JPH0628279B2 - 基板処理システムの通信制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、一般的に半導体製造の分野において使用され
る基板処理システムに係り、特に、基板に所要の処理を
施す基板処理ラインをホストコンピュータによって統括
的に管理する基板処理システムの通信制御装置に関す
る。

＜従来の技術＞ 従来、この種の基板処理システムの通信制御の形態とし
て、第６図(a)に示すように基板処理ライン100 と上位
のホストコンピュータ300 とを直接にオンライン接続し
た通信制御形態と、第６図(b)に示すように基板処理ラ
イン100 とホストコンピュータ300 との間に中間的存在
のブロックコンピュータ200 を介在させた通信制御形態
とがある。

前者の通信制御の形態は、基板処理ライン100 に備えら
れたコントローラ（図示せず）が、基板処理ライン100
の制御、オペレータとのやりとり、ホストコンピュータ
300 との通信を並行して行う必要があるため、前記コン
トローラのプログラムが複雑化し、通信制御形態の仕様
変更に対応するのに非常に多くの手間がかかるという欠
点がある。

一方、後者の通信制御形態によれば、ブロックコンピュ
ータ200 に、オペレータとのやりとり、基板処理ライン
100 やホストコンピュータ300 との通信を受け持たせ
て、処理の分散を図っているので、前者の通信制御形態
よりもプログラムが簡素化されるという利点がある。そ
のため、最近の半導体製造工場などの自動化された基板
処理工程では、後者の通信制御形態が採用されることが
多い。

＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、上述した後者の通信制御形態によって
も、次のような問題点が指摘される。

すなわち、この通信制御形態は、データ通信に関する処
理をブロックコンピュータ200 に行わせているが、通信
用のプログラムは相当の分量があるので、ブロックコン
ピュータ200 内のＣＰＵが、通信処理に専有される時間
が相当に長くなる。そのため、ブロックコンピュータ20
0 が行うべき他の処理（例えば、オペレータによるプロ
グラム編集やホストコンピュータ300 からの要求による
データ転送）に長時間を要してしまうという問題点があ
る。

さらに、データ通信に異常が発生すると、ブロックコン
ピュータ200 のＣＰＵがデータ通信処理から抜け出すこ
とができなくなって、他の処理が完全に中断されてしま
うという事態を生じることもある。

本発明は、このような問題点を解決するためになされた
ものであって、従来のブロックコンピュータが行ってい
た処理のうちから、通信処理に関する負担を軽減して、
オペレータによるプログラム編集やホストコンピュータ
からのデータ要求に対する処理を円滑に行なえるように
した基板処理システムの通信制御装置を提供することを
目的としている。

＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、上記目的を達成するために、次のような構成
をとる。

即ち、本発明に係る基板処理システムの通信制御装置
は、基板に一連の処理を施す基板処理ラインと、前記基
板処理ラインを管理するブロックコンピュータと、前記
ブロックコンピュータを介して前記基板処理ラインを統
括的に管理するホストコンピュータと、を備えた基板処
理システムに用いられる通信制御装置であって、 前記基板処理ラインとの間は通信ラインで、前記ブロッ
クコンピュータとの間はバスラインでそれぞれ接続され
ており、前記通信ラインを介して所定時間ごとに前記基
板処理ラインの状態を監視し、前記状態に変化があった
場合に、そのことを前記バスラインを介して前記ブロッ
クコンピュータに知らせる状態監視用通信制御部と、 前記ホストコンピュータとの間は通信ラインで、前記ブ
ロックコンピュータとの間はバスラインでそれぞれ接続
されており、前記ホストコンピュータから通信ラインを
介して伝送されてくるメッセージのうち、予め定められ
た特定のメッセージに対しては自動応答し、それ以外の
メッセージに対しては前記バスラインを介して前記ブロ
ックコンピュータにそのメッセージを知らせる自動応答
用通信制御部と、 を備えたことを特徴としている。

