JPH06242847A - 基準電圧発生回路 - Google Patents

基準電圧発生回路

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JPH06242847A
JPH06242847A JP5319405A JP31940593A JPH06242847A JP H06242847 A JPH06242847 A JP H06242847A JP 5319405 A JP5319405 A JP 5319405A JP 31940593 A JP31940593 A JP 31940593A JP H06242847 A JPH06242847 A JP H06242847A
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voltage
generating circuit
voltage generating
circuit
constant voltage
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JP5319405A
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English (en)
Inventor
Jun Eto
潤 衛藤
Yoshinobu Nakagome
儀延 中込
Hitoshi Tanaka
田中  均
Koji Kawamoto
耕志 河本
Masakazu Aoki
正和 青木
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 消費電力が小さい基準電圧発生回路を提供す
る。 【構成】 2つのMOSトランジスタのしきい値電圧差
を基準とした電圧を発生する定電圧発生回路CVCと、
その出力電圧を保持する電圧保持手段SH3とを有し、
電圧保持手段SH3が電圧発生回路CVCの出力電圧を
保持した後に定電圧発生回路CVCの電源スイッチをオ
フする。 【効果】 定電圧発生回路CVCの消費電力を削減でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に搭載す
る基準電圧発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ノート型パーソナルコンピュータ
に代表されるように、LSIを使った携帯用機器が多数
製品化されてきた携帯用機器ではバッテリーの持続時間
が重要となる。したがって、携帯用機器で使うLSIは
消費電力を極力小さくすることが重要である。DRAM
も携帯用機器にフロッピーディスクやハードディスクの
置き換えとして使われようとしており、低消費電力化が
必要である。特にDRAMでは常時動作している基準電
圧発生回路や基板バイアス電圧回路の低消費電力化が重
要となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ここで、基準電圧発生
回路として、例えば特開平1−296491号に示す回
路がある。この回路はしきい電圧の異なるMOS−FE
Tを用いて、そのしきい電圧差に応じた基準電圧を発生
する回路である。この回路では、基準電圧の値がしきい
電圧のばらつきによって変動するが、その影響は動作電
流が大きい程小さくなる。また、動作電流が大きい程基
板からの雑音の影響を受けにくい。したがって、従来の
基準電圧発生回路では、高精度かつ高安定の基準電圧を
得ることと低消費電力化との両立は難しいという問題が
あった。
【0004】本発明の目的は、高精度かつ耐雑音性に優
れ、かつ消費電力が小さい基準電圧発生回路を提供する
ことにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では、第1の動作電位(Vcc)と第2の動作電位(GN
D)との間に設けられた定電圧発生回路(CVC)と、上記定
電圧発生回路(CVC)の出力電圧を保持する電圧保持手段
(SH3)とを具備し、上記定電圧発生回路(CVC)は、第1と
第2のMOSトランジスタ(M301,M302)と、上記第1と第2のM
OSトランジスタ(M301,M302)のそれぞれのソース−ドレ
イン経路と直列に上記第1の動作電位(Vcc)と上記第2の
