JPH06273120A - 表面膜厚量計測装置 - Google Patents
表面膜厚量計測装置Info
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- JPH06273120A JPH06273120A JP6491693A JP6491693A JPH06273120A JP H06273120 A JPH06273120 A JP H06273120A JP 6491693 A JP6491693 A JP 6491693A JP 6491693 A JP6491693 A JP 6491693A JP H06273120 A JPH06273120 A JP H06273120A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クロムローラ等の金属ローラのように、鏡面状
支持体の表面に保持される水分量等の膜厚量も好適に計
測することができる表面膜厚量計測装置を提供する。 【構成】被測定対象となる膜の吸収波長の直線偏光のレ
ーザ光をブリュースター角で被測定部分に入射する測定
光射出手段と、この測定光射出手段より射出され、支持
体によって反射されたレーザ光の光量を計測する計測手
段と、支持体状に膜が無い時に計測手段で計測されるレ
ーザ光の光量を基準として、計測手段によって計測され
たレーザ光の光量より、支持体表面の膜厚量を算出する
手段とを有することにより、前記目的を達成する。
支持体の表面に保持される水分量等の膜厚量も好適に計
測することができる表面膜厚量計測装置を提供する。 【構成】被測定対象となる膜の吸収波長の直線偏光のレ
ーザ光をブリュースター角で被測定部分に入射する測定
光射出手段と、この測定光射出手段より射出され、支持
体によって反射されたレーザ光の光量を計測する計測手
段と、支持体状に膜が無い時に計測手段で計測されるレ
ーザ光の光量を基準として、計測手段によって計測され
たレーザ光の光量より、支持体表面の膜厚量を算出する
手段とを有することにより、前記目的を達成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クロムローラ等の鏡面
状の支持体表面に存在する水分量等、支持体上の膜厚量
を計測する表面膜厚量計測装置に関する。
状の支持体表面に存在する水分量等、支持体上の膜厚量
を計測する表面膜厚量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種の産業分野において、支持体上に存
在する液体等の膜厚量の計測が行われている。例えば、
印刷装置、半導体製造装置等において、各種部材表面等
に存在する水分量等は仕上り製品の品質を大きく左右す
る。
在する液体等の膜厚量の計測が行われている。例えば、
印刷装置、半導体製造装置等において、各種部材表面等
に存在する水分量等は仕上り製品の品質を大きく左右す
る。
【０００３】より具体的には、オフセット印刷装置にお
いては、非画像部へのインク付着を防止するために印刷
版面に浸し水を付着して印刷が行われる。ここで、浸し
水は非画像部へのインク付着防止以外にも、非画像部の
洗浄、画像部の洗浄、画像部の劣化防止、印刷版面温度
を一定に保つ等の重要な作用を有している。従って、高
画質を有する所定品質の仕上りプリントを得るために
は、印刷版面に付着される浸し水の量を所定量に保つこ
とが重要であり、印刷版面の湿し水量を的確に把握する
ことは、高画質な仕上りプリントを安定して得る上で極
めて重要である。
いては、非画像部へのインク付着を防止するために印刷
版面に浸し水を付着して印刷が行われる。ここで、浸し
水は非画像部へのインク付着防止以外にも、非画像部の
洗浄、画像部の洗浄、画像部の劣化防止、印刷版面温度
を一定に保つ等の重要な作用を有している。従って、高
画質を有する所定品質の仕上りプリントを得るために
は、印刷版面に付着される浸し水の量を所定量に保つこ
とが重要であり、印刷版面の湿し水量を的確に把握する
ことは、高画質な仕上りプリントを安定して得る上で極
めて重要である。
【０００４】浸し水は、浸し水タンクより、水元ロー
ラ、呼出しローラ、付けローラ等の各種のローラを介し
て印刷版に供給されるので、印刷版面の浸し水の量は前
