JPH06275666A - 容器式熱処理装置 - Google Patents
容器式熱処理装置Info
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- JPH06275666A JPH06275666A JP8527593A JP8527593A JPH06275666A JP H06275666 A JPH06275666 A JP H06275666A JP 8527593 A JP8527593 A JP 8527593A JP 8527593 A JP8527593 A JP 8527593A JP H06275666 A JPH06275666 A JP H06275666A
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- heat
- magazine
- heat treatment
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- Tunnel Furnaces (AREA)
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークの熱処理の温度を均一にすると共に、
処理能力の向上と装置の小型化を図る。又、温度ステッ
プのある熱処理を可能にする。 【構成】 ＩＣチップをのせたリードフレームＷを載置
する棚枠１ａと空気入口１ｂと空気出口１ｃとを備え略
周囲を覆われているマガジン１と、これをＰ2、Ｐ3 、
Ｐ4 及びＰ5 の各位置に設置したときに空気入口及び出
口に対向する複数の送気口２、３及び吸気口４、５と、
押し込みファン６、７と、ヒータ８、９と、排気ファン
１０と、更に、ＨＥＰＡフィルタ１１、１２とを備えて
いる。 【効果】 マガジン内に空気を強制的に流せるので、ワ
ークの温度分布が均一になる。又、熱損が少なく熱交換
性能が良くなり、熱処理能力が向上し装置を小型化でき
る。更に、異なった温度で気体を加熱できるので、複数
の温度ステップを設けられる。
処理能力の向上と装置の小型化を図る。又、温度ステッ
プのある熱処理を可能にする。 【構成】 ＩＣチップをのせたリードフレームＷを載置
する棚枠１ａと空気入口１ｂと空気出口１ｃとを備え略
周囲を覆われているマガジン１と、これをＰ2、Ｐ3 、
Ｐ4 及びＰ5 の各位置に設置したときに空気入口及び出
口に対向する複数の送気口２、３及び吸気口４、５と、
押し込みファン６、７と、ヒータ８、９と、排気ファン
１０と、更に、ＨＥＰＡフィルタ１１、１２とを備えて
いる。 【効果】 マガジン内に空気を強制的に流せるので、ワ
ークの温度分布が均一になる。又、熱損が少なく熱交換
性能が良くなり、熱処理能力が向上し装置を小型化でき
る。更に、異なった温度で気体を加熱できるので、複数
の温度ステップを設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被熱処理物に熱を加え
てこれを熱処理する熱処理装置に関し、例えば、半導体
基板、電気プリント基板、ディスプレー基板等の製造工
程中の熱処理工程のように、ワークがマガジン単位で短
時間に大量に処理される場合などに有効に利用される。
てこれを熱処理する熱処理装置に関し、例えば、半導体
基板、電気プリント基板、ディスプレー基板等の製造工
程中の熱処理工程のように、ワークがマガジン単位で短
時間に大量に処理される場合などに有効に利用される。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱処理装置としては、熱処理槽に
ワークの入ったマガジンを直接投入するバッチ式熱処理
装置や、加熱室内にワークの入った複数のマガジンを自
動的に出し入れする熱処理装置が知られている。
ワークの入ったマガジンを直接投入するバッチ式熱処理
装置や、加熱室内にワークの入った複数のマガジンを自
動的に出し入れする熱処理装置が知られている。
【０００３】しかしながら、これらの従来の装置では、
断熱層を必要とするため加熱槽が大きくなる。又、マガ
ジン内で風が流れにくいため、ワークの熱処理に時間が
かかり、ワークの温度分布も悪い。更に、バッチ式では
加熱槽内へのマガジンの安全な出し入れのため加熱槽の
温度の上昇、下降時間が必要になり、処理量が少ないと
いう問題もある。そして、このような従来の装置では、
短時間ワークを加熱する温度を変化させ熱処理に温度勾
