JPH0786477B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH0786477B2 JPH0786477B2 JP62240824A JP24082487A JPH0786477B2 JP H0786477 B2 JPH0786477 B2 JP H0786477B2 JP 62240824 A JP62240824 A JP 62240824A JP 24082487 A JP24082487 A JP 24082487A JP H0786477 B2 JPH0786477 B2 JP H0786477B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、鋼板、アルミ板、アクリル板等の被検査体の
表面の欠陥を離間的に、例えば光学的に検査する表面検
査装置に関し、特に欠陥の程度をも判定するようにした
表面検査装置に関するものである。
表面の欠陥を離間的に、例えば光学的に検査する表面検
査装置に関し、特に欠陥の程度をも判定するようにした
表面検査装置に関するものである。
（従来の技術） 近年においては、鋼板、アルミ板等の表面に存在するキ
ズ等の欠陥を検査するための種々の装置が開発されてい
る。
ズ等の欠陥を検査するための種々の装置が開発されてい
る。
従来のこのような装置としては、例えばフライングスポ
ット法による表面検査装置が知られている。即ち、冷延
鋼板等の表面は鏡面に近い反射特性があることから、レ
ーザ等のスポット状の光源を回転多面鏡を用いて上記冷
延鋼板等の表面を走査し、この冷延鋼板の表面による反
射光の正反射成分の乱れに基づいて、冷延鋼板の表面に
存在するキズ等の欠陥を検出するようにしている。
ット法による表面検査装置が知られている。即ち、冷延
鋼板等の表面は鏡面に近い反射特性があることから、レ
ーザ等のスポット状の光源を回転多面鏡を用いて上記冷
延鋼板等の表面を走査し、この冷延鋼板の表面による反
射光の正反射成分の乱れに基づいて、冷延鋼板の表面に
存在するキズ等の欠陥を検出するようにしている。
ところで、このような従来の表面検査装置においては、
冷延鋼板等の被検査体の表面を複数の領域に区分し、こ
の各領域を順次走査して、被検査体の表面の欠陥を判別
するようにしている。
冷延鋼板等の被検査体の表面を複数の領域に区分し、こ
の各領域を順次走査して、被検査体の表面の欠陥を判別
するようにしている。
具体的に説明すると、各領域を順次走査して得られる各
領域毎の信号レベルの大きさに基づいて欠陥の程度を判
定するようにしていた。
領域毎の信号レベルの大きさに基づいて欠陥の程度を判
定するようにしていた。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、同一信号レベルであったとしても、欠陥
の種類によっては、欠陥の程度が異なる場合が生じる。
の種類によっては、欠陥の程度が異なる場合が生じる。
従って、目視による判定結果との一致性が良くなかっ
た。
た。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、目視によ
る判定結果との一致性を得るようにした表面検査装置を
提供することを目的とする。
る判定結果との一致性を得るようにした表面検査装置を
提供することを目的とする。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明が提供する手段は、
被検査体の表面を所定の大きさの複数の領域に区分し、
この区分された一領域内を離間的に複数回走査すること
によって得られた検出信号から被検査体表面の欠陥を判
別する装置に、前記検出信号値と予め設定される設定値
とを比較し、この比較結果に基づく信号を出力する比較
手段と、前記比較手段から出力された出力信号を前記領
域毎に積算する積算手段と前記積算手段から出力された
積算値に基づいて当該被検査体表面の欠陥を判別する判
別手段とを有して構成した。
被検査体の表面を所定の大きさの複数の領域に区分し、
この区分された一領域内を離間的に複数回走査すること
によって得られた検出信号から被検査体表面の欠陥を判
別する装置に、前記検出信号値と予め設定される設定値
とを比較し、この比較結果に基づく信号を出力する比較
手段と、前記比較手段から出力された出力信号を前記領
域毎に積算する積算手段と前記積算手段から出力された
積算値に基づいて当該被検査体表面の欠陥を判別する判
別手段とを有して構成した。
（作用） 本発明における表面検査装置は、被検査体表面の所定の