動作電位(GND)との間に接続された第1のスイッチ手段(M
305,M306)とを有し、上記定電圧発生回路(CVC)は、上記
第1と第2のMOSトランジスタ(M301,M302)のしきい値電圧
の差電圧に比例した第1の電圧を第1の出力端子に出力
し、上記電圧保持手段(SH3)は、一端が上記定電圧発生
回路(CVC)の上記第1の出力端子に接続された第2のスイ
ッチ手段(M309,M310)と、上記第2のスイッチ手段(M309,
M310)の他端に接続されることにより、上記定電圧発生
回路(CVC)の上記第1の電圧を蓄積する第1のコンデンサ
(C310)とを有し、上記電圧保持手段(SH3)の上記第1のコ
ンデンサ(C310)が上記定電圧発生回路(CVC)の上記第1の
電圧を蓄積した後に上記電圧保持手段(SH3)の上記第2の
スイッチ手段(M309,M310)がオフとされ、その後上記定
電圧発生回路(CVC)の上記第1のスイッチ手段(M305,M30
6)がオフとされることにより上記定電圧発生回路(CVC)
の消費電流を低減する基準電圧発生回路を提供する(図
1参照)。
【0006】
【作用】定電圧発生回路(CVC)は上記第1と第2のMOSトラ
ンジスタ(M301,M302)のしきい値電圧の差電圧に比例し
た電圧を出力するので、消費電流が非常に大きい。しか
し、本願発明は、基準電圧出力を維持する一方で電力消
費の大きい定電圧発生回路での電力消費量を低減でき
る。
【0007】さらに、定期的に上記定電圧発生回路(CV
C)の上記第1のスイッチ手段(M305,M306)をオンとする。
そして、上記定電圧発生回路(CVC)の上記第1のスイッチ
手段(M305,M306)がオンの間に上記電圧保持手段(SH3)の
上記第2のスイッチ手段(M309,M310)がオンとされ、上記
電圧保持手段(SH3)の第1のコンデンサ(C310)が上記定電
圧発生回路(CVC)の上記第1の電圧を再度蓄積する。
【0008】これにより、電圧保持手段(SH3)において
保持電圧が周期的にリフレッシュされ、常に所定の電圧
を出力できる。
【0009】また、本発明の基準電圧発生回路を半導体
記憶装置に適用することにより、DRAMのメモリセル
のMOSトランジスタのゲートに印加される電圧を正確に
制御できる。
【0010】
【実施例】本発明の基準電圧発生回路の実施例を図1に
より説明する。
【0011】図1は本発明の基準電圧発生回路の一実施
例である。
【0012】基準電圧発生回路は、しきい電圧の異なる
MOS−FETを用いて、そのしきい電圧差に応じた電
圧を発生する定電圧発生回路CVCと、定電圧発生回路
CVCの出力電圧を保持する電圧保持回路SH3を有す
る。定電圧発生回路CVCは、電流源回路IR3、電流
−電圧変換回路IVC3を有する。
【0013】本実施例では、定電圧発生回路CVCの出
力電圧を電圧保持回路SH3で保持した後、定電圧発生
回路CVCへの電流供給を停止することにより、消費電
力の低減を図っている。
【0014】以下、図1の回路の詳細な動作を説明す
る。
【0015】ここでは矢印のついているMOS−FET
はPチャンネルMOS−FET(以下PMOSと略
す)、矢印のついていないMOS−FETはNチャンネ
ルMOS−FET(以下NMOSと略す)である。
【0016】電流源回路IR3のM305、M306、
および電流−電圧変換回路IVC3のM308はこれら
の回路の動作、非動作を制御するスイッチを構成してい
る。電圧保持回路のM309、M310は定電圧発生回
路と電圧保持回路の接続を行うスイッチを構成してい
る。
【0017】電流源回路IR3は次のように動作する。
M301のチャンネル幅Wとチャンネル長Lの比W/L
とM302のW/Lは同一である。なお、M301のし
きい電圧はM302のしきい電圧より高い。M303と
M304のW/Lは同一である。M305、M306の
コンダクタンスは上記M301からM304のコンダク
タンスより十分大きい。M305、M306がオン状態
でM301からM304は飽和領域で動作する。M30
5、M306がオン状態となると、M303とM304
のゲート・ソース間電圧が同一なのでM303とM30
4には同じ大きさの電流が流れる。したがってM30
1、M302にも同じ大きさの電流が流れる。この時の
M301、M302のゲート・ソース間電圧をVt1、