配を設けることが困難である。
断熱層を必要とするため加熱槽が大きくなる。又、マガ
ジン内で風が流れにくいため、ワークの熱処理に時間が
かかり、ワークの温度分布も悪い。更に、バッチ式では
加熱槽内へのマガジンの安全な出し入れのため加熱槽の
温度の上昇、下降時間が必要になり、処理量が少ないと
いう問題もある。そして、このような従来の装置では、
短時間ワークを加熱する温度を変化させ熱処理に温度勾
配を設けることが困難である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、請求項１の発明は、被処理物の
熱処理の温度を均一にし、小型で処理能力の大きい熱処
理装置を提供することを課題とし、請求項２の発明は、
上記に加えて、熱処理時間が相違する場合に対応できる
熱処理装置を提供することを課題とし、請求項３の発
明、請求項１の発明の課題に加えて、熱処理温度を変化
させることができる熱処理装置を提供することを課題と
する。
ける上記問題を解決し、請求項１の発明は、被処理物の
熱処理の温度を均一にし、小型で処理能力の大きい熱処
理装置を提供することを課題とし、請求項２の発明は、
上記に加えて、熱処理時間が相違する場合に対応できる
熱処理装置を提供することを課題とし、請求項３の発
明、請求項１の発明の課題に加えて、熱処理温度を変化
させることができる熱処理装置を提供することを課題と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、熱処理装置が、被熱処
理物を載置する載置部と第一開口と該第一開口に導通す
る第二開口とを備え略周囲を覆われている容器と、該容
器を所定位置に設置したときに前記第一開口に対向する
送気口と前記第二開口に対向する吸気口と、前記送気口
に気体を送る送気手段と、前記気体を加熱する加熱手段
と、前記吸気口から気体を吸入する吸気手段と、を有す
ることを特徴とし、請求項２の発明は、上記に加えて、
前記送気口と前記吸気口とは共に複数のノズルを有する
ことを特徴とし、請求項３の発明は、請求項１の発明の
特徴に加えて、前記送気口と前記吸気口と前記加熱手段
とは複数個あり、複数個の前記加熱手段が前記気体を加
熱する温度はそれぞれ異なった温度であることを特徴と
する。
するために、請求項１の発明は、熱処理装置が、被熱処
理物を載置する載置部と第一開口と該第一開口に導通す
る第二開口とを備え略周囲を覆われている容器と、該容
器を所定位置に設置したときに前記第一開口に対向する
送気口と前記第二開口に対向する吸気口と、前記送気口
に気体を送る送気手段と、前記気体を加熱する加熱手段
と、前記吸気口から気体を吸入する吸気手段と、を有す
ることを特徴とし、請求項２の発明は、上記に加えて、
前記送気口と前記吸気口とは共に複数のノズルを有する
ことを特徴とし、請求項３の発明は、請求項１の発明の
特徴に加えて、前記送気口と前記吸気口と前記加熱手段
とは複数個あり、複数個の前記加熱手段が前記気体を加
熱する温度はそれぞれ異なった温度であることを特徴と
する。
【０００６】
【作用】請求項１の発明によれば、容器内の載置部に被
熱処理物を載置し、容器を所定位置に設置すると、容器
の第一開口と送気口とが対向し第二開口と吸気口とが対
向する。次に送気手段と加熱手段と吸入手段とを作動さ
せると、容器の開口以外の所が略覆われているので、加
熱された気体が送気口から第一開口に送られ、容器内を
通過し、吸気手段により第二開口から吸気口に吸入され
る。この場合、容器は第一及び第二開口以外の部分が略
覆われているので、容器内には加熱された気体が強制的
に流されることになる。このため、容器内の被処理物
は、気体の保有する熱を効率よく伝達されると共に、均
一な温度に加熱される。又、容器の内部を直接加熱する
ため、容器自体の温度上昇よりも内部の被処理物の温度
上昇の方が十分大きくなり、容器自体を加熱する熱損が
少なく熱が有効に利用される。従って、小型の装置であ
っても処理能力が大きくなる。
熱処理物を載置し、容器を所定位置に設置すると、容器
の第一開口と送気口とが対向し第二開口と吸気口とが対
向する。次に送気手段と加熱手段と吸入手段とを作動さ
せると、容器の開口以外の所が略覆われているので、加
熱された気体が送気口から第一開口に送られ、容器内を
通過し、吸気手段により第二開口から吸気口に吸入され
る。この場合、容器は第一及び第二開口以外の部分が略