大きさに区分された複数の領域を離間的に複数回走査す
ることによって得られた複数の検出信号から前記領域毎
に、比較手段を用いた設定値との比較によって検出信号
の選別を行ない、積算手段によってこの比較結果に基づ
く出力信号を積算し、さらにこの領域毎に得られた複数
の積算値に基づいて、判別手段が当該被検査体表面の欠
陥を判別するように構成したので、被検査体表面に存在
する欠陥の種類に応じて異なって出力される欠陥の検出
信号を、それぞれ十分に反映した積算値を得ることがで
き、被検査体表面に存在する多種多様な欠陥をより確実
に判別することができる。
大きさに区分された複数の領域を離間的に複数回走査す
ることによって得られた複数の検出信号から前記領域毎
に、比較手段を用いた設定値との比較によって検出信号
の選別を行ない、積算手段によってこの比較結果に基づ
く出力信号を積算し、さらにこの領域毎に得られた複数
の積算値に基づいて、判別手段が当該被検査体表面の欠
陥を判別するように構成したので、被検査体表面に存在
する欠陥の種類に応じて異なって出力される欠陥の検出
信号を、それぞれ十分に反映した積算値を得ることがで
き、被検査体表面に存在する多種多様な欠陥をより確実
に判別することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。
る。
まず本実施例の構成を説明すると、第１図のブロック図
に示した検出部１は第２図の検出部１の構成図に示すよ
うに、鋼板、アルミ板、アクリル板あるいは紙等の帯状
の被検査体11の上方に配置されている。この被検査体11
の表面は第３図の画素の構成を説明する図に示すよう
に、複数の小領域、即ち画素に区分され、検出部１でこ
の各画素を順次走査することにより、後述するような、
被検査体11の表面に存在するスリキズ、ヘゲ等の欠陥を
検出すると共に、当該欠陥の種類及び程度を判定するよ
うにしている。また第３図に示すように被検査体11の移
動方向12に沿って、所定の画素幅P1,P2,P3…を設定する
と共に、各画素幅毎に複数の画素を設定している。例え
ば、画素幅P1については、被検査体11の幅方向に複数の
画素10a,10b,10c…10nを設定している。このような各画
素に対してスポット状のレーザ光を発射するためのレー
ザ光源1aが被検査物体11の上方に配置されている。第２
図に示すように、レーザ光源1aから発射されたレーザ光
は回転多面鏡1b及び被検査体11の表面で反射され、この
反射されたレーザ光を受光レンズ1cで集光して光電子増
倍管1dへ導入る。ここで、回転多面鏡1bが所定の速度で
回転することにより、前述した複数の画素が、被検査物
体11の幅方向に順次走査される。また、同時に被検査物
体11は方向12へ所定速度で移動しており、この方向12へ
の移動に相応して、方向12に沿って配列された各画素が
順次走査される。光電子増倍管1dは光信号を電気信号に
変換し、この電気信号に変換した走査情報、即ち、走査
により得られた各画素の信号レベルを第１図に示すA/D
変換器２でデジタル信号に変換する。このA/D変換器２
でデジタル信号に変換された走査情報は比較回路3a,3b
へ与えられる。比較回路3aの一方の入力端子には、第４
図に示すような所定の基底値Vaが与えられており、この
基底値Va以上の信号レベルの走査情報のみを積算回路4a
へ送出する。積算回路4aは比較回路3aからの信号を入力
すると、所定数の画素、例えば第３図に示した画素幅
P1,P2,P3でそれぞれ得られた信号レベルを複数の画素10
a,10b、10c…10n毎に順次積算する。また、積算回路4a
は図示しないタイミング回路からのタイミング信号に従
って動作する。例えば、前述の画素幅P1の位置に存在す
る画素10a,10b、10c…10nを走査するのに要する時間経
過毎に入力して、このタイミング信号に同期して上記積
算を１周期毎に行ない、さらに５周期目に積算値を比較
回路5aへ出力する。比較回路5aには、基底値Vaより大き
い値の所定の基準値Naが与えられており、この基準値Na
と積算回路4aからの積算値とを比較する。比較回路5aは
積算値が基準値Na以上である場合には、欠陥である旨を
判定して検出信号を出力する。
に示した検出部１は第２図の検出部１の構成図に示すよ
うに、鋼板、アルミ板、アクリル板あるいは紙等の帯状
の被検査体11の上方に配置されている。この被検査体11
の表面は第３図の画素の構成を説明する図に示すよう
に、複数の小領域、即ち画素に区分され、検出部１でこ
の各画素を順次走査することにより、後述するような、