Vt2とし、抵抗R301の抵抗値をR1とするとR3
01に流れる電流は(Vt1−Vt2)/R1となる。
【0018】電流−電圧変換回路IVC3は次のように
動作する。M308がオン状態のときにM307が飽和
領域で動作する。M304とM307はカレントミラー
回路を構成しているので、M307のW/LをS7、M
304のW/LをS4とすると、M307に流れる電流
は((Vt1−Vt2)・S7)/(S4・R1)とな
る。したがって、抵抗R302での電圧降下は、R30
2の抵抗値をR2とすると((Vt1−Vt2)・S7
・R2)/(S4・R1)となる。この電圧が基準電圧
Vrとなる。この基準電圧はしきい電圧差、W/L比、
抵抗比で大きさが決まるので加工のバラツキ、電源電圧
の変動、温度の変動の影響をほとんどうけない。
【0019】電圧保持回路SH3は次のように動作す
る。M311とM312のW/Lは同一である。また、
M311とM312は飽和領域で動作する。M309、
M310がオン状態になると定電圧発生回路の出力電圧
すなわち基準電圧VrがコンデンサC301に加わる。
その後M309、M310がオフ状態になるとコンデン
サC301に基準電圧Vrが保持される。この時点で
は、基準電圧Vrは電源電位を基準とした電圧である。
この基準電圧Vrの取り出しは次のように行う。基準電
圧VrはM311のゲート・ソース間電圧となり、M3
11にはこの電圧に応じた電流が流れる。M312にも
同じ大きさの電流が流れる。M311とM312のW/
Lは同一なのでM312のゲート・ソース間電圧はVr
となる。すなわち、コンデンサC302の両端に基準電
圧Vrが現われる。これにより電源電位を基準とした基
準電圧Vrは接地電位を基準とした基準電圧Vrとして
取り出される。
【0020】次にこの基準電圧発生回路の動作の詳細を
図2のタイミングチャートを用いて説明する。信号OS
Cは発振回路の出力信号である。発振回路としては、た
とえばMOS−FETによるインバータを用いたリング
オシレータなどがある。基準電圧回路を構成する各回路
はこの回路の出力信号に同期して動作する。信号SW
3、信号SW4及びSW4Bは信号OSCに同期した信
号である。
【0021】発振回路の出力信号OSCが低電位になる
と信号SW3が高電位となる。これにより図1の定電圧
発生回路のM305、M306、M308がオンとな
り、電流源回路、電流−電圧変換回路が動作する。これ
により電流−電圧変換回路の抵抗R302の両端には基
準電圧Vrが現われる。信号SW3が高電位になってか
ら所定の時間後、信号SW4が高電位、信号SW4Bが
低電位となる。この遅延時間は電流源回路、電流−電圧
変換回路が動作して抵抗R302の両端にVrが現われ
るまでの時間で決められる。信号SW4が高電位、信号
SW4Bが低電位となることによりM309、M310
がオンとなる。したがってC301の両端子間の電圧が
Vrとなる。これによりM311のゲート・ソース間電
圧もVrとなる。これによりM312のゲート・ソース
間、およびコンデンサC302の両端子間にVrが現わ
れる。その後信号SW4が低電位、信号SW4Bが高電
位となり、M309、M310がオフとなる。信号SW
4が高電位、信号SW4Bが低電位の時間は基準電圧V
rがコンデンサC301に十分に充電されるまでの時間
で決められる。これにより基準電圧VrがコンデンサC
301に保持される。次にSW3が低電位となり電流源
回路、電流−電圧変換回路は非動作状態となる。その
後、信号OSCが高電位となる。さらにその後、信号O
SCが低電位となると上記と同様の動作を行う。この様
に定電圧発生回路は周期的に動作、非動作を繰り返す。
【0022】定電圧発生回路を周期的に動作させる理由
は以下の通りである。
【0023】(1)定電圧発生回路CVCで作った基準
電圧VrはコンデンサC301で保持される。このコン
デンサC301に保持した基準電圧Vrはリーク電流に
よって低下する。したがって、この基準電圧が許容範囲
を越えて低下した時、定電圧発生回路CVCで基準電圧
を作り充電すればよい。
【0024】(2)コンデンサC301に保持した基準
電圧はM311、M312を介して、定電圧発生回路C
VCの動作、非動作に関係なく常時取り出すことができ
る。
