JPH06299317A - 鋼の窒化又は軟窒化方法 - Google Patents
鋼の窒化又は軟窒化方法Info
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- JPH06299317A JPH06299317A JP10621093A JP10621093A JPH06299317A JP H06299317 A JPH06299317 A JP H06299317A JP 10621093 A JP10621093 A JP 10621093A JP 10621093 A JP10621093 A JP 10621093A JP H06299317 A JPH06299317 A JP H06299317A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 鋼の耐摩耗性、疲労強度等機械的性質の向
上。 【構成】 液状のフッ化物あるいはフッ化物を溶剤に溶
解した液体４を処理炉１内に供給し、炉内で発生するガ
ス状のフッ素又はフッ素化合物により鋼２特にステンレ
ス等の表面酸化膜をフッ化膜に代え、つづいて窒化、又
は軟窒化を行う鋼の窒化又は軟窒化方法。
上。 【構成】 液状のフッ化物あるいはフッ化物を溶剤に溶
解した液体４を処理炉１内に供給し、炉内で発生するガ
ス状のフッ素又はフッ素化合物により鋼２特にステンレ
ス等の表面酸化膜をフッ化膜に代え、つづいて窒化、又
は軟窒化を行う鋼の窒化又は軟窒化方法。
Description
【０００１】本発明は鋼特にステンレス鋼の窒化または
軟窒化方法に関する。
軟窒化方法に関する。
【０００２】
【従来技術】鋼の耐摩耗性、疲労強度等機械的性質を向
上させる目的で表面を窒化させる方法には次のような方
法がある。
上させる目的で表面を窒化させる方法には次のような方
法がある。
【０００３】（１）シアン塩浴（ＮａＣＮ，ＫＣＮ，Ｋ
ＣＮＯ等）に浸漬して表面を窒化させる。この場合塩浴
は表面酸化物の除去機能を有するため、ステンレススチ
ールのような鋼にも窒化は充分出来るが、塩浴は毒性が
強く、廃水処理、操業上人体への危険性等の問題がある
（タフトライド処理）。
ＣＮＯ等）に浸漬して表面を窒化させる。この場合塩浴
は表面酸化物の除去機能を有するため、ステンレススチ
ールのような鋼にも窒化は充分出来るが、塩浴は毒性が
強く、廃水処理、操業上人体への危険性等の問題がある
（タフトライド処理）。
【０００４】（２）水素、窒素雰囲気（１〜５Ｔｏｒ
ｒ）で直流電圧を印加し、グロー放電により、Ｎ2 をイ
オン化し、鋼の表面に窒化層を形成させる。この場合ス
パッタリング作用でステンレス表面の酸化膜を除去した
上での窒化作用があるが、複雑な形状のものには不適で
あり、また極部的加熱によるひずみの発生、被処理品の
接触部の窒化不良（不均一）等の問題がある。
ｒ）で直流電圧を印加し、グロー放電により、Ｎ2 をイ
オン化し、鋼の表面に窒化層を形成させる。この場合ス
パッタリング作用でステンレス表面の酸化膜を除去した
上での窒化作用があるが、複雑な形状のものには不適で
あり、また極部的加熱によるひずみの発生、被処理品の
接触部の窒化不良（不均一）等の問題がある。
【０００５】（３）従来からアンモニア、ＲＸ＋アンモ
ニア、あるいはアンモニア＋窒素＋炭酸ガス等によるガ
ス窒化、ガス軟窒化等の処理が一般の鋼の窒化処理で行
われているが、ステンレス鋼の場合表面が酸化されてい
る為（ＦｅＯ，Ｆｅ3 Ｏ4 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ）、この表面酸
