JPH0625734B2 - 顕微赤外測定装置 - Google Patents
顕微赤外測定装置Info
- Publication number
- JPH0625734B2 JPH0625734B2 JP8714890A JP8714890A JPH0625734B2 JP H0625734 B2 JPH0625734 B2 JP H0625734B2 JP 8714890 A JP8714890 A JP 8714890A JP 8714890 A JP8714890 A JP 8714890A JP H0625734 B2 JPH0625734 B2 JP H0625734B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- objective lens
- infrared
- infrared light
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）
と組み合わされる顕微鏡赤外測定装置に関する。
と組み合わされる顕微鏡赤外測定装置に関する。
［従来技術］ 近年、ＦＴ−ＩＲと組み合わせた顕微赤外測定におい
て、微小部分の薄膜測定が分析対象になってきている。
ところが、従来の顕微赤外を用いた反射測定は、試料に
対し小さな入射角を用いているので、金属表面上の薄膜
を測定するには感度が低く、良いスペクトルが得られな
かった。この様な問題点を解決する装置が、例えば、第
２４回応用スペクトロメトリー要旨集１Ａ１１「顕微鏡
偏光反射システムの開発と応用」に提案されている。
て、微小部分の薄膜測定が分析対象になってきている。
ところが、従来の顕微赤外を用いた反射測定は、試料に
対し小さな入射角を用いているので、金属表面上の薄膜
を測定するには感度が低く、良いスペクトルが得られな
かった。この様な問題点を解決する装置が、例えば、第
２４回応用スペクトロメトリー要旨集１Ａ１１「顕微鏡
偏光反射システムの開発と応用」に提案されている。
第２図（ａ）は、この要旨集に提案されている装置の全
体の構成を示し、第２図（ｂ）は同図（ａ）において１
点鎖線で囲まれた試料の周囲の拡大断面図である。第２
図（ａ）、（ｂ）において、図示しない光源から発生
し、干渉計（図示外）を径て偏光子（図示外）を通過し
た赤外光１０１は、カセグレン方式の集光鏡１０２を介
して、試料１０３に入射する。試料１０３は試料ステー
ジ１０４上に設置した直立する試料ホルダ１０５に取り
付けられている。試料１０３で反射された赤外光１０１
は、カセグレン方式の対物鏡１０６を通りアパーチャ１
０７を径た後、切換え鏡１０９を介して検出器１１０に
入り、検出される。そして、試料１０３の観察は試料ス
テージに対向して配置されたモニタースコープ１１１で
行われる。なお、１１２は通常測定の際の試料観察用の
光学系である。
体の構成を示し、第２図（ｂ）は同図（ａ）において１
点鎖線で囲まれた試料の周囲の拡大断面図である。第２
図（ａ）、（ｂ）において、図示しない光源から発生
し、干渉計（図示外）を径て偏光子（図示外）を通過し
た赤外光１０１は、カセグレン方式の集光鏡１０２を介
して、試料１０３に入射する。試料１０３は試料ステー
ジ１０４上に設置した直立する試料ホルダ１０５に取り
付けられている。試料１０３で反射された赤外光１０１
は、カセグレン方式の対物鏡１０６を通りアパーチャ１
０７を径た後、切換え鏡１０９を介して検出器１１０に
入り、検出される。そして、試料１０３の観察は試料ス
テージに対向して配置されたモニタースコープ１１１で
行われる。なお、１１２は通常測定の際の試料観察用の
光学系である。
［発明が解決しようとする課題］ この提案された装置によって、反射測定を高感度で行う
ことができるが、試料観察にモニタースコープ１１１を
使用していることから判るように、赤外光と同軸の観察
光学系１１２によって直接、測定部位を確認することが
できない。即ち、モニタースコープ１１１によって観察
している試料表面上どの部位に赤外光が入射しているか
は不明であり、赤外光による測定部位を確認することが
できないという問題点がある。
ことができるが、試料観察にモニタースコープ１１１を
使用していることから判るように、赤外光と同軸の観察
光学系１１２によって直接、測定部位を確認することが
できない。即ち、モニタースコープ１１１によって観察
している試料表面上どの部位に赤外光が入射しているか
は不明であり、赤外光による測定部位を確認することが
できないという問題点がある。
本発明は、この点に鑑みてなされたものであり、反射測
定を高感度で行うことができき、しかも測定部位を観察
用光学系によって直接確認できる顕微赤外線測定装置を
提供することを目的としている。
定を高感度で行うことができき、しかも測定部位を観察
用光学系によって直接確認できる顕微赤外線測定装置を
提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、本発明は、フーリエ変換赤外
分光光度計と組み合わされる顕微赤外測定装置であっ