【0025】上記の様に定電圧発生回路を周期的に動作
させると定電圧発生回路の動作電流が流れている期間が
短くなるので、この回路の動作時の電流を小さくしなく
ても消費電力を低減できる。また、定電圧発生回路の動
作時の電流を小さくしないで基準電圧を作ることができ
るので、高制度の基準電圧が発生できる。また、定電圧
発生回路の動作時の電流を小さくしなくてもよいので、
それらの回路で使う抵抗の大きさを大きくする必要がな
くなる。一般的にDRAMプロセスでは抵抗は拡散層や
ポリシリコン層で作られ、そのシート抵抗は50Ωから
100Ωである。したがって、これらの層で高抵抗を作
ろうとすると、レイアウト面積は非常に大きくなる。本
実施例の基準電圧発生回路は上記のように抵抗は小さく
てもよいのでチップ寸法の増加を抑えることができる。
【0026】なお、コンデンサC302は基準電圧発生
回路の出力インピーダンスを小さくし、容量結合等を介
して伝わる雑音による基準電圧の変動を抑えるために設
けている。
【0027】基準電圧発生回路の動作を制御する信号O
SCの周期は次のように決める。コンデンサC301に
保持されている基準電圧Vrはpn接合での電流リーク
によって変化する。これはメモリセルに蓄積された電荷
のリークのメカニズムと同じである。したがって、コン
デンサC301にはメモリセルのリフレッシュの周期と
同じ、もしくは少し短い周期で基準電圧Vrを供給すれ
ばよい。すなわち信号OSCの周期はメモリセルのリフ
レッシュの周期と同じ、もしくは少し短い周期でよい。
なお、メモリのリフレッシュを制御する回路を搭載した
チップでは信号OSCの代わりにこのリフレッシュを制
御する回路からの信号で基準電圧発生回路を制御しても
よい。基準電圧発生回路のうち電流源回路IR3と電流
−電圧変換回路IVC3は、ほぼメモリセルのリフレッ
シュの周期でしか動作しないので消費電力は非常に小さ
くなる。例えば、SW3が高電位になっている時間が約
50ns、メモリセルのリフレッシュ間隔が15.6μ
sとすると、定電圧発生回路の消費電力はこの回路が常
時動作している場合に比べ約1/300になる。したが
って、本発明の基準電圧発生回路を用いたDRAM等を
携帯用機器に使ってもバッテリーの持続時間を長くでき
る。
【0028】本発明の別の実施例を図3を用いて説明す
る。本実施例は図1に示した電流源回路にスタートアッ
プ回路STRおよびM316、M317を付加したもの
である。図1に示す電流源回路は2つの安定状態をも
つ。1つは設計通りの電流が流れる状態、他の1つは電
流が全く流れない状態である。電流が全く流れない状態
になると、R302での電圧降下はなくなり基準電圧V
rは0Vとなる。したがって、設計通りの電流が流れる
状態で安定させる必要がある。スタートアップ回路ST
Rは電流源回路に電流を流す働きをする。すなわち電源
電圧印加時、端子305はコンデンサC303により高
電位に引き上げられる。なお、M313のコンダクタン
スは小さくしてある。また、M314は信号R1が低電
位のためオフとなっている。端子305が高電位となる
とインバータI301により端子306が低電位とな
る。これによりM315がオン状態となり、端子307
を高電位にする。したがって、M303、M304がオ
ン状態となり電流源回路に電流が流れ始める。なおこの
時M305、M306は信号SW3によりオン状態にな
っている。その後、端子305の電位はM313を介し
ての放電により低電位となる。したがって、端子306
は高電位となりM315はオフ状態となる。その後、M
303とM304はカレントミラー回路として動作す
る。また信号R1が高電位となり端子305を確実に低
電位とする。以上述べたようにスタートアップ回路ST
Rを付加することにより電流源回路を確実に設計通りの
電流の流れる安定状態にすることができる。
【0029】ところで図1に示す電流源回路はPチャネ
ルMOSのドレインコンダクタンスが大きくなると、P
SRR特性が劣化する。MOS−FETのドレインコン
ダクタンスはチャンネル長が短くなるほど大きくなる。
したがって、微細デバイスで電流源回路を作るとPSR
R特性は劣化する。そこで図3に示すようにPチャネル
MOS M316、M317を設置すると等価的にドレ
インコンダクタンスは小さくなる。これにより微細デバ