化膜を除去しなければ完全な均一的窒化は出来ない。こ
の酸化膜を還元する場合水素雰囲気下で高温（９００〜
１０００℃）が必要であり、窒化温度（５７０〜６００
℃）迄降温過程で再酸化の可能性があり、均一な窒化層
は生成されない。また高温加熱によりひずみも生じやす
く、ステンレスの場合は問題がある。
ニア、あるいはアンモニア＋窒素＋炭酸ガス等によるガ
ス窒化、ガス軟窒化等の処理が一般の鋼の窒化処理で行
われているが、ステンレス鋼の場合表面が酸化されてい
る為（ＦｅＯ，Ｆｅ3 Ｏ4 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ）、この表面酸
化膜を除去しなければ完全な均一的窒化は出来ない。こ
の酸化膜を還元する場合水素雰囲気下で高温（９００〜
１０００℃）が必要であり、窒化温度（５７０〜６００
℃）迄降温過程で再酸化の可能性があり、均一な窒化層
は生成されない。また高温加熱によりひずみも生じやす
く、ステンレスの場合は問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は液状のフッ化
物あるいはフッ化物を溶剤に溶解した液体を処理炉内に
供給し、炉内でガス状のフッ素又はフッ素含有化合物を
発生させ、鋼の表面にフッ化膜を形成し、その後に窒化
又は軟窒化を行なうことによって上述の欠点は解消され
た。
物あるいはフッ化物を溶剤に溶解した液体を処理炉内に
供給し、炉内でガス状のフッ素又はフッ素含有化合物を
発生させ、鋼の表面にフッ化膜を形成し、その後に窒化
又は軟窒化を行なうことによって上述の欠点は解消され
た。
【０００７】上記ガス窒化またはガス軟窒化に於て、あ
らかじめ鋼、特にステンレス鋼においては、表面の酸化
膜（不働態膜）を窒化、軟窒化前に前処理としてフッ素
ガス反応により、鋼表面をフッ化膜に置換えることによ
り、温度（６００℃以下）、雰囲気等に対し安定な状態
にする。この安定した均一な表面フッ化膜をもった鋼を
次にＮＨ3 を含む雰囲気（ＮＨ3 ，ＮＨ3 ＋Ｎ2 、ＮＨ
3 ＋Ｎ2 ＋ＣＯ2 ，ＮＨ3 ＋ＲＸ）で窒化処理を行え
ば、ＮＨ3 の分解ガスＨ2 がフッ化膜のフッ素と反応し
てＨＦとして表面より放出し表面が活性化する処へＮＨ
3 の分解時生じる活性基Ｎが浸漬し、ＦｅＮ，Ｆｅ
3 Ｎ，Ｆｅ4 Ｎ等均一な窒化層が形成出来る。
らかじめ鋼、特にステンレス鋼においては、表面の酸化
膜（不働態膜）を窒化、軟窒化前に前処理としてフッ素
ガス反応により、鋼表面をフッ化膜に置換えることによ
り、温度（６００℃以下）、雰囲気等に対し安定な状態
にする。この安定した均一な表面フッ化膜をもった鋼を
次にＮＨ3 を含む雰囲気（ＮＨ3 ，ＮＨ3 ＋Ｎ2 、ＮＨ
3 ＋Ｎ2 ＋ＣＯ2 ，ＮＨ3 ＋ＲＸ）で窒化処理を行え
ば、ＮＨ3 の分解ガスＨ2 がフッ化膜のフッ素と反応し
てＨＦとして表面より放出し表面が活性化する処へＮＨ
3 の分解時生じる活性基Ｎが浸漬し、ＦｅＮ，Ｆｅ
3 Ｎ，Ｆｅ4 Ｎ等均一な窒化層が形成出来る。
【０００８】
【詳細内容】上記目的を達成する、本発明の構成は次の
通りである。 （１）ステンレス鋼等のように鉄分（Ｆｅ）だけでなく
クロム（Ｃｒ）を多量に含む鋼の酸化被膜を除去する前
処理として、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）、フッ化カリ
ウム（ＫＦ）等のフッ化物を適量加熱するか、あるいは
