JPH06265696A - 高速原子線源 - Google Patents
高速原子線源Info
- Publication number
- JPH06265696A JPH06265696A JP7638793A JP7638793A JPH06265696A JP H06265696 A JPH06265696 A JP H06265696A JP 7638793 A JP7638793 A JP 7638793A JP 7638793 A JP7638793 A JP 7638793A JP H06265696 A JPH06265696 A JP H06265696A
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- Japan
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- discharge
- cathode
- light
- gas
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低エネルギーの、粒子線束の高い高速原子線
を効率よく放出できる高速原子線源を提供する。 【構成】 高速原子放出孔を有する陰極21と、該陰極
21と所定間隔を有して配置された陽極22と、両電極
を内蔵する外筒容器23と、前記外筒容器23内に反応
ガスを導入するガスノズル4と、前記陰極21および前
記陽極22間に接続されて両電極間の放電部に放電を起
こす直流高圧電源3とからなり、該両電極間の放電部に
光エネルギーを導入する手段24,25を備えた。
を効率よく放出できる高速原子線源を提供する。 【構成】 高速原子放出孔を有する陰極21と、該陰極
21と所定間隔を有して配置された陽極22と、両電極
を内蔵する外筒容器23と、前記外筒容器23内に反応
ガスを導入するガスノズル4と、前記陰極21および前
記陽極22間に接続されて両電極間の放電部に放電を起
こす直流高圧電源3とからなり、該両電極間の放電部に
光エネルギーを導入する手段24,25を備えた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高速原子線源に係り、
特に、低い放電電圧で低エネルギーの原子線を効率よく
放出することのできる高速原子線源に関する。
特に、低い放電電圧で低エネルギーの原子線を効率よく
放出することのできる高速原子線源に関する。
【0002】
【従来の技術】常温の大気中で熱運動している原子・分
子は、概ね0.05eV前後の運動エネルギーを有してい
る。これに比べてはるかに大きな運動エネルギーで飛翔
する原子・分子を「高速原子」と呼び、それが一方向に
ビーム状に流れる場合に「高速原子線」と呼ばれてい
る。係る高速原子線は、固体表面を削り、あるいは変性
させる等の加工等に用いることができ、特に電気的に中
性であるため、金属、半導体分野への適用に限られず、
従来イオンビーム法が不得意としていたプラスチック、
セラミック等の絶縁物を対象とした加工にも威力を発揮
する。
子は、概ね0.05eV前後の運動エネルギーを有してい
る。これに比べてはるかに大きな運動エネルギーで飛翔
する原子・分子を「高速原子」と呼び、それが一方向に
ビーム状に流れる場合に「高速原子線」と呼ばれてい
る。係る高速原子線は、固体表面を削り、あるいは変性
させる等の加工等に用いることができ、特に電気的に中
性であるため、金属、半導体分野への適用に限られず、
従来イオンビーム法が不得意としていたプラスチック、
セラミック等の絶縁物を対象とした加工にも威力を発揮
する。
【0003】図2は、従来発表されている、気体粒子の
高速原子線を発生する高速原子線源のうち、運動エネル
ギーが0.5〜10keV のアルゴン原子のビームを放射
する高速原子線源の一例を示している。図中、1は外囲
器を兼ねた円筒形の陰極、2はドーナツ状の陽極、3は
0.5から10kVの直流高圧電源、4はガスノズル、5
はアルゴンガス、6はプラズマ、7は高速原子線の放出
孔、8は高速原子線を示している。
高速原子線を発生する高速原子線源のうち、運動エネル
ギーが0.5〜10keV のアルゴン原子のビームを放射
する高速原子線源の一例を示している。図中、1は外囲
器を兼ねた円筒形の陰極、2はドーナツ状の陽極、3は
0.5から10kVの直流高圧電源、4はガスノズル、5
はアルゴンガス、6はプラズマ、7は高速原子線の放出
孔、8は高速原子線を示している。
【0004】この高速原子線源は、以下のとおり動作す
