JPH06258250A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH06258250A JPH06258250A JP5048137A JP4813793A JPH06258250A JP H06258250 A JPH06258250 A JP H06258250A JP 5048137 A JP5048137 A JP 5048137A JP 4813793 A JP4813793 A JP 4813793A JP H06258250 A JPH06258250 A JP H06258250A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】きずの幅や長さにかかわらず、欠陥を高精度に
検出する。 【構成】受光器４から出力された鋼板５の画像信号を加
減算回路８で加算する。同時に、受光器４から画像記憶
装置７に入力された画像信号のうち、最も古いデータは
減算する。
検出する。 【構成】受光器４から出力された鋼板５の画像信号を加
減算回路８で加算する。同時に、受光器４から画像記憶
装置７に入力された画像信号のうち、最も古いデータは
減算する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧延中の鋼板やアルミ
ニウム板などの表面に形成された欠陥を検査する表面検
査装置に関する。
ニウム板などの表面に形成された欠陥を検査する表面検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の表面検査装置の概略構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【０００３】図６において、図示しない圧延スタンドの
ローラで帯板状に圧延され、図示しないワーキングロー
ラで矢印16に示すようにに移動する鋼板５の上方には、
この鋼板５の上方から可視光を鋼板５に照射する投光器
３が、紙面直交方向に移動自在に設けられている。
ローラで帯板状に圧延され、図示しないワーキングロー
ラで矢印16に示すようにに移動する鋼板５の上方には、
この鋼板５の上方から可視光を鋼板５に照射する投光器
３が、紙面直交方向に移動自在に設けられている。
【０００４】この投光器３の下方には、この投光器３を
搭載して紙面直交方向に移動させる図示しない移動部に
受光器４が搭載され、この受光器４には、図示しない光
電変換素子が配置され、これらの光電変換素子の出力
は、図示しない画像処理装置の比較回路２に入力されて
いる。
搭載して紙面直交方向に移動させる図示しない移動部に
受光器４が搭載され、この受光器４には、図示しない光
電変換素子が配置され、これらの光電変換素子の出力
は、図示しない画像処理装置の比較回路２に入力されて
いる。
【０００５】このように構成された表面検査装置におい
ては、投光器３から鋼板５に照射された可視光の一部
は、鋼板５に形成されたピンホールを透過して受光器４
に入射し、この受光器４では、この受光器４に入射され
た可視光を内部の光電変換素子で画像信号に変えて比較
回路２に出力する。
ては、投光器３から鋼板５に照射された可視光の一部
は、鋼板５に形成されたピンホールを透過して受光器４
に入射し、この受光器４では、この受光器４に入射され
た可視光を内部の光電変換素子で画像信号に変えて比較
回路２に出力する。
【０００６】この比較回路２では、受光器４から入力さ
れた画像信号とあらかじめ設定された信号レベルの設定
値とを比較して、この設定値を超えた画像信号の値を図
示しない画像処理装置に出力する。
れた画像信号とあらかじめ設定された信号レベルの設定
値とを比較して、この設定値を超えた画像信号の値を図
示しない画像処理装置に出力する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
構成された表面検査装置においては、鋼板５の表面に形
成されたピンホールの幅が狭いときや板厚方向に対して
斜めに形成されたときには、比較回路２に入力される画
像信号は、図２（ａ）のグラフで示すようにレベルが低
いので、設定値Ｖａと比較して出力される画像信号Ａの
レベルも低く、光電変換素子などから出たノイズとの判
別が困難となって、鮮明な画像が得られなくなるおそれ
がある。
構成された表面検査装置においては、鋼板５の表面に形
成されたピンホールの幅が狭いときや板厚方向に対して
斜めに形成されたときには、比較回路２に入力される画
像信号は、図２（ａ）のグラフで示すようにレベルが低
いので、設定値Ｖａと比較して出力される画像信号Ａの
レベルも低く、光電変換素子などから出たノイズとの判
別が困難となって、鮮明な画像が得られなくなるおそれ
がある。
【０００８】そのため、図７に示すように、受光器４か