これらのフッ化物をメタノール、エタノール等のアルコ
ール類に溶解した液を被膜除去の原料液として加熱分解
により発生するフッ素ガス反応で酸化被膜をフッ化被膜
に置換える工程。フッ化膜形成後被処理品をＮＨ3 ある
いはＮＨ3 ，Ｎ2 ，ＣＯ2 等の混合雰囲気中で５００〜
６００℃に保持してガス窒化する工程。また前記前処理
工程で、フッ素等の排ガスを外部排出する危険性防止
と、炉内で発生のフッ素ガスの効率的に利用する反応ガ
ス循環工程（原料液の補足供給含む）、に分けられる。
通りである。 （１）ステンレス鋼等のように鉄分（Ｆｅ）だけでなく
クロム（Ｃｒ）を多量に含む鋼の酸化被膜を除去する前
処理として、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）、フッ化カリ
ウム（ＫＦ）等のフッ化物を適量加熱するか、あるいは
これらのフッ化物をメタノール、エタノール等のアルコ
ール類に溶解した液を被膜除去の原料液として加熱分解
により発生するフッ素ガス反応で酸化被膜をフッ化被膜
に置換える工程。フッ化膜形成後被処理品をＮＨ3 ある
いはＮＨ3 ，Ｎ2 ，ＣＯ2 等の混合雰囲気中で５００〜
６００℃に保持してガス窒化する工程。また前記前処理
工程で、フッ素等の排ガスを外部排出する危険性防止
と、炉内で発生のフッ素ガスの効率的に利用する反応ガ
ス循環工程（原料液の補足供給含む）、に分けられる。
【０００９】（２）図１に従って本発明の詳細を説明す
る。ステンレス鋼等の被処理品２を脱脂洗浄後、耐熱鋼
製の密閉容器３にセットする。この容器は被処理品をの
せるようにメッシュ板（棚）を中間に設け、底部に反応
ガスとなるフッ化物を入れるか、あるいは外部から原料
（フッ化物溶解液）４を供給することが出来るよう原料
容器（タンク）５と接続されている。この密閉容器をヒ
ーターを内蔵する熱処理炉１内に装入し、原料導入管１
１、排気管１２を熱処理炉を通してこの容器に接続す
る。この原料導入管１１にはフッ化物溶解液４、並びに
ブロワー８を通して排気管１２からの反応ガス（フッ素
ガス）を循環させ、容器内を攪拌させる循環ライン１３
に接続させる。さらに原料導入管１１と排気管１２の間
には冷却器７、吸着筒６を結ぶ循環ライン１４、ブロワ
ー８吸入側にはＮ2 ガスタンクからのＮ2 ラインが接続
されている。
る。ステンレス鋼等の被処理品２を脱脂洗浄後、耐熱鋼
製の密閉容器３にセットする。この容器は被処理品をの
せるようにメッシュ板（棚）を中間に設け、底部に反応
ガスとなるフッ化物を入れるか、あるいは外部から原料
（フッ化物溶解液）４を供給することが出来るよう原料
容器（タンク）５と接続されている。この密閉容器をヒ
ーターを内蔵する熱処理炉１内に装入し、原料導入管１
１、排気管１２を熱処理炉を通してこの容器に接続す
る。この原料導入管１１にはフッ化物溶解液４、並びに
ブロワー８を通して排気管１２からの反応ガス（フッ素
ガス）を循環させ、容器内を攪拌させる循環ライン１３
に接続させる。さらに原料導入管１１と排気管１２の間
には冷却器７、吸着筒６を結ぶ循環ライン１４、ブロワ
ー８吸入側にはＮ2 ガスタンクからのＮ2 ラインが接続
されている。
【００１０】被処理品２を装入した容器３を熱処理炉１
にセット後、炉内を加温し、温度上昇初期にはＮ2 ガス
を供給し、温度上昇と伴に原料液タンク５からフッ化物
溶解液をＮ2 に添加して容器３内に供給する。容器内に
導入されたフッ化物溶解液は容器内の昇温により、分解
してフッ素ガスを発生するこのフッ素ガスがステンレス
