JPH06271340A - ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 - Google Patents
ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置Info
- Publication number
- JPH06271340A JPH06271340A JP5056734A JP5673493A JPH06271340A JP H06271340 A JPH06271340 A JP H06271340A JP 5056734 A JP5056734 A JP 5056734A JP 5673493 A JP5673493 A JP 5673493A JP H06271340 A JPH06271340 A JP H06271340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- treatment device
- exhaust
- gas treatment
- reaction vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 80
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 6
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/12—General methods of coating; Devices therefor
- C03C25/22—Deposition from the vapour phase
- C03C25/223—Deposition from the vapour phase by chemical vapour deposition or pyrolysis
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ガラスファイバの表面にカーボン
被覆を施すハーメチックコートファイバの製造方法及び
その装置に関する。 【構成】 紡糸直後の高温の裸ファイバ及び原料ガスを
導入し、裸ファイバ３の表面にカーボン被覆６を形成す
る反応容器５と、原料ガスの熱分解によって生じた排ガ
ス８を処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路１１及び燃焼炉１０とで形成された排
ガス処理装置とを備え、排ガス処理装置の下流端におけ
る圧力と外気との圧力差が所定値と排気流量を調整す
る。
被覆を施すハーメチックコートファイバの製造方法及び
その装置に関する。 【構成】 紡糸直後の高温の裸ファイバ及び原料ガスを
導入し、裸ファイバ３の表面にカーボン被覆６を形成す
る反応容器５と、原料ガスの熱分解によって生じた排ガ
ス８を処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路１１及び燃焼炉１０とで形成された排
ガス処理装置とを備え、排ガス処理装置の下流端におけ
る圧力と外気との圧力差が所定値と排気流量を調整す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラスファイバにカー
ボン被膜を施すハーメチックコートファイバ製造方法及
びその装置に関する。
ボン被膜を施すハーメチックコートファイバ製造方法及
びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】石英系光ファイバの裸線は水分や水素ガ
スを吸着しやすく、その結果光ファイバの強度劣化や光
伝送損失の増加の原因となる。このために光ファイバ用
プリフォームからファイバが線引きされた直後に、例え
ば化学的気相法によりファイバの表面にカーボンのハー
メチック層をコートして水分や水素の透過を抑えるよう
にしている。図４は、従来のハーメチックコートファイ
バの製造装置の構成を示す概略図である（特開平４−２
２４１４３号公報）。同図に示すように、線引き用加熱
炉２によって光ファイバ用プリフォーム（以下、母材と
いう）１が加熱され、線引きされた裸ファイバ３は外径
測定器４を通過した後、反応容器５によってファイバ３
の表面にカーボン膜６が施され、図示していない巻取機
へ送られる。
スを吸着しやすく、その結果光ファイバの強度劣化や光
伝送損失の増加の原因となる。このために光ファイバ用
プリフォームからファイバが線引きされた直後に、例え
ば化学的気相法によりファイバの表面にカーボンのハー
メチック層をコートして水分や水素の透過を抑えるよう
にしている。図４は、従来のハーメチックコートファイ
バの製造装置の構成を示す概略図である（特開平４−２
２４１４３号公報）。同図に示すように、線引き用加熱
炉２によって光ファイバ用プリフォーム（以下、母材と
いう）１が加熱され、線引きされた裸ファイバ３は外径
測定器４を通過した後、反応容器５によってファイバ３
の表面にカーボン膜６が施され、図示していない巻取機
へ送られる。
【０００３】導入口５ａから反応容器内に導入されたＣ
Ｈ4，ＣＨＣｌ3等の原料ガスは紡糸直後の高温の裸ファ
イバの表面に付着し、熱分解によってカーボン膜が形成
される。この際、熱分解によって発生する余剰のすす
（Ｃ），ＨＣｌ，ＣＯ，Ｈ−Ｃ−ＣＬ等の不要物は排気
口５ｂから排出される。さらに、燃焼ガス導入路１１と
燃焼炉１０からなる排ガス処理装置と、その先に設けら
れた排気管９によって排ガス中の不要物を分解し、図示
していないイオンスクラバへ送っている。
