JPH06270153A - 流動物の計量供給方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 計量時の条件管理が容易で、少量のレジンを
一定量宛供給できる。 【構成】 レジン１１が容器１７に注入され、容器１７
と容器１７に注入されたレジン１１の総重量が重量計２
５によって測定される。重量計２５の測定値が設定値に
なると、コントローラ２７の指令によって、容器１７に
注入されたレジン１１がポッティングステーション６に
送給されてケース４にポッティングされる。 【効果】 レジン１１の嵩は重量計２５の測定によって
一定に維持されるため、レジン１１の粘度や温度の変
化、空気の圧力変動によってレジン１１の計量が変動す
るのを防止できる。レジン１１の粘度や温度に関する管
理の厳格性を緩和でき、ハイブリットＩＣの樹脂封止パ
ッケージ成形方法における生産性が高められる。ハイブ
リットＩＣの樹脂封止パッケージ５の体積についてのば
らつきを抑制でき、ハイブリットＩＣの品質および信頼
性が高められる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流動物の計量供給技
術、特に、流動物を設定された一定量宛供給する技術に
関し、例えば、半導体装置の製造工場において、樹脂封
止パッケージの成形材料である液状粘稠性樹脂（以下、
レジンという。）を一定量宛供給するのに利用して有効
な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工場において、樹脂封
止パッケージを成形する方法として、流動物の一例であ
るレジンがケースの内部に充填される方法がある。例え
ば、混成集積回路装置（以下、ハイブリットＩＣとい
う。）において、樹脂封止パッケージを成形する方法と
して、ハイブリットＩＣの主体が組み込まれたケースの
内部にレジンがポッティングされる方法が使用されるこ
とがある。

【０００３】このようにハイブリットＩＣの樹脂封止パ
ッケージがポッティング法によって成形されるに際し
て、ケースにはレジンは予め設定された一定量が常に供
給されてポッティングされる必要がある。このケースに
一定量のレジンを供給するレジンの計量供給装置とし
て、従来、空圧式のディスペンサ装置とポンプ式のレジ
ン計量供給装置とが使用されている。

【０００４】空圧式のディスペンサ装置は、密封容器に
レジンが充填され、この容器に充填されたレジンが容器
内に圧送される圧縮空気によって吐き出し口から押し出
されるように構成されている。そして、容器から吐き出
されるレジンの量は圧縮空気を圧送する時間がタイマー
によって一定に制御されることにより、常に一定量に計
量されるようになっている。

【０００５】ポンプ式のレジン計量供給装置は、注射器
にレジンが充填され、注射器に充填されたレジンが注射
器のシリンジ（ピストン）の前進によって注射針から押
し出されるように構成されている。そして、注射針から
押し出されるレジンの量はシリンジの前進量によって規
定される容積が一定に制御されることにより、常に一定
量に計量されるようになっている。

【０００６】なお、樹脂封止パッケージを備えているハ
イブリットＩＣを述べてある例としては、株式会社工業
調査会発行「ＩＣ化実装技術」１９８２年４月１５日発
行Ｐ２４５〜Ｐ２４７、がある。また、同書のＰ１５０
には、注型法（ポッティング法）による樹脂封止パッケ
ージ成形技術が述べられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、空圧式
のディスペンサ装置においては、レジンの粘度の経時硬
化や温度変化による粘度変化等によって吐出量に変動が
発生するため、レジンの状態管理、並びに、圧縮空気の
圧送時間や圧力に関する管理が非常に厳格になるという
問題点があることが本発明者によって明らかにされた。

【０００８】また、ポンプ式のレジン計量供給装置にお
いては、容積によってレジンの供給量が制御されるた
め、大容量のレジン供給には適しているが、少量のレジ
ンを供給するのは困難であるという問題点があることが
本発明者によって明らかにされた。すなわち、レジンを
シリンジの前進によって少量宛吐き出させるように、注
射器を構成することは非常に困難である。

【０００９】本発明の目的は、計量作業における条件管
理が容易で、少量の流動物を常に一定量宛供給すること
ができる流動物の計量供給技術を提供することにある。

【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。すなわち、タンクに貯留された流動物が注入さ
れる容器と、この容器およびこの容器に注入された流動
物の総重量を測定する重量計と、容器に注入された流動
物を被供給部へ移す移し手段と、重量計の測定値が予め
設定された値になった時点で移し手段に移し指令を与え
るコントローラとを備えていることを特徴とする。