鋼等表面の酸化被膜ＦｅＯ，Ｆｅ3 Ｏ4 ，Ｃｒ2 Ｏ3 等
と次のような反応によりフッ化被膜に変換されることが
推定される。 ２ＦｅＯ＋４Ｆ → ２ＦｅＦ2 ＋Ｏ2 Ｆｅ3 Ｏ4 ＋６Ｆ → ３ＦｅＦ2 ＋２Ｏ2 ２Ｃｒ2 Ｏ3 ＋８Ｆ → ４ＣｒＦ2 ＋３Ｏ2 この場合鋼表面の酸化膜を形成していた酵素は表面から
除去される。
にセット後、炉内を加温し、温度上昇初期にはＮ2 ガス
を供給し、温度上昇と伴に原料液タンク５からフッ化物
溶解液をＮ2 に添加して容器３内に供給する。容器内に
導入されたフッ化物溶解液は容器内の昇温により、分解
してフッ素ガスを発生するこのフッ素ガスがステンレス
鋼等表面の酸化被膜ＦｅＯ，Ｆｅ3 Ｏ4 ，Ｃｒ2 Ｏ3 等
と次のような反応によりフッ化被膜に変換されることが
推定される。 ２ＦｅＯ＋４Ｆ → ２ＦｅＦ2 ＋Ｏ2 Ｆｅ3 Ｏ4 ＋６Ｆ → ３ＦｅＦ2 ＋２Ｏ2 ２Ｃｒ2 Ｏ3 ＋８Ｆ → ４ＣｒＦ2 ＋３Ｏ2 この場合鋼表面の酸化膜を形成していた酵素は表面から
除去される。
【００１１】容器３内で発生したフッ素ガス並びにキャ
リアガスＮ2 はブロワー８を通して循環ライン１３で循
環しているが昇温が進み、所定の温度（５００〜７００
℃）に到達すれば、あらかじめフッ素ガスで飽和になっ
ている吸着筒（例えばＮｏ．１）６を加温して循環ライ
ン１３から循環ライン１４にラインを切替え、吸着筒
（Ｎｏ．１）６内の平フッ素ガスを脱着し、容器３内の
反応ガスとして使用する。この間は均熱時間として反応
が高い時間であり、処理品、容器内フッ素濃度にもよる
が、約１０分〜１時間位を均熱時間としてセットする。
リアガスＮ2 はブロワー８を通して循環ライン１３で循
環しているが昇温が進み、所定の温度（５００〜７００
℃）に到達すれば、あらかじめフッ素ガスで飽和になっ
ている吸着筒（例えばＮｏ．１）６を加温して循環ライ
ン１３から循環ライン１４にラインを切替え、吸着筒
（Ｎｏ．１）６内の平フッ素ガスを脱着し、容器３内の
反応ガスとして使用する。この間は均熱時間として反応
が高い時間であり、処理品、容器内フッ素濃度にもよる
が、約１０分〜１時間位を均熱時間としてセットする。
【００１２】均熱時間経過後はヒーターを切って降温状
態とし、この間は容器、配管ラインに残るフッ素ガスを
Ｎ2 を補充しながら、水等で冷却した熱交換器である冷
却器７を通してフッ素不飽和な吸着筒６（Ｎｏ．２）に
吸着させる。
態とし、この間は容器、配管ラインに残るフッ素ガスを
Ｎ2 を補充しながら、水等で冷却した熱交換器である冷
却器７を通してフッ素不飽和な吸着筒６（Ｎｏ．２）に
吸着させる。
【００１３】炉内温度が所定温度迄（２００℃以下）降
下したら処理品を取出し窒化処理炉にて所定温度（５７
０〜６００℃），ＮＨ3 ，ＮＨ3 ＋ＲＸ，ＮＨ3 ＋Ｎ2
＋ＣＯ2 等の雰囲気で処理する。
下したら処理品を取出し窒化処理炉にて所定温度（５７
０〜６００℃），ＮＨ3 ，ＮＨ3 ＋ＲＸ，ＮＨ3 ＋Ｎ2
＋ＣＯ2 等の雰囲気で処理する。
【００１４】この場合、前処理で形成したフッ化被膜は
ＮＨ3 の分解Ｈ2 、あるいは炉内の微量水分等により還
元されて活性な金属表面が出来る。 ＦｅＦ2 ＋Ｈ2 → ２Ｆｅ＋２ＨＦ ２ＦｅＦ2 ＋２Ｈ2 Ｏ → ２Ｆｅ＋４ＨＦ＋Ｏ2 ＣｒＦ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＦ ２ＣｒＦ2 ＋２Ｈ2 Ｏ → ２Ｃｒ＋４ＨＦ＋Ｏ2 この活性表面にＮＨ3 の分解時生じる活性基Ｎが表面に
浸入し表面に窒化膜（層）を形成する（ＦｅＮ，Ｆｅ2