ら出力された鋼板５の画像信号を加算する加算回路11を
設け、この加算回路11で図２（ｂ）に示すようにｎ回の
走査信号を図２（ｂ）に示すように加算して、鋼板５の
スケールなどで不規則に発生したノイズ信号とピンホー
ルを透過した検出信号とのレベルの差を増やして、検出
の精度を上げる方法も採用されている。
ら出力された鋼板５の画像信号を加算する加算回路11を
設け、この加算回路11で図２（ｂ）に示すようにｎ回の
走査信号を図２（ｂ）に示すように加算して、鋼板５の
スケールなどで不規則に発生したノイズ信号とピンホー
ルを透過した検出信号とのレベルの差を増やして、検出
の精度を上げる方法も採用されている。
【０００９】しかしこの方法も、図９で示すように、鋼
板５に形成されたきず６の長さが図３のきず６ａに示す
ように短いときや、このきず６が図９に示す範囲Ｌで示
すように加算回路11で加算される積算範囲にまたがると
きには、図８で示した加算効果が充分に得られないおそ
れがある。
板５に形成されたきず６の長さが図３のきず６ａに示す
ように短いときや、このきず６が図９に示す範囲Ｌで示
すように加算回路11で加算される積算範囲にまたがると
きには、図８で示した加算効果が充分に得られないおそ
れがある。
【００１０】そこで、本発明の目的は、きずの幅や長さ
の如何にかかわらず、鮮明な画像で検出することのでき
る表面検査装置を得ることである。
の如何にかかわらず、鮮明な画像で検出することのでき
る表面検査装置を得ることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査
し帯状材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶
する記憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加
算した画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の
加減結果を設定値と比較する比較部を具備したことを特
徴とする。
は、移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査
し帯状材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶
する記憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加
算した画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の
加減結果を設定値と比較する比較部を具備したことを特
徴とする。
【００１２】請求項２に記載の発明は、移動する帯状材
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を順次記憶する記憶部と、画像
信号を順次加算し所定の回数前に加算した画像信号を減
算する加減算部と、この加減算部の加減結果を設定値と
比較する比較部と、画像信号に含まれたノイズ成分を除
去するフィルタを具備したことを特徴とする。
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を順次記憶する記憶部と、画像
信号を順次加算し所定の回数前に加算した画像信号を減
算する加減算部と、この加減算部の加減結果を設定値と
比較する比較部と、画像信号に含まれたノイズ成分を除
去するフィルタを具備したことを特徴とする。
【００１３】請求項３に記載の発明は、移動する帯状材
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を積分する積分回路と、この積
分回路で積分された画像信号の積分値を設定値と比較す
る比較部を具備したことを特徴とする。
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を積分する積分回路と、この積
分回路で積分された画像信号の積分値を設定値と比較す
る比較部を具備したことを特徴とする。
【００１４】請求項４に記載の発明は、移動する帯状材
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を積分する積分回路と、この積
分回路で積分された画像信号の積分値を設定値と比較す
る比較部を具備し、積分回路には、画像信号を一定の間
隔でサンプリングするサンプリング回路と、このサンプ
リング回路でサンプリングされた画像信号を加算し先に
加算した画像信号を減算する加減算部を備えたことを特
徴とする。
の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状材を透過した