る。即ち、直流高圧電源3を除く各構成要素は、真空容
器に内蔵されており、前記真空容器が充分に排気された
のち、アルゴンガス5がガスノズル4から円筒形陰極1
の内部に注入される。そして、直流高電圧が直流高圧電
源3により、陽極2が正電位、陰極1が負電位となるよ
うに両電極間に印加される。
る。即ち、直流高圧電源3を除く各構成要素は、真空容
器に内蔵されており、前記真空容器が充分に排気された
のち、アルゴンガス5がガスノズル4から円筒形陰極1
の内部に注入される。そして、直流高電圧が直流高圧電
源3により、陽極2が正電位、陰極1が負電位となるよ
うに両電極間に印加される。
【0005】このことにより、陰極1および陽極2間に
放電が起きてアルゴンガスのプラズマ6が発生し、アル
ゴンイオンと電子とが生成される。その際、円筒形陰極
1の一端側底面から放出された電子は陽極2に向かって
加速され、陽極2の中央の孔を通過して前記円筒形陰極
1の他端側底面に到達する。他端側底面に達した電子
は、ここで速度を失って反転し、あらためて陽極2に向
かって加速され、再び陽極2の孔を通過して陰極1の一
端側底面に到達する。このような電子の繰り返し運動
が、陽極2を介した円筒形陰極1両端面間における高周
波振動となり、その運動の間にアルゴンガスと衝突して
多数のアルゴンイオンを生成する。
放電が起きてアルゴンガスのプラズマ6が発生し、アル
ゴンイオンと電子とが生成される。その際、円筒形陰極
1の一端側底面から放出された電子は陽極2に向かって
加速され、陽極2の中央の孔を通過して前記円筒形陰極
1の他端側底面に到達する。他端側底面に達した電子
は、ここで速度を失って反転し、あらためて陽極2に向
かって加速され、再び陽極2の孔を通過して陰極1の一
端側底面に到達する。このような電子の繰り返し運動
が、陽極2を介した円筒形陰極1両端面間における高周
波振動となり、その運動の間にアルゴンガスと衝突して
多数のアルゴンイオンを生成する。
【0006】こうして発生したプラズマ6中のアルゴン
イオンは、円筒形陰極1の端面に向かって加速され、充
分な運動エネルギーを得るに至る。また、円筒形陰極1
の両端面近傍の空間は高周波振動する電子の折り返し点
であって、低エネルギーの電子が多数存在する領域であ
る。この領域に入射したアルゴンイオンは、電子と衝
突、再結合してアルゴン原子に戻る。イオンと電子の衝
突において、電子の質量がアルゴンイオンに比べて無視
できる程に小さいため、アルゴンイオンの運動エネルギ
ーは殆ど損失せずにそのまま原子に受け継がれて高速原
子になる。従って、この場合の高速原子の運動エネルギ
ーは、直流高圧電源3による放電維持電圧が、例えば1
kVのときは、1keV 程度の値となる。この高速原子は円
筒形陰極1の端面に穿設された放出孔7を通って外部に
高速原子線8となって放出される。
イオンは、円筒形陰極1の端面に向かって加速され、充
分な運動エネルギーを得るに至る。また、円筒形陰極1
の両端面近傍の空間は高周波振動する電子の折り返し点
であって、低エネルギーの電子が多数存在する領域であ
る。この領域に入射したアルゴンイオンは、電子と衝
突、再結合してアルゴン原子に戻る。イオンと電子の衝
突において、電子の質量がアルゴンイオンに比べて無視
できる程に小さいため、アルゴンイオンの運動エネルギ
ーは殆ど損失せずにそのまま原子に受け継がれて高速原
子になる。従って、この場合の高速原子の運動エネルギ
ーは、直流高圧電源3による放電維持電圧が、例えば1
kVのときは、1keV 程度の値となる。この高速原子は円
筒形陰極1の端面に穿設された放出孔7を通って外部に
高速原子線8となって放出される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の高速原子線源において、高速原子線の放出量の増加
を図るためには、上記の構造から考えられるように、放
電電圧を上げる、磁石を併用する、反応ガスの圧力を増
す等の方法しかなかった。その結果、高速原子線のエネ
ルギーの増加を招く、装置が大型化する、高速原子線の
エネルギー幅が広がってしまう等の使用上の問題点が多
く使いにくさを伴った。
来の高速原子線源において、高速原子線の放出量の増加
を図るためには、上記の構造から考えられるように、放
電電圧を上げる、磁石を併用する、反応ガスの圧力を増
す等の方法しかなかった。その結果、高速原子線のエネ
ルギーの増加を招く、装置が大型化する、高速原子線の
エネルギー幅が広がってしまう等の使用上の問題点が多
く使いにくさを伴った。