Ｈ4，ＣＨＣｌ3等の原料ガスは紡糸直後の高温の裸ファ
イバの表面に付着し、熱分解によってカーボン膜が形成
される。この際、熱分解によって発生する余剰のすす
（Ｃ），ＨＣｌ，ＣＯ，Ｈ−Ｃ−ＣＬ等の不要物は排気
口５ｂから排出される。さらに、燃焼ガス導入路１１と
燃焼炉１０からなる排ガス処理装置と、その先に設けら
れた排気管９によって排ガス中の不要物を分解し、図示
していないイオンスクラバへ送っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような装置を用い
た場合、裸ファイバの表面に形成されるカーボン膜に必
要以上の余剰のカーボンで排ガス処理されなかったすす
は長時間の製造中に反応容器や排気管の内壁に堆積され
る。この状態が続くと膜厚にむらが生じ、均一に被覆膜
が形成されないという問題がある。さらに、すすの堆積
により排ガス濃度が変化し、また反応容器と燃焼炉の圧
力が変動し反応容器内で異常発火を起こし、製造を継続
することができない場合がある。そこで本発明は、かか
る問題点を解決したハーメチックコートファイバの製造
方法及びその装置を提供することを目的とする。
た場合、裸ファイバの表面に形成されるカーボン膜に必
要以上の余剰のカーボンで排ガス処理されなかったすす
は長時間の製造中に反応容器や排気管の内壁に堆積され
る。この状態が続くと膜厚にむらが生じ、均一に被覆膜
が形成されないという問題がある。さらに、すすの堆積
により排ガス濃度が変化し、また反応容器と燃焼炉の圧
力が変動し反応容器内で異常発火を起こし、製造を継続
することができない場合がある。そこで本発明は、かか
る問題点を解決したハーメチックコートファイバの製造
方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のハーメチックコ
ートファイバの製造方法は、紡糸直後のガラスファイバ
及び原料ガスを導入し、ガラスファイバの表面にカーボ
ン被膜を形成する反応容器と、原料ガスの熱分解により
生じた排ガスを排出処理するために反応容器の外部に取
付けられた燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成され
た排ガス処理装置とを備え、排ガス処理装置の下流端に
おける圧力と外気との圧力差が所定値を保持するよう排
気流量を調整することを特徴とする。
ートファイバの製造方法は、紡糸直後のガラスファイバ
及び原料ガスを導入し、ガラスファイバの表面にカーボ
ン被膜を形成する反応容器と、原料ガスの熱分解により
生じた排ガスを排出処理するために反応容器の外部に取
付けられた燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成され
た排ガス処理装置とを備え、排ガス処理装置の下流端に
おける圧力と外気との圧力差が所定値を保持するよう排
気流量を調整することを特徴とする。
【０００６】また本発明のハーメチックコートファイバ
の製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計、調
整弁を介して配設された排気管とを備え、排ガス処理装
置の下流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保
持するよう調整弁を作動して排気流量が調整されること
を特徴とする。
の製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計、調
整弁を介して配設された排気管とを備え、排ガス処理装
置の下流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保
持するよう調整弁を作動して排気流量が調整されること
を特徴とする。
【０００７】さらに本発明のハーメチックコートファイ
バの製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガ
スを導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形
成する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガ
スを排出処理するために反応容器の外部に取付けられた
燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処
理装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を
介して配設された排気管とを備え、排ガス処理装置の下
流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持する
よう前記燃焼ガス導入路に設けられた調整弁を作動して
排気流量が調整されることを特徴とする。
バの製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガ
スを導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形
成する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガ
スを排出処理するために反応容器の外部に取付けられた
燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処
理装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を
介して配設された排気管とを備え、排ガス処理装置の下