検査光から得た画像信号を積分する積分回路と、この積
分回路で積分された画像信号の積分値を設定値と比較す
る比較部を具備し、積分回路には、画像信号を一定の間
隔でサンプリングするサンプリング回路と、このサンプ
リング回路でサンプリングされた画像信号を加算し先に
加算した画像信号を減算する加減算部を備えたことを特
徴とする。
【００１５】
【作用】請求項１に記載の発明においては、検査光から
得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は加減算部で
加算され、ノイズ成分は相殺される。
得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は加減算部で
加算され、ノイズ成分は相殺される。
【００１６】請求項２に記載の発明において、検査光か
ら得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は加減算部
で加算され、ノイズ成分は相殺されるとともにフィルタ
で除される。
ら得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は加減算部
で加算され、ノイズ成分は相殺されるとともにフィルタ
で除される。
【００１７】請求項３に記載の発明において、検査光か
ら得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は積分回路
で積算され、ノイズ成分は相殺される。
ら得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号は積分回路
で積算され、ノイズ成分は相殺される。
【００１８】請求項４に記載の発明においては、検査光
から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号はサンプ
リング回路と画像記憶装置と加減算回路を備えた積分回
路で積算され古いデータは減算される。
から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号はサンプ
リング回路と画像記憶装置と加減算回路を備えた積分回
路で積算され古いデータは減算される。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の表面検査装置の一実施例を図
面を参照して説明する。図１は、、請求項１及び請求項
２に記載の発明の表面検査装置の概略を示すブロック図
で、従来の技術で示した図６及び図７に対応する図であ
る。
面を参照して説明する。図１は、、請求項１及び請求項
２に記載の発明の表面検査装置の概略を示すブロック図
で、従来の技術で示した図６及び図７に対応する図であ
る。
【００２０】図１においては、受光器４の出力側には、
画像記憶装置７と加減算回路８が接続され、この加減算
回路８の出力が比較回路２に入力されている。
画像記憶装置７と加減算回路８が接続され、この加減算
回路８の出力が比較回路２に入力されている。
【００２１】このように構成された表面検査装置におい
ては、画像記憶装置７では、受光器４から出力され鋼板
５のピンホールから漏れた可視光による画像信号を記憶
する。この画像記憶装置７で必要な記憶容量は、鋼板５
の圧延方向の積算範囲の長さをＬ，走査幅をＷとし、画
素をＬ0 ×ｗとすると、 （Ｌ／Ｌ0 ）×（Ｗ／ｗ） となる。
ては、画像記憶装置７では、受光器４から出力され鋼板
５のピンホールから漏れた可視光による画像信号を記憶
する。この画像記憶装置７で必要な記憶容量は、鋼板５
の圧延方向の積算範囲の長さをＬ，走査幅をＷとし、画
素をＬ0 ×ｗとすると、 （Ｌ／Ｌ0 ）×（Ｗ／ｗ） となる。
【００２２】受光器４から出力された画像信号は、鋼板
５が走査ピッチＬ0 だけ進む毎に画像記憶装置７に記憶
され、同時にＬ／Ｌ0 回前の画像信号は、加減算回路８
で切り捨てられる。なお、鋼板５が走査ピッチＬ0 だけ
進む間に、受光器４で検出される走査数が１回以上ある
ときには、１回だけの走査画像を記憶する。
５が走査ピッチＬ0 だけ進む毎に画像記憶装置７に記憶
され、同時にＬ／Ｌ0 回前の画像信号は、加減算回路８
で切り捨てられる。なお、鋼板５が走査ピッチＬ0 だけ
進む間に、受光器４で検出される走査数が１回以上ある
ときには、１回だけの走査画像を記憶する。
【００２３】加減算回路８では、鋼板５が走査ピッチＬ
0 だけ進む毎に、受光器４から入力された画像信号を各
幅方向の位置毎に加算する。同時に、画像記憶装置７か
ら入力された画像信号のうち、最も古いデータ、すなわ
ちＬ／Ｌ0 回前の走査画像信号を、各幅方向の位置毎に
減算する。
0 だけ進む毎に、受光器４から入力された画像信号を各
幅方向の位置毎に加算する。同時に、画像記憶装置７か