【００１２】

【作用】前記した手段において、タンクに貯留された流
動物が容器に注入されるとともに、容器およびこの容器
に注入された流動物の総重量が重量計によって測定され
る。重量計の測定値が予め設定された値になると、コン
トローラが移し手段に移し指令を発信し、容器に注入さ
れた流動物が移し手段によって被供給部へ移送されるこ
とになる。

【００１３】前記した手段によれば、流動物の供給量は
重量計の測定によって一定に維持されるため、流動物の
粘度や温度の変化、および、空気の圧力の変動によって
流動物の計量が変動することはない。したがって、流動
物の粘度や温度および大気圧等に関する管理の厳格性を
緩和することができる。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるレジンの計量
供給装置が使用されているハイブリットＩＣの樹脂封止
パッケージ成形装置を示す一部切断正面図、図２はその
レジンのポッティング工程を示す拡大部分正面断面図で
ある。

【００１５】本実施例において、本発明に係る流動物の
計量供給装置は、ハイブリットＩＣの樹脂封止パッケー
ジを成形するに際して、流動物の一例であるシリコーン
レジン（以下、レジンという。）を一定量宛供給するレ
ジンの計量供給装置として構成されている。そして、こ
のレジンの計量供給装置１０はハイブリットＩＣ１の樹
脂封止パッケージを成形するための樹脂封止パッケージ
成形装置７に使用されている。

【００１６】詳細な説明および図示は省略するが、ハイ
ブリットＩＣ１はセラミック基板２に形成された電気配
線の上に半導体集積回路装置やチップ部品等が実装され
ているとともに、混成集積回路を電気的に外部に取り出
すためのリード３が複数本、整列されて突設されてい
る。ハイブリットＩＣ１は樹脂封止パッケージ５を成形
するためのケース４を備えており、このケース４は一主
面が開放した長方形の薄い箱形状に形成されている。

【００１７】そして、半導体集積回路装置やチップ部品
等が実装されたセラミック基板２がこのケース４にリー
ド３が開口面から突出された状態で収容された後、樹脂
封止パッケージ成形装置７のポッティングステーション
６に送られ、このポッティングステーション６において
後述するように、ケース４内にレジンがポッティングさ
れることにより、ケース４内に樹脂封止パッケージ５が
形成される。

【００１８】本実施例において、レジンの計量供給装置
１０は流動物としてのレジン１１を貯留するためのタン
ク１２を備えており、このタンク１２の出口１３には可
撓性を有する管としてのチューブ１４の始端が接続され
ている。チューブ１４はゴムまたは樹脂等の可撓性を有
する材料が用いられて、適度な柔軟性を呈するように形
成されている。

【００１９】チューブ１４の終端には容器１７が接続さ
れており、チューブ１４の中間部であるタンク１２と容
器１５との途中にはローラーポンプ１５と開閉弁１６と
が、タンク１２側から順に介設されている。開閉弁１６
は互いに接近離反作動する一対のピンチローラーが使用
されており、両ピンチローラーの接近によってチューブ
１４が押し潰されることにより、チューブ１４内のレジ
ン１１の流通が停止されるようになっている。ローラー
ポンプ１５および開閉弁１６は後述するコントローラに
よって制御されるようになっている。

【００２０】容器１７は軽量な材料が用いられて密封さ
れた略円筒形状に形成されており、その筒壁の下端部に
供給口１８および吐出口１９が互いに対向するように配
されてそれぞれ開設されている。供給口１８にはタンク
側のチューブ（以下、第１チューブという。）１４の終
端が接続されており、吐出口１９にはポッティングステ
ーション６側のチューブ（以下、第２チューブとい
う。）２０の始端が接続されている。

【００２１】第２チューブ２０の終端はポッティングス
テーション６に送られて来るワークとしてのケース４の
真上に位置するように配置されている。この第２チュー
ブ２０の途中には開閉弁（以下、第２開閉弁という。）
２１が介設されており、この第２開閉弁２１も第１チュ
ーブ側の開閉弁（以下、第１開閉弁という。）１６と同
様に構成されている。また、この第２開閉弁２１も第１
開閉弁１６と同様に後記するコントローラによって制御
されるようになっている。

【００２２】また、容器１７の筒内にはピストン２２が
上下方向に摺動自在に嵌合されており、ピストン２２の
ロッド２３は容器１７の上面壁から上方に突出されてい
る。ピストンロッド２３の真上にはプッシャー２４が突
合し得るように垂直方向下向きに設備されている。プッ
シャー２４はねじジャッキ装置やシリンダ装置等が使用
されており、ピストンロッド２３に突き当たってこれを
押すことにより、ピストン２２を下降させるように構成
されている。そして、プッシャー２４は後記するコント
ローラによって制御されるようになっている。

【００２３】容器１７は重量計２５の上に載置されてい
るとともに、保持装置２６によって適宜下から支えられ
るようになっている。重量計２５は電子式の重量計等が
使用されており、容器１７および容器１７内に注入され
たレジン１１の総重量をきわめて精密に測定し得るよう
に構成されている。重量計２５にはコントローラ２７が
接続されており、重量計２５はその測定結果をコントロ
ーラ２７に逐次送信するようになっている。

【００２４】コントローラ２７はマイクロコンピュータ
等が使用されて構成されており、重量計２５からの測定
結果に基づいて、構成各部に後述する作動を実行させる
ように構築されている。

【００２５】次に、前記構成に係るレジンの計量供給装
置の作用を説明することにより、本発明の一実施例であ
るレジンの計量供給方法が使用されたハイブリットＩＣ
の樹脂封止パッケージの成形方法を説明する。

【００２６】ハイブリットＩＣの樹脂封止パッケージの
成形装置７のワークとしてのケース４はセラミック基板
２が収容された状態で、開口面が上向きにされてポッテ
ィングステーション６に順次送られて来る。

【００２７】一方、タンク１２に貯留されたレジン１１
はローラーポンプ１５によって圧送されて容器１７に連
続的に注入されて行く。この際、図１に示されているよ
うに、第１開閉弁１６は開かれた状態になっており、第
２開閉弁２１は閉じられた状態になっている。また、保
持装置２６は保持状態を解除した状態になっており、容
器１７は重量計２５に重量を測定される状態になってい
る。

【００２８】レジン１１が容器１７に注入されている期
間、重量計２５は容器１７および容器１７に注入される
レジン１１の総重量を逐次測定し、その測定結果をコン
トローラ２７に逐次送信している。

【００２９】コントローラ２７は重量計２５から送信さ
れて来る測定重量値が予め設定されている設定値に達し
た時点において、ローラーポンプ１５、第１開閉弁１
６、第２開閉弁２１、プッシャー２４、重量計２５およ
び保持装置２６等の作動各部にレジン１１の移し替え作
動、すなわち、ポッティング工程の実行を指令する。

【００３０】ここで、コントローラ２７に予め設定され
ている値は、ケース４にポッティングすべきレジン１１
の重量と、容器１７等の風袋の重量との総和である。風
袋の重量は、容器１７にレジン１１が注入される前に重
量計２５に作用する荷重であり、容器１７、ピストン２
２、ピストンロッド２３の重量と、重量計２５に加わる
第１チューブ１４および第２チューブ２０の重量との総
和である。そして、風袋の重量はレジン１１の容器１７
への注入に無関係に常に一定であり、予め測定しておく
ことができる。

【００３１】つまり、レジン１１の容器１７への注入に
伴って変動するのは、容器１７内に注入されたレジン１
１の嵩に対応する重量である。したがって、重量計２５
から送信されて来る総重量値から、予め測定されている
風袋の重量値を減算することにより、容器１１に注入さ
れた現在のレジン１１の重量値を求めることができる。
この現在のレジン１１の重量値がケース４にポッティン
グすべきレジン１１の重量値に達した時点において、コ
ントローラ２７はレジン１１の移し替え作動を構成各部
に指令するようになっている。

【００３２】そして、レジン１１の重量と嵩との関係
は、レジン１１の粘度や温度変化に殆ど影響されないた
め、レジン１１の重量を常に測定して一定重量のレジン
１１をケース４に移し替えることにより、レジン１１の
粘度や温度変化にかかわらず、常に一定量のレジン１１
をケース４にポッティングすることが可能になる。