流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持する
よう前記燃焼ガス導入路に設けられた調整弁を作動して
排気流量が調整されることを特徴とする。
【０００８】そして本発明のハーメチックコートファイ
バの製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガ
スを導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形
成する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガ
スを排出処理するために反応容器の外部に取付けられた
燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処
理装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を
介して配設された排気管と、調整弁を介して排気管に接
続された余剰空気吸気管とを備え、排ガス処理装置の下
流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持する
よう調整弁を作動して排気流量が調整されることを特徴
とする。
バの製造装置は、紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガ
スを導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形
成する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガ
スを排出処理するために反応容器の外部に取付けられた
燃焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処
理装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を
介して配設された排気管と、調整弁を介して排気管に接
続された余剰空気吸気管とを備え、排ガス処理装置の下
流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持する
よう調整弁を作動して排気流量が調整されることを特徴
とする。
【０００９】
【作用】上記の構成によれば本発明に係るハーメチック
コートファイバを製造するに際し、排ガス中のすす等は
反応容器の外部に設けられた排ガス処理装置の中で燃焼
され、ガス化されて排出される。さらに、排ガス処理装
置の下流端の圧力と外気圧との差が燃焼するための最適
状態のところで保持されるので、すすが反応容器の内壁
に堆積することは最小限に抑えられ、また容器内で異常
発火する問題は解消することができる。
コートファイバを製造するに際し、排ガス中のすす等は
反応容器の外部に設けられた排ガス処理装置の中で燃焼
され、ガス化されて排出される。さらに、排ガス処理装
置の下流端の圧力と外気圧との差が燃焼するための最適
状態のところで保持されるので、すすが反応容器の内壁
に堆積することは最小限に抑えられ、また容器内で異常
発火する問題は解消することができる。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。図１は第１の実施例に係るハーメチックコー
トファイバの製造装置の概略図である。なお、図面にお
いて同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略
する。同図に示すように、紡糸直後の７００〜１４００
℃の裸ファイバ３及び原料ガスを導入し、その表面にカ
ーボン被膜６を形成する反応容器５と、原料ガスの熱分
解により生じた排ガスを排出処理するために反応容器の
外部に取付けられた燃焼促進エア導入口１１及び燃焼炉
１０とで形成された排ガス処理装置と、排ガス処理装置
の下流端に設けられた差圧計１２、調整弁１３を介して
配設された排気管９とを備え、排ガス処理装置の下流端
における圧力と外気圧との差が燃焼するための最適状態
に保持されるように調整弁１３を制御器１４によって作
動せしめ、排気流量が調整される。
説明する。図１は第１の実施例に係るハーメチックコー
トファイバの製造装置の概略図である。なお、図面にお
いて同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略
する。同図に示すように、紡糸直後の７００〜１４００
℃の裸ファイバ３及び原料ガスを導入し、その表面にカ
ーボン被膜６を形成する反応容器５と、原料ガスの熱分
解により生じた排ガスを排出処理するために反応容器の
外部に取付けられた燃焼促進エア導入口１１及び燃焼炉
１０とで形成された排ガス処理装置と、排ガス処理装置
の下流端に設けられた差圧計１２、調整弁１３を介して
配設された排気管９とを備え、排ガス処理装置の下流端
における圧力と外気圧との差が燃焼するための最適状態
に保持されるように調整弁１３を制御器１４によって作
動せしめ、排気流量が調整される。
【００１１】上記の装置において、ＨＣ4とＣＨＣｌ3の
原料ガスを反応容器に導入し、紡糸直後の高温の裸ファ
イバの表面にカーボン被膜を熱分解して形成した。この
ときに反応容器から排出された未反応ガスや熱分解によ
り生じたＨ−Ｃｌ−Ｃ等の生成物は４リットル／ｍｉｎであ
り、これに燃焼ガスとして空気を８リットル／ｍｉｎ導入
し、１０００℃に加熱した長さ６００ｍｍの燃焼炉を通
して燃焼した。このときの燃焼炉の下流端における圧力
の最適条件は外気圧に対して２０ｍｍＨ2Ｏの負圧であ