【0008】係る問題点を解決するため、本出願人によ
り表面に多数の高速原子放出孔を有する板状陰極と、そ
の板状陰極に対向配置された板状陽極と該板状陰極と板
状陽極間にフィラメントを内蔵する構造の高速原子線源
が提案されている(特願平3−38607号特許出
願)。
り表面に多数の高速原子放出孔を有する板状陰極と、そ
の板状陰極に対向配置された板状陽極と該板状陰極と板
状陽極間にフィラメントを内蔵する構造の高速原子線源
が提案されている(特願平3−38607号特許出
願)。
【0009】係る構造の高速原子線源によれば、対向し
た板状電極により、粒子線束の高い高速原子線が効率よ
く放射される。又、熱電子放出用のフィラメントを内蔵
することから、反応ガスの電離が促進され、放電電圧を
下げて被加工物にダメージを与えない半導体の微細加工
等に好適な低エネルギーの高速原子線源を得ることがで
きる。
た板状電極により、粒子線束の高い高速原子線が効率よ
く放射される。又、熱電子放出用のフィラメントを内蔵
することから、反応ガスの電離が促進され、放電電圧を
下げて被加工物にダメージを与えない半導体の微細加工
等に好適な低エネルギーの高速原子線源を得ることがで
きる。
【0010】しかしながら、フィラメントを内蔵するこ
とから放電部における反応ガスの流れに外乱が生じ、
又、反応ガス中に不純物が生じる等の問題点がある。
とから放電部における反応ガスの流れに外乱が生じ、
又、反応ガス中に不純物が生じる等の問題点がある。
【0011】本発明は、係る従来技術の問題点に鑑み、
低い放電電圧で低エネルギーの、粒子線束の高い高速原
子線を効率よく放出できる高速原子線源を提供すること
を目的とする。
低い放電電圧で低エネルギーの、粒子線束の高い高速原
子線を効率よく放出できる高速原子線源を提供すること
を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、高速原子放出
孔を有する陰極と、該陰極と所定間隔を有して配置され
た陽極と、両電極を内蔵する外筒容器と、前記外筒容器
内に反応ガスを導入するガスノズルと、前記陰極および
前記陽極間に接続されて両電極間の放電部に放電を起こ
す直流高圧電源とからなり、該両電極間の放電部に光エ
ネルギーを導入する手段を備えたことを特徴とする。
孔を有する陰極と、該陰極と所定間隔を有して配置され
た陽極と、両電極を内蔵する外筒容器と、前記外筒容器
内に反応ガスを導入するガスノズルと、前記陰極および
前記陽極間に接続されて両電極間の放電部に放電を起こ
す直流高圧電源とからなり、該両電極間の放電部に光エ
ネルギーを導入する手段を備えたことを特徴とする。
【0013】
【作用】本発明は、陽極と陰極間の放電部に光エネルギ
ーを導入し、ガスノズルより導入される反応ガスを励起
し電離させることによって、多量の電子を放電部に供給
するものである。従って、両電極間の放電部では低電圧
で放電維持を行い、低エネルギーの高速原子線を放出す
ることができる。
ーを導入し、ガスノズルより導入される反応ガスを励起
し電離させることによって、多量の電子を放電部に供給
するものである。従って、両電極間の放電部では低電圧
で放電維持を行い、低エネルギーの高速原子線を放出す
ることができる。
【0014】
【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明の実施例を
説明する。図1は、本発明の一実施例を示す高速原子線
源の概略の構成を説明するものである。なお、本実施例
では、先の図2によって述べた従来例と同一機能、動作
を有する構成要素については同一符号を用いている。
説明する。図1は、本発明の一実施例を示す高速原子線
源の概略の構成を説明するものである。なお、本実施例
では、先の図2によって述べた従来例と同一機能、動作
を有する構成要素については同一符号を用いている。
【0015】図1に示されるように、所定間隔を有して
対向した板状陰極21および板状陽極22が絶縁物(セ
ラミック)外筒23内に配置され、図示しない真空容器
に収められ十分に排気される。両電極21,22は真空
容器の外部に配置された直流高圧電源3と接続され両電
極間に直流高圧電圧が印加され両電極間には放電部が構
成される。又、板状陰極21は表面に多数の高速原子線
放出孔7が穿設され、高速原子線8を出射可能に構成さ
れている。ガスノズル4は、真空容器の外部より外筒2
3内に反応ガス5を導入するためのものであり、外筒2
3内のガスの流れの板状陽極22の上流部に配置され
る。板状陽極22には、反応ガス5の流通孔9が穿設さ