被検査体11の表面に存在するスリキズ、ヘゲ等の欠陥を
検出すると共に、当該欠陥の種類及び程度を判定するよ
うにしている。また第３図に示すように被検査体11の移
動方向12に沿って、所定の画素幅P1,P2,P3…を設定する
と共に、各画素幅毎に複数の画素を設定している。例え
ば、画素幅P1については、被検査体11の幅方向に複数の
画素10a,10b,10c…10nを設定している。このような各画
素に対してスポット状のレーザ光を発射するためのレー
ザ光源1aが被検査物体11の上方に配置されている。第２
図に示すように、レーザ光源1aから発射されたレーザ光
は回転多面鏡1b及び被検査体11の表面で反射され、この
反射されたレーザ光を受光レンズ1cで集光して光電子増
倍管1dへ導入る。ここで、回転多面鏡1bが所定の速度で
回転することにより、前述した複数の画素が、被検査物
体11の幅方向に順次走査される。また、同時に被検査物
体11は方向12へ所定速度で移動しており、この方向12へ
の移動に相応して、方向12に沿って配列された各画素が
順次走査される。光電子増倍管1dは光信号を電気信号に
変換し、この電気信号に変換した走査情報、即ち、走査
により得られた各画素の信号レベルを第１図に示すA/D
変換器２でデジタル信号に変換する。このA/D変換器２
でデジタル信号に変換された走査情報は比較回路3a,3b
へ与えられる。比較回路3aの一方の入力端子には、第４
図に示すような所定の基底値Vaが与えられており、この
基底値Va以上の信号レベルの走査情報のみを積算回路4a
へ送出する。積算回路4aは比較回路3aからの信号を入力
すると、所定数の画素、例えば第３図に示した画素幅
P1,P2,P3でそれぞれ得られた信号レベルを複数の画素10
a,10b、10c…10n毎に順次積算する。また、積算回路4a
は図示しないタイミング回路からのタイミング信号に従
って動作する。例えば、前述の画素幅P1の位置に存在す
る画素10a,10b、10c…10nを走査するのに要する時間経
過毎に入力して、このタイミング信号に同期して上記積
算を１周期毎に行ない、さらに５周期目に積算値を比較
回路5aへ出力する。比較回路5aには、基底値Vaより大き
い値の所定の基準値Naが与えられており、この基準値Na
と積算回路4aからの積算値とを比較する。比較回路5aは
積算値が基準値Na以上である場合には、欠陥である旨を
判定して検出信号を出力する。
また、比較回路3bの一方の入力端子には、第４図に示す
ような基底値Vaより小さい値の所定の基底値Vbが与えら
れており、この基底値Vb以下の信号レベルの走査情報の
みを積算回路4bへ送出する。積算回路4bは、比較回路3b
からの信号を入力すると、所定数の画素、例えば第３図
に示した画素幅P1、P2、P3でそれぞれ得られた信号レベ
ルを複数の画素10a,10b、10c…10n毎に順次積算する。
また、積算回路4bは図示しないタイミング回路からのタ
イミング信号に従って動作する。例えば前述の複数の画
素10a,10b、10c…10nを走査するのに要する時間経過毎
に入力して、このタイミング信号に同期して上記積算を
１周期毎に行ない、さらに５周期目に積算値を比較回路
5bへ出力する。比較回路5bには、基底値Vbより小さい値
の所定の基準値Nbが与えられており、この基準値Nbと積
算回路4bからの積算値とを比較する。比較回路5bはこの
積算値が基準値Nb以下である場合には、欠陥である旨を
判定して、検出信号を出力する。また、積算回路4a、4b
の各積算値は図示しない解析装置へ送出される。
ような基底値Vaより小さい値の所定の基底値Vbが与えら
れており、この基底値Vb以下の信号レベルの走査情報の
みを積算回路4bへ送出する。積算回路4bは、比較回路3b
からの信号を入力すると、所定数の画素、例えば第３図
に示した画素幅P1、P2、P3でそれぞれ得られた信号レベ
ルを複数の画素10a,10b、10c…10n毎に順次積算する。
また、積算回路4bは図示しないタイミング回路からのタ
イミング信号に従って動作する。例えば前述の複数の画
素10a,10b、10c…10nを走査するのに要する時間経過毎
に入力して、このタイミング信号に同期して上記積算を
１周期毎に行ない、さらに５周期目に積算値を比較回路
5bへ出力する。比較回路5bには、基底値Vbより小さい値
の所定の基準値Nbが与えられており、この基準値Nbと積
算回路4bからの積算値とを比較する。比較回路5bはこの
積算値が基準値Nb以下である場合には、欠陥である旨を
判定して、検出信号を出力する。また、積算回路4a、4b