った。この条件でハーメチックコートファイバを１００
ｋｍ以上連続して製造したがカーボン膜の厚さは均一で
あり、製造上の障害は起こらなかった。
原料ガスを反応容器に導入し、紡糸直後の高温の裸ファ
イバの表面にカーボン被膜を熱分解して形成した。この
ときに反応容器から排出された未反応ガスや熱分解によ
り生じたＨ−Ｃｌ−Ｃ等の生成物は４リットル／ｍｉｎであ
り、これに燃焼ガスとして空気を８リットル／ｍｉｎ導入
し、１０００℃に加熱した長さ６００ｍｍの燃焼炉を通
して燃焼した。このときの燃焼炉の下流端における圧力
の最適条件は外気圧に対して２０ｍｍＨ2Ｏの負圧であ
った。この条件でハーメチックコートファイバを１００
ｋｍ以上連続して製造したがカーボン膜の厚さは均一で
あり、製造上の障害は起こらなかった。
【００１２】図２は第２の実施例に係わるハーメチック
コートファイバの製造装置の概略図である。前記の反応
容器５と、前記の排ガス処理装置と、排ガス処理装置の
下流に設けられた差圧計１２を介して配設された排気管
９とを備え、排ガス処理装置の下流端における圧力と外
気圧との差が所定値を保持するように燃焼促進エア導入
路１１に設けられた調整弁１３を作動して排気流量が調
整される装置である。
コートファイバの製造装置の概略図である。前記の反応
容器５と、前記の排ガス処理装置と、排ガス処理装置の
下流に設けられた差圧計１２を介して配設された排気管
９とを備え、排ガス処理装置の下流端における圧力と外
気圧との差が所定値を保持するように燃焼促進エア導入
路１１に設けられた調整弁１３を作動して排気流量が調
整される装置である。
【００１３】さらに、図３は第３の実施例に係わるハー
メチックコートファイバの製造装置の概略図である。前
記の構成からなる反応容器５と、前記の排ガス処理装置
と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計１２を介
して配設された排気管９と、調整弁１３を介して排気管
９に接続された余剰空気吸気管１５とを備え、排ガス処
理装置の下流端における圧力と外気圧との差が所定値を
保持するよう調整弁１３を作動して排気流量が調整され
る。この装置は燃焼促進エア導入路１１と余剰空気吸気
管１５からの空気を独立して調整することができるの
で、きめ細かい制御・調整ができる。
メチックコートファイバの製造装置の概略図である。前
記の構成からなる反応容器５と、前記の排ガス処理装置
と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計１２を介
して配設された排気管９と、調整弁１３を介して排気管
９に接続された余剰空気吸気管１５とを備え、排ガス処
理装置の下流端における圧力と外気圧との差が所定値を
保持するよう調整弁１３を作動して排気流量が調整され
る。この装置は燃焼促進エア導入路１１と余剰空気吸気
管１５からの空気を独立して調整することができるの
で、きめ細かい制御・調整ができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るハー
メチックコートファイバを製造するに際し、排ガス中の
すす等は反応容器の外部に設けられた排ガス処理装置に
よって燃焼されて排出される。また、排ガス処理装置の
下流端の圧力と外気圧との差が燃焼するための最適状態
に保持できるので、反応容器内は一定に保たれ、均一に
カーボンコートされたファイバを製造することができ
る。
メチックコートファイバを製造するに際し、排ガス中の
すす等は反応容器の外部に設けられた排ガス処理装置に
よって燃焼されて排出される。また、排ガス処理装置の
下流端の圧力と外気圧との差が燃焼するための最適状態
に保持できるので、反応容器内は一定に保たれ、均一に
カーボンコートされたファイバを製造することができ
る。
【図１】本実施例に係るハーメチックコートファイバの
製造装置の構成を示す概略図である。
製造装置の構成を示す概略図である。
【図２】本実施例に係る第２のハーメチックコートファ
イバの製造装置の構成を示す概略図である。
イバの製造装置の構成を示す概略図である。
【図３】本実施例に係る第３のハーメチックコートファ
イバの製造装置の構成を示す概略図である。
イバの製造装置の構成を示す概略図である。
【図４】従来のハーメチックコートファイバの製造装置
の構成を示す概略図である。
の構成を示す概略図である。
１：光ファイバ用母材 ２：加熱炉 ３：裸ファイバ ４：外径測定器 ５：反応容器 ６：カーボン膜 ７：カーボンコートファイバ ８：排ガス ９：排気管 １０：燃焼炉 １１：燃焼促進エア導入路 １２：差圧計 １３：調整弁 １４：制御器 １５：余剰空気吸気管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 彈塚 俊雄 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内
Claims (4)
- 【請求項１】 紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置とを備え、排ガス処理装置の下流端における圧力と
外気との圧力差が所定値を保持するよう排気流量を調整
することを特徴とするハーメチックコートファイバの製
造方法。 - 【請求項２】 紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計、調
整弁を介して配設された排気管とを備え、排ガス処理装
置の下流端における圧力と外気との圧力差が所定値を保
持するよう調整弁を作動して排気流量が調整されること