れており、反応ガス5は、ガスノズル4から板状陽極2
2を通って両電極21,22間の放電部に流入する。
対向した板状陰極21および板状陽極22が絶縁物(セ
ラミック)外筒23内に配置され、図示しない真空容器
に収められ十分に排気される。両電極21,22は真空
容器の外部に配置された直流高圧電源3と接続され両電
極間に直流高圧電圧が印加され両電極間には放電部が構
成される。又、板状陰極21は表面に多数の高速原子線
放出孔7が穿設され、高速原子線8を出射可能に構成さ
れている。ガスノズル4は、真空容器の外部より外筒2
3内に反応ガス5を導入するためのものであり、外筒2
3内のガスの流れの板状陽極22の上流部に配置され
る。板状陽極22には、反応ガス5の流通孔9が穿設さ
れており、反応ガス5は、ガスノズル4から板状陽極2
2を通って両電極21,22間の放電部に流入する。
【0016】外筒23内の板状陰極21と板状陽極22
間の放電部には光エネルギを導入する手段が設けられて
いる。符号24は、レーザ光25の集光レンズである。
レーザ光25は、光学反射鏡、光導波路管、光ファイバ
等を利用して放電部に導入される。放電部を囲む外筒2
3には、レーザ光25に対して高透過率の光学窓が設け
られており、その光学窓を通過してレーザ光は外筒23
内の両電極21,22間の放電部に導入される。又、必
要な場合には集光レンズ、凹面鏡等を利用して集光され
る。
間の放電部には光エネルギを導入する手段が設けられて
いる。符号24は、レーザ光25の集光レンズである。
レーザ光25は、光学反射鏡、光導波路管、光ファイバ
等を利用して放電部に導入される。放電部を囲む外筒2
3には、レーザ光25に対して高透過率の光学窓が設け
られており、その光学窓を通過してレーザ光は外筒23
内の両電極21,22間の放電部に導入される。又、必
要な場合には集光レンズ、凹面鏡等を利用して集光され
る。
【0017】次に、上述のごとく構成した高速原子線源
の動作について説明する。まず、高速原子線源及び被加
工対象物が収納された真空容器内を充分に排気したの
ち、アルゴン等の反応ガス5を外筒23内にガスノズル
4より導入する。そして、板状陽極22と板状陰極21
の間に直流高圧電源3より直流高圧を印加し、レーザ光
25を導入する集光レンズ24よりレーザ光25を放電
部の反応ガス5に照射する。
の動作について説明する。まず、高速原子線源及び被加
工対象物が収納された真空容器内を充分に排気したの
ち、アルゴン等の反応ガス5を外筒23内にガスノズル
4より導入する。そして、板状陽極22と板状陰極21
の間に直流高圧電源3より直流高圧を印加し、レーザ光
25を導入する集光レンズ24よりレーザ光25を放電
部の反応ガス5に照射する。
【0018】アルゴンガス等の反応ガス5は、陽極22
と陰極21間の放電部に導入され、レーザ光25の照射
によって気体原子が励起され、陽イオンと電子との電離
が発生する。そして、両電極21,22間に印加された
直流高圧によって放電が発生し、プラズマ6が生成す
る。放電部では、あらかじめ反応ガス5はレーザ光25
の照射で電離された多量の電子及び陽イオンを含んでい
るため、低い放電電圧で放電の維持が可能となる。
と陰極21間の放電部に導入され、レーザ光25の照射
によって気体原子が励起され、陽イオンと電子との電離
が発生する。そして、両電極21,22間に印加された
直流高圧によって放電が発生し、プラズマ6が生成す
る。放電部では、あらかじめ反応ガス5はレーザ光25
の照射で電離された多量の電子及び陽イオンを含んでい
るため、低い放電電圧で放電の維持が可能となる。
【0019】放電部のプラズマ6中では、反応ガス5の
陽イオンと電子が生成されているが、陽イオンは陰極2
1に向かって加速されて大きなエネルギーを得る。加速
された陽イオンは板状陰極21の近傍で残留している反
応ガス5の原子と接触して陽電荷を失い中性の高速原子
となり、あるいは電子との再結合によって陽電荷を失っ
て中性の高速原子となり、高速原子放出孔7から高速原
子線8として放出される。
陽イオンと電子が生成されているが、陽イオンは陰極2
1に向かって加速されて大きなエネルギーを得る。加速
された陽イオンは板状陰極21の近傍で残留している反
応ガス5の原子と接触して陽電荷を失い中性の高速原子
となり、あるいは電子との再結合によって陽電荷を失っ
て中性の高速原子となり、高速原子放出孔7から高速原
子線8として放出される。
【0020】以上の説明は、光エネルギの一例としてレ