Ｎ，Ｆｅ3 Ｎ，ＣｒＮ等） 排気ガスの外部放出が必要なときは吸着筒６を通した後
スクラバー１０で最終除去した後放出する。また処理品
を取出すときは前処理炉１、容器３にある検知器により
残留フッ素ガスを確認後作業する。
ＮＨ3 の分解Ｈ2 、あるいは炉内の微量水分等により還
元されて活性な金属表面が出来る。 ＦｅＦ2 ＋Ｈ2 → ２Ｆｅ＋２ＨＦ ２ＦｅＦ2 ＋２Ｈ2 Ｏ → ２Ｆｅ＋４ＨＦ＋Ｏ2 ＣｒＦ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＦ ２ＣｒＦ2 ＋２Ｈ2 Ｏ → ２Ｃｒ＋４ＨＦ＋Ｏ2 この活性表面にＮＨ3 の分解時生じる活性基Ｎが表面に
浸入し表面に窒化膜（層）を形成する（ＦｅＮ，Ｆｅ2
Ｎ，Ｆｅ3 Ｎ，ＣｒＮ等） 排気ガスの外部放出が必要なときは吸着筒６を通した後
スクラバー１０で最終除去した後放出する。また処理品
を取出すときは前処理炉１、容器３にある検知器により
残留フッ素ガスを確認後作業する。
【００１５】本発明の好ましい態様の温度プロフィール
は図５に示される。
は図５に示される。
【００１６】Ａ．昇温（スタート） （イ）被処理品を密閉容器にセットして炉内に挿入 （ロ）Ｎ2 による容器内置換、ブロワーによる循環（Ａ
ライン）しながらフッ化物溶液を一定容器に供給。
ライン）しながらフッ化物溶液を一定容器に供給。
【００１７】Ｂ．昇温（一定時間経過後）１００℃以上 （イ）Ｎ2 停止 （ロ）炉内発生ガス循環（Ａライン）
【００１８】Ｃ．均熱（所定温度到達）５００〜７００
℃ （イ）フッ素飽和の吸着筒（Ｎｏ．１）を加熱 （ロ）循環ラインを Ａ→Ｂ切換え｝ 吸着筒（Ｎｏ．
１）の脱ガスを循環。
℃ （イ）フッ素飽和の吸着筒（Ｎｏ．１）を加熱 （ロ）循環ラインを Ａ→Ｂ切換え｝ 吸着筒（Ｎｏ．
１）の脱ガスを循環。
【００１９】Ｂ．Ｃ．において密閉容器にセットしたフ
ッ素検知器で容器内のフッ素濃度を検知し、所定濃度以
下になればフッ化物溶液の供給弁を開いて循環ラインに
フッ化物溶液を供給する。 Ｄ．降温（所定時間経過後）３０分〜１時間 （イ）炉ヒーターＯＦＦ（降温） （ロ）排ガスを冷却器を通して不飽和吸着筒（Ｎｏ．
２）に切替え、フッ素ガスを吸着 （ハ）温度降下に伴ってＮ2 を供給（Ｎ−１）循環。密
閉容器にセットしたフッ素検知器で容器内のフッ素濃度
を検知し、所定濃度以下になればフッ化物溶液の供給弁
を開いて循環ラインにフッ化物溶液を供給する。
ッ素検知器で容器内のフッ素濃度を検知し、所定濃度以
下になればフッ化物溶液の供給弁を開いて循環ラインに
フッ化物溶液を供給する。 Ｄ．降温（所定時間経過後）３０分〜１時間 （イ）炉ヒーターＯＦＦ（降温） （ロ）排ガスを冷却器を通して不飽和吸着筒（Ｎｏ．
２）に切替え、フッ素ガスを吸着 （ハ）温度降下に伴ってＮ2 を供給（Ｎ−１）循環。密
閉容器にセットしたフッ素検知器で容器内のフッ素濃度
を検知し、所定濃度以下になればフッ化物溶液の供給弁
を開いて循環ラインにフッ化物溶液を供給する。
【００２０】Ｅ．停止（所定温度迄冷却）（１００℃以
下） （イ）Ｎ2 を供給し排ガスをスクラバーを通して排出。 （ロ）炉内もＮ2 パージ、置換。 （ハ）処理品の取出時はフッ素検知器（Ａ−１）、（Ａ
−２）でフッ素検知していないのを確認の上、取出作業
をする。
下） （イ）Ｎ2 を供給し排ガスをスクラバーを通して排出。 （ロ）炉内もＮ2 パージ、置換。 （ハ）処理品の取出時はフッ素検知器（Ａ−１）、（Ａ
−２）でフッ素検知していないのを確認の上、取出作業
