JPH06252240A - ウェーハ移し換え治具 - Google Patents
ウェーハ移し換え治具Info
- Publication number
- JPH06252240A JPH06252240A JP3358993A JP3358993A JPH06252240A JP H06252240 A JPH06252240 A JP H06252240A JP 3358993 A JP3358993 A JP 3358993A JP 3358993 A JP3358993 A JP 3358993A JP H06252240 A JPH06252240 A JP H06252240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer jig
- movable holder
- jig
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造工程においてウェーハをウェーハ
キャリア間で移し換える際に用いられるウェーハ移し換
え治具を提供する。 【構成】 ウェーハＷを収納したウェーハキャリアから
空のウェーハキャリアにウェーハを移し換える際に用い
られるウェーハ移し換え治具10であって、ウェーハＷの
端縁部の上部を把持する１個の可動ホルダー４と、該ウ
ェーハＷの端縁部の側部を把持する２個の固定ホルダー
８，９と、前記可動ホルダー４を摺動自在に保持する把
手部１とを、３本の角度が120 °のスター状とされるア
ーム７を用いて一体的に構成することにより、ウェーハ
を１枚ずつしかも微粒子や不純物の付着の少ない状態で
移し換えを行うことを可能にする。
キャリア間で移し換える際に用いられるウェーハ移し換
え治具を提供する。 【構成】 ウェーハＷを収納したウェーハキャリアから
空のウェーハキャリアにウェーハを移し換える際に用い
られるウェーハ移し換え治具10であって、ウェーハＷの
端縁部の上部を把持する１個の可動ホルダー４と、該ウ
ェーハＷの端縁部の側部を把持する２個の固定ホルダー
８，９と、前記可動ホルダー４を摺動自在に保持する把
手部１とを、３本の角度が120 °のスター状とされるア
ーム７を用いて一体的に構成することにより、ウェーハ
を１枚ずつしかも微粒子や不純物の付着の少ない状態で
移し換えを行うことを可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におい
てウェーハをウェーハキャリア間で移し換える際に用い
られるウェーハ移し換え治具に関する。
てウェーハをウェーハキャリア間で移し換える際に用い
られるウェーハ移し換え治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程において、ウェー
ハを収納したウェーハキャリアからウェーハを取り出し
て別の空のウェーハキャリアに移し換える手段として
は、ウェーハの裏面を真空ピンセットによって吸着させ
ることによってウェーハを保持し、ウェーハキャリアか
ら取り出すのが一般的である。
ハを収納したウェーハキャリアからウェーハを取り出し
て別の空のウェーハキャリアに移し換える手段として
は、ウェーハの裏面を真空ピンセットによって吸着させ
ることによってウェーハを保持し、ウェーハキャリアか
ら取り出すのが一般的である。
【０００３】また、たとえば特開平２−123750号公報に
開示されているような移し換え治具を用いる場合もあ
る。この治具は、図５に示すように、たとえば3/16イン
チ間隔で設けられた複数の溝を穿設したウェーハ支え11
とこれを支持する支持部材12と台座13とで構成されてい
る。そして、この治具を空のウェーハキャリアに装入し
た状態でウェーハを収納したウェーハキャリアに被せて
旋回させ、その後空のウェーハキャリアを持ち上げるこ
とによりウェーハを移し換えようとするものである。
開示されているような移し換え治具を用いる場合もあ
る。この治具は、図５に示すように、たとえば3/16イン
チ間隔で設けられた複数の溝を穿設したウェーハ支え11
とこれを支持する支持部材12と台座13とで構成されてい
る。そして、この治具を空のウェーハキャリアに装入し
た状態でウェーハを収納したウェーハキャリアに被せて
旋回させ、その後空のウェーハキャリアを持ち上げるこ
とによりウェーハを移し換えようとするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術において、前者の真空ピンセットでウェーハ
裏面を吸着する場合は、真空ピンセットに付着していた
微粒子や不純物がウェーハの裏面に吸着して汚染される
という問題があった。また後者の特開平２−123750号の
治具では、ウェーハキャリアを旋回する時の発塵をたし
かに抑えることはできるが、ウェーハキャリアから収納
されたウェーハを１枚だけ別のウェーハキャリアに移し
換えることができないという欠点があった。
た従来技術において、前者の真空ピンセットでウェーハ
裏面を吸着する場合は、真空ピンセットに付着していた
微粒子や不純物がウェーハの裏面に吸着して汚染される
という問題があった。また後者の特開平２−123750号の
治具では、ウェーハキャリアを旋回する時の発塵をたし
かに抑えることはできるが、ウェーハキャリアから収納
されたウェーハを１枚だけ別のウェーハキャリアに移し
換えることができないという欠点があった。
【０００５】本発明は、上記のような従来技術の有する
課題を解決すべくなされたウェーハ移し換え治具を提供
することを目的とする。
課題を解決すべくなされたウェーハ移し換え治具を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハを収