【００３３】コントローラ２７によって作動指令が送信
されて来ると、容器１７は保持装置２６によって保持さ
れる。また、ポンプローラー１５が圧送作動を停止する
とともに、第１開閉弁１６によって第１チューブ１４が
閉じられる。他方、第２開閉弁２１によって第２チュー
ブ２０が開かれる。

【００３４】続いて、プッシャー２４が前進作動し、ピ
ストン２２がピストンロッド２３を介してプッシャー２
４によって前進作動される。ピストン２２が前進作動さ
れると、容器１７内に注入されているレジン１１は全
て、吐出口１９から第２チューブ２０に押し出される。
押し出されたレジン１１は第２チューブ２０によってポ
ッティングステーション６に送給される。送給されたレ
ジン１１は第２チューブ２０の吐出口から吐き出されて
ケース４内にポッティングされる。

【００３５】なお、第２チューブ２０や第１チューブ１
４に残留しているレジン１１の嵩にかかわらず、容器１
７から押し出されるレジン１１の嵩と、第２チューブ２
０からケース４内に吐き出されるレジン１１の嵩とが等
しくなるように、第２チューブ２０や第１チューブ１
４、第２開閉弁２１等の構成を適宜構成するとともに、
コントローラ２７における前記設定値を定めることが望
ましい。

【００３６】また、容器１７、ピストン２２、第１チュ
ーブ１４および第２チューブ２０におけるレジン１１と
の接触面はレジン１１が可及的に接着しないように構成
することが望ましい。

【００３７】以上のようにしてポッティングステーショ
ン６において、ケース４内にレジン１１が予め設定され
た一定量供給されると、ケース４内に所定の体積を有す
る樹脂封止パッケージ５が供給されたレジン１１によっ
て成形されることになる。

【００３８】そして、一定量のレジン１１がポッティン
グされたケース４はポッティングステーション６から次
のステーションに送られて行く。続いて、ポッティング
ステーション６には次のケース４が前述と同様に送られ
て来る。

【００３９】一方、以上のポッティング工程が終了する
と、コントローラ２７はローラーポンプ１５、第１開閉
弁１６、第２開閉弁２１、プッシャー２４、重量計２５
および保持装置２６等の作動各部にレジン１１の注入作
動を指令する。

【００４０】この作動指令によって、ローラーポンプ１
５は圧送作動を開始し、タンク１２に貯留されたレジン
１１はローラーポンプ１５によって圧送されて容器１７
に連続的に注入されて行く。この際、第１開閉弁１６は
開かれ、第２開閉弁２１は閉じられる。また、保持装置
２６は保持状態を解除し、容器１７は重量計２５に重量
を測定される状態になる。

【００４１】以降、前記作動が繰り返されることによ
り、レジン１１が常に一定量宛、各ケース４に順次ポッ
ティングされて行く。

【００４２】以上説明した前記実施例によれば、次の効
果が得られる。 （１） タンク１２に貯留されたレジン１１が容器１７
に注入されるとともに、容器１７およびこの容器１７に
注入されたレジン１１の総重量が重量計２５によって測
定され、重量計２５の測定値が予め設定された値になる
と、コントローラ２７の指令によって、容器１７に注入
されたレジン１１がポッティングステーション６に送給
されてケース４にポッティングされるため、レジン１１
の嵩は重量計２５の測定によって一定に維持されること
になり、その結果、レジン１１の粘度や温度の変化、お
よび、空気の圧力の変動によってレジン１１の計量が変
動するのを防止することができる。

【００４３】（２） 前記（１）により、レジン１１の
計量の変動を防止することができるため、レジン１１の
粘度や温度に関する管理の厳格性を緩和することがで
き、その結果、ハイブリットＩＣの樹脂封止パッケージ
成形方法における生産性を高めることができる。

【００４４】（３） 前記（１）により、レジン１１の
計量の変動を防止することができるため、ハイブリット
ＩＣの樹脂封止パッケージ５の体積についてのばらつき
を抑制することができ、その結果、ハイブリットＩＣの
品質および信頼性を高めることができる。