ら入力された画像信号のうち、最も古いデータ、すなわ
ちＬ／Ｌ0 回前の走査画像信号を、各幅方向の位置毎に
減算する。
【００２４】このようにして得られたＬ／Ｌ0 個の加減
算データは、最も新しい積算範囲Ｌ×Ｗの各幅方向の位
置毎の積算値となる。しかも、このデータは、鋼板５が
走査ピッチＬ0 だけ進む毎に更新され、積算範囲は、鋼
板５の移動に従って移動することになる。
算データは、最も新しい積算範囲Ｌ×Ｗの各幅方向の位
置毎の積算値となる。しかも、このデータは、鋼板５が
走査ピッチＬ0 だけ進む毎に更新され、積算範囲は、鋼
板５の移動に従って移動することになる。
【００２５】さらに、このように積算範囲を移動させる
ことで、図９で示すきず６の長さや位置の如何にかかわ
らず、図９で示す積算範囲Ｌ１の間に入れることができ
るので、微小なきずでも、鮮明な画像で検出することが
できる。
ことで、図９で示すきず６の長さや位置の如何にかかわ
らず、図９で示す積算範囲Ｌ１の間に入れることができ
るので、微小なきずでも、鮮明な画像で検出することが
できる。
【００２６】図３は、請求項１及び請求項２に記載の発
明の表面検査装置の他の実施例を示すブロック図であ
る。図３では、受光器４の出力側には、フィルタ９が挿
入され、加減算回路と比較回路は複数で構成され、加減
算回路８ａ，８ｂ…８ｎと比較回路２ａ，２ｂ…２ｎの
間には、フィルタ10ａ，10ｂ…10ｎが挿入されている。
明の表面検査装置の他の実施例を示すブロック図であ
る。図３では、受光器４の出力側には、フィルタ９が挿
入され、加減算回路と比較回路は複数で構成され、加減
算回路８ａ，８ｂ…８ｎと比較回路２ａ，２ｂ…２ｎの
間には、フィルタ10ａ，10ｂ…10ｎが挿入されている。
【００２７】この場合には、鋼板５の圧延方向に形成さ
れたきず６が、図３に示すきず６ｃのように長いときで
も対応することができるので、更に微小なきずでも、鮮
明な画像で検出することができる。
れたきず６が、図３に示すきず６ｃのように長いときで
も対応することができるので、更に微小なきずでも、鮮
明な画像で検出することができる。
【００２８】次に、図４は、請求項３及び請求項４に記
載の発明の表面検査装置を示すブロック図である。
載の発明の表面検査装置を示すブロック図である。
【００２９】図４においては、受光器４の出力側と比較
回路２との間に、積分回路１が挿入され、この積分回路
１の詳細は、図５に示すようになっている。すなわち、
積分回路１には、受光器４から出力された画像信号が入
力されるサンプリング回路１Ａが設けられ、このサンプ
リング回路１Ａの出力側には、画像記憶装置１Ｂと加減
算回路１Ｃが設けられ、この加減算回路１Ｃの出力側が
比較回路２の入力側に接続されている。
回路２との間に、積分回路１が挿入され、この積分回路
１の詳細は、図５に示すようになっている。すなわち、
積分回路１には、受光器４から出力された画像信号が入
力されるサンプリング回路１Ａが設けられ、このサンプ
リング回路１Ａの出力側には、画像記憶装置１Ｂと加減
算回路１Ｃが設けられ、この加減算回路１Ｃの出力側が
比較回路２の入力側に接続されている。
【００３０】このように構成された表面検査装置におい
ては、投光器３から出射された可視光は、矢印16で示す
鋼板５の圧延方向と直交方向（すなわち、鋼板５の幅方
向）に照射され、この圧延方向と直交方向に繰り返し照
射された可視光が鋼板５を透過した光が受光器４で検出
される。この受光器４で検出された透過光の画像信号
は、所定の周期で抽出するサンプリング回路１Ａでサン
プリングされ、このサンプリング回路１Ａで抽出された
サンプル値は、画像記憶装置１Ｂと加減算回路１Ｃに順
位入力される。
ては、投光器３から出射された可視光は、矢印16で示す
鋼板５の圧延方向と直交方向（すなわち、鋼板５の幅方
向）に照射され、この圧延方向と直交方向に繰り返し照
射された可視光が鋼板５を透過した光が受光器４で検出
される。この受光器４で検出された透過光の画像信号
は、所定の周期で抽出するサンプリング回路１Ａでサン
プリングされ、このサンプリング回路１Ａで抽出された
サンプル値は、画像記憶装置１Ｂと加減算回路１Ｃに順
位入力される。
【００３１】すると、加減算回路１Ｃでは、サンプリン
グ回路１Ａから入力されたサンプル値を加算するととも
に、この換算結果から、画像記憶装置１Ｂで記憶されて
いるデータのうち、この画像記憶装置１Ｂの記憶容量を
超える古いデータを減算する。したがって、加減算回路
１Ｃの出力は、この加減算回路１Ｃから出力される時点
から所定の回数前の積算値が出力される。
グ回路１Ａから入力されたサンプル値を加算するととも
に、この換算結果から、画像記憶装置１Ｂで記憶されて
いるデータのうち、この画像記憶装置１Ｂの記憶容量を