＜作用＞ 本発明によれば、ブロックコンピュータとは個別に設け
られた通信制御装置によって、プロトコルレベルの制御
やエラーチェックなどが行われる。また、通信制御装置
の監視用通信制御部は、一定時間ごとに基板処理ライン
の状態を監視しており、その変化があった場合にのみ、
そのことをブロックコンピュータに知らせる。さらに、
通信制御装置の自動応答用通信制御部は、予め定められ
た特定のメッセージに対して、ブロックコンピュータを
介することなく、自動応答する。このように、通信制御
装置による通信制御、基板処理ラインの状態監視、およ
びホストコンピュータへの自動応答により、ブロックコ
ンピュータの受け持つ処理負担が著しく軽減される。

＜実施例＞ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る基板処理システムの
構成を示した概略ブロック図である。

本実施例に係る基板処理システムは、基板にフォトレジ
ストを塗布して加熱処理する基板処理ライン100 と、こ
の基板処理ライン100 に対して種々の処理条件や指令を
与えるブロックコンピュータ200 と、ブロックコンピュ
ータ200を介して基板処理ライン100 を統括的に制御す
るホストコンピュータ300 と、前記基板処理ライン100
，ブロックコンピュータ200 ，ホストコンピュータ300
の間に介在して通信制御などを行なう通信制御ユニッ
ト400 とを含む。なお、通信制御ユニット400 は、本発
明における通信制御装置に相当する。基板処理ライン10
0 は、それぞれ同様の構成を備えた第１トラック110 お
よび第２トラック120 と、各トラック110 ，120を統括
的に制御する主制御部130 とを含む。ただし、本発明に
おいてトラックの数や各トラックの構成は任意に設定す
ることができる。

各トラック110 ，120は、１ロットを構成する複数枚の
基板を収納したカセット（図示せず）から基板を順次供
給するローダユニット111 と、ローダユニット111 から
供給された各基板にフォトレジストを塗布するスピンナ
ーユニット112 と、フォトレジストが塗布された基板を
加熱処理する加熱処理ユニット113 と、熱処理された基
板を別のカセットに収納するアンローダユニット114 と
から構成されている。

ブロックコンピュータ200 には、ＣＲＴ201 、キーボー
ド202 、および基板処理条件が格納された磁気ディスク
203 が付設されている。

通信制御ユニット400 は、基板処理ライン100 との双方
向のシリアル通信に係る第１チャンネルユニット410
と、ホストコンピュータ300 との双方向のシリアル通信
に係る第２チャンネルユニット420 と、各チャンネルユ
ニット410 ，420に関連して設けられ、基板処理ライン1
00 の各ユニットの状態が格納される記憶部430 とを備
えている。

また、第１および第２チャンネルユニット410 ，420 と
ブロックコンピュータ200 とはバスラインによって接続
されている。なお、上述した通信制御ユニット400 は、
マイクロコンピュータを利用したソフトウエアによって
実現されるが、ここでは理解の容易のために機能ごとの
ブロックによって示している。また、第１チャネルユニ
ット410 と第２チャネルユニット420 は、それぞれ本発
明における状態監視用通信制御部と自動応答用通信制御
部に相当する。

第１チャンネルユニット410 は、制御部411 、タイマー
412 、送信部413 、受信部414 を含み、これらはそれぞ
れ次のような処理を行う。

すなわち、制御部411 は、(a) ブロックコンピュータ2
00 とのコマンドのやりとり、(b) 送信開始を示す文字
列の設定、(c) 送・受信部413 ，414の制御、(d) タ
イマー412 の設定・解除、(e) 基板処理ライン100 の
状態を監視するためのポーリング、(f) 基板処理ライ
ン100 を構成している各ユニットの詳細データの採取な
どを行う。