覆われているので、容器内には加熱された気体が強制的
に流されることになる。このため、容器内の被処理物
は、気体の保有する熱を効率よく伝達されると共に、均
一な温度に加熱される。又、容器の内部を直接加熱する
ため、容器自体の温度上昇よりも内部の被処理物の温度
上昇の方が十分大きくなり、容器自体を加熱する熱損が
少なく熱が有効に利用される。従って、小型の装置であ
っても処理能力が大きくなる。
【０００７】なお、吸気手段で吸入した気体は、外部に
排出されてもよいし、再び送気手段に送られてもよい。
又、送気手段と吸気手段とを同一物とし、気体を循環使
用するようにしてもよい。
排出されてもよいし、再び送気手段に送られてもよい。
又、送気手段と吸気手段とを同一物とし、気体を循環使
用するようにしてもよい。
【０００８】請求項２の発明によれば、送気口と吸気口
とは共に複数のノズルを有するので、ワークの連続処理
工程における熱処理時間の相違に対応可能となる。
とは共に複数のノズルを有するので、ワークの連続処理
工程における熱処理時間の相違に対応可能となる。
【０００９】請求項３の発明によれば、送気口と吸気口
と加熱手段とは複数個あり、複数の加熱手段がそれぞれ
異なった温度に気体を加熱するので、容器を複数の送気
口及び吸気口の位置に順次移動させることにより、容器
内に載置された被処理物を段階的に異なった温度で熱処
理することができる。なおこの場合、容器を所定位置に
設定したり移動したりする操作は、人手で行ってもよい
し、適当な搬送装置を設けて自動又は手動操作で行うよ
うにしてもよい。
と加熱手段とは複数個あり、複数の加熱手段がそれぞれ
異なった温度に気体を加熱するので、容器を複数の送気
口及び吸気口の位置に順次移動させることにより、容器
内に載置された被処理物を段階的に異なった温度で熱処
理することができる。なおこの場合、容器を所定位置に
設定したり移動したりする操作は、人手で行ってもよい
し、適当な搬送装置を設けて自動又は手動操作で行うよ
うにしてもよい。
【００１０】
【実施例】図１は本発明を適用した熱処理装置の一例と
して、ＩＣチップをリードフレームに載せて接着するＩ
Ｃリードフレームキュア装置の全体構成を示し、図２は
そのマガジンの概略構造を示す。本装置は、被熱処理物
としてのワークであるＩＣチップをのせたリードフレー
ムＷを載置する載置部としての棚枠１ａと第一開口であ
る空気入口１ｂと第一開口に導通する第二開口としての
空気出口１ｃとを備え略周囲を覆われている容器の一例
であるマガジン１と、マガジン１を所定位置である図示
のＰ2 、Ｐ3 、Ｐ4 及びＰ5 に設置したときに空気入口
１ｂに対向する複数の送気口２、３と、空気出口１ｃに
対向する複数の吸気口４、５と、送気口に空気を送る送
気手段としての押し込みファン６、７と、空気をそれぞ
れ異なった温度に加熱する複数の加熱手段としてのヒー
タ８、９と、吸気口から空気を吸入する吸気手段として
の排気ファン１０及び押し込みファン７とを有する。更
に本実施例の装置は、クリーン熱処理ができるように高
性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）１１、１２を備えて
いる。送気口３から吸気口５へ熱風を流す系統では、押
し込みファン７が送気手段及び吸気手段として兼用され
ていて、循環経路により空気が循環されるようになって
いる。
して、ＩＣチップをリードフレームに載せて接着するＩ
Ｃリードフレームキュア装置の全体構成を示し、図２は
そのマガジンの概略構造を示す。本装置は、被熱処理物
としてのワークであるＩＣチップをのせたリードフレー
ムＷを載置する載置部としての棚枠１ａと第一開口であ
る空気入口１ｂと第一開口に導通する第二開口としての
空気出口１ｃとを備え略周囲を覆われている容器の一例
であるマガジン１と、マガジン１を所定位置である図示
のＰ2 、Ｐ3 、Ｐ4 及びＰ5 に設置したときに空気入口
１ｂに対向する複数の送気口２、３と、空気出口１ｃに
対向する複数の吸気口４、５と、送気口に空気を送る送
気手段としての押し込みファン６、７と、空気をそれぞ
れ異なった温度に加熱する複数の加熱手段としてのヒー
タ８、９と、吸気口から空気を吸入する吸気手段として
の排気ファン１０及び押し込みファン７とを有する。更
に本実施例の装置は、クリーン熱処理ができるように高
性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）１１、１２を備えて