て、試料からの赤外光を赤外光検出器へ向けて集光する
ための対物レンズと、対物レンズの光軸に対して一定の
傾きで試料を配置するようにした試料ステージと、試料
面に対して赤外光を大きな入射化角で入射させて対物レ
ンズへ向けて反射させるようにした赤外光入射光学系
と、試料面に対し可視光を赤外光よりも小さな入射角で
入射させて対物レンズに向けて反射されるようにした可
視光照明光学系と、前記対物レンズと赤外線検出器との
間の光路に配置される可視光による試料面観察光学系と
を設けたことを特徴としている。
分光光度計と組み合わされる顕微赤外測定装置であっ
て、試料からの赤外光を赤外光検出器へ向けて集光する
ための対物レンズと、対物レンズの光軸に対して一定の
傾きで試料を配置するようにした試料ステージと、試料
面に対して赤外光を大きな入射化角で入射させて対物レ
ンズへ向けて反射させるようにした赤外光入射光学系
と、試料面に対し可視光を赤外光よりも小さな入射角で
入射させて対物レンズに向けて反射されるようにした可
視光照明光学系と、前記対物レンズと赤外線検出器との
間の光路に配置される可視光による試料面観察光学系と
を設けたことを特徴としている。
［作用］ 一定の傾きで配置された試料面に対し、赤外光を大きな
入射角で入射させて対物レンズへ向けて反射させ、そし
て、試料面に対し照明用可視光を赤外光よりも小さな入
射角で入射させて対物レンズに向けて反射させることに
より、測定部位を観察光学系によって直接確認できる。
入射角で入射させて対物レンズへ向けて反射させ、そし
て、試料面に対し照明用可視光を赤外光よりも小さな入
射角で入射させて対物レンズに向けて反射させることに
より、測定部位を観察光学系によって直接確認できる。
［実施例］ 第１図は本発明を実施した顕微赤外測定装置の一例を示
す光学図である。
す光学図である。
図中、１は透過測定時に使用するカセグレン方式の集光
鏡、２はセグレン方式の反射対物レンズ、３は図示外の
干渉計からの赤外光、４は透過測定、反射測定の切換え
に使用する切換え鏡、５ａ，５ｂは赤外光３を試料８に
向けて導くための反射鏡、６は赤外光を試料表面へ集光
するための楕円面鏡、７は試料８に楕円面鏡６を経ない
で直接照射される赤外光をカットするマスク、９は反射
対物レンズ２（図示しない顕微鏡筒）の光軸に対して例
えば３０度の角度で試料８を保持する試料ステージ、１
０は試料ステージ９を左右（矢印Ａの方向）に移動させ
るためのマイクロメータヘッド、１１，１２は試料８の
Ｘ軸方向（矢印Ｘ方向）移動，Ｙ軸方向（紙面に垂直な
方向）移動用のマイクロメータヘッドである。これら１
１，１２のマイクロメータヘッドを操作することによ
り、試料８は、反射対物レンズ２の光軸に対して例えば
３０度傾斜した面内で試料８を移動させ、試料面上の測
定点を上記光軸上に設定し得るように構成されている。
１３は試料面を照明するための可視光源、１４は測定領
域を限定するアパーチャ、１５は反射赤外光、１６は可
視光光路である。アパーチャ１４の上方には、第２図
（ａ）と同様の赤外光検出器及び観察用の光学系が配置
されている。
鏡、２はセグレン方式の反射対物レンズ、３は図示外の
干渉計からの赤外光、４は透過測定、反射測定の切換え
に使用する切換え鏡、５ａ，５ｂは赤外光３を試料８に
向けて導くための反射鏡、６は赤外光を試料表面へ集光
するための楕円面鏡、７は試料８に楕円面鏡６を経ない
で直接照射される赤外光をカットするマスク、９は反射
対物レンズ２（図示しない顕微鏡筒）の光軸に対して例
えば３０度の角度で試料８を保持する試料ステージ、１
０は試料ステージ９を左右（矢印Ａの方向）に移動させ
るためのマイクロメータヘッド、１１，１２は試料８の
Ｘ軸方向（矢印Ｘ方向）移動，Ｙ軸方向（紙面に垂直な
方向）移動用のマイクロメータヘッドである。これら１
１，１２のマイクロメータヘッドを操作することによ
り、試料８は、反射対物レンズ２の光軸に対して例えば
３０度傾斜した面内で試料８を移動させ、試料面上の測
定点を上記光軸上に設定し得るように構成されている。
１３は試料面を照明するための可視光源、１４は測定領
域を限定するアパーチャ、１５は反射赤外光、１６は可
視光光路である。アパーチャ１４の上方には、第２図
（ａ）と同様の赤外光検出器及び観察用の光学系が配置
されている。
この様な構成において、反射測定を行う際、図示しない
光源からの赤外光３は、干渉計（図示外）を径て偏光子
（図示外）を通過した後に、光路に挿入されている切換
え鏡４によって上方に反射されて、平面鏡５ａ，５ｂ、
楕円面鏡６を径て、試料ステージ９上の試料８面に集光
される。楕円面鏡６からの赤外光３は、反射対物レンズ
２の光軸に対して例えば４０度の傾きをもっている。従
って、試料面に対して、８０度の入射角を持つ高感度反
射を形作り、試料８面からの反射光１５は反射対物レン
ズ２に対して傾き２０度の角度で入射する。
光源からの赤外光３は、干渉計（図示外）を径て偏光子
（図示外）を通過した後に、光路に挿入されている切換
え鏡４によって上方に反射されて、平面鏡５ａ，５ｂ、
楕円面鏡６を径て、試料ステージ９上の試料８面に集光