超える古いデータを減算する。したがって、加減算回路
１Ｃの出力は、この加減算回路１Ｃから出力される時点
から所定の回数前の積算値が出力される。
【００３２】したがって、図２（ａ）に示すように、受
光器４の受光範囲の一回の画像信号に比べて、図２
（ｂ）に示すように、鋼板５に形成された図２（ａ）の
アの範囲で示すきずの画像信号が加算されるので、ノイ
ズの信号と、きずの画像信号との比いわゆるＳＮ比は大
きくなり、図示しない画像処理装置におけるきずの画像
を鮮明にすることができる。
光器４の受光範囲の一回の画像信号に比べて、図２
（ｂ）に示すように、鋼板５に形成された図２（ａ）の
アの範囲で示すきずの画像信号が加算されるので、ノイ
ズの信号と、きずの画像信号との比いわゆるＳＮ比は大
きくなり、図示しない画像処理装置におけるきずの画像
を鮮明にすることができる。
【００３３】この表面検査装置においては、鋼板５の圧
延方向と直交方向の画像の圧延方向のピッチを一回進め
る間に、加減算回路１Ｃにおける加算と減算を各１回だ
け行えばよいので、高速の圧延ラインへの適用が可能で
ある。鋼板５が１ピッチ進む間に、記憶装置１Ｂの中の
一ピッチ分のデータを読み出し、加減算回路１Ｃで加算
することで、積算を所定の時間に行うことができる。
延方向と直交方向の画像の圧延方向のピッチを一回進め
る間に、加減算回路１Ｃにおける加算と減算を各１回だ
け行えばよいので、高速の圧延ラインへの適用が可能で
ある。鋼板５が１ピッチ進む間に、記憶装置１Ｂの中の
一ピッチ分のデータを読み出し、加減算回路１Ｃで加算
することで、積算を所定の時間に行うことができる。
【００３４】
【発明の効果】以上、請求項１に記載の発明によれば、
移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯
状材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶する
記憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加算し
た画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の加減
結果を設定値と比較する比較部を具備することで、検査
光から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を加減
算部で加算するとともに、ノイズ成分は相殺したので、
きずの幅や長さの如何にかかわらず、鮮明な画像で欠陥
を検出することのできる表面検査装置を得ることができ
る。
移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯
状材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶する
記憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加算し
た画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の加減
結果を設定値と比較する比較部を具備することで、検査
光から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を加減
算部で加算するとともに、ノイズ成分は相殺したので、
きずの幅や長さの如何にかかわらず、鮮明な画像で欠陥
を検出することのできる表面検査装置を得ることができ
る。
【００３５】また、請求項２に記載の発明によれば、移
動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状
材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶する記
憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加算した
画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の加減結
果を設定値と比較する比較部と、画像信号に含まれたノ
イズ成分を除去するフィルタを具備することで、検査光
から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を加減算
部で加算するとともに、ノイズ成分は相殺しフィルタで
除去したので、きずの幅や長さの如何にかかわらず、鮮
明な画像で欠陥を検出することのできる表面検査装置を
得ることができる。
動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状
材を透過した検査光から得た画像信号を順次記憶する記
憶部と、画像信号を順次加算し所定の回数前に加算した