いる。送気口３から吸気口５へ熱風を流す系統では、押
し込みファン７が送気手段及び吸気手段として兼用され
ていて、循環経路により空気が循環されるようになって
いる。
【００１１】押し込みファンの容量は、流速が１ｍ／ｓ
〜５ｍ／ｓの熱風をマガジン１に流すことができるよう
な容量にする。この場合、遅い流速を得るためには、フ
ァンを回転制御してもよいし、ダクト中に設けたダンパ
ーを絞り制御するようにしてもよい。このように流速を
可変にすると、ワークの質量や形状の相違により、風圧
抵抗により位置ずれを生じることがないように、適当な
流速を選定することができる。流速を５ｍ／ｓ以下にす
るのは、それ以上にしも伝熱係数がそれ程大きくならな
いためである。
〜５ｍ／ｓの熱風をマガジン１に流すことができるよう
な容量にする。この場合、遅い流速を得るためには、フ
ァンを回転制御してもよいし、ダクト中に設けたダンパ
ーを絞り制御するようにしてもよい。このように流速を
可変にすると、ワークの質量や形状の相違により、風圧
抵抗により位置ずれを生じることがないように、適当な
流速を選定することができる。流速を５ｍ／ｓ以下にす
るのは、それ以上にしも伝熱係数がそれ程大きくならな
いためである。
【００１２】なお、以上の機器や配管は適当に保温され
る。又、ＨＥＰＡフィルタは、クリーン仕様でない熱処
理系では、省略することができる。
る。又、ＨＥＰＡフィルタは、クリーン仕様でない熱処
理系では、省略することができる。
【００１３】図３（ａ）及び（ｂ）はＩＣリードフレー
ムキュア装置の全体構造を示し、それぞれ正面及び側面
を示す。下部構造体１００内には、ファン、ヒータ、フ
ィルタ、これらを結ぶ配管系等が配設され、その上部に
は送気口、吸気口、排気ファン等及びマガジン１を搬送
させる搬送装置２０が設けられ、更に制御盤１３及び操
作盤１４が一体として取り付けられている。又、加熱さ
れた空気が通過する部分には、安全のためカバー１５が
被せられている。
ムキュア装置の全体構造を示し、それぞれ正面及び側面
を示す。下部構造体１００内には、ファン、ヒータ、フ
ィルタ、これらを結ぶ配管系等が配設され、その上部に
は送気口、吸気口、排気ファン等及びマガジン１を搬送
させる搬送装置２０が設けられ、更に制御盤１３及び操
作盤１４が一体として取り付けられている。又、加熱さ
れた空気が通過する部分には、安全のためカバー１５が
被せられている。
【００１４】図４乃至図６は、マガジン１を搬送させる
搬送装置２０の一例を示す。搬送装置２０は、下部構造
体１００上に取り付けられたスライドユニット２１と、
これに固定されたベース２２と、これに固定されたエア
シリンダ２３と、これらのロッド２３ａが嵌入されエア
シリンダ２３により昇降される支持部材２４と、これに
固定されマガジン１を案内する７対のフィンガー２５
と、下部構造体１００から支持されマガジン１を支持す
る１対のレール２６と、下部構造体１００に取り付けら
れベース２２を往復動させるエアシリンダ２７と、レー
ル２６の巾を調整するための逆ねじユニット２８等によ
り構成されている。なお搬送装置としては、このように
エアシリンダを用いるものに限らず、ベルトその他の搬
送装置を用いてもよい。
搬送装置２０の一例を示す。搬送装置２０は、下部構造
体１００上に取り付けられたスライドユニット２１と、
これに固定されたベース２２と、これに固定されたエア
シリンダ２３と、これらのロッド２３ａが嵌入されエア
シリンダ２３により昇降される支持部材２４と、これに
固定されマガジン１を案内する７対のフィンガー２５
と、下部構造体１００から支持されマガジン１を支持す
る１対のレール２６と、下部構造体１００に取り付けら
れベース２２を往復動させるエアシリンダ２７と、レー
ル２６の巾を調整するための逆ねじユニット２８等によ
り構成されている。なお搬送装置としては、このように
エアシリンダを用いるものに限らず、ベルトその他の搬
送装置を用いてもよい。
【００１５】図７は、送気口２、３及び吸気口４、５部
分の構造例を示す。これらは、それぞれ送気管１６及び
吸気管１７に連結された送気側の本体部２ー１、３ー１
及び吸気側の本体部４ー１、５ー１と、送気側のノズル
部２ａ、３ａ、３ｂ、３ｃ及び吸気側のノズル部４ａ、
５ａ、５ｂ、５ｃとで構成されている。ノズルは内部に
ハニカム整流板を備え、差込み交換により本体部に着脱
可能な構造になっている。従って、適当な長さのノズル