【００４５】（４） 一定量のレジン１１の供給に際し
て、容器１７に注入された全てのレジン１１が容器１７
から排出されるため、少量のレジンを計量して供給する
場合であっても、容器１７の構成を容積計量式のレジン
計量供給装置における注射器の構造に比べて簡単に構成
することができる。

【００４６】（５） レジン１１の容器１７からの送り
出しに際してピストン２２を使用することにより、空圧
式のディスペンサ装置によるような圧縮空気の圧送時間
や圧力に関する管理を省略することができる。

【００４７】図３は本発明の他の実施例であるレジンの
計量供給装置が使用されているハイブリットＩＣの樹脂
封止パッケージ成形装置を示す各一部省略一部切断正面
図であり、（ａ）はレジンの容器への注入工程を示す
図、（ｂ）はレジンのポッティング工程を示す図であ
る。

【００４８】本実施例２において、容器１７Ａは上面が
開口されており、この開口部１８Ａからレジン１１が第
１チューブ１４によって注入されるようになっている。
容器１７Ａの吐出口１９Ａには第２チューブは接続され
ておらず、第２チューブの代わりに移送装置３０が重量
計２５とポッティングステーション６との間を連絡する
ように架設されている。また、この移送装置３０には保
持装置２６Ａが跨設されており、保持装置２６Ａは容器
１７Ａを保持した状態で、移送装置３０によって重量計
２５とポッティングステーション６との間を移動される
ようになっている。

【００４９】さらに、ポッティングステーション６の真
上にはプッシャー２４Ａが垂直方向下向きに設備されて
おり、このプッシャー２４Ａによってピストン２２Ａが
上下動されるようになっている。ピストン２２Ａは容器
１７Ａ内に上面開口部１８Ａから挿入されて、摺動自在
に嵌入されるようになっている。

【００５０】本実施例２において、容器１７Ａにレジン
１１が注入されるに際しては、図３（ａ）に示されてい
るように、容器１７Ａは重量計２５の上に載置されてい
るとともに、保持装置２６Ａによる保持は解除された状
態になっている。

【００５１】この状態で、レジン１１が第１チューブ１
４によって容器１７Ａにその上面開口部１８Ａから注入
されて行くと、容器１７Ａおよびこの容器１７Ａに注入
されて行くレジン１１の総重量は重量計２５によって逐
次測定され、その測定結果はコントローラ（図示せず）
に逐次送信される。

【００５２】重量計２５から送信されて来る重量値が設
定値に達すると、コントローラは各作動部にポッティン
グ作動指令を送信する。この指令に応答して、保持装置
２６Ａは容器１７Ａを保持する。保持装置２６Ａが容器
１７Ａを保持すると、移送装置３０は保持装置２６Ａを
介して容器１７Ａをポッティングステーション６に移送
する。

【００５３】そして、容器１７Ａがポッティングステー
ション６に移送されて来ると、プッシャー２４Ａは前進
作動してピストン２２Ａを容器１７Ａに嵌入させて前進
させる。ピストン２２Ａが容器１７Ａ内を前進すると、
容器１７Ａ内に注入されているレジン１１が吐出口１９
Ａから吐き出される。吐き出されたレジン１１はポッテ
ィングステーション６に送給されているケース４内にポ
ッティングされる。このポッティングされたレジン１１
によって、ケース４内には樹脂封止パッケージ５が成形
されることになる。

【００５４】以上説明した実施例２によれば、容器１７
Ａにはチューブが接続されていないため、重量計２５に
よって計量される際の風袋の重量を低減させることがで
きる。したがって、総重量に占める風袋の割合が小さく
なるので、容器１７Ａに注入されて行くレジン１１の重
量の測定精度を相対的に高めることができる。

【００５５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５６】例えば、容器内に注入されたレジンを被供
給部であるケースに移す移し手段としては、チューブが
用いられる構成や、容器移送装置が用いられる構成を使
用するに限らない。

【００５７】また、容器内に注入されたレジンをケース
に移し替える手段としては、容器内のレジンを押し出す
ピストンが用いられる構成を使用するに限らず、容器を
反転させて排出させる構成や、容器内のレジンをポンプ
によって汲み出す構成等を使用してもよい。