される。楕円面鏡６からの赤外光３は、反射対物レンズ
２の光軸に対して例えば４０度の傾きをもっている。従
って、試料面に対して、８０度の入射角を持つ高感度反
射を形作り、試料８面からの反射光１５は反射対物レン
ズ２に対して傾き２０度の角度で入射する。
この反射対物レンズ２は凹面鏡と凸面鏡からなり、反射
対物レンズ２の光軸から約１０度の範囲で入射する光は
凸面鏡によって蹴られ、結像に寄与しない。一方、周辺
光束の最大入射角は約３０度であるため、反射対物レン
ズ２に対して２０度の傾きで入っくる高感度反射光１５
は、略対物レンズ２の片側に中心に一致する。そして、
反射対物レンズ２に入射した赤外光３は、赤外光光路１
５を通ってアパーチャ１４の位置に結像し、検出器１１
０に到達する。
対物レンズ２の光軸から約１０度の範囲で入射する光は
凸面鏡によって蹴られ、結像に寄与しない。一方、周辺
光束の最大入射角は約３０度であるため、反射対物レン
ズ２に対して２０度の傾きで入っくる高感度反射光１５
は、略対物レンズ２の片側に中心に一致する。そして、
反射対物レンズ２に入射した赤外光３は、赤外光光路１
５を通ってアパーチャ１４の位置に結像し、検出器１１
０に到達する。
一方、光源１３からの可視光は、試料８面に対し赤外光
よりも小さな入射角で入射し、対物レンズ２に向けて反
射される。そして、反射対物レンズ２に入射した反射可
視光は、主として可視光光路１６を通ってアパーチャ１
４の位置に試料の可視像を結像し、観察用光学系１１２
に到達する。
よりも小さな入射角で入射し、対物レンズ２に向けて反
射される。そして、反射対物レンズ２に入射した反射可
視光は、主として可視光光路１６を通ってアパーチャ１
４の位置に試料の可視像を結像し、観察用光学系１１２
に到達する。
そのため、アパーチャ１４の位置に結像した試料像を観
察用光学系１１２で観察することができる。その試料像
にアパーチャ１４の開口を合わせれば、その開口を介し
て観察される領域からの赤外光のみが検出器１１０へ到
達することになり、赤外光の測定領域を設定することが
できる。
察用光学系１１２で観察することができる。その試料像
にアパーチャ１４の開口を合わせれば、その開口を介し
て観察される領域からの赤外光のみが検出器１１０へ到
達することになり、赤外光の測定領域を設定することが
できる。
なお、赤外光３を導入、集光させる平面鏡５ａ，５ｂ、
楕円面鏡６は、それぞれ、楕円面鏡、放物面鏡で構成し
てもよい。
楕円面鏡６は、それぞれ、楕円面鏡、放物面鏡で構成し
てもよい。
なお、切換え鏡４を含む赤外光導入集光部と、照明装置
と、マイクロメータヘッドを含む試料ステージを取り除
き、透過測定用の試料ステージを取り付ければ、集光鏡
１及び対物レンズ２を使用して透過測定を行うことがで
きる。
と、マイクロメータヘッドを含む試料ステージを取り除
き、透過測定用の試料ステージを取り付ければ、集光鏡
１及び対物レンズ２を使用して透過測定を行うことがで
きる。
［効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば、対物レンズの光軸
に対して傾斜して配置された試料面に対し、赤外光を大
きな入射角で入射させて対物レンズへ向けて反射させ、
そして、その試料面に対し照明用可視光を赤外光よりも
小さな入射角で入射させて対物レンズに向けて反射させ
るようにしたため、反射測定を高感度で行うことがで
き、しかも測定部位を観察用光学系によって直接確認で
きる顕微赤外測定装置を提供することができる。
に対して傾斜して配置された試料面に対し、赤外光を大
きな入射角で入射させて対物レンズへ向けて反射させ、
そして、その試料面に対し照明用可視光を赤外光よりも
小さな入射角で入射させて対物レンズに向けて反射させ
るようにしたため、反射測定を高感度で行うことがで
き、しかも測定部位を観察用光学系によって直接確認で
きる顕微赤外測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明を実施した顕微赤外測定装置の一例を示
す光学図、第２図は従来例を示す光学図である。 １，１０２：集光鏡 ２：反射対物レンズ ３，１０１：赤外光 ４，１０９：切換え鏡 ５：平面反射鏡、６：楕円面鏡 ７：マスク ８，１０３：試料 ９，１０４：試料ステージ １０，１１，１２：マイクロメータヘッド １３：照明装置、１４，１０７：アパーチャ １５：反射赤外光、１６：可視光光路 １０５：試料ホルダ、１０６：対物鏡 １１０：検出器 １１１：モニタースコープ １１２：観察光学系
す光学図、第２図は従来例を示す光学図である。 １，１０２：集光鏡 ２：反射対物レンズ ３，１０１：赤外光 ４，１０９：切換え鏡 ５：平面反射鏡、６：楕円面鏡 ７：マスク ８，１０３：試料 ９，１０４：試料ステージ １０，１１，１２：マイクロメータヘッド １３：照明装置、１４，１０７：アパーチャ １５：反射赤外光、１６：可視光光路 １０５：試料ホルダ、１０６：対物鏡 １１０：検出器 １１１：モニタースコープ １１２：観察光学系
Claims (1)