納したウェーハキャリアから空のウェーハキャリアにウ
ェーハを移し換える際に用いられるウェーハ移し換え治
具であって、ウェーハの端縁部の上部を把持する１個の
可動ホルダーと、該ウェーハの端縁部の側部を把持する
２個の固定ホルダーと、前記可動ホルダーを摺動自在に
保持する把手部とを一体的に構成したことを特徴とする
ウェーハ移し換え治具である。
納したウェーハキャリアから空のウェーハキャリアにウ
ェーハを移し換える際に用いられるウェーハ移し換え治
具であって、ウェーハの端縁部の上部を把持する１個の
可動ホルダーと、該ウェーハの端縁部の側部を把持する
２個の固定ホルダーと、前記可動ホルダーを摺動自在に
保持する把手部とを一体的に構成したことを特徴とする
ウェーハ移し換え治具である。
【０００７】
【作 用】本発明によれば、１個の可動ホルダーと２個
の固定ホルダーからなるウェーハ移し換え治具を用いて
ウェーハの端縁部を把持してウェーハキャリア間の移し
換えを行うようにしたので、ウェーハを１枚ずつしかも
微粒子や不純物の付着の少ない状態で移し換えを行うこ
とができる。
の固定ホルダーからなるウェーハ移し換え治具を用いて
ウェーハの端縁部を把持してウェーハキャリア間の移し
換えを行うようにしたので、ウェーハを１枚ずつしかも
微粒子や不純物の付着の少ない状態で移し換えを行うこ
とができる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の実施例について、図面を参
照して詳しく説明する。図１は本発明の実施例を示す正
面図であり、図２はその側面図である。図において、１
はつば部２を有し溝部３を設けた把手部である。４はウ
ェーハＷの端縁部の上部を把持する山状の接触面４ａを
有する可動ホルダーである。この可動ホルダー４は把手
部１の溝部３に摺動自在に嵌合されており、ハンドル５
につば部２を貫通するスピンドル６を介して連結され、
上下方向に昇降自在とされる。
照して詳しく説明する。図１は本発明の実施例を示す正
面図であり、図２はその側面図である。図において、１
はつば部２を有し溝部３を設けた把手部である。４はウ
ェーハＷの端縁部の上部を把持する山状の接触面４ａを
有する可動ホルダーである。この可動ホルダー４は把手
部１の溝部３に摺動自在に嵌合されており、ハンドル５
につば部２を貫通するスピンドル６を介して連結され、
上下方向に昇降自在とされる。
【０００９】７は把手部１の下端部に固定されて３本の
角度がそれぞれ120 °のスター状とされるアームであ
り、その先端にはウェーハＷの端縁部の側部を把持する
谷状の接触面を有する固定ホルダー８，９が固定され
る。このように構成されたウェーハ移し換え治具10を用
いて、複数枚のウェーハＷが収納されたウェーハキャリ
アからウェーハＷを１枚だけ別のウェーハキャリアに移
し換えるときは、まず図３(a) に示すように手でハンド
ル５を操作して可動ホルダー４を上部に引き上げた状態
で移し換えるべきウェーハＷの側面に下ろし、ついで図
３(b) に示すように固定ホルダー８，９の接触面８ａ，
９ａでウェーハＷの端縁部の側部を把持し、さらに図３
(c) に示すようにハンドル５をふたたび操作して可動ホ
ルダー４を下方に下げてその接触面４ａでウェーハＷの
端縁部の上部を把持する。
角度がそれぞれ120 °のスター状とされるアームであ
り、その先端にはウェーハＷの端縁部の側部を把持する
谷状の接触面を有する固定ホルダー８，９が固定され
る。このように構成されたウェーハ移し換え治具10を用
いて、複数枚のウェーハＷが収納されたウェーハキャリ
アからウェーハＷを１枚だけ別のウェーハキャリアに移
し換えるときは、まず図３(a) に示すように手でハンド
ル５を操作して可動ホルダー４を上部に引き上げた状態
で移し換えるべきウェーハＷの側面に下ろし、ついで図
３(b) に示すように固定ホルダー８，９の接触面８ａ，
９ａでウェーハＷの端縁部の側部を把持し、さらに図３
(c) に示すようにハンドル５をふたたび操作して可動ホ
ルダー４を下方に下げてその接触面４ａでウェーハＷの
端縁部の上部を把持する。
【００１０】これによって、ウェーハＷの端縁部の３ヶ
所が可動ホルダー４および固定ホルダー８，９によって
把持されたことになるから、その状態で把手部１を上方
に引き上げることにより、１枚のウェーハＷをウェーハ
キャリアから抜き取ることができる。そこで、抜き取っ
たウェーハＷを別のウェーハキャリアの位置に移動し
て、上記した抜き取りの手順と逆の順序でウェーハキャ
リアに挿入して収納することにより、ウェーハＷの移し
換えを終了する。
所が可動ホルダー４および固定ホルダー８，９によって
把持されたことになるから、その状態で把手部１を上方
に引き上げることにより、１枚のウェーハＷをウェーハ
キャリアから抜き取ることができる。そこで、抜き取っ
たウェーハＷを別のウェーハキャリアの位置に移動し
て、上記した抜き取りの手順と逆の順序でウェーハキャ
リアに挿入して収納することにより、ウェーハＷの移し
換えを終了する。
【００１１】図４は、本発明のウェーハ移し換え治具を
用いてウェーハの移し換えをしたときのその表面と裏面
に付着した不純物濃度（●印）を示した特性図である。
なお、比較のために、従来の真空ピンセットを用いた場
合の不純物濃度を○印で示した。従来例ではウェーハ裏
面の濃度が約１×1010atoms/cm2 から約１×1011atoms/
cm2 まで上昇したのに対し、本発明例では裏面の不純物
濃度は表面の濃度とほとんど同じ値で、その差がみられ
なかった。これにより、本発明例の３個のウェーハホル
ダーによってウェーハの端縁部のみを把持させることに
よる効果であることが明らかである。