ーザ光を、放電部に導入することについて行ったが、光
エネルギとしては他にX線、電子線、β線等を含む放射
線、紫外光、可視光、赤外光等の単独での、あるいはこ
れらの2以上の組み合わせでの利用が可能である。光エ
ネルギを利用して、放電部で反応ガスの電離を起こすに
は、電離エネルギー以上のエネルギー吸収が行われなけ
ればならない。電離エネルギーは反応ガスの種類によっ
て異なり、一般に波長の短い(紫外領域もしくはより短
い波長)レーザ光において共鳴的エネルギー吸収による
電離が起こり易い。波長の長いレーザ光を利用した場合
には、光エネルギ密度を高め多光子吸収を起こさせる必
要がある。
ーザ光を、放電部に導入することについて行ったが、光
エネルギとしては他にX線、電子線、β線等を含む放射
線、紫外光、可視光、赤外光等の単独での、あるいはこ
れらの2以上の組み合わせでの利用が可能である。光エ
ネルギを利用して、放電部で反応ガスの電離を起こすに
は、電離エネルギー以上のエネルギー吸収が行われなけ
ればならない。電離エネルギーは反応ガスの種類によっ
て異なり、一般に波長の短い(紫外領域もしくはより短
い波長)レーザ光において共鳴的エネルギー吸収による
電離が起こり易い。波長の長いレーザ光を利用した場合
には、光エネルギ密度を高め多光子吸収を起こさせる必
要がある。
【0021】使用する反応ガスには、それぞれ固有の光
エネルギ吸収領域がある。従って、使用する反応ガスに
対応した光エネルギの種類を選択して効果的に光エネル
ギにより電離を促進する必要がある。例えば、ある反応
ガスでは、波長の短い光エネルギの照射により電離が起
こるが、他の反応ガスでは波長の長い光エネルギに吸収
帯があり、例えば可視光で十分に励起しておいて、更に
波長の短いレーザ光を組み合わせて電離させることが好
適な場合もある。係る観点より、光エネルギとしては、
レーザ光、放射線、紫外光、可視光、赤外光のいずれ
か、又はこれらの2以上の組み合わせより選択すること
が好ましい。又、レーザ光も放射線、紫外光、可視光、
赤外光のいずれかより選択することが好ましい。
エネルギ吸収領域がある。従って、使用する反応ガスに
対応した光エネルギの種類を選択して効果的に光エネル
ギにより電離を促進する必要がある。例えば、ある反応
ガスでは、波長の短い光エネルギの照射により電離が起
こるが、他の反応ガスでは波長の長い光エネルギに吸収
帯があり、例えば可視光で十分に励起しておいて、更に
波長の短いレーザ光を組み合わせて電離させることが好
適な場合もある。係る観点より、光エネルギとしては、
レーザ光、放射線、紫外光、可視光、赤外光のいずれ
か、又はこれらの2以上の組み合わせより選択すること
が好ましい。又、レーザ光も放射線、紫外光、可視光、
赤外光のいずれかより選択することが好ましい。
【0022】電子線、β線等の放射線を外筒23内の放
電部に導入するためには、外筒23の近傍に線源の設置
場所を設ける必要がある。例えば、電子線源を外筒23
にスリットを介して隣接した室に配置し、電子線源室を
外筒23内よりも高い真空度に維持することにより、放
電部にスリットを介して電子線を供給することができ
る。
電部に導入するためには、外筒23の近傍に線源の設置
場所を設ける必要がある。例えば、電子線源を外筒23
にスリットを介して隣接した室に配置し、電子線源室を
外筒23内よりも高い真空度に維持することにより、放
電部にスリットを介して電子線を供給することができ
る。
【0023】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の高速原
子線源は、放電部の光エネルギが導入された部分で、光
エネルギによって気体原子が励起され電離して多量の電
子を発生し、生成された多量の電子は、板状陽極と板状
陰極の間の放電部に供給される。従って、放電部におけ
る反応ガスのプラズマを発生させるのに、直流高圧電源
の電圧を低く維持することが可能となり、低エネルギー
の高速原子線を得ることが可能となる。この効果は、使
用する反応ガスの吸収帯に対応した光エネルギの種類と
組み合わせを選択することにより、一層効果的となる。
子線源は、放電部の光エネルギが導入された部分で、光
エネルギによって気体原子が励起され電離して多量の電
子を発生し、生成された多量の電子は、板状陽極と板状
陰極の間の放電部に供給される。従って、放電部におけ
る反応ガスのプラズマを発生させるのに、直流高圧電源
の電圧を低く維持することが可能となり、低エネルギー
の高速原子線を得ることが可能となる。この効果は、使