記各ローラ表面に付着する浸し水の量によって大きく左
右される。そのため、高画質な仕上りプリントを得るた
めには、前記各ローラ表面の水分量を的確に制御する必
要があり、各ローラ表面の水分量を的確に把握すること
も重要である。また、各種印刷現象を解析する上でも、
ローラ表面等の水分量を把握することは極めて重要であ
る。
ラ、呼出しローラ、付けローラ等の各種のローラを介し
て印刷版に供給されるので、印刷版面の浸し水の量は前
記各ローラ表面に付着する浸し水の量によって大きく左
右される。そのため、高画質な仕上りプリントを得るた
めには、前記各ローラ表面の水分量を的確に制御する必
要があり、各ローラ表面の水分量を的確に把握すること
も重要である。また、各種印刷現象を解析する上でも、
ローラ表面等の水分量を把握することは極めて重要であ
る。
【０００５】さらに、オフセット印刷機では、インキロ
ーラ等に付着したインキの量等を的確に把握すること
も、高画質な仕上りプリントを得る上で極めて重要であ
る。
ーラ等に付着したインキの量等を的確に把握すること
も、高画質な仕上りプリントを得る上で極めて重要であ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、このような支持
体の表面に存在する水分量等は、ハロゲンランプ等を光
源として用い、光源より射出された測定光を測定部分に
入射して、水を通過して支持体に反射された測定光の光
量を計測し、水の吸収波長域の光量減衰を支持体表面に
水がない時と比べることにより計測されている。この方
法においては、光源であるハロゲンランプ等は指向性が
悪いので、被測定部の上方から測定光が照射される。と
ころが、反射光のうち正反射成分には水の表面で反射さ
れた光も含まれてしまう。そのため、このような従来の
表面水分の計測方法では、反射光のうち正反射成分を除
く散乱光を測定することによって水分量の計測が行われ
ている。
体の表面に存在する水分量等は、ハロゲンランプ等を光
源として用い、光源より射出された測定光を測定部分に
入射して、水を通過して支持体に反射された測定光の光
量を計測し、水の吸収波長域の光量減衰を支持体表面に
水がない時と比べることにより計測されている。この方
法においては、光源であるハロゲンランプ等は指向性が
悪いので、被測定部の上方から測定光が照射される。と
ころが、反射光のうち正反射成分には水の表面で反射さ
れた光も含まれてしまう。そのため、このような従来の
表面水分の計測方法では、反射光のうち正反射成分を除
く散乱光を測定することによって水分量の計測が行われ
ている。
【０００７】ところが、水が金属等の鏡面状の支持体表
面に存在する場合には、測定部分に入射した測定光の大
部分が散乱されることなく正反射されてしまうため、散
乱光を計測する従来の水分量計測では水分量を測定する
ことができない。例えば、前述の印刷装置であれば、浸
し水を供給するローラとしてはクロムローラなどの金属
ローラ等の鏡面状表面を有するローラも好適に利用され
るが、従来の表面水分量計測方法では、クロムローラ上
の水分量を把握することができないので、印刷不良等が
生じた場合の原因を的確に把握することができず、また
各種の印刷現象の解析を行う際の妨げとなっている。
面に存在する場合には、測定部分に入射した測定光の大
部分が散乱されることなく正反射されてしまうため、散
乱光を計測する従来の水分量計測では水分量を測定する
ことができない。例えば、前述の印刷装置であれば、浸
し水を供給するローラとしてはクロムローラなどの金属
ローラ等の鏡面状表面を有するローラも好適に利用され
るが、従来の表面水分量計測方法では、クロムローラ上
の水分量を把握することができないので、印刷不良等が
生じた場合の原因を的確に把握することができず、また
各種の印刷現象の解析を行う際の妨げとなっている。
【０００８】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決することにあり、クロムローラ等の金属ローラのよ
うに、鏡面状支持体の表面に保持される水分量等の膜厚
量も好適に計測することができる表面膜厚量計測装置を
提供することにある。
解決することにあり、クロムローラ等の金属ローラのよ
うに、鏡面状支持体の表面に保持される水分量等の膜厚