イスで電流源回路を構成してもPSRR特性は劣化しな
い。
【0030】本発明の別の実施例を図4を用いて説明す
る。2つのトランジスタのしきい値電圧差に対応した電
圧を出力する点で図4は図1と同じである。しかし、図
1に示す実施例では定電圧発生回路は定電流源回路と電
流−電圧変換回路で構成されていた。本実施例ではそれ
らの回路が一体化されている。定電圧発生回路CVC2
はM351からM356、M362、抵抗R351、R
352で構成されている。なお、電圧保持回路SH4は
図1に示す回路と同一である。
【0031】定電圧発生回路CVC2の動作は次のよう
である。M354のチャンネル幅Wとチャンネル長Lの
比W/LはM355のW/Lと同一である。M352と
M353のW/Lも同一である。M353のしきい電圧
はM352より高い。M351のコンダクタンスは上記
トランジスタより大きい。M351、M362がオン状
態でM352からM356が飽和領域で動作する。M3
54とM355のゲート・ソース間電圧は同一なのでM
354とM355には同一の電流が流れる。したがって
M352とM353に流れる電流も同一である。この時
のM352、M353のゲート・ソース間電圧をVt5
2、Vt53とすると、抵抗R352には(Vt53−
Vt52)の電圧が加わる。R351の抵抗値をR5
1、R352の抵抗値をR52とすると、R352には
(Vt53−Vt52)/R52の電流が流れる。した
がって、端子101と端子356の間の電圧は((Vt
53−Vt52)・(R51+R52))/R52とな
る。これが基準電圧Vrとなる。この基準電圧Vrもし
きい電圧差、抵抗比で大きさが決まるので加工のバラツ
キ、電源電圧の変動、温度の変動の影響をほとんどうけ
ない。電圧保持回路の動作は図1に示す実施例と同一で
ある。なお、M357は定電圧発生回路CVC2を高速
に安定状態にするために設けている。すなわち、信号S
W5Bが低電位となった時、信号SW5は高電位となり
抵抗R351、R352、M357を通して電流を流
す。これにより定電圧発生回路CVC2は高速に安定状
態になる。信号SW5が高電位となったあと、ある遅延
時間の後M356がオンとなる。M362、M356の
直列回路よりもM357のコンダクタンスを小さくして
あるので、M356がオンとなった後は主にM362、
M356を介して電流が流れる。
【0032】次にこの基準電圧発生回路の動作の詳細を
図5のタイミングチャートを用いて説明する。図2と同
様に発振回路の出力信号OSCが低電位となると信号S
W5Bが低電位、信号SW5が高電位となる。これによ
り定電圧発生回路CVC2が動作し、端子101と端子
356間に基準電圧Vrが現われる。所定の時間後信号
SW6Bが低電位、信号SW6が高電位となる。これに
よりM358、M359がオンとなりコンデンサC35
1の両端の電圧がVrとなる。同時に、M360、M3
61のゲート・ソース間電圧がVrとなり端子355と
接地端子間にVrが現われる。その後SW6Bが高電
位、SW6が低電位となり基準電圧VrがコンデンサC
351に保持される。次に、SW5Bが高電位、SW5
が低電位となり定電圧発生回路CVC2が非動作状態と
なる。その後信号OSCが高電位となる。さらにその後
信号OSCが低電位となると上記と同様の動作を繰り返
す。
【0033】次にDRAMのワード線電圧のレベルモニ
タ回路に本発明の基準電圧発生回路の出力電圧を使った
例を図6を用いて説明する。
【0034】VRは基準電圧発生回路、LMはレベルモ
ニタ回路である。VGはワード線電圧Vchを発生する
昇圧電圧発生回路である。MAはDRAMのセルアレー
で、複数のワード線WLと複数のデータ線DL、および
それらの交点に配されMOSトランジスタとコンデンサ
からなる複数のメモリセルで構成される。XDは、セル
アレーの複数のワード線WLから所望のワード線を選択
するXデコーダである。
【0035】図6は、基準電圧発生回路VRの出力電圧
VrとDRAMのワード線電圧Vchとをレベルモニタ
回路LMで比較し、レベルモニタ回路LMの出力信号に
応じてワード線電圧発生回路VGが電源電圧Vccから
昇圧した電圧Vchを出力する回路を示している。
【0036】ワード線電圧発生回路VGは次のように動
作する。ここで、ワード線電圧発生回路VG内のPUM