の各積算値は図示しない解析装置へ送出される。
第５図は積算回路4a,4bの各積算値に基づいて、被検査
物体の表面を解析した説明図である。
物体の表面を解析した説明図である。
次に第１図及び第５図を参照して本発明の動作を説明す
る。
る。
検出部１からの各画素毎の信号レベルはA/D変換器２で
デジタル信号に変換される。このデジタル信号に変換さ
れた各画素毎の走査情報は比較回路3a,3bへ与えられ
る。積算回路4aは、比較回路3aを介してノイズ成分が除
去された信号レベル即ち、所定の基底レベルVb以上の信
号レベルのみを積算する。同様に積算回路4bは比較回路
3bを介してノイズ成分が除去された信号レベル即ち、所
定の基底レベルVb以下の信号レベルのみを積算する。こ
のような積算回路4a,4bの各積算値は図示しない解析装
置で解析される。即ち、第５図に示すように、各積算値
の等しい地点を等高線として表現すると、積算回路4aか
らの出力は“山”に関する情報を意味し、又積算回路4b
からの出力は“谷”に関する情報を意味する。従って、
“山”が高くなるに応じて、又は“谷”が深くなるに応
じて、欠陥の程度も大きくなる。このような欠陥の程度
の情報をも含有されていることから、目視による判定結
果との一致性が得られる。
デジタル信号に変換される。このデジタル信号に変換さ
れた各画素毎の走査情報は比較回路3a,3bへ与えられ
る。積算回路4aは、比較回路3aを介してノイズ成分が除
去された信号レベル即ち、所定の基底レベルVb以上の信
号レベルのみを積算する。同様に積算回路4bは比較回路
3bを介してノイズ成分が除去された信号レベル即ち、所
定の基底レベルVb以下の信号レベルのみを積算する。こ
のような積算回路4a,4bの各積算値は図示しない解析装
置で解析される。即ち、第５図に示すように、各積算値
の等しい地点を等高線として表現すると、積算回路4aか
らの出力は“山”に関する情報を意味し、又積算回路4b
からの出力は“谷”に関する情報を意味する。従って、
“山”が高くなるに応じて、又は“谷”が深くなるに応
じて、欠陥の程度も大きくなる。このような欠陥の程度
の情報をも含有されていることから、目視による判定結
果との一致性が得られる。
このとき“山”に関する情報と、“谷”に関する情報と
を色別けして表示するようにして欠陥の状態をより識別
し易くするようにしても良い。
を色別けして表示するようにして欠陥の状態をより識別
し易くするようにしても良い。
また、比較回路5aは積算回路4aからの積算値が基準値Na
以上である場合には、欠陥である旨を判定して検出信号
を出力する。同様に比較回路5bは積算回路4bからの積算
値が基準値Nb以下である場合には、欠陥である旨を判定
して検出信号を出力する。
以上である場合には、欠陥である旨を判定して検出信号
を出力する。同様に比較回路5bは積算回路4bからの積算
値が基準値Nb以下である場合には、欠陥である旨を判定
して検出信号を出力する。
尚、検出部１に組込まれる検出手段としては、第２図に
示した検出手段に限定されることなく、例えばCCDセン
サ等の適宜の検出手段を用いることができる。
示した検出手段に限定されることなく、例えばCCDセン
サ等の適宜の検出手段を用いることができる。
このように構成すると、ノイズレベルに相応する平均値
Ｓの値を更に適切に算出することができる。
Ｓの値を更に適切に算出することができる。
また、ノイズレベルが非常に小さなCCDセンサ等を検出
手段として検出部１へ組込んだ場合には、ノイズを除去
することなく、CCDセンサの検出出力をそのまま積算す
ればよく、ノイズ除去用の回路部を不要にすることがで
き、更にコストの低減を図ることができる。
手段として検出部１へ組込んだ場合には、ノイズを除去
することなく、CCDセンサの検出出力をそのまま積算す
ればよく、ノイズ除去用の回路部を不要にすることがで
き、更にコストの低減を図ることができる。
［発明の効果］ 以上説明してきたように、本発明によれば、所定領域内
の検出信号を選別し、この選別された検出信号を積算し
て、解析することにより、欠陥の程度を性格に判定する
ことができ、且つ目視による判定結果とのより高い一致
性が得られる。
の検出信号を選別し、この選別された検出信号を積算し
て、解析することにより、欠陥の程度を性格に判定する
ことができ、且つ目視による判定結果とのより高い一致
性が得られる。
第１図は本発明の一実施例を示したブロック図、第２図
は第１図の検出部を被検査物体の上方に配置した説明
図、第３図は被検査物体の表面を複数の画素に分割した
