JPH06310918A - 真空気密型方向性結合器 - Google Patents
真空気密型方向性結合器Info
- Publication number
- JPH06310918A JPH06310918A JP9632793A JP9632793A JPH06310918A JP H06310918 A JPH06310918 A JP H06310918A JP 9632793 A JP9632793 A JP 9632793A JP 9632793 A JP9632793 A JP 9632793A JP H06310918 A JPH06310918 A JP H06310918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- waveguide
- outer conductor
- directional coupler
- coupling hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Waveguide Connection Structure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、真空気密性が安定に維持され、
信頼性の高い真空気密型方向性結合器を提供することを
目的とする。 【構成】 この発明は、導波管11の高周波結合孔12
の外側に外導体カバー14が真空を保って設けられ、外
導体延長部分18,19に結合ループ15の内導体1
6,17が絶縁スペーサ24,25により電気的に絶縁
され且つ真空気密を保って保持され、絶縁スペーサが結
合孔12から見通せないように構成されている真空気密
型方向性結合器である。
信頼性の高い真空気密型方向性結合器を提供することを
目的とする。 【構成】 この発明は、導波管11の高周波結合孔12
の外側に外導体カバー14が真空を保って設けられ、外
導体延長部分18,19に結合ループ15の内導体1
6,17が絶縁スペーサ24,25により電気的に絶縁
され且つ真空気密を保って保持され、絶縁スペーサが結
合孔12から見通せないように構成されている真空気密
型方向性結合器である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は真空気密型方向性結合
器に係わり、特にその真空気密を安定に保持するための
構造の改良に関する。
器に係わり、特にその真空気密を安定に保持するための
構造の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】導波管に設けられている方向性結合器
は、導波管の中をある方向に進んでいる高周波電力に比
例した高周波出力を取り出すものである。導波管内を進
む高周波電力の大きさによっては、導波管内に不活性ガ
スを加圧して注入したり、導波管内を真空に保たないと
導波管内で放電を起こす可能性がある。そのために、方
向性結合器を付加した導波管を真空気密構造にする必要
がある。
は、導波管の中をある方向に進んでいる高周波電力に比
例した高周波出力を取り出すものである。導波管内を進
む高周波電力の大きさによっては、導波管内に不活性ガ
スを加圧して注入したり、導波管内を真空に保たないと
導波管内で放電を起こす可能性がある。そのために、方
向性結合器を付加した導波管を真空気密構造にする必要
がある。
【0003】従来の真空気密型方向性結合器は、図5、
及び図6に示すように、矩形導波管11の幅広面の一部
に形成された高周波結合孔12に対応する外壁に、セラ
ミックス絶縁板13がろう接により気密封着されてい
る。そして、この方向性結合器は、結合孔12及び絶縁
板13を覆うように、略カップ状の外導体カバー14が
導波管の外壁に電気的に短絡して取り付けられている。
カップ状外導体カバー14の内側には、結合孔12から
漏れ出る高周波成分と結合する結合ループ15、この結
合ループの両端部にそれぞれ接続されて外方に延長され
た同軸線路を構成する内導体16,17、それらを同軸
的に取り巻く外導体延長部18,19、これら内導体及
び外導体延長部の絶縁を保持するように機械的に嵌合さ
れた絶縁樹脂スペーサ20,21、結合ループの中間部
を外導体カバーの底部に電気的に短絡し且つこれを機械
的に支持する短絡支持部22を備えている。
及び図6に示すように、矩形導波管11の幅広面の一部
に形成された高周波結合孔12に対応する外壁に、セラ
ミックス絶縁板13がろう接により気密封着されてい
る。そして、この方向性結合器は、結合孔12及び絶縁
板13を覆うように、略カップ状の外導体カバー14が
導波管の外壁に電気的に短絡して取り付けられている。
カップ状外導体カバー14の内側には、結合孔12から
漏れ出る高周波成分と結合する結合ループ15、この結
合ループの両端部にそれぞれ接続されて外方に延長され
た同軸線路を構成する内導体16,17、それらを同軸
的に取り巻く外導体延長部18,19、これら内導体及
び外導体延長部の絶縁を保持するように機械的に嵌合さ
れた絶縁樹脂スペーサ20,21、結合ループの中間部
を外導体カバーの底部に電気的に短絡し且つこれを機械
的に支持する短絡支持部22を備えている。
【0004】こうして、導波管内を加圧した不活性ガス
雰囲気、又は真空状態に保って動作させることができる
とともに、結合ループを結合孔から漏れ出る高周波電界
及びその電界によって発生する磁界に結合させることに
よって、同軸線路から矩形導波管内の進行波、反射波の
両高周波電力に比例する高周波出力を選択的に取り出す
ことができる。
雰囲気、又は真空状態に保って動作させることができる
とともに、結合ループを結合孔から漏れ出る高周波電界
及びその電界によって発生する磁界に結合させることに
よって、同軸線路から矩形導波管内の進行波、反射波の
両高周波電力に比例する高周波出力を選択的に取り出す
ことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図5及び図6に示すよ
うな従来構造によると、万一、導波管内で高周波放電が
発生すると、導波管の真空気密を保持している絶縁板が
放電によるプラズマの直接衝撃を受けやすい。このプラ
ズマ衝撃により、絶縁板にピンホールなどの真空気密破
れが発生しやすい。この発明は、以上のような不都合を
解決し、真空気密性が安定に維持され、信頼性の高い真
空気密型方向性結合器を提供することを目的とする。
うな従来構造によると、万一、導波管内で高周波放電が
発生すると、導波管の真空気密を保持している絶縁板が
放電によるプラズマの直接衝撃を受けやすい。このプラ
ズマ衝撃により、絶縁板にピンホールなどの真空気密破
れが発生しやすい。この発明は、以上のような不都合を
解決し、真空気密性が安定に維持され、信頼性の高い真
空気密型方向性結合器を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、導波管の結
合孔の外側に外導体カバーが真空を保って設けられ、外
導体の延長部分に結合ループの内導体が絶縁スペーサに
より電気的に絶縁され且つ真空気密を保って保持され、
絶縁スペーサが結合孔から見通せないように構成されて
いる真空気密型方向性結合器である。
合孔の外側に外導体カバーが真空を保って設けられ、外
導体の延長部分に結合ループの内導体が絶縁スペーサに
より電気的に絶縁され且つ真空気密を保って保持され、
絶縁スペーサが結合孔から見通せないように構成されて
いる真空気密型方向性結合器である。
【0007】
【作用】この発明によれば、導波管内で放電が起って
も、それによるプラズマが真空気密を保持している絶縁
体を衝撃することがなく、結合ループに接続された内、
外導体を真空気密に絶縁している絶縁スペーサの真空気
密破れが起るおそれがほとんどない。安定した信頼性の
高い動作が維持される。
も、それによるプラズマが真空気密を保持している絶縁
体を衝撃することがなく、結合ループに接続された内、
外導体を真空気密に絶縁している絶縁スペーサの真空気
密破れが起るおそれがほとんどない。安定した信頼性の
高い動作が維持される。
【0008】
【実施例】以下図面を参照してその実施例を説明する。
なお同一部分は同一符号であらわす。図1乃至図3に示
す実施例は、矩形導波管の幅広面の外壁に、外導体カバ
ー14が接合部23で電気的に短絡され且つ真空気密に
封止されている。そして、同軸線路を構成する内導体1
6,17、及び外導体延長部18,19の間に、セラミ
ックス製の絶縁スペーサ24,25が真空気密に接合さ
れている。さらに、外導体カバー14の内部に設けられ
る結合ループ26は、高周波結合孔12から絶縁スペー
サ24,25が直接見通せない寸法及び形状に定められ
ている。
なお同一部分は同一符号であらわす。図1乃至図3に示
す実施例は、矩形導波管の幅広面の外壁に、外導体カバ
ー14が接合部23で電気的に短絡され且つ真空気密に
封止されている。そして、同軸線路を構成する内導体1
6,17、及び外導体延長部18,19の間に、セラミ
ックス製の絶縁スペーサ24,25が真空気密に接合さ
れている。さらに、外導体カバー14の内部に設けられ
る結合ループ26は、高周波結合孔12から絶縁スペー
サ24,25が直接見通せない寸法及び形状に定められ
ている。
【0009】これによって、外導体カバー14の内側空
間は、導波管内と連通しており、両者は同じ例えば加圧
ガス雰囲気、あるいは真空状態に保たれて使用される。
万一、動作中に矩形導波管内で高周波放電が発生して
も、真空気密を保持している絶縁スペーサは、高周波結
合孔からは見通せず、したがって導波管内放電のプラズ
マも絶縁スペーサ部分までは達せず、真空気密破れを防
止することができる。
間は、導波管内と連通しており、両者は同じ例えば加圧
ガス雰囲気、あるいは真空状態に保たれて使用される。
万一、動作中に矩形導波管内で高周波放電が発生して
も、真空気密を保持している絶縁スペーサは、高周波結
合孔からは見通せず、したがって導波管内放電のプラズ
マも絶縁スペーサ部分までは達せず、真空気密破れを防
止することができる。
【0010】図4に示す実施例は、内導体16,17、
及び外導体延長部18,19を、それぞれ直角に横方向
に折り曲げて延長し、それら延長部分に絶縁スペーサ2
4,25を気密接合して設けてある。
及び外導体延長部18,19を、それぞれ直角に横方向
に折り曲げて延長し、それら延長部分に絶縁スペーサ2
4,25を気密接合して設けてある。
【0011】この実施例によれば、各絶縁スペーサ2
4,25がより一層確実に高周波結合孔12から見通せ
ない位置関係になる。したがって、結合ループの寸法が
多少小さくても、絶縁スペーサを結合孔から直接見通せ
ないようにすることができる。そのため、結合ループの
高周波結合特性にあまり制約が起らず、且つ導波管内の
放電によるプラズマも絶縁スペーサの真空気密部分まで
は達しないゆえ、真空気密破れを一層確実に防止するこ
とができる。
4,25がより一層確実に高周波結合孔12から見通せ
ない位置関係になる。したがって、結合ループの寸法が
多少小さくても、絶縁スペーサを結合孔から直接見通せ
ないようにすることができる。そのため、結合ループの
高周波結合特性にあまり制約が起らず、且つ導波管内の
放電によるプラズマも絶縁スペーサの真空気密部分まで
は達しないゆえ、真空気密破れを一層確実に防止するこ
とができる。
【0012】なお、上述の実施例では、高周波結合孔や
外導体カバー等の組立て構造体を矩形導波管の幅広面に
設けた場合であるが、それに限らず、やや結合度合いは
小さくなるが、幅の狭い方の導波管壁に設けることもで
きる。
外導体カバー等の組立て構造体を矩形導波管の幅広面に
設けた場合であるが、それに限らず、やや結合度合いは
小さくなるが、幅の狭い方の導波管壁に設けることもで
きる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
導波管内を加圧ガス雰囲気又は真空状態に維持できると
ともに、真空気密維持部分の破損のおそれがなく、信頼
性の高い方向性結合器が得られる。
導波管内を加圧ガス雰囲気又は真空状態に維持できると
ともに、真空気密維持部分の破損のおそれがなく、信頼
性の高い方向性結合器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す主要部の縦断面図。
【図2】図1の2−2における断面図。
【図3】図1のものの主要部の斜視図。
【図4】この発明の他の実施例を示す主要部の縦断面
図。
図。
【図5】従来の構造を示す縦断面図。
【図6】図5の6−6における断面図。
11…導波管、 12…高周波結合孔、 14…外導体カバー、 26…結合ループ、 16,17…内導体、 18,19…外導体延長部、 24,25…絶縁スペーサ。
Claims (1)
- 【請求項1】 導波管の一辺に形成された高周波結合孔
の外側に外導体カバーが前記導波管の外壁に電気的に短
絡して設けられ、前記導波管内の高周波電力と結合する
結合ループが前記外導体カバーの内部に設けられた真空
気密型方向性結合器において、 前記外導体カバーは導波管の外壁に真空を保って設けら
れ、外導体の延長部分に前記ループから延びる内導体が
絶縁スペーサにより電気的に絶縁され且つ真空気密を保
って保持され、前記絶縁スペーサが前記高周波結合孔か
ら見通せないように構成されていることを特徴とする真
空気密型方向性結合器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9632793A JPH06310918A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 真空気密型方向性結合器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9632793A JPH06310918A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 真空気密型方向性結合器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06310918A true JPH06310918A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14161920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9632793A Pending JPH06310918A (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 真空気密型方向性結合器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06310918A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010534436A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | ローゼンベルガー ホーフフレクベンツテクニーク ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | ループ型方向性結合器 |
WO2011087094A1 (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 電磁波給電機構およびマイクロ波導入機構 |
CN102365785A (zh) * | 2009-03-27 | 2012-02-29 | 东京毅力科创株式会社 | 调谐器和微波等离子体源 |
JP2014123831A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | ループ方向性結合器 |
KR20210097026A (ko) * | 2020-01-29 | 2021-08-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 방향성 결합기, 기판을 처리하는 장치 및 기판을 처리하는 방법 |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP9632793A patent/JPH06310918A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010534436A (ja) * | 2007-07-24 | 2010-11-04 | ローゼンベルガー ホーフフレクベンツテクニーク ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | ループ型方向性結合器 |
CN102365785A (zh) * | 2009-03-27 | 2012-02-29 | 东京毅力科创株式会社 | 调谐器和微波等离子体源 |
WO2011087094A1 (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 電磁波給電機構およびマイクロ波導入機構 |
JP2014123831A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | ループ方向性結合器 |
KR20210097026A (ko) * | 2020-01-29 | 2021-08-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 방향성 결합기, 기판을 처리하는 장치 및 기판을 처리하는 방법 |
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