P1及びPUMP2は昇圧回路、CNTはPUMP1及
びPUMP2の制御信号発生回路である。制御信号発生
回路CNT内のDLYはレベルモニタ活性化信号SEを
遅延させる遅延回路、DFFはD型フリップフロップで
ある。
【0037】まず、制御信号発生回路CNTがレベルモ
ニタ回路LMの出力信号に応じて、昇圧回路PUMP1
及びPUMP2のそれぞれに相補信号F1,F2を出力
する。昇圧回路PUMP1及びPUMP2は、相補信号
F1,F2に従い、交互に動作する。これらの回路は、
コンデンサCB401に蓄えた電荷をM401を通して
CD401に転送することにより電源電圧Vccより高
い電圧Vchを発生する。なお、このワード線電圧発生
回路VGの出力電圧Vchの電圧を制御するためには、
信号F1,F2の周期を制御すればよい。
【0038】ワード線電圧発生回路VGの出力Vch
は、M410とM411からなるワード線駆動回路をX
デコーダXDで選択することにより、ワード線を駆動す
る。メモリセルのコンデンサCS401に蓄積される電
圧を電源電圧Vccとほぼ同じ電圧にするためには、ワ
ード線電圧VchがメモリセルのMOSトランジスタM
412のしきい値電圧Vthだけ、電源電圧Vccより
大きいように設定されればよい。
【0039】図6の基準電圧発生回路VRとレベルモニ
タ回路LMの詳細を図7を用いて説明する。基準電圧発
生回路VRは図1に示す基準電圧発生回路と同一であ
る。レベルモニタ回路LMのM323からM325はス
イッチ回路を構成している。M321、M322、M3
23はレベルシフト回路LS、M326からM330、
M324、M325は差動増幅回路である。レベルシフ
ト回路LSのM321のW/L、M322のW/Lは同
一である。このレベルモニタ回路LMは次の様に動作す
る。M323、M324、M325がオン状態で他のト
ランジスタは飽和領域で動作する。M321のゲート・
ソース間電圧はVch−VccであるのでM322のゲ
ート・ソース間電圧もVch−Vccとなる。したがっ
て、差動増幅回路の入力端子324の電圧はVch−V
ccとなる。また、他方の入力端子には基準電圧Vrが
入力される。ここで、Vch−VccとVrが比較さ
れ、その結果がトランジスタM330のゲートに入力さ
れる。Vch−VccがVrより高くなる(Vch>V
cc+Vr)と、トランジスタM330のゲートの入力
レベルは低くなり、このレベルモニタ回路の出力端子3
23は低電位となる。ここで、M330のコンダクタン
スはM325のコンダクタンスよりも充分に大きい。一
方Vch−VccがVrより低い(Vch<Vcc+V
r)と端子323は高電位となる。したがって、Vrの
大きさを調整することにより判別する電圧Vchを決め
ることができる。
【0040】以下、制御信号発生回路CNTの動作を図
8を用いて説明する。
【0041】まずVchがVcc+Vrより低い場合を
考える。前述のように/RASの立ち下がりに同期して
レベルモニタ活性化信号SEが入力されると、レベルモ
ニタの出力OUTは高電位となる。するとNANDゲー
トN404の出力はD型フリップフロップDFFの出力
Qの反転レベルとなる。次に遅延回路DLY2によりS
Eから少し遅れた信号SEPがDFFのクロック入力端
子に入力されると、その立上りエッジで上記反転レベル
がDFFの出力に伝達される。すなわち、DFFの出力
Qの電位は反転する。例えばDFFの出力電位が高電位
から低電位に変化したとすると、F1は高電位から低電
位へ、F2は低電位から高電位に変化するので、PUM
P1,2の内PUMP2が昇圧を行う。次に、Vchが
Vcc+Vrより高い場合を考える。この場合、レベル
モニタの出力OUTは低電位になる。そうすると、NA
NDゲートN404の出力は、DFFの出力Qと同じ電
位を出力する。したがって、SEPが立ち上がってもD
FFの出力は変化しない。このため、昇圧回路PUMP
1,2とも昇圧電圧を出力することを休止している。以
上の動作を繰り返すことによって、本実施例の回路はV
chをVcc+Vrの近傍に保つことができる。従っ
て、図6においては、Vr=Vthとすることにより、
ワード線電圧VchをVcc+Vth近傍とすることが
できる。なお、図8において、レベルモニタ活性化信号
SEは、信号/RASが低電位から高電位に遷移すると