を選択して取り付けることにより、面間距離を調整して
その間に配置されるマガジンの巾寸法に対応させること
ができる。このようにノズルはマガジン１の空気入口１
ｂ及び空気出口１ｃに対向して配置されるが、熱風の漏
出をできるだけ少なくするために、開口寸法を、空気入
口側では、ノズル側がマガジン側より少し小さくなるよ
うにし、空気出口側では、マガジン側よりノズル側が少
し大きくなるようにすることが望ましい。なお、送気
口、吸気口、送気管及び吸気管は簡易断熱施工される。
そして、これらをカバー１５で覆い、その間に空気層を
存在させることにより、対人保護を図っている。
分の構造例を示す。これらは、それぞれ送気管１６及び
吸気管１７に連結された送気側の本体部２ー１、３ー１
及び吸気側の本体部４ー１、５ー１と、送気側のノズル
部２ａ、３ａ、３ｂ、３ｃ及び吸気側のノズル部４ａ、
５ａ、５ｂ、５ｃとで構成されている。ノズルは内部に
ハニカム整流板を備え、差込み交換により本体部に着脱
可能な構造になっている。従って、適当な長さのノズル
を選択して取り付けることにより、面間距離を調整して
その間に配置されるマガジンの巾寸法に対応させること
ができる。このようにノズルはマガジン１の空気入口１
ｂ及び空気出口１ｃに対向して配置されるが、熱風の漏
出をできるだけ少なくするために、開口寸法を、空気入
口側では、ノズル側がマガジン側より少し小さくなるよ
うにし、空気出口側では、マガジン側よりノズル側が少
し大きくなるようにすることが望ましい。なお、送気
口、吸気口、送気管及び吸気管は簡易断熱施工される。
そして、これらをカバー１５で覆い、その間に空気層を
存在させることにより、対人保護を図っている。
【００１６】以上のような構成により、ＩＣリードフレ
ームキュア装置は次のように作動する。熱処理すべきワ
ークとしてＩＣチップをのせたリードフレームＷの積載
されたマガジン１をローダポジィションＰ1 に設置し、
操作盤１４を操作して装置を作動させると、所定の制御
シーケンスにより熱処理が開始される。マガジン１は、
搬送装置２０によりＰ1 位置からプレキュアポジション
であるＰ2 位置に移設される。即ち、エアシリンダ２
３、２３が作動し、支持部材２４及びフィンガー２５が
持ち上げられ、レール２６上に設置されているマガジン
１を移動時にレールに擦れないように少し持ち上げ、エ
アシリンダ２７が作動し、マガジンがＰ1 位置からＰ2
位置に達するまで、スライドユニット２１を介してベー
ス２２、支持部材２４等を１ピッチだけ移動させ、再び
エアシリンダ２３、２３が作動して支持部材２４を下降
させ、マガジン１をレール２６上にあずけてこれをＰ2
位置に設定する。その後べース２２等は、エアシリンダ
２７の作動により再び最初の基準位置に復帰される。
ームキュア装置は次のように作動する。熱処理すべきワ
ークとしてＩＣチップをのせたリードフレームＷの積載
されたマガジン１をローダポジィションＰ1 に設置し、
操作盤１４を操作して装置を作動させると、所定の制御
シーケンスにより熱処理が開始される。マガジン１は、
搬送装置２０によりＰ1 位置からプレキュアポジション
であるＰ2 位置に移設される。即ち、エアシリンダ２
３、２３が作動し、支持部材２４及びフィンガー２５が
持ち上げられ、レール２６上に設置されているマガジン
１を移動時にレールに擦れないように少し持ち上げ、エ
アシリンダ２７が作動し、マガジンがＰ1 位置からＰ2
位置に達するまで、スライドユニット２１を介してベー
ス２２、支持部材２４等を１ピッチだけ移動させ、再び
エアシリンダ２３、２３が作動して支持部材２４を下降
させ、マガジン１をレール２６上にあずけてこれをＰ2
位置に設定する。その後べース２２等は、エアシリンダ
２７の作動により再び最初の基準位置に復帰される。
【００１７】この間にヒータ８がＯＮされていて、押し
込みファン６及び排気ファン１０が起動され、ＨＥＰＡ
フィルタ１１を介して例えば１００°Ｃ程度のクリーン
な熱風がマガジン１を通過し、内部のＩＣチップをのせ
たリードフレームＷを効率よく加熱する。このような方
法によれば、簡単に短時間でワークを所定温度まで加熱
することができる。なお、このようなプレキュアでは、
ワークを比較的低温で加熱し、接着用の溶剤から十分ガ
スを抜くようにするので、加熱後の空気がガスを含むた
め排気ファンでこれを外部に排出するようにしている。
込みファン６及び排気ファン１０が起動され、ＨＥＰＡ