タイマー412 は、(a) 送・受信のタイムアウトの監
視、(b) ポーリング実行間隔の監視などを行う。

送信部413 は、(a) 制御部411 によって設定された文
字列の送信、(b) 受信部414 で設定された制御文字の
送信などを行う。

受信部414 は、(a) 基板処理ライン100 から送信され
た制御文字の受信、(b) 同じくデータの受信とそのエ
ラーチェック、(c) エラー発生時のリトライ・チェッ
クなどを行う。

一方、第２チャンネルユニット420 は、制御部421 、タ
イマー422 、送信部423 、受信部424 を含み、これらは
それぞれ次のような処理を行う。

すなわち、制御部421 は、(a) ブロックコンピュータ2
00 とのコマンドのやりとり、(b) 送信部423 への制御
文字の設定、(c) 送・受信部423 ，424 の制御、(d)
タイマー422 の設定・解除、(e) ホストコンピュータ3
00 からの問い合わせに対する対応などを行う。

タイマー422 は、送・受信のタイムアウトの監視などを
行う。

送信部423 は、制御部421 によって設定された文字列の
送信などを行う。

受信部424 は、(a) ホストコンピュータ300 から送信
された制御文字の受信、(b) 同じくデータの受信など
を行う。

以下、本実施例の動作を第２図および第３図に示したフ
ローチャートに基づいて説明する。

まず、第２図を参照して、基板処理ライン100 との通信
に係る通信制御ユニット400 、特に第１チャンネルユニ
ット410 の動作を説明する。

最初に、通信制御ユニット400 の第１チャンネルユニッ
ト410 を初期化する（ステップＳ１）。例えば、ブロッ
クコンピュータ200 に付設されたキーボード202 をオペ
レータが操作することによって、既に磁気ディスク203
に入力されているシリアル通信のボーレート、送・受信
のタイムアウト時間、ポーリング周期などが、ブロック
コンピュータ200 および第１チャンネルユニット410 の
制御部411 を介して、タイマー412 に設定される。

次に、制御部411 は、ブロックコンピュータ200 からの
コマンドがあるかどうかを判断する（ステップＳ２）。
コマンドがない場合、タイマー412 からの出力信号に基
づき、ポーリングを開始するかどうかを判断する（ステ
ップＳ３）。本実施例において、タイマー412 は約２秒
ごとにポーリング開始信号を制御部411 に出力してい
る。

ポーリング開始信号が出力されるまでの間、制御部411
はブロックコンピュータ200 からのコマンドを持つ。な
お、基板処理ライン100 は、通信制御ユニット400 から
のポーリングによる問い合わせがあって始めて応答し、
基板処理ライン100 が自発的にデータを送信することは
ないので、制御部411 はブロックコンピュータ200 から
のコマンドを持っていればよい。

タイマー412 からポーリング開始信号が出力されると、
制御部411 は基板処理ライン100 に対して、第１および
第２トラック110 ，120の状態（ステータス）を順次問
い合わせする（ステップＳ４）。具体的には、制御部41
1 は、送信部413 を介して基板処理ライン100 にステー
タス・リードメッセージＳＲＭを伝送する。ステータス
・リードメッセージＳＲＭは、第４図(a)に示すよう
に、テキスト開始文字ＳＴＸ、ステータス・リード文字
ＳＲ、指定トラック番号、テキスト終結文字ＥＴＸから
構成されている。

ステータス・リードメッセージＳＲＭを受け取った基板
処理ライン100 の主制御部130 は、各トラック110 ，12
0ごとに各ユニットの状態を示したステータス・トラン
スファー・メッセージＳＴＭを、通信制御ユニット400
の第１チャンネルユニット410 に向けて伝送する。ステ
ータス・トランスファー・メッセージＳＴＭは、第４図
(b)に示すように、テキスト開始文字ＳＴＸ、ステータ
ス・トランスファー文字ＳＴ、ユニット1 〜ｎのモード
番号とステータス文字、テキスト終結文字ＥＴＸから構
成されている。

ここで、モード番号は、そのユニットがどのような機能
をもった装置（例えば、ローダ、スピンナーなど）であ
るかを意味する符号である。これに対し、ユニット番号
は各ユニットの連続番号である。