量も好適に計測することができる表面膜厚量計測装置を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、支持体表面に存在する膜厚量を計測する
表面膜厚量計測装置であって、前記膜による吸収波長の
直線偏光（Ｐ偏光）のレーザ光をブリュースター角で被
測定部分に入射する測定光射出手段と、前記測定光射出
手段より射出され、前記支持体によって反射されたレー
ザ光の光量を計測する計測手段と、前記支持体上に膜が
無い時に前記計測手段で計測されるレーザ光の光量を基
準として、前記計測手段によって計測されたレーザ光の
光量より、前記支持体表面の膜厚量を算出する手段とを
有することを特徴とする表面膜厚量計測装置を提供す
る。
に、本発明は、支持体表面に存在する膜厚量を計測する
表面膜厚量計測装置であって、前記膜による吸収波長の
直線偏光（Ｐ偏光）のレーザ光をブリュースター角で被
測定部分に入射する測定光射出手段と、前記測定光射出
手段より射出され、前記支持体によって反射されたレー
ザ光の光量を計測する計測手段と、前記支持体上に膜が
無い時に前記計測手段で計測されるレーザ光の光量を基
準として、前記計測手段によって計測されたレーザ光の
光量より、前記支持体表面の膜厚量を算出する手段とを
有することを特徴とする表面膜厚量計測装置を提供す
る。
【００１０】例えば、前記膜が水分であって、かつ前記
レーザ光の波長が２．７〜３．１μｍである態様が好適
に例示される。
レーザ光の波長が２．７〜３．１μｍである態様が好適
に例示される。
【００１１】
【発明の作用】本発明の表面膜厚量計測装置は、特にク
ロムローラ等の鏡面状支持体の表面に存在する水分量等
も正確に計測可能な表面水分量計測装置であって、計測
対象である膜による吸収波長の直線偏光（Ｐ偏光）のレ
ーザ光を、空気と膜とによるブリュースター角で被測定
部分に入射し、支持体によって反射されたレーザ光の光
量を測定して、支持体に膜が無い時のレーザ光光量を基
準として、計測されたレーザ光の光量より、支持体上に
存在する膜厚量を計測する。
ロムローラ等の鏡面状支持体の表面に存在する水分量等
も正確に計測可能な表面水分量計測装置であって、計測
対象である膜による吸収波長の直線偏光（Ｐ偏光）のレ
ーザ光を、空気と膜とによるブリュースター角で被測定
部分に入射し、支持体によって反射されたレーザ光の光
量を測定して、支持体に膜が無い時のレーザ光光量を基
準として、計測されたレーザ光の光量より、支持体上に
存在する膜厚量を計測する。
【００１２】例えば、膜が水分であれば水による吸収波
長域である波長２．７〜３．１μｍの直線偏光のレーザ
光を、空気と水とによるブリュースター角で水分量の被
測定部分に入射し、支持体によって反射されたレーザ光
の光量を測定して、支持体に水が無い時のレーザ光光量
を基準として、計測されたレーザ光の光量より、支持体
上に存在する水分量を計測する。
長域である波長２．７〜３．１μｍの直線偏光のレーザ
光を、空気と水とによるブリュースター角で水分量の被
測定部分に入射し、支持体によって反射されたレーザ光
の光量を測定して、支持体に水が無い時のレーザ光光量
を基準として、計測されたレーザ光の光量より、支持体
上に存在する水分量を計測する。
【００１３】このような本発明の表面膜厚量計測装置に
おいては、測定光である直線偏光のレーザ光はブリュー
スター角で被測定部位に入射するので、レーザ光は膜の
表面で反射されることなく、測定対象である膜に入射す
る。入射したレーザ光は、膜中を進行して支持体によっ
て反射され、再度膜中を進行して射出する。ここで、レ
ーザ光は測定対象となる膜の吸収波長域の光であるの
で、支持体上の膜の量に（すなわち膜厚）応じて吸収さ
れ、光量が減衰する。従って、支持体上に膜が無い時の
反射レーザ光の光量と、膜がある時の反射レーザ光光量
との差より、支持体上の膜厚量を計測することができ
る。
おいては、測定光である直線偏光のレーザ光はブリュー
スター角で被測定部位に入射するので、レーザ光は膜の
表面で反射されることなく、測定対象である膜に入射す
る。入射したレーザ光は、膜中を進行して支持体によっ
て反射され、再度膜中を進行して射出する。ここで、レ
ーザ光は測定対象となる膜の吸収波長域の光であるの
で、支持体上の膜の量に（すなわち膜厚）応じて吸収さ
れ、光量が減衰する。従って、支持体上に膜が無い時の
反射レーザ光の光量と、膜がある時の反射レーザ光光量
との差より、支持体上の膜厚量を計測することができ
る。
【００１４】このような本発明の表面膜厚量計測装置に
よれば、膜の吸収波長域の直線偏光のレーザ光をブリュ
ースター角で入射し、支持体によって反射された反射光
の光量を計測して膜厚量の計測を行うので、従来の表面
膜厚量計測装置では不可能であった、クロムローラ等の
金属ローラのような鏡面状の支持体表面に存在する水分
やインク等の量の計測を好適に行うことができる。しか
も、測定光であるレーザ光は、膜の表面によって反射さ
れることがないので、高精度な膜厚量計測を実現するこ
とができる。
よれば、膜の吸収波長域の直線偏光のレーザ光をブリュ
ースター角で入射し、支持体によって反射された反射光
の光量を計測して膜厚量の計測を行うので、従来の表面
膜厚量計測装置では不可能であった、クロムローラ等の
金属ローラのような鏡面状の支持体表面に存在する水分
やインク等の量の計測を好適に行うことができる。しか
も、測定光であるレーザ光は、膜の表面によって反射さ
れることがないので、高精度な膜厚量計測を実現するこ
とができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の表面膜厚量計測装置につい
て、添付の図面に示される好適実施例をもとに詳細に説
明する。図１に、本発明の表面膜厚量計測装置を支持体
表面の水分量を主に計測する表面水分量計測装置（以
下、水分計測装置とする）に利用した際の一例を概念的
に示す。
て、添付の図面に示される好適実施例をもとに詳細に説
明する。図１に、本発明の表面膜厚量計測装置を支持体
表面の水分量を主に計測する表面水分量計測装置（以
下、水分計測装置とする）に利用した際の一例を概念的
に示す。
【００１６】図１に示される水分計測装置１０は、基本
的にレーザ光光源としてのＮｄ：ＹＡＧレーザ１２と、
パラメトリック発振器１４と、赤外線センサ１６と、赤
外線センサによる計測結果より水分量を算出する算出部
１８とより構成されるものであり、図示例においては、
クロムローラ等の金属ローラ２０表面に付着する水層２
２を計測する。
的にレーザ光光源としてのＮｄ：ＹＡＧレーザ１２と、
パラメトリック発振器１４と、赤外線センサ１６と、赤
外線センサによる計測結果より水分量を算出する算出部
１８とより構成されるものであり、図示例においては、
クロムローラ等の金属ローラ２０表面に付着する水層２
２を計測する。
【００１７】水分計測装置１０において、水層２２を測
定するための波長２．７〜３．１μｍの直線偏光（Ｐ偏
光）の測定レーザ光Ｌ1 は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２お
よびパラメトリック発振器１４より射出される。つまり
水分計測装置１０においては、測定光射出手段はＮｄ：
ＹＡＧレーザ１２およびパラメトリック発振器１４より
構成される。周知のように、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２は
波長１．０６μｍの直線偏光のレーザ光を射出するもの
であり、図示例においては、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２よ
り射出されたレーザ光を、パラメトリック発振器１４に
よって波長変換して波長２．７〜３．１μｍの測定レー
ザ光Ｌ1 とする。
定するための波長２．７〜３．１μｍの直線偏光（Ｐ偏
光）の測定レーザ光Ｌ1 は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２お
よびパラメトリック発振器１４より射出される。つまり
水分計測装置１０においては、測定光射出手段はＮｄ：
ＹＡＧレーザ１２およびパラメトリック発振器１４より
構成される。周知のように、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２は
波長１．０６μｍの直線偏光のレーザ光を射出するもの
であり、図示例においては、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２よ
り射出されたレーザ光を、パラメトリック発振器１４に
よって波長変換して波長２．７〜３．１μｍの測定レー
ザ光Ｌ1 とする。
【００１８】パラメトリック発振器１４には特に限定は
なく、レーザ光源より射出されたレーザ光を水の吸収波
長である波長２．７〜３．１μｍの測定レーザ光Ｌ1 を
得られるものをレーザ光源に応じて適宜選択すればよい
が、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２を用いる図示例の
態様においては、非線形光学結晶としてニオブ酸リチウ
ム（LiNbO3) を用いたパラメトリック発振器１４を利用
して、Ｎｄ：ＹＡＧレーザとニオブ酸リチウムとのパラ
メトリック発振によって波長約３μｍの測定レーザ光Ｌ
1 とするもの等が例示される。
なく、レーザ光源より射出されたレーザ光を水の吸収波
長である波長２．７〜３．１μｍの測定レーザ光Ｌ1 を
得られるものをレーザ光源に応じて適宜選択すればよい
が、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１２を用いる図示例の
態様においては、非線形光学結晶としてニオブ酸リチウ
ム（LiNbO3) を用いたパラメトリック発振器１４を利用
して、Ｎｄ：ＹＡＧレーザとニオブ酸リチウムとのパラ
メトリック発振によって波長約３μｍの測定レーザ光Ｌ
1 とするもの等が例示される。
【００１９】なお、水分量計測装置１０における測定光
射出手段は、パラメトリック発振器１４を用いた図１に
示される例には限定はされず、波長２．７〜３．１μｍ
の直線偏光のレーザ光が得られるものであれば、ＨＦ等
を用いた気体レーザ等、公知の各種の方法がいずれも利
用可能である。つまり、本発明の表面膜厚量測定装置に
おいては、測定対象となる膜の吸収波長の直線偏光のレ
ーザ光が得られる測定光射出手段を、膜の種類に応じて
適宜選択すればよい。また、測定レーザ光Ｌ1 の波長を
可変として、各種の膜の計測に対応するように構成して
もよい。
射出手段は、パラメトリック発振器１４を用いた図１に
示される例には限定はされず、波長２．７〜３．１μｍ
の直線偏光のレーザ光が得られるものであれば、ＨＦ等
を用いた気体レーザ等、公知の各種の方法がいずれも利
用可能である。つまり、本発明の表面膜厚量測定装置に
おいては、測定対象となる膜の吸収波長の直線偏光のレ
ーザ光が得られる測定光射出手段を、膜の種類に応じて
適宜選択すればよい。また、測定レーザ光Ｌ1 の波長を
可変として、各種の膜の計測に対応するように構成して
もよい。
【００２０】また、図示例のＮｄ：ＹＡＧレーザ１２の
ように、直線偏光のレーザ光を射出する光源を利用せ
ず、十分な光量の測定レーザ光Ｌ1 を得られれば、偏光
子を用いて直線偏光の測定レーザ光Ｌ1 を得るものであ
ってもよい。
ように、直線偏光のレーザ光を射出する光源を利用せ
ず、十分な光量の測定レーザ光Ｌ1 を得られれば、偏光
子を用いて直線偏光の測定レーザ光Ｌ1 を得るものであ
ってもよい。
【００２１】本発明の水分測定装置１０においては、こ
のようにして射出された測定レーザ光Ｌ1 を、空気と水
（すなわち測定対象となる膜）とによるブリュースター
角(Brewster angle)で水層２２に入射する。このような
構成とすることにより、測定レーザ光Ｌ1 が水層２２の
表面で反射されることがなく、すべて水層２２に入射す
るので、測定レーザ光Ｌ1 の光量誤差のない正確な水分
量測定を実現することができる。
のようにして射出された測定レーザ光Ｌ1 を、空気と水
（すなわち測定対象となる膜）とによるブリュースター
角(Brewster angle)で水層２２に入射する。このような
構成とすることにより、測定レーザ光Ｌ1 が水層２２の
表面で反射されることがなく、すべて水層２２に入射す
るので、測定レーザ光Ｌ1 の光量誤差のない正確な水分
量測定を実現することができる。
【００２２】測定レーザ光Ｌ1 を水層２２にブリュース
ター角で入射する方法には特に限定はなく、Ｎｄ：ＹＡ
Ｇレーザ１２およびパラメトリック発振器１４をこの角
度に応じた位置や角度で配置する方法、ミラー等の反射
部材を用いて角度を調整する方法等、各種の方法が利用
可能である。
ター角で入射する方法には特に限定はなく、Ｎｄ：ＹＡ
Ｇレーザ１２およびパラメトリック発振器１４をこの角
度に応じた位置や角度で配置する方法、ミラー等の反射
部材を用いて角度を調整する方法等、各種の方法が利用
可能である。
【００２３】前述のように、測定レーザ光Ｌ1 は水の吸
収波長域（−ＯＨ伸縮振動）である波長２．７〜３．１
μｍのレーザ光で、水層２２にブリュースター角で入射
する。従って、測定レーザ光Ｌ1 は水面で反射されるこ
となく水層２２に（屈折率に応じて屈折して）入射し
て、水によって吸収されつつ水層２２中を進行し、金属
ローラ２０表面で反射されて、さらに水によって吸収さ
れつつ水層２２中を進行して（屈折して）、水層２２よ
り射出する。
収波長域（−ＯＨ伸縮振動）である波長２．７〜３．１
μｍのレーザ光で、水層２２にブリュースター角で入射
する。従って、測定レーザ光Ｌ1 は水面で反射されるこ
となく水層２２に（屈折率に応じて屈折して）入射し
て、水によって吸収されつつ水層２２中を進行し、金属
ローラ２０表面で反射されて、さらに水によって吸収さ
れつつ水層２２中を進行して（屈折して）、水層２２よ
り射出する。
【００２４】水層２２より射出した反射レーザ光Ｌ2
は、次いで赤外線センサ１６に入射して光量を測定され
る。赤外線センサ１６は、測定レーザ光Ｌ1 の光路、水
の屈折率、考え得る水層２２の厚さ等に応じて、反射レ
ーザ光Ｌ2 を好適に受光できる位置に配置されている。
本発明に利用される赤外線センサには特に限定はなく、
波長２．７〜３．１μｍの光の強度を測定可能な光セン
サがいずれも利用可能である。一例として、ＰｂＳ光導
電素子、ＰｂＳｅ光導電素子、ＭＣＴ（ＨｇＣｄＴｅ）
光導電素子等が例示される。
は、次いで赤外線センサ１６に入射して光量を測定され
る。赤外線センサ１６は、測定レーザ光Ｌ1 の光路、水
の屈折率、考え得る水層２２の厚さ等に応じて、反射レ
ーザ光Ｌ2 を好適に受光できる位置に配置されている。
本発明に利用される赤外線センサには特に限定はなく、
波長２．７〜３．１μｍの光の強度を測定可能な光セン
サがいずれも利用可能である。一例として、ＰｂＳ光導
電素子、ＰｂＳｅ光導電素子、ＭＣＴ（ＨｇＣｄＴｅ）
光導電素子等が例示される。
【００２５】つまり、本発明に利用される光量測定手段
には特に限定はなく、測定レーザ光Ｌ1 （反射レーザ光
Ｌ2 ）の波長に応じて、その波長の光を計測可能なもの
を適宜選択すればよい。
には特に限定はなく、測定レーザ光Ｌ1 （反射レーザ光
Ｌ2 ）の波長に応じて、その波長の光を計測可能なもの
を適宜選択すればよい。
【００２６】赤外線センサ１６による反射レーザ光Ｌ2
の光量測定結果は、算出部１８に転送される。前述のよ
うに、測定レーザ光Ｌ1 は水の吸収波長域のレーザ光で
あって、水層２２にブリュースター角で入射する。従っ
て、水層２２を通過した反射レーザ光Ｌ2 の光量は、水
層２２における水の量、すなわち水層２２の厚さ（およ
び金属ローラ２０の反射率）に応じて減衰している。算
出部１８においては、水層２２が無いときの反射レーザ
光Ｌ2 の光量を基準として、水層２２を通過した反射レ
ーザ光Ｌ2 と基準光量との光量差より水層２２の厚さを
算出して、金属ローラ２０上の水の量を得る。
の光量測定結果は、算出部１８に転送される。前述のよ
うに、測定レーザ光Ｌ1 は水の吸収波長域のレーザ光で
あって、水層２２にブリュースター角で入射する。従っ
て、水層２２を通過した反射レーザ光Ｌ2 の光量は、水
層２２における水の量、すなわち水層２２の厚さ（およ
び金属ローラ２０の反射率）に応じて減衰している。算
出部１８においては、水層２２が無いときの反射レーザ
光Ｌ2 の光量を基準として、水層２２を通過した反射レ
ーザ光Ｌ2 と基準光量との光量差より水層２２の厚さを
算出して、金属ローラ２０上の水の量を得る。
【００２７】水層２２が無いときの反射レーザ光Ｌ2 の
光量（基準光量）は、あらかじめ測定しておいて既知の
データとして算出部１８に記憶しておいてもよく、また
測定ごとに毎回検出するものであってもよい。さらに、
金属ローラ２０の反射率が高く、これによる測定レーザ
光Ｌ1 の吸収が無視できる場合は、測定光射出手段より
射出される測定レーザ光Ｌ1 の光量を基準として水層２
２の厚さを算出してもよい。また、水層２２が有色であ
る場合には、水層２２の色フィルタとしての作用を加味
して水層２２の厚さを算出する。
光量（基準光量）は、あらかじめ測定しておいて既知の
データとして算出部１８に記憶しておいてもよく、また
測定ごとに毎回検出するものであってもよい。さらに、
金属ローラ２０の反射率が高く、これによる測定レーザ
光Ｌ1 の吸収が無視できる場合は、測定光射出手段より
射出される測定レーザ光Ｌ1 の光量を基準として水層２
２の厚さを算出してもよい。また、水層２２が有色であ
る場合には、水層２２の色フィルタとしての作用を加味
して水層２２の厚さを算出する。
【００２８】以上の例は、本発明の表面膜厚計測装置を
主に水分量を計測する水分量計測装置に利用した例であ
ったが、本発明はこれに限定はされず、鏡面状支持体上
の各種の膜を計測対象とすることができる。
主に水分量を計測する水分量計測装置に利用した例であ
ったが、本発明はこれに限定はされず、鏡面状支持体上
の各種の膜を計測対象とすることができる。
【００２９】例えば、測定レーザ光Ｌ1 としてインキの
吸収波長域（−ＣＨ伸縮振動）である３．４μｍ近傍の
レーザ光を用いることにより、インキの膜厚量を計測す
ることができる。
吸収波長域（−ＣＨ伸縮振動）である３．４μｍ近傍の
レーザ光を用いることにより、インキの膜厚量を計測す
ることができる。
【００３０】なお、上記各波長の測定レーザ光Ｌ1 は、
Ｎｄ：ＹＡＧレーザとニオブ酸リチウム（LiNbO3) を用
いたパラメトリック発振器とを組み合わせた測定光射出
手段で得ることができる。また、測定レーザ光Ｌ1 は、
空気と測定対象となる膜とのブリュースター角で被測定
部位に入射するのは前述のとおりである。
Ｎｄ：ＹＡＧレーザとニオブ酸リチウム（LiNbO3) を用
いたパラメトリック発振器とを組み合わせた測定光射出
手段で得ることができる。また、測定レーザ光Ｌ1 は、
空気と測定対象となる膜とのブリュースター角で被測定
部位に入射するのは前述のとおりである。
【００３１】以上、本発明の表面膜厚量計測装置につい
て詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされ
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改
良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
て詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされ
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改
良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の表
面膜厚量計測装置によれば、従来は計測することができ
なかった、クロムローラなどの金属ローラ等の散乱光を
生じない鏡面状の支持体表面に保持される水分量等の膜
厚量も好適に、かつ高精度で計測することができる
面膜厚量計測装置によれば、従来は計測することができ
なかった、クロムローラなどの金属ローラ等の散乱光を
生じない鏡面状の支持体表面に保持される水分量等の膜
厚量も好適に、かつ高精度で計測することができる
【図１】本発明の表面膜厚量計測装置を表面水分量計測
装置に利用した際の一例を概念的に示す図である。
装置に利用した際の一例を概念的に示す図である。
１０ 表面水分量計測装置 １２ Ｎｄ：ＹＡＧレーザ １４ パラメトリック発振器 １６ 赤外線センサ １８ 算出部 ２０ 金属ローラ ２２ 水層
Claims (2)
- 【請求項１】支持体表面に存在する膜厚量を計測する表
面膜厚量計測装置であって、 前記膜による吸収波長の直線偏光のレーザ光をブリュー
スター角で被測定部分に入射する測定光射出手段と、 前記測定光射出手段より射出され、前記支持体によって
反射されたレーザ光の光量を計測する計測手段と、 前記支持体上に膜が無い時に前記計測手段で計測される
レーザ光の光量を基準として、前記計測手段によって計
測されたレーザ光の光量より、前記支持体表面の膜厚量
を算出する手段とを有することを特徴とする表面膜厚量
計測装置。 - 【請求項２】前記膜が水分であって、かつ前記レーザ光
の波長が２．７〜３．１μｍである請求項１に記載の表
面膜厚量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6491693A JPH06273120A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 表面膜厚量計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6491693A JPH06273120A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 表面膜厚量計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273120A true JPH06273120A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13271857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6491693A Pending JPH06273120A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 表面膜厚量計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273120A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000354961A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-12-26 | Nikon Corp | 検出装置及び検出方法 |
| JP2002072589A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像形成装置、トナー量測定装置、およびトナー量測定方法 |
| JP2007304042A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Toyota Motor Corp | 擦傷の測定装置と測定方法 |
| WO2010071209A1 (ja) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | 富士フイルム株式会社 | 検査装置 |
| CN102692191A (zh) * | 2012-06-14 | 2012-09-26 | 中国科学院半导体研究所 | 基于光纤传感测量公路路面表层水膜厚度的方法 |
| CN116067435A (zh) * | 2023-03-20 | 2023-05-05 | 北京市农林科学院智能装备技术研究中心 | 土壤环境多参数监测传感器 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP6491693A patent/JPH06273120A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000354961A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-12-26 | Nikon Corp | 検出装置及び検出方法 |
| JP4505893B2 (ja) * | 1999-04-16 | 2010-07-21 | 株式会社ニコン | 検出装置及び検出方法 |
| JP2002072589A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像形成装置、トナー量測定装置、およびトナー量測定方法 |
| JP4517479B2 (ja) * | 2000-09-04 | 2010-08-04 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像形成装置、トナー量測定装置、およびトナー量測定方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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