をする。
【００２１】実施例（１） 密閉容器内にフッ素系フラックスをエタノールに溶解し
て、容器底部に供給し、中間部の棚上（メッシュ）にセ
ットしたものを熱処理炉内に装入し、加熱による前処理
を実施。
て、容器底部に供給し、中間部の棚上（メッシュ）にセ
ットしたものを熱処理炉内に装入し、加熱による前処理
を実施。
【００２２】前処理仕様 被処理材質 ＳＵＳ３０４ 処理温度 ─ ５５０〜６５０℃×２０分 フッ化物 ─ フッ素系フラックス（ＫＦ，ＮａＦ
含） 容器内雰囲気 ─ Ｆ 約１，０００ｐｐｍ 前処理後、別熱処理炉による窒化処理 窒化処理、結果 処理温度 ─ ５７０℃×４Ｈ 雰囲気 ─ ＮＨ3 ：５０％ Ｎ2 ：４５％ ＣＯ2 ： ５％ 窒化処理後品質 ─ 表面硬度：１．０９ＨＶ 窒化層 ：６５μｍ バラツキ：なし ＳＵＳについて上記と同様な処理を行ない、同様の結果
を得た。図２は前処理（フッ化被膜形成処理）、窒化処
理した硬度分布である。図３は窒化した金属組織の顕微
鏡写真である。
含） 容器内雰囲気 ─ Ｆ 約１，０００ｐｐｍ 前処理後、別熱処理炉による窒化処理 窒化処理、結果 処理温度 ─ ５７０℃×４Ｈ 雰囲気 ─ ＮＨ3 ：５０％ Ｎ2 ：４５％ ＣＯ2 ： ５％ 窒化処理後品質 ─ 表面硬度：１．０９ＨＶ 窒化層 ：６５μｍ バラツキ：なし ＳＵＳについて上記と同様な処理を行ない、同様の結果
を得た。図２は前処理（フッ化被膜形成処理）、窒化処
理した硬度分布である。図３は窒化した金属組織の顕微
鏡写真である。
【００２３】本発明の実施の態様は次の通りである。
【００２４】（１）フッ化物、あるいはフッ化物を溶剤
に溶解した液体を処理炉内に供給して、炉内で発生する
反応ガス（ハロゲン）により、鋼特にステンレス等の表
面酸化膜をフッ化膜に代え、つづいて窒化、あるいは軟
窒化を行うことを特徴とする鋼の窒化、軟窒化方法。
に溶解した液体を処理炉内に供給して、炉内で発生する
反応ガス（ハロゲン）により、鋼特にステンレス等の表
面酸化膜をフッ化膜に代え、つづいて窒化、あるいは軟
窒化を行うことを特徴とする鋼の窒化、軟窒化方法。
【００２５】（２）フッ化物、あるいはフッ化物の溶剤
に溶解した液体を利用して鋼表面にフッ化膜を形成させ
る前処理に於て、炉内で発生する反応ガスを極力外部に
排出しないように、ガスの冷却，吸着，脱着，循環工程
による反応ガスのクローズドサイクル。
に溶解した液体を利用して鋼表面にフッ化膜を形成させ
る前処理に於て、炉内で発生する反応ガスを極力外部に
排出しないように、ガスの冷却，吸着，脱着，循環工程
による反応ガスのクローズドサイクル。
【００２６】（３）フッ素ガスの洩れをなくす為、保温
構造の炉内に鋼を処理する密閉構造の容器をセットし、
液体、ガス等の固定配管、あるいは脱着可能な配管を行
う。
構造の炉内に鋼を処理する密閉構造の容器をセットし、
液体、ガス等の固定配管、あるいは脱着可能な配管を行
う。
【図１】本発明の方法を実施するための好ましい装置の
フローシート。
フローシート。
【図２】前処理（フッ化被膜形処理）−窒化処理した硬
度分布を示すグラフ。
度分布を示すグラフ。
【図３】窒化層金属組織の顕微鏡写真。
【図４】本発明の好ましい態様の温度プロフィール。
Claims (2)
- 【請求項１】 液状のフッ化物あるいはフッ化物を溶剤
に溶解した液体を処理炉内に供給し、炉内で発生するガ
ス状のフッ素又はフッ素含有化合物により鋼特にステン
レス等の表面酸化膜をフッ化膜に代え、つづいて窒化、
又は軟窒化を行なうことを特徴とする鋼の窒化または軟