用する反応ガスの吸収帯に対応した光エネルギの種類と
組み合わせを選択することにより、一層効果的となる。
【0024】更に、本発明では電離を促進するための熱
電子放出用のフィラメントを放電部において用いないの
で、放電部において反応ガスの流れを乱すこともなく、
又、不純物が発生するという問題も解決される。そし
て、光エネルギの導入により、外部から放電状態の制御
が非接触で可能となり、又、放電部に磁場を必要としな
いので、イオンの加速方向に影響を及ぼすことなく、粒
子線束の高い、高速原子線を効率的に発生できる。
電子放出用のフィラメントを放電部において用いないの
で、放電部において反応ガスの流れを乱すこともなく、
又、不純物が発生するという問題も解決される。そし
て、光エネルギの導入により、外部から放電状態の制御
が非接触で可能となり、又、放電部に磁場を必要としな
いので、イオンの加速方向に影響を及ぼすことなく、粒
子線束の高い、高速原子線を効率的に発生できる。
【図1】本発明の一実施例の高速原子線源の概略の構成
を示す説明図。
を示す説明図。
【図2】従来の高速原子線源の説明図。
1 円筒形陰極 2 ドーナツ状の陽極 3 直流高圧電源 4 ガスノズル 5 アルゴンガス 6 ブラズマ 7 原子放出孔 8 高速原子線 9 ガス流通孔 21 板状陰極 22 板状陽極 23 絶縁物(セラミック)外筒 24 集光レンズ 25 レーザ光
Claims (4)
- 【請求項1】 高速原子放出孔を有する陰極と、該陰極
と所定間隔を有して配置された陽極と、両電極を内蔵す
る外筒容器と、前記外筒容器内に反応ガスを導入するガ
スノズルと、前記陰極および前記陽極間に接続されて両
電極間の放電部に放電を起こす直流高圧電源とからな
り、該両電極間の放電部に光エネルギーを導入する手段
を備えたことを特徴とする高速原子線源。 - 【請求項2】 前記光エネルギーは、レーザ光、放射
線、紫外光、可視光、又は赤外光のいずれか、或いは2
以上の組み合わせであることを特徴とする請求項1記載
の高速原子線源。 - 【請求項3】 前記レーザ光は、放射線、紫外光、可視
光、又は赤外光のいずれかのレーザ光であることを特徴
とする請求項2記載の高速原子線源。 - 【請求項4】 前記陰極及び陽極は、それぞれ板状であ
ることを特徴とする請求項1、2又は3記載の高速原子
線源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7638793A JPH06265696A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 高速原子線源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7638793A JPH06265696A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 高速原子線源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06265696A true JPH06265696A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=13603925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7638793A Pending JPH06265696A (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 高速原子線源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06265696A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112921277A (zh) * | 2019-12-05 | 2021-06-08 | 核工业西南物理研究院 | 一种激光诱发脉冲原子束发生系统 |
-
1993
- 1993-03-10 JP JP7638793A patent/JPH06265696A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112921277A (zh) * | 2019-12-05 | 2021-06-08 | 核工业西南物理研究院 | 一种激光诱发脉冲原子束发生系统 |
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