フィルタ１１を介して例えば１００°Ｃ程度のクリーン
な熱風がマガジン１を通過し、内部のＩＣチップをのせ
たリードフレームＷを効率よく加熱する。このような方
法によれば、簡単に短時間でワークを所定温度まで加熱
することができる。なお、このようなプレキュアでは、
ワークを比較的低温で加熱し、接着用の溶剤から十分ガ
スを抜くようにするので、加熱後の空気がガスを含むた
め排気ファンでこれを外部に排出するようにしている。
【００１８】プレキュアを所定時間行うと、マガジン１
は、Ｐ1 位置からＰ2 位置への移動と同様の方法で、Ｐ
2 位置から第一ポストキュア位置Ｐ3 に移動される。な
おこの時には、Ｐ1 位置に載置された次のマガジンもＰ
2 位置に移動され、前述したプレキュアが行われる。Ｐ
3 位置では、ヒータ９がＯＮされていて、マガジン１が
設置されると押し込みファン７が運転され、ＨＥＰＡフ
ィルタを介して例えば１５０°Ｃ程度の熱風がマガジン
１に流され、内部のワークが直ちに加熱・昇温される。
このポストキュアではガスが発生しないので、熱風は再
び押し込みファンに吸引され、循環により熱経済性が維
持されている。この装置では、ポストキュアはプレキュ
アの３倍の時間に設定し、タクト運転をするため、ポス
トキュアポジションをＰ3 、Ｐ4 及びＰ5 の３位置とし
ている。従って、Ｐ3 位置でも、Ｐ2 位置のプレキュア
と同じ時間だけ熱処理される。
は、Ｐ1 位置からＰ2 位置への移動と同様の方法で、Ｐ
2 位置から第一ポストキュア位置Ｐ3 に移動される。な
おこの時には、Ｐ1 位置に載置された次のマガジンもＰ
2 位置に移動され、前述したプレキュアが行われる。Ｐ
3 位置では、ヒータ９がＯＮされていて、マガジン１が
設置されると押し込みファン７が運転され、ＨＥＰＡフ
ィルタを介して例えば１５０°Ｃ程度の熱風がマガジン
１に流され、内部のワークが直ちに加熱・昇温される。
このポストキュアではガスが発生しないので、熱風は再
び押し込みファンに吸引され、循環により熱経済性が維
持されている。この装置では、ポストキュアはプレキュ
アの３倍の時間に設定し、タクト運転をするため、ポス
トキュアポジションをＰ3 、Ｐ4 及びＰ5 の３位置とし
ている。従って、Ｐ3 位置でも、Ｐ2 位置のプレキュア
と同じ時間だけ熱処理される。
【００１９】このようにして順次Ｐ1 からＰ5 までマガ
ジンが設置され、Ｐ5 のマガジンのポストキュアが完了
すると、マガジン１は冷却位置Ｐ6 に移設され、所定時
間冷却された後アンローダポジションＰ7 に移動され、
外部へ取り出される。
ジンが設置され、Ｐ5 のマガジンのポストキュアが完了
すると、マガジン１は冷却位置Ｐ6 に移設され、所定時
間冷却された後アンローダポジションＰ7 に移動され、
外部へ取り出される。
【００２０】このような熱処理装置によれば、熱風がマ
ガジン内を強制的に所定の流速で流されるので、熱交換
性能が良くワークが短時間に所定の温度まで上昇する。
又、加熱を要しないマガジン自体を加熱しないため、熱
ロスが少なくなる。このため、小型の装置であっても、
大きな熱処理能力を有する。又、ワークの温度分布が均
一になるという効果が生ずる。そして、温度ステップを
複数段設けることにより、熱処理に温度勾配を設定する
ことが可能になる。更に、加熱部分の容積が小さいため
簡易断熱施工でよいこと、及び加熱系を配管構造によっ
て構成できるため、装置が小型化され従来の装置よりも
大幅に設置スペースが縮小される。従って、このような
熱処理装置は、温度ステップを設けて最少スペースで自
動熱処理ラインを構成する必要があるような装置に対し
て、特に有効な装置となる。
ガジン内を強制的に所定の流速で流されるので、熱交換
性能が良くワークが短時間に所定の温度まで上昇する。
又、加熱を要しないマガジン自体を加熱しないため、熱
ロスが少なくなる。このため、小型の装置であっても、
大きな熱処理能力を有する。又、ワークの温度分布が均
一になるという効果が生ずる。そして、温度ステップを
複数段設けることにより、熱処理に温度勾配を設定する
ことが可能になる。更に、加熱部分の容積が小さいため
簡易断熱施工でよいこと、及び加熱系を配管構造によっ
て構成できるため、装置が小型化され従来の装置よりも
大幅に設置スペースが縮小される。従って、このような
熱処理装置は、温度ステップを設けて最少スペースで自
動熱処理ラインを構成する必要があるような装置に対し