状態を示した説明図、第４図はは第１図の比較回路3a,3
bの比較処理を示した説明図、第５図は第１図の積算回
路4a,4bの各積算値に基づいて被検査物体の表面を解析
した説明図である。 ３…a,3b……比較回路 4a,4b……積算回路 5a,5b……比較回路
は第１図の検出部を被検査物体の上方に配置した説明
図、第３図は被検査物体の表面を複数の画素に分割した
状態を示した説明図、第４図はは第１図の比較回路3a,3
bの比較処理を示した説明図、第５図は第１図の積算回
路4a,4bの各積算値に基づいて被検査物体の表面を解析
した説明図である。 ３…a,3b……比較回路 4a,4b……積算回路 5a,5b……比較回路
Claims (5)
- 【請求項１】被検査体の表面を所定の大きさの複数の領
域に区分し、この区分された一領域内を複数回走査する
ことによって得られた検出信号から被検査体表面の欠陥
を判別する装置において、 前記検出信号値と予め設定される設定値とを比較し、こ
の比較結果に基づく信号を出力する比較手段と、 前記比較手段から出力された出力信号を前記領域毎に積
算する積算手段と 前記積算手段から出力された積算値に基づいて当該被検
査体表面の欠陥を判別する判別手段と を有することを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】前記比較手段は、検出信号値が設定値より
も大であるときに、当該検出信号の大小に係る信号を出
力することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表
面検査装置。 - 【請求項３】前記比較手段は、検出信号値が設定値より
も小であるときに、当該検出信号値の大小に係る信号を
出力することを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第
２項記載の表面検査装置。 - 【請求項４】前記判別手段は、積算値と予め設定される
判定値との大小を比較して、この比較結果から当該被検
査体表面の欠陥を判別することを特徴とする特許請求の
範囲第１項、第２項又は第３項記載の表面検査装置。 - 【請求項５】前記判別手段は、各領域毎の積算値をもと
に複数領域における積算値の大小関係を図示する表示手
段を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項、第
２項、第３項又は第４項記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62240824A JPH0786477B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62240824A JPH0786477B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6484138A JPS6484138A (en) | 1989-03-29 |
| JPH0786477B2 true JPH0786477B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=17065243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62240824A Expired - Fee Related JPH0786477B2 (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0786477B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2832373B2 (ja) * | 1989-08-07 | 1998-12-09 | 王子製紙株式会社 | 二次元的なむらの検査装置 |
| TWI270656B (en) * | 2005-11-29 | 2007-01-11 | Machvision Inc | Analysis method for sag or protrusion of copper-filled micro via |
-
1987
- 1987-09-28 JP JP62240824A patent/JPH0786477B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6484138A (en) | 1989-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |