JPH06305563A - 浮上走行体の防振装置 - Google Patents

浮上走行体の防振装置

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Publication number
JPH06305563A
JPH06305563A JP12344593A JP12344593A JPH06305563A JP H06305563 A JPH06305563 A JP H06305563A JP 12344593 A JP12344593 A JP 12344593A JP 12344593 A JP12344593 A JP 12344593A JP H06305563 A JPH06305563 A JP H06305563A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
traveling body
vibration
running unit
arm
stop
Prior art date
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Pending
Application number
JP12344593A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Chinbe
弘 珍部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kiden Kogyo Ltd filed Critical Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority to JP12344593A priority Critical patent/JPH06305563A/ja
Publication of JPH06305563A publication Critical patent/JPH06305563A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 走行する走行体に振動を与えることなく走行
体の制動停止時間を短くし、高精度で定位置に停止させ
る。 【構成】 レール1にそって浮上走行する走行体2に設
けた防振装置のケース内に、走行体2の進行方向に対し
前後方向に揺動可能とするよう、下端の支点にて支持さ
れたアーム12の上端に重錘13を設けた水平振子を備
える。さらにこのアーム12の両側に支持ばね14を張
設する。そしてこの水平振子の振動周波数を走行体の原
点Oを中心として停止時に発生する固有振動の周波数に
近く設定した防振装置を設ける。これにより走行体停止
時の慣性を吸収し、短時間に定位置で停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内の複数
地点間に物品を搬送する際に用いる気体浮上または磁気
浮上走行の走行体を短時間に精度良く停止させるように
した浮上走行体の防振装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】クリーンルーム内等で予め定めた搬送ル
ートに沿って各種物品を搬送するシステムにおいて、搬
送物品を載荷する走行体を気体または磁気にて浮上させ
てリニアモータ等にて推力を与えて走行させている。例
えば特開昭60−170401号、同61−10210
5号公報に開示されたものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】クリーンルーム等にお
いては浮上走行する走行体を予め定めた位置で、特に高
精度で停止させる必要がある。しかしリニアモータにて
走行する走行体は、このリニアモータにて制動をかけて
停止させているが、この方法では搬送物品に許容以上の
振動を与えることなく定位置に高精度で停止させるに
は、走行体の走行状態から完全停止までの時間が長くか
かり、設備全体の操業能力をこの走行体の停止時間によ
り低下させている。従来浮上走行する走行体の停止は次
のようにして行われている。走行体はリニアモータなど
で加減速され、走行後目的地で同じくリニアモータにて
制動をかけて停止させる。しかし走行体はその走行慣性
により停止すべき原点位置より行き過ぎた後停止し、再
度制動力により今度は左側に運転を開始し、原点位置を
通過後左側に行き過ぎる。浮上して走行する走行体は、
摩擦抵抗などのエネルギー吸収作用が殆どないため、走
行体は原点0を中心として左右交互に移動状態を繰り返
す振動状態を長く続け、最終的に振動停止するのに長い
時間、例えば180sec必要となる。この停止作用
は、主として走行体に作用する空気抵抗によりもたらさ
れるものである。しかしながら走行体の停止するための
時間が長いと、走行体上に載せられた荷物を取り出すた
めには、走行体が完全に停止するまで取出装置の運転を
待たねばならず、これにより設備の運転能率の大幅な低
下をきたすことになる。
【0004】本発明は走行する走行体に振動を与えるこ
となく走行体の制動停止時間を短くし、高精度で定位置
に停止させることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、レールにそって浮上走行する
走行体に設けた防振装置のケース内に、走行体の進行方
向に対し前後方向に揺動可能とするよう、下端の支点に
て支持されたアームの上端に重錘を設けた水平振子を備
え、このアームの両側に支持ばねを張設し、かつこの水
平振子の振動周波数を走行体の原点Oを中心として停止
時に発生する固有振動の周波数に近く設定した防振装置
を設け、走行体停止時の慣性を吸収し、短時間に定位置
で停止させるようになしたことを要旨とする。
【0006】
【作用】浮上走行する走行体に防振装置の収納箱を設
け、この収納箱内底部に走行体の前後進方向に揺動可能
に支持され、アームの上端に重錘を取り付け、この倒立
した水平振子にアームの振れを吸収する支持ばねを、ア
ームの揺動方向の前後方向に張設した防振装置を設け
る。そしてこの水平振子の振動周波数を走行体の原点O
を中心として、停止時に発生する固有振動の周波数近く
に設定する。これにより走行体の停止制動時に発生する
振動を水平振子の重錘の振動に変換し、支持ばねの作用
にて熱消費させることにより走行体の振動エネルギーを
急速に消費させる。これによって走行体の停止に必要な
時間を短縮し、かつ高精度に定位置停止を行えるものと
なる。
【0007】
【実施例】以下本発明浮上走行体の防振装置を図示の実
施例にもとづいて説明する。図において1は搬送物品の
搬送ルートに沿って予め敷設されたレールで、このレー
ル1には走行体2を加速する加速用リニアモータ3を所
定位置に配設し、レール1に沿って走行体2が予め定め
た速度で走行可能とするとともに、走行体2の停止位置
5にはその直前に走行体2を減速させるための減速用リ
ニアモータ4を配設し、かつ停止位置の前後に制動用リ
ニアモータ6,7を配設し、これにより走行体を定位置
に停止させるようになす。
【0008】走行体2には搬送物品9を載置するととも
に防振装置Bを設ける。この防振装置Bは走行体上に所
要の大きさを有する収納箱10を取り付けるとともにこ
の収納箱10の内底面には支点11を設け、この支点1
1に走行体2の進行方向に対し前後方向に揺動可能にし
て水平振子用のアーム12の下端を支持し、かつ該アー
ム12の上端に所要の振子となる重錘13を固定し、さ
らにこの倒立した形状の水平振子のアーム12には水平
振子を常に中立位置に戻すための支持ばね14を設け
る。支持ばね14はアーム12と、このアームが揺動す
る方向の両側の収納箱内面との間に所要の均等張力を与
えるようにして張架される。そしてこの水平振子の振動
周波数を走行体の原点Oを中心として、停止時に発生す
る固有振動の周波数近くに設定する。
【0009】通常この走行体の固有振動周波数は0.3
Hz程度と非常に小さく、通常に設計する振子系にて固
有振動数0.3Hzを得ようとすると、寸法的に非常に
大きくなる。例えば単振子の振動数の次式(1)にて表さ
れる。
【0010】
【式1】
【0011】すなわち上方を支点とした長さ2.7mの
アームの先におもりを取り付けて0.3Hzの固有振動
数が得られる。他方、水平振子の振動数は次式(2)にて
表される。
【0012】
【式2】
【0013】すなわち、水平振子アームの長さを2.7
mに対し、0.25mと寸法的に約1/10と小さくで
きることになる。
【0014】従って浮上走行する走行体2に搬送物品9
を載せ、レール1に沿って搬送走行させ、目的地の停止
位置5にてリニアモータ4にて減速し、次いでリニアモ
ータ6,7にて制動力を発生させ、走行体2を停止させ
る。この場合、目的地の原点0となる停止位置5からの
走行体のずれ量Xと、制動力Fとの関係は図2に示すよ
うになる。
【0015】走行体2が停止する際、走行体に作用して
いる慣性により停止位置5より図1において右側へ行き
過ぎて停止し、再度制動力により今度は左側に運転を開
始し、原点0の停止位置を通過後左側に行き過ぎる。浮
上して走行する走行体は、摩擦抵抗などのエネルギー吸
収作用が殆どないため、走行体は原点0を中心として左
右交互に移動状態を繰り返す振動状態を長く続け、最終
的に振動停止するのに長い時間、例えば180sec必
要となる。この停止作用は、主として走行体に作用する
空気抵抗によりもたらされるものである。
【0016】このため本発明では、走行体上に固定され
た収納箱10内に固定された支点に、アーム12、重錘
13、支持ばね14を設けた水平振子を構成する防振装
置を設けて、しかもこの振子の振動周波数を走行体の原
点0を中心として停止時に発生する固有振動の周波数近
くに設定する。これにより振動エネルギーは吸収され、
短時間のうちに精度良く、定位置に停止するものとな
る。
【0017】水平振子は必要に応じて収納箱内に満たさ
れた粘性流体15などのエネルギー吸収体が収納され、
走行体の振動エネルギーを水平振子の振動に伝え、この
水平振子の振動エネルギーは粘性流体15などの内部摩
擦などにより熱に変換され、振動エネルギーを放散させ
るものである。
【0018】
【発明の効果】本発明によるときは走行体の停止制動時
に発生する振動を、水平振子の振動に変換して熱消費さ
せることにより、走行体の振動エネルギーは急速に消費
され、その結果走行体の停止を大幅に短縮できる利点が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明浮上走行体の防振装置を示す説明図であ
る。
【図2】走行体制動時の行き過ぎ量と制動力との関係を
示すグラフ図である。
【符号の説明】
1 レール 2 走行体 3,4,6,7 リニアモータ 5 停止位置 9 搬送物品 B 防振装置 10 収納箱 12 アーム 13 重錘 14 支持ばね
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年10月19日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図3
【補正方法】追加
【補正内容】
【図3】防振装置の断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レールにそって浮上走行する走行体に設
    けた防振装置のケース内に、走行体の進行方向に対し前
    後方向に揺動可能とするよう、下端の支点にて支持され
    たアームの上端に重錘を設けた水平振子を備え、このア
    ームの両側に支持ばねを張設し、かつこの水平振子の振
    動周波数を走行体の原点Oを中心として停止時に発生す
    る固有振動の周波数に近く設定した防振装置を設け、走
    行体停止時の慣性を吸収し、短時間に定位置で停止させ
    るようになしたことを特徴とする浮上走行体の防振装
    置。
JP12344593A 1993-04-27 1993-04-27 浮上走行体の防振装置 Pending JPH06305563A (ja)

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JP12344593A JPH06305563A (ja) 1993-04-27 1993-04-27 浮上走行体の防振装置

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JP12344593A JPH06305563A (ja) 1993-04-27 1993-04-27 浮上走行体の防振装置

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JPH06305563A true JPH06305563A (ja) 1994-11-01

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008093529A1 (ja) * 2007-01-29 2008-08-07 Fujikin Incorporated 流体制御器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008093529A1 (ja) * 2007-01-29 2008-08-07 Fujikin Incorporated 流体制御器
US8327876B2 (en) 2007-01-29 2012-12-11 Fujikin Incorporated Fluid controller

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