画像信号を減算する加減算部と、この加減算部の加減結
果を設定値と比較する比較部と、画像信号に含まれたノ
イズ成分を除去するフィルタを具備することで、検査光
から得られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を加減算
部で加算するとともに、ノイズ成分は相殺しフィルタで
除去したので、きずの幅や長さの如何にかかわらず、鮮
明な画像で欠陥を検出することのできる表面検査装置を
得ることができる。
【００３６】また、請求項３に記載の発明によれば、移
動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状
材を透過した検査光から得た画像信号を積分する積分回
路と、この積分回路で積分された画像信号の積分値を設
定値と比較する比較部を具備することで、検査光から得
られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を積分回路で積
算するとともに、ノイズ成分は相殺したので、きずの幅
や長さの如何にかかわらず、鮮明な画像で欠陥を検出す
ることのできる表面検査装置を得ることができる。
動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯状
材を透過した検査光から得た画像信号を積分する積分回
路と、この積分回路で積分された画像信号の積分値を設
定値と比較する比較部を具備することで、検査光から得
られた画像信号に含まれる欠陥部の信号を積分回路で積
算するとともに、ノイズ成分は相殺したので、きずの幅
や長さの如何にかかわらず、鮮明な画像で欠陥を検出す
ることのできる表面検査装置を得ることができる。
【００３７】さらに、請求項４に記載の発明によれば、
移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯
状材を透過した検査光から得た画像信号を積分する積分
回路と、この積分回路で積分された画像信号の積分値を
設定値と比較する比較部を具備し、積分回路には、画像
信号を一定の間隔でサンプリングするサンプリング回路
と、このサンプリング回路でサンプリングされた画像信
号を加算し先に加算した画像信号を減算する加減算部を
備えることで、検査光から得られた画像信号に含まれる
欠陥部の信号をスプリング回路と画像記憶装置と加減算
回路を備えた積分回路で積算するとともに、古いデータ
は減算したので、きずの幅や長さの如何にかかわらず、
鮮明な画像で欠陥を検出することのできる表面検査装置
を得ることができる。
移動する帯状材の表面に対し幅方向に検査光を走査し帯
状材を透過した検査光から得た画像信号を積分する積分
回路と、この積分回路で積分された画像信号の積分値を
設定値と比較する比較部を具備し、積分回路には、画像
信号を一定の間隔でサンプリングするサンプリング回路
と、このサンプリング回路でサンプリングされた画像信
号を加算し先に加算した画像信号を減算する加減算部を
備えることで、検査光から得られた画像信号に含まれる
欠陥部の信号をスプリング回路と画像記憶装置と加減算
回路を備えた積分回路で積算するとともに、古いデータ
は減算したので、きずの幅や長さの如何にかかわらず、
鮮明な画像で欠陥を検出することのできる表面検査装置
を得ることができる。
【図１】請求項１及び請求項２に記載の発明の表面検査
装置の一実施例を示すブロック図。
装置の一実施例を示すブロック図。
【図２】（ａ）は、従来の表面検査装置の作用を示すグ
ラフ、（ｂ）は、請求項１及び請求項２に記載の発明の
表面検査装置の作用を示すグラフ。
ラフ、（ｂ）は、請求項１及び請求項２に記載の発明の
表面検査装置の作用を示すグラフ。
【図３】請求項１及び請求項２に記載の発明の表面検査
装置の他の実施例を示すブロック図。
装置の他の実施例を示すブロック図。
【図４】請求項３に記載の発明の表面検査装置の一実施
例を示すブロック図。
例を示すブロック図。
【図５】請求項４に記載の発明の表面検査装置の一実施
例を示すブロック図。
例を示すブロック図。
【図６】従来の表面検査装置の一例を示すブロック図。
【図７】図６と異なる従来の表面検査装置の一例を示す
ブロック図。
ブロック図。
【図８】従来の表面検査装置の作用を示すグラフ。
【図９】従来の表面検査装置の図８と異なる作用を示す
ブロック図。
ブロック図。
１…積分回路、２…比較回路、３…投光器、４…受光
器、５…鋼板、６…きず、７…画像記憶装置、８，８
ａ，８ｂ，８ｃ…加減算回路、９…フィルタ。
器、５…鋼板、６…きず、７…画像記憶装置、８，８
ａ，８ｂ，８ｃ…加減算回路、９…フィルタ。
Claims (4)
- 【請求項１】 移動する帯状材の表面に対し幅方向に検