て、特に有効な装置となる。
【００２１】なお以上では、温度ステップを２段とし、
タクト時間の差に対しては、プレキュアを１ポジショ
ン、ポストキュアを３ポジションにした場合の例を示し
たが、本発明が上記のような装置に限られないことは言
うまでもない。これらは、熱処理するワークの種類等に
より任意に定められるものであり、例えば熱処理温度ス
テップを１００°Ｃ、１３０°Ｃ及び１５０°Ｃの３段
階にしたり、又は１段のみにし、加熱系を温度ステップ
の数をに合わせて装備し、各温度ステップ毎のポジショ
ン数も熱処理時間に対応して定めることができる。
タクト時間の差に対しては、プレキュアを１ポジショ
ン、ポストキュアを３ポジションにした場合の例を示し
たが、本発明が上記のような装置に限られないことは言
うまでもない。これらは、熱処理するワークの種類等に
より任意に定められるものであり、例えば熱処理温度ス
テップを１００°Ｃ、１３０°Ｃ及び１５０°Ｃの３段
階にしたり、又は１段のみにし、加熱系を温度ステップ
の数をに合わせて装備し、各温度ステップ毎のポジショ
ン数も熱処理時間に対応して定めることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、容器内に加熱気体を直接強制的に流せ
るので、被処理物の温度分布を均一にすることができ、
又、熱損が少なく熱交換性能が良くなり、熱処理能力が
向上し装置を小型化することができ、温度サイクルが不
要となるので熱処理時間が短くなる。請求項２の発明に
おいては、上記に加えて、送気口と吸気口とは共に複数
のノズルを有するので、熱処理のタクト時間の相違に対
応可能となる。請求項３の発明においては、請求項１の
発明の効果に加えて、加熱手段を複数にしてそれぞれ異
なった温度で気体を加熱するので、熱処理温度に複数の
ステップを設け、温度勾配を設定することができる。
発明においては、容器内に加熱気体を直接強制的に流せ
るので、被処理物の温度分布を均一にすることができ、
又、熱損が少なく熱交換性能が良くなり、熱処理能力が
向上し装置を小型化することができ、温度サイクルが不
要となるので熱処理時間が短くなる。請求項２の発明に
おいては、上記に加えて、送気口と吸気口とは共に複数
のノズルを有するので、熱処理のタクト時間の相違に対
応可能となる。請求項３の発明においては、請求項１の
発明の効果に加えて、加熱手段を複数にしてそれぞれ異
なった温度で気体を加熱するので、熱処理温度に複数の
ステップを設け、温度勾配を設定することができる。
【図１】熱処理装置の実施例であるマウントキュア装置
の説明図である。
の説明図である。
【図２】上記装置のマガジンの概略構造を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】上記装置の全体構造を示し、（ａ）は正面図
で、（ｂ）は側面図である。
で、（ｂ）は側面図である。
【図４】上記装置の搬送装置の一例を示す正面図であ
る。
る。
【図５】図４のＡ−Ａ矢視図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】上記装置の送気口及び吸気口の部分を示す側面
図である。
図である。
１ マガジン（容器） １ａ 棚枠（載置部） １ｂ 空気入口（第一開口） １ｃ 空気出口（第二開口） ２、３ 送気口 ４、５ 吸気口 ６、７ 押し込みファン（送気手段、吸気手段） ８、９ ヒータ（加熱手段） １０ 排気ファン（吸気手段） Ｗ ＩＣチップ（被処理材）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２７Ｂ 9/26 7516−4Ｋ 17/00 Ｂ Ｆ２７Ｄ 3/12 Ｚ 7141−4Ｋ
Claims (3)
- 【請求項１】 被熱処理物を載置する載置部と第一開口
と該第一開口に導通する第二開口とを備え略周囲を覆わ
れている容器と、該容器を所定位置に設置したときに前
記第一開口に対向する送気口と前記第二開口に対向する
吸気口と、前記送気口に気体を送る送気手段と、前記気
体を加熱する加熱手段と、前記吸気口から気体を吸入す
る吸気手段と、を有することを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項２】 前記送気口と前記吸気口とは共に複数の
ノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の熱処