- 【請求項１】フーリエ変換赤外分光光度計と組み合わさ
れる顕微赤外測定装置であって、試料からの赤外光を赤
外光検出器へ向けて集光するための対物レンズと、対物
レンズの光軸に対して一定の傾きで試料を配置するよう
にした試料ステージと、試料面に対して赤外光を大きな
入射角で入射させて対物レンズへ向けて反射させるよう
にした赤外光入射光学系と、試料面に対し可視光を赤外
光よりも小さな入射角で入射させて対物レンズに向けて
反射されるようにした可視光照明光学系と、前記対物レ
ンズと赤外光検出器との間の光路に配置される可視光に
よる試料面観察光学系とを設けたことを特徴とする顕微
赤外測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8714890A JPH0625734B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 顕微赤外測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8714890A JPH0625734B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 顕微赤外測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03285147A JPH03285147A (ja) | 1991-12-16 |
| JPH0625734B2 true JPH0625734B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=13906894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8714890A Expired - Lifetime JPH0625734B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 顕微赤外測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625734B2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8714890A patent/JPH0625734B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03285147A (ja) | 1991-12-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5032720A (en) | Confocal imaging system | |
| JPS61212733A (ja) | ビーム方向付け方法および反射ビーム分光装置 | |
| JPS58145911A (ja) | 反射光照明による透過光顕微鏡試験のための光学系 | |
| JPH0129020B2 (ja) | ||
| US5144477A (en) | Method of operating a scanning confocal imaging system | |
| JP2000509842A (ja) | 顕微鏡における多軸検査用偏光装置 | |
| JPH03148044A (ja) | 顕微分光測定装置 | |
| JP3137404B2 (ja) | 全反射測定装置 | |
| JPH0625734B2 (ja) | 顕微赤外測定装置 | |
| JPH09250966A (ja) | 反射率測定装置 | |
| JP3184487B2 (ja) | 全反射測定装置 | |
| JP3871415B2 (ja) | 分光透過率測定装置 | |
| JP2006047780A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| JPH05340869A (ja) | 薄膜測定器 | |
| JP3179136B2 (ja) | 顕微赤外ａｔｒ測定装置 | |
| JPH04297810A (ja) | 光学検査装置 | |
| JP3231268B2 (ja) | 光学的視野角測定装置 | |
| JP3607055B2 (ja) | 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 | |
| JPH0618410A (ja) | 赤外顕微測定装置 | |
| JP3214063B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
| JP2000356508A (ja) | 干渉計 | |
| JPH05340870A (ja) | 全反射吸収スペクトル測定装置 | |
| JP2902417B2 (ja) | 波面収差測定用干渉装置 | |
| JPH02290536A (ja) | 顕微分光測定装置 | |
| JP2766735B2 (ja) | 反射対物レンズを用いた光学系 |