ステータスには、そのユニットが準備状態でないことを
示す『ノット・レディー』、準備状態であることを示す
『レディー』、動作中であることを示す『ビジー』、異
常が発生していることを示す『アラーム』、終了状態で
あることを示す『コンプリート』がある。

基板処理ライン100 から伝送されてきたステータス情報
は、受信部414 に備えられた受信バッファ（図示せず）
に一旦取り込まれ、さらに制御部411 を介して記憶部43
0 に各ユニットごとに格納される。制御部411 は、ポー
リング実行ごとに基板処理ライン100 から伝送されて前
記受信バッファに取り込まれたステータス情報と、先の
ポーリングにより記憶部430 に格納されているステータ
ス情報とを各ユニットごとに比較し、あるユニットのス
テータスに変化があった場合に、そのユニットに対応し
た記憶部430 内のステータス情報を新たなステータス情
報に更新する。

ステータス情報が取り込まれると、制御部411 は、ロー
ダユニット111 またはアンローダユニット114 のステー
タス情報が、『コンプリート』であるかどうかを判断す
る（ステップＳ５）。『コンプリート』である場合、制
御部411 は送信部413 を介して、基板処理ライン100 の
主制御部130 に、ロットデータ・リード・メッセージＬ
ＲＭを伝送して、主制御部130 からロッドデータ・トラ
ンスファー・メッセージＬＴＭを受け取る（ステップＳ
６）。

ロットデータ・リード・メッセージＬＲＭは、第４図
(c)に示すように、テキスト開始文字ＳＴＸ、ロットデ
ータ・リード文字ＬＲ、トラック番号、ユニット番号、
テキスト終結文字ＥＴＸから構成されている。

また、ロットデータ・トランスファー・メッセージＬＴ
Ｍは、第４図(d)に示すように、テキスト開始文字ＳＴ
Ｘ、ロットデータ・トランスファ文字ＬＴ、トラック番
号、ユニット番号、ロット番号、レシピー番号、基板処
理枚数、テキスト終結文字ＥＴＸから構成されている。
ここで、レシピー番号とは、各トラックの各ユニットご
とに予め定められた基板処理条件を示す番号である。

上述したロットデータは、受信部414 に一旦取り込まれ
た後、制御部411 を介してブロックコンピュータ200 に
送られる。これにより、ブロックコンピュータ200 は、
このロットデータを内部記憶部（図示せず）に格納する
とともに、必要によりＣＲＴ201 に表示する。

ステップＳ５において、『コンプリート』でないと判断
された場合、およびステップＳ６の終了後、何れかのユ
ニットのステータスが『アラーム』でないかどうかを判
断する（ステップＳ７）。

何れかのユニットのステータスが『アラーム』である場
合、制御部411 はアラームデータ・リード・メッセージ
ＡＲＭを基板処理ライン100 の主制御部130 に伝送し、
異常が生じているユニットの詳細内容を含むアラームデ
ータ・トランスファ・メッセージＡＴＭを主制御部130
から受け取る（ステップＳ８）。

アラームデータ・リード・メッセージＡＲＭは、第４図
(e)に示すように、テキスト開始文字ＳＴＸ、アラーム
データ・リード文字ＡＲ、トラック番号、テキスト終結
文字ＥＴＸから構成されている。また、アラームデータ
・トランスファー・メッセージＡＴＭは、第４図(f)に
示すように、テキスト開始文字ＳＴＸ、アラームデータ
・トランスファー文字ＡＴ、アラームの発生数、各アラ
ームが発生しているトラックの番号，ユニット番号，ア
ラームコード、テキスト終結文字ＥＴＸから構成されて
いる。ここで、アラームコードとは、各ユニットに発生
する異常状態の種類に応じて予め定められたコードであ
る。