理装置。 - 【請求項３】 前記送気口と前記吸気口と前記加熱手段
とは複数個あり、複数個の前記加熱手段が前記気体を加
熱する温度はそれぞれ異なった温度であることを特徴と
する請求項１に記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8527593A JP2608017B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 容器式熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8527593A JP2608017B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 容器式熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275666A true JPH06275666A (ja) | 1994-09-30 |
| JP2608017B2 JP2608017B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=13854020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8527593A Expired - Lifetime JP2608017B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 容器式熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2608017B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100442018B1 (ko) * | 1996-03-25 | 2004-11-10 | 고요 써모시스템 주식회사 | 열처리장치 |
| JP2009130361A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン実装装置及び半導体装置の実装方法 |
| JP2009537864A (ja) * | 2006-05-18 | 2009-10-29 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス板を熱処理するための方法および装置 |
| JP2017003240A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | 株式会社ネスター | 乾燥機 |
-
1993
- 1993-03-19 JP JP8527593A patent/JP2608017B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100442018B1 (ko) * | 1996-03-25 | 2004-11-10 | 고요 써모시스템 주식회사 | 열처리장치 |
| JP2009537864A (ja) * | 2006-05-18 | 2009-10-29 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス板を熱処理するための方法および装置 |
| JP2009130361A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Samsung Electronics Co Ltd | インライン実装装置及び半導体装置の実装方法 |
| US8796597B2 (en) | 2007-11-19 | 2014-08-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | In-line package apparatuses and methods |
| JP2017003240A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | 株式会社ネスター | 乾燥機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2608017B2 (ja) | 1997-05-07 |
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