査光を走査し前記帯状材を透過した前記検査光から得た
画像信号を順次記憶する記憶部と、前記画像信号を順次
加算し所定の回数前に加算した前記画像信号を減算する
加減算部と、この加減算部の加減結果を設定値と比較す
る比較部を具備したことを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】 移動する帯状材の表面に対し幅方向に検
査光を走査し前記帯状材を透過した前記検査光から得た
画像信号を順次記憶する記憶部と、前記画像信号を順次
加算し所定の回数前に加算した前記画像信号を減算する
加減算部と、この加減算部の加減結果を設定値と比較す
る比較部と、前記画像信号に含まれたノイズ成分を除去
するフィルタを具備したことを特徴とする表面検査装
置。 - 【請求項３】 移動する帯状材の表面に対し幅方向に検
査光を走査し前記帯状材を透過した前記検査光から得た
画像信号を積分する積分回路と、この積分回路で積分さ
れた前記画像信号の積分値を設定値と比較する比較部を
具備したことを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項４】 移動する帯状材の表面に対し幅方向に検
査光を走査し前記帯状材を透過した前記検査光から得た
画像信号を積分する積分回路と、この積分回路で積分さ
れた前記画像信号の積分値を設定値と比較する比較部を
具備し、前記積分回路には、前記画像信号を一定の間隔
でサンプリングするサンプリング回路と、このサンプリ
ング回路でサンプリングされた前記画像信号を加算し先
に加算した前記画像信号を減算する加減算部を備えたこ
とを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5048137A JPH06258250A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5048137A JPH06258250A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258250A true JPH06258250A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=12794957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5048137A Pending JPH06258250A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258250A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6529270B1 (en) | 1999-03-31 | 2003-03-04 | Ade Optical Systems Corporation | Apparatus and method for detecting defects in the surface of a workpiece |
| JP2005221283A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Jfe Steel Kk | 表面凹凸の測定・評価方法およびシステム、表面凹凸評価装置並びに表面凹凸の測定・評価方法のプログラム |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP5048137A patent/JPH06258250A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6529270B1 (en) | 1999-03-31 | 2003-03-04 | Ade Optical Systems Corporation | Apparatus and method for detecting defects in the surface of a workpiece |
| JP2005221283A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Jfe Steel Kk | 表面凹凸の測定・評価方法およびシステム、表面凹凸評価装置並びに表面凹凸の測定・評価方法のプログラム |
| JP4534507B2 (ja) * | 2004-02-04 | 2010-09-01 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面凹凸の測定・評価方法およびシステム、表面凹凸評価装置並びに表面凹凸の測定・評価方法のプログラム |
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