【００５８】さらに、レジンの計量供給方法は前記構成
に係るレジンの計量供給装置を使用して実施するに限ら
ない。

【００５９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるハイブ
リットＩＣの樹脂封止パッケージ成形技術に適用した場
合について説明したが、それに限定されるものではな
く、テープ・オートメイティッド・ボンディング（ＴＡ
Ｂ）構造の樹脂封止パッケージを成形する成形技術等に
おけるレジンの計量供給技術全般に適用することができ
る。

【００６０】また、シリコーンレジンの計量供給技術に
適用した場合について説明したが、エポキシ樹脂等の液
状粘稠性樹脂やその他の流動物の計量供給技術全般に適
用することができる。

【００６１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００６２】タンクに貯留された流動物が容器に注入さ
れるとともに、容器およびこの容器に注入された流動物
の総重量が重量計によって測定され、重量計の測定値が
予め設定された値になると、コントローラの指令によっ
て、容器に注入された流動物が被供給部に供給がポッテ
ィングステーションされるため、流動物の嵩は重量計の
測定によって一定に維持されることになり、その結果、
流動物の粘度や温度の変化、および、空気の圧力の変動
によって流動物の計量が変動するのを防止することがで
きる。

【００６３】流動物の計量の変動を防止することによ
り、流動物の粘度や温度に関する管理の厳格性を緩和す
ることができるため、流動物の供給作業性を高めること
ができる。

【００６４】流動物の計量の変動を防止することによ
り、ハイブリットＩＣの樹脂封止パッケージ等の樹脂成
形に際して、樹脂封止パッケージの体積についてのばら
つきを抑制することができ、その結果、樹脂封止パッケ
ージの品質および信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるレジンの計量供給装置
が使用されているハイブリットＩＣの樹脂封止パッケー
ジ成形装置を示す一部切断正面図である。

【図２】そのレジンのポッティング工程を示す拡大部分
正面断面図である。

【図３】本発明の他の実施例であるレジンの計量供給装
置が使用されているハイブリットＩＣの樹脂封止パッケ
ージ成形装置を示す各一部省略一部切断正面図であり、
（ａ）はレジンの容器への注入工程を示す図、（ｂ）は
レジンのポッティング工程を示す図である。

【符号の説明】

１…ハイブリットＩＣ（半導体装置）、２…セラミック
基板、３…リード、４…ケース、５…樹脂封止パッケー
ジ、６…ポッティングステーション（被供給部）、７…
ハイブリットＩＣの樹脂封止パッケージ成形装置、１０
…レジンの計量供給装置（流動物の計量供給装置）、１
１…レジン、１２…タンク、１３…タンクの出口、１４
…第１チューブ、１５…ローラーポンプ、１６…第１開
閉弁、１７、１７Ａ…容器、１８…容器の供給口、１８
Ａ…上面開口部、１９、１９Ａ…容器の吐出口、２０…
第２チューブ、２１…第２開閉弁、２２、２２Ａ…ピス
トン、２３…ピストンロッド、２４、２４Ａ…プッシャ
ー、２５…重量計、２６…保持装置、２７…コントロー
ラ、３０…移送装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 タンクに貯留された流動物が容器に注入
   されるとともに、容器およびこの容器に注入された流動
   物の総重量が測定され、 その測定された重量が予め設定された重量になると、容
   器に注入された流動物が被供給部へ移されることを特徴
   とする流動物の計量供給方法。
2. 【請求項２】 タンクに貯留された流動物が注入される
   容器と、この容器およびこの容器に注入された流動物の
   総重量を測定する重量計と、容器に注入された流動物を
   被供給部へ移す移し手段と、重量計の測定値が予め設定
   された値になった時点で移し手段に移し指令を与えるコ
   ントローラとを備えていることを特徴とする流動物の計
   量供給装置。
3. 【請求項３】 移し手段が、容器に接続された可撓性を
   有する管と、容器内の流動物を管に押し出すピストンと
   を備えていることを特徴とする請求項２に記載の流動物
   の計量供給装置。
4. 【請求項４】 移し手段が、容器を重量計の上から被供
   給部まで移送する移送装置と、容器内の流動物を被供給
   部に排出させる手段とを備えていることを特徴とする請
   求項２に記載の流動物の計量供給装置。