上述したアラームデータは、受信部414 に一旦取り込ま
れた後、制御部411 を介してブロックコンピュータ200
に送られる。ブロックコンピュータ200 は、このアラム
−データを格納するとともに、ＣＲＴ201 に基板処理ラ
イン100 に異常が発生したことを表示する。

ステップＳ７において、何れのユニットにもアラームが
発生していないと判断された場合、またはステップＳ８
の処理が終了した後は、ステップＳ２に戻ってブロック
コンピュータ200 からのコマンドを待つ。

なお、ポーリング実行中に、基板処理ライン100 から伝
送されてきたデータ中にエラーがあることを受信部414
が検出した場合には、予め定められた回数（例えば、３
回）だけデータ受信を再実行する。所定回数だけ再実行
しても、正しいデータが受信できない場合には、受信部
414 は制御部411 を介してブロックコンピュータ200 に
エラーコードを送り、再度ポーリングを行う。エラーコ
ードを送られたブロックコンピュータ200 は、エラーが
発生したことをＣＲＴ201 に表示する。

ところで、ステップＳ２において、ブロックコンピュー
タ200 からのコマンドがあると判断された場合は、ステ
ップＳ９に進み、そのコマンドを実行する。

ブロックコンピュータ200 から通信制御ユニット400 の
第１チャンネルユニット410 に与えられるコマンドに
は、(1) ボーレートの設定、(2) タイマーの設定・変
更・解除、(3) 書き込み（Ｗ）コマンドの送信、(4)
受信（Ｒ）コマンドの送信、(5) 強制作業中止、(6)
リセットなどのコマンドがある。

ステップＳ９において、ブロックコンピュータ200 から
与えられたコマンドに応じた処理が実行された後、その
コマンドが受信（Ｒ）コマンドであるかどうかを判断す
る（ステップＳ10）。

受信コマンドである場合、伝送されたコマンドに応じた
トランスファ・メッセージＴが返送されてくるので、こ
れの受信処理を行う（ステップＳ11）。具体的には、ト
ランスファ・データを一旦受信部414 の受信バッファに
取り込み、さらにこのデータを制御部411 を介してブロ
ックコンピュータ200 に伝送する。ブロックコンピュー
タ200 は、そのトランスファ・データを格納し、必要に
よりＣＲＴ201 に表示する。

ステップＳ11が完了した後、およびステップＳ10におい
て受信コマンドでないと判断された場合には、ステップ
Ｓ2 に戻って、ブロックコンピュータ200 からの次のコ
マンドを待つ。

次に、第３図を参照して、ホストコンピュータ300 との
シリアル通信に係る通信制御ユニット400 、特に第２チ
ャンネルユニット420 の動作を説明する。

まず、通信制御ユニット400 の第２チャンネルユニット
420 を初期化する（ステップＳ21）。このステップＳ21
では、ブロックコンピュータ200 に付設されたキーボー
ド202 をオペレータが操作することによって、既に磁気
ディスク203 に入力されているシリアル通信のボーレー
ト、送・受信のタイムアウト時間、ホストコンピュータ
300 からの問い合わせに対する自動応答、ホストコンピ
ュータ300 とのオンライン／オフラインなどが設定され
る。

次に、制御部421 は、ブロックコンピュータ200 からの
コマンドがあるかどうかを判断する（ステップＳ22）。
コマンドがない場合、ホストコンピュータ300 からのオ
ンライン／オフラインの問い合わせがあるかどうかを判
断する（ステップＳ23）。問い合わせがない場合は、ス
テップＳ22に戻り、ブロックコンピュータ200 からのコ
マンドを待つ。

ホストコンピュータ300 からオンライン／オフラインの
問い合わせがあった場合、これに対して自動応答するか
どうかを判断する（ステップＳ２４）。ステップＳ24に
おいて、自動応答に設定されていれば、ホストコンピュ
ータ300 からの問い合わせに対して、ブロックコンピュ
ータ200 とホストコンピュータ300 とがオンラインで結
ばれているかどうかを自動応答する（ステップＳ25）。

なお、この実施例では、自動応答されるものとして、シ
ステムのオンライン／オフラインを設定したが、この他
に、例えば基板処理ライン100 のステータスなどを自動
応答するようにしてもよい。

ステップＳ24において、自動応答に設定されていないと
判断された場合には、ホストコンピュータ300 からの問
い合わせ内容をブロックコンピュータ200 に報告し（ス
テップＳ26）、ブロックコンピュータ200 からの支持を
待ってこれを実行する（ステップＳ27）。

ところで、ステップＳ22において、ブロックコンピュー
タ200 からのコマンドがあると判断された場合には、ス
テップＳ28に進んで、そのコマンドを実行した後、ステ
ップＳ22に戻る。

ブロックコンピュータ200 から通信制御ユニット400 の
第２チャンネルユニット420 に与えられるコマンドとし
ては、上述した初期設定に関するコマンドの他に、長い
データを送るための送信コマンドと、短いデータを送る
ための送信コマンドとがある。

次に、第５図を参照して、本システムがオンライン状態
である場合の一般的な通信手順を説明する。

通信制御ユニット400 が行うポーリング（第２図の
ステップＳ４）によって、基板処理ライン100 からレシ
ピー要求（ステータス情報のうち『レディー』に相当す
る）が出される。

基板処理ライン100 からレシピー要求があると、ブ
ロックコンピュータ200 は、これをホストコンピュータ
300 に送信するように第２チャンネルユニット420 に指
令する（第３図のステップＳ22，Ｓ28）。

レシピー要求を受けたホストコンピュータ300 は、
処理ロットのレシピー番号をブロックコンピュータ200
に送信する。

ブロックコンピュータ200 は、このレシピー番号に
対応したレシピーデータを、磁気ディスク203 から読み
出して、基板処理ライン100 にロードする（第２図のス
テップＳ９）。

レシピーデータがロードされると、ホストコンピュ
ータ300 はスタート指令を出す。

このスタート指令はブロックコンピュータ200 を介
して、基板処理ライン100 に伝送される（第２図のステ
ップＳ９）。

基板処理ライン100 がスタートすると、ブロックコ
ンピュータ200 からホストコンピュータ300 に処理開始
が報告される（第３図のステップＳ28）。

基板処理ライン100 のローダユニット111 が全ての
基板を送り出すと、通信制御ユニット400 のポーリング
によって、ローダユニット111 の処理終了を示すステー
タスが通信制御ユニット400 に伝送され（第２図のステ
ップＳ４）、さらに、そのロットデータが通信制御ユニ
ット400 に伝送される（第２図のステップＳ６）。

基板処理ライン100 に異常が発生すると、通信制御
ユニット400 のポーリングによって、異常が発生したこ
とを示すステータス（アラーム）が通信制御ユニット40
0 に伝送され（第２図のステップＳ４）、さらに、その
詳細な内容が通信制御ユニット400 に伝送される（第２
図のステップＳ８）。

前記アラームおよびその内容は、ブロックコンピュ
ータ200 からのコマンドによりホストコンピュータ300
に伝送される（第３図のステップＳ28）。

基板処理ライン100 のアンローダユニット114 が、
処理された基板を全て収納すると、通信制御ユニット40
0 のポーリングによって、処理終了をステータス（コン
プリート）が通信制御ユニット400 に伝送され（第２図
のステップＳ４）、さらに、そのロットデータが通信制
御ユニット400 に伝送される（第２図のステップＳ
６）。

アンローダユニット114 の処理終了を示すステータ
ス情報は、ブロックコンピュータ200 のコマンドにより
ホストコンピュータ300 に伝送される（第３図のステッ
プＳ28）。

ホストコンピュータ300 から基板のモニタデータの
要求があると、第２チャンネルユニット420 は、これを
ブロックコンピュータ200 に報告する（第３図のステッ
プＳ26）。

モニタデータは、ブロックコンピュータ200 からの
コマンドにより、ホストコンピュータ300 に報告される
（第３図のステップＳ27）。

ホストコンピュータ300 は、ブロックコンピュータ
200 、またはブロックコンピュータ200 を介して基板処
理ライン100 に指令を出したい場合には、まず、ブロッ
クコンピュータ200 に対して、オンライン／オフライン
の問い合わせを行う。

通信制御ユニット400 が、問い合わせに対して自動
応答するように設定されているときは、通信制御ユニッ
ト400 が単独で、ホストコンピュータ300 にオンライン
／オフラインを応答する（第３図のステップＳ25）。ホ
ストコンピュータ300 がブロックコンピュータ200 にオ
ンラインで結ばれている場合、上述のようにホストコン
ピュータ300 からの指令に対して応答されるが、オフラ
インである場合には応答されないことはもちろんであ
る。

なお、上述の実施例では、基板処理ライン100 として、
基板にフォトレジストを塗布し、これを加熱処理する処
理ラインを例に採って説明したが、本発明はこれに限定
されず、例えば、基板の現像処理やエッチング処理など
を行う一連の処理ラインにも適用することができる。

＜発明の効果＞ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ブロ
ックコンピュータとは個別に設けられた通信制御装置に
よって、基板処理ライン、ブロックコンピュータ、ホス
トコンピュータ間の通信制御を行うとともに、基板処理
ラインの状態監視、およびホストコンピュータへの自動
応答を行い、ブロックコンピュータの処理負担を軽減し
ているから、ブロックコンピュータによるプログラム編
集やホストコンピュータからのデータ要求に対する応答
を円滑に行なうことができる。

また、本発明によれば、ブロックコンピュータの処理負
担が軽減されるので、通信制御装置を増設するだけで、
一台のブロックコンピュータによって、多数の基板処理
ラインを管理することができ、システムの拡張を容易に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の一実施例の説明図であ
り、第１図はその概略ブロック図、第２図は基板処理ラ
インとの通信における通信制御ユニットの動作フローチ
ャート、第３図はホストコンピュータとの通信における
通信制御ユニットの動作フローチャート、第４図は基板
処理ラインの状態監視に係るデータのフォーマット、第
５図は基板処理ライン、ブロックコンピュータ、ホスト
コンピュータ間の一般的なデータのやりとりを示した説
明図である。 第６図は従来例に係る基板処理システムの概略ブロック
図である。 100 ……基板処理ライン 200 ……ブロックコンピュータ 300 ……ホストコンピュータ 400 ……通信制御ユニット 410 ……第１チャンネルユニット 420 ……第２チャンネルユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０４Ｑ 9/00 ３０１ Ｂ 7170−5Ｋ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板に一連の処理を施す基板処理ライン
   と、前記基板処理ラインを管理するブロックコンピュー
   タと、前記ブロックコンピュータを介して前記基板処理
   ラインを統括的に管理するホストコンピュータと、を備
   えた基板処理システムに用いられる通信制御装置であっ
   て、 前記基板処理ラインとの間は通信ラインで、前記ブロッ
   クコンピュータとの間はバスラインでそれぞれ接続され
   ており、前記通信ラインを介して所定時間ごとに前記基
   板処理ラインの状態を監視し、前記状態に変化があった
   場合に、そのことを前記バスラインを介して前記ブロッ
   クコンピュータに知らせる状態監視用通信制御部と、 前記ホストコンピュータとの間は通信ラインで、前記ブ
   ロックコンピュータとの間はバスラインでそれぞれ接続
   されており、前記ホストコンピュータから通信ラインを
   介して伝送されてくるメッセージのうち、予め定められ
   た特定のメッセージに対しては自動応答し、それ以外の
   メッセージに対しては前記バスラインを介して前記ブロ
   ックコンピュータにそのメッセージを知らせる自動応答
   用通信制御部と、 を備えたことを特徴とする基板処理システムの通信制御
   装置。