窒化方法。 - 【請求項２】 フッ素ガス又はフッ素含有ガスの漏れを
なくすため、保温構造の炉内に鋼を処理する密閉構造の
容器をセットし、液体、ガス等の固定配管あるいは脱着
可能な配管を行ない、その炉内にフッ化物液体あるいは
フッ化物を溶剤に溶解した液体を炉内に供給し、炉内で
発生するガス状のフッ素又はフッ素含有化合物により鋼
特にステンレス等の表面酸化膜をフッ化膜に代え、つづ
いて窒化、又は軟窒化を行なうことを特徴とする鋼の窒
化または軟窒化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10621093A JPH06299317A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 鋼の窒化又は軟窒化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10621093A JPH06299317A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 鋼の窒化又は軟窒化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06299317A true JPH06299317A (ja) | 1994-10-25 |
Family
ID=14427797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10621093A Pending JPH06299317A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 鋼の窒化又は軟窒化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06299317A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0754123A (ja) * | 1994-06-17 | 1995-02-28 | Daido Hoxan Inc | 鋼の窒化方法 |
| JPH08319554A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-12-03 | Daido Hoxan Inc | 鋼材の窒化方法 |
| JP2006249486A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Air Water Inc | 金属の窒化方法 |
| JP2007031770A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Honda Motor Co Ltd | 鋼製ばね部材 |
| WO2022107753A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | パーカー熱処理工業株式会社 | 金属部材の処理方法及び処理装置 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP10621093A patent/JPH06299317A/ja active Pending
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
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