きにも出力されているが、これはデータ線プリチャージ
回路でワード線駆動用の高電圧Vchが使用されること
を考慮したためである。データ線プリチャージ回路で電
圧Vchを使用しない場合には、/RASが高電位から
低電位に遷移するときにのみレベルモニタ活性化信号S
Eを発生するようにしても良い。また、ワード線駆動用
の高電圧Vchを出力バッファのゲート駆動回路で使用
する場合には、DRAMのカラム系アドレスストローブ
信号/CASに同期してSEを発生するようにすれば良
い。
【0042】以上のワード線レベル制御回路によって得
られるワード線電圧Vchと電源電圧の関係を図9に示
す。本実施例によれば、VchとVccの差を精度よく
Vrにすることができる。これにより、メモリセルのM
OSFETのゲートに印加される電圧を正確に制御でき
るため、過剰な電圧によるゲート破壊を防止することが
できる。本発明による基準電圧発生回路はDRAMの動
作とは独立にほぼメモリセルのリフレッシュの間隔で動
作させることができるので、DRAMのワード線電圧レ
ベル制御回路に用いると、DRAMの消費電力の低減が
図れる。
【0043】本発明の別の実施例を図10を用いて説明
する。この基準電圧発生回路は図1に示す基準電圧発生
回路と回路構成、動作がほぼ同じであるが、(1)電流
−電圧変換回路で2つの基準電圧を作ること、(2)2
つの基準電圧の内、高い方の電圧を出力する点が異な
る。同図でIR3は電流源回路で図1に示す基準電圧発
生回路の電流源回路と同一である。IVC4は電流−電
圧変換回路で2つの基準電圧を作る。SH5は2つの基
準電圧を保持する電圧保持回路である。M381〜M3
86で構成される回路は2つの入力電圧Vr1とVr2
のうち高い方の電圧をVrとして出力する回路である。
さて、この基準電圧発生回路は次のように動作する。こ
の基準電圧発生回路の動作を制御するパルス信号波形は
図1に示す基準電圧発生回路と同じである。信号SW3
が高電位になると、電流源回路IR3と電流−電圧変換
回路IVC4が動作する。電流源回路IR3で作られた
電流はM304、M371で構成するカレントミラー回
路により、抵抗R371、R372に流れる。これによ
り端子101と端子371の間および端子101と端子
372の間に2つの基準電圧が現れる。ここでは端子1
01と端子371間の電圧をVr1、端子101と端子
372間の電圧をVr2とする。所定の時間後、信号S
W7が高電位、SW7Bが低電位になる。これによりコ
ンデンサC371にはVr1、コンデンサC372には
Vr2が加わる。その後、信号SW7が低電位、SW7
Bが高電位となり、Vr1、Vr2はそれぞれコンデン
サC371、コンデンサC372に保持される。次に信
号SW3が低電位になり電流源回路IR3と電流−電圧
変換回路IVC4はオフとなる。これら2つの基準電圧
の取り出しは次のように行う。M377とM378のW
/Lは同じであるので図1に示した実施例と同様に基準
電圧Vr1は接地電位基準の電圧となる。
【0044】一方、基準電圧Vr2は電源電位基準の電
圧である。これらの基準電圧のうち高い方の電圧がVr
として出力される。その動作を図11を用いて説明す
る。同図で横軸は電源電圧、縦軸は基準電圧Vrであ
る。基準電圧Vr1は接地電位基準の電圧であり同図に
示す様に電源電圧が変わっても一定の電圧である。一
方、Vr2は電源電位基準の電圧であり同図に示す様に
電源電圧に比例した電圧である。さて、電源電圧を高く
していくと、まず電源電圧と同じ電圧が現れる。次に、
Vr1が現れ、さらに高くするとVr2が現れる。DR
AMなどのLSIでは、動作時よりも高い電源電圧を印
加して、絶縁膜の初期故障をスクリーニングすることが
必要となる。従って、例えば、図6の基準電圧発生回路
VRに図11の回路を適用すれば、ワード線電圧Vch
は通常の電圧Vch+Vr1より大きい電圧Vch+V
r2とすることができ、DRAMのスクリーニングがで
きる。本実施例によれば、スクリーニング時に動作時よ
りも高い電圧を印加でき、かつ温度や製造ばらつきによ
らず、常に一定の電圧でスクリーニングを行うことがで
きる。
【0045】
【発明の効果】以上述べた様に本実施例によると複数の
基準電圧が電流源回路、電流−電圧変換回路の増加なし
に作れる。すなわち消