の他の例を示す断面図である。
【図７】本発明に係る第２実施例のアクチュエータの断
面図である。
面図である。
【図８】本発明に係る第３実施例のアクチュエータの断
面図である。
面図である。
【図９】本発明に係る第４実施例のアクチュエータの平
面図である。
面図である。
【図１０】ケースに収容されたアクチュエータを示す断
面図である。
面図である。
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ アクチュエータ（超音波
振動アクチュエータ） １１，２１，３１，４１ 弾性振動板 １２ａ，１２ｂ キール板 １３ａ，１３ｂ 超音波振動子 ２２ａ，２２ｂ キール板 ２３ａ，２３ｂ 超音波振動子 ３２ａ，３２ｂ キール板 ３３ａ，３３ｂ 超音波振動子 ４２ａ，４２ｂ キール板 ４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆ 超音波振動子
振動アクチュエータ） １１，２１，３１，４１ 弾性振動板 １２ａ，１２ｂ キール板 １３ａ，１３ｂ 超音波振動子 ２２ａ，２２ｂ キール板 ２３ａ，２３ｂ 超音波振動子 ３２ａ，３２ｂ キール板 ３３ａ，３３ｂ 超音波振動子 ４２ａ，４２ｂ キール板 ４３ａ〜ｃ，４３ｄ〜ｆ 超音波振動子
Claims (3)
- 【請求項１】弾性振動板と、前記弾性振動板の両面に取
り付けられたキール板と、前記各キール板の表面に取り
付けられた超音波振動子とを有し、 前記各キール板の長さを互いに異ならせたことを特徴と
する超音波振動アクチュエータ。 - 【請求項２】弾性振動板と、前記弾性振動板の両面に取
り付けられたキール板と、前記各キール板の表面に取り
付けられた超音波振動子とを有し、 前記キール板の厚さを互いに異ならせたことを特徴とす
る超音波振動アクチュエータ。 - 【請求項３】弾性振動板と、前記弾性振動板の両面に取
り付けられたキール板と、前記各キール板の表面に取り
付けられた超音波振動子とを有し、 前記各超音波振動子の厚さを互いに異ならせたことを特
徴とする超音波振動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5125839A JPH06328042A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 超音波振動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5125839A JPH06328042A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 超音波振動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06328042A true JPH06328042A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=14920223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5125839A Pending JPH06328042A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | 超音波振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06328042A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000060927A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-02-29 | Ya Man Ltd | 超音波振動アクチュエータ |
| JP2004520860A (ja) * | 2000-08-09 | 2004-07-15 | ブライアン・ディ・ゼリクソン | 皮膚の剥脱システム及び剥脱方法 |
| JP2006230942A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波美容器 |
| JP2006238933A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Takara Belmont Co Ltd | 超音波美顔器 |
| JP2010538593A (ja) * | 2007-09-03 | 2010-12-09 | アルギロン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 曲げ変換器要素ならびに曲げ変換器モジュール |
| US8052662B2 (en) | 1999-08-09 | 2011-11-08 | Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. | Skin abrasion system and method |
| JP2014023708A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Tescom:Kk | 美容装置 |
-
1993
- 1993-05-27 JP JP5125839A patent/JPH06328042A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9005173B2 (en) | 1999-08-09 | 2015-04-14 | Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. | Skin abrasion system and method |
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| JP4691636B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2011-06-01 | 本多電子株式会社 | 超音波美容器 |
| JP2010538593A (ja) * | 2007-09-03 | 2010-12-09 | アルギロン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 曲げ変換器要素ならびに曲げ変換器モジュール |
| KR101522750B1 (ko) * | 2007-09-03 | 2015-05-26 | 존슨 매세이 카탈리스츠 (저머니) 게엠베하 | 벤딩 액추에이터 소자 및 벤딩 액추에이터 모듈 |
| JP2014023708A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Tescom:Kk | 美容装置 |
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