用いてウェーハの移し換えをしたときのその表面と裏面
に付着した不純物濃度（●印）を示した特性図である。
なお、比較のために、従来の真空ピンセットを用いた場
合の不純物濃度を○印で示した。従来例ではウェーハ裏
面の濃度が約１×1010atoms/cm2 から約１×1011atoms/
cm2 まで上昇したのに対し、本発明例では裏面の不純物
濃度は表面の濃度とほとんど同じ値で、その差がみられ
なかった。これにより、本発明例の３個のウェーハホル
ダーによってウェーハの端縁部のみを把持させることに
よる効果であることが明らかである。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ウェーハのウェーハキャリア間の移し換えに
おいて１個の可動ホルダーと２個の固定ホルダーからな
るウェーハ移し換え治具を用いてウェーハの端縁部を把
持するようにしたので、ウェーハを１枚ずつしかも不純
物の付着の少ない状態で移し換えを行うことができ、こ
れによってウェーハの清浄度を高めることが可能であ
る。
によれば、ウェーハのウェーハキャリア間の移し換えに
おいて１個の可動ホルダーと２個の固定ホルダーからな
るウェーハ移し換え治具を用いてウェーハの端縁部を把
持するようにしたので、ウェーハを１枚ずつしかも不純
物の付着の少ない状態で移し換えを行うことができ、こ
れによってウェーハの清浄度を高めることが可能であ
る。
【図１】本発明の実施例を示す正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】(a) 〜(c) は本発明の操作手順を説明する図で
ある。
ある。
【図４】移し換えされたウェーハの表裏面の不純物濃度
を示す特性図である。
を示す特性図である。
【図５】ウェーハ移し換え治具の従来例を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 把手部 ２ つば部 ３ 溝部 ４ 可動ホルダー ５ ハンドル ７ アーム ８，９ 固定ホルダー 10 ウェーハ移し換え治具 Ｗ ウェーハ
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハを収納したウェーハキャリア
から空のウェーハキャリアにウェーハを移し換える際に
用いられるウェーハ移し換え治具であって、ウェーハの
端縁部の上部を把持する１個の可動ホルダーと、該ウェ
ーハの端縁部の側部を把持する２個の固定ホルダーと、
前記可動ホルダーを摺動自在に保持する把手部とを一体
的に構成したことを特徴とするウェーハ移し換え治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358993A JPH06252240A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | ウェーハ移し換え治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358993A JPH06252240A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | ウェーハ移し換え治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252240A true JPH06252240A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12390700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3358993A Pending JPH06252240A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | ウェーハ移し換え治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252240A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100313538B1 (ko) * | 1999-12-23 | 2001-11-07 | 박종섭 | 반도체 웨이퍼 트랜스퍼 트위저 |
| KR20170053705A (ko) * | 2014-10-10 | 2017-05-16 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 웨이퍼 반송 방법 및 장치 |
-
1993
- 1993-02-23 JP JP3358993A patent/JPH06252240A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100313538B1 (ko) * | 1999-12-23 | 2001-11-07 | 박종섭 | 반도체 웨이퍼 트랜스퍼 트위저 |
| KR20170053705A (ko) * | 2014-10-10 | 2017-05-16 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 웨이퍼 반송 방법 및 장치 |
| US10354899B2 (en) | 2014-10-10 | 2019-07-16 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Wafer transfer method and wafer transfer device |
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