を特徴とするハーメチックコートファイバの製造装置。 - 【請求項３】 紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を介
して配設された排気管とを備え、排ガス処理装置の下流
端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持するよ
う前記燃焼ガス導入路に設けられた調整弁を作動して排
気流量が調整されることを特徴とするハーメチックコー
トファイバの製造装置。 - 【請求項４】 紡糸直後のガラスファイバ及び原料ガス
を導入し、ガラスファイバの表面にカーボン被膜を形成
する反応容器と、原料ガスの熱分解により生じた排ガス
を排出処理するために反応容器の外部に取付けられた燃
焼促進エア導入路及び燃焼炉とで形成された排ガス処理
装置と、排ガス処理装置の下流に設けられた差圧計を介
して配設された排気管と、調整弁を介して排気管に接続
された余剰空気吸気管とを備え、排ガス処理装置の下流
端における圧力と外気との圧力差が所定値を保持するよ
う調整弁を作動して排気流量が調整されることを特徴と
するハーメチックコートファイバの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5056734A JPH06271340A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5056734A JPH06271340A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06271340A true JPH06271340A (ja) | 1994-09-27 |
Family
ID=13035748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5056734A Pending JPH06271340A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06271340A (ja) |
-
1993
- 1993-03-17 JP JP5056734A patent/JPH06271340A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5194714A (en) | Method and device for outside plasma deposition of hydroxyl ion-free silica | |
| JP2798486B2 (ja) | ハーメチックコート光ファイバの製造方法及び製造装置 | |
| US4518628A (en) | Hermetic coating by heterogeneous nucleation thermochemical deposition | |
| JPH04295033A (ja) | 炭素被覆光ファイバの作成方法および装置 | |
| JPH0653596B2 (ja) | 光フアイバ製造方法，製造装置及び非接触シール | |
| JPH07118933A (ja) | 炭素繊維連続焼成炉のシール方法 | |
| GB2164934A (en) | Surface nitriding of optical fibres | |
| JP2002009072A (ja) | シリコン窒化膜の形成方法及び形成装置 | |
| US4592924A (en) | Method of manufacturing a reaction vessel for crystal growth purposes | |
| JPH06271340A (ja) | ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 | |
| US4790625A (en) | Method of applying hermetic coating on optical fiber | |
| JPS62176936A (ja) | 光フアイバプリフオ−ムの製造方法および製造装置 | |
| EP1719739B1 (en) | Method and device for producing an optical fiber preform | |
| JP2697898B2 (ja) | ハーメチック被覆光ファイバの製造方法 | |
| US7810356B2 (en) | Process and apparatus for producing porous quartz glass base | |
| JP2005162573A (ja) | ガラス母材の製造方法 | |
| JP2729112B2 (ja) | ハーメチックコート光ファイバの製造装置及び製造方法 | |
| JP3489630B2 (ja) | ハーメチックコートファイバの製造方法及び装置 | |
| JPH1161421A (ja) | 導電膜の形成方法 | |
| JPS62162646A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPH08283946A (ja) | 堆積膜製造装置及び製造方法 | |
| JP2583392B2 (ja) | ハーメチックコート光ファイバの製造方法 | |
| JPH05155630A (ja) | シリカ多孔質母材の製造法 | |
| JPH0463154B2 (ja) | ||
| JPH02160645A (ja) | 光ファイバ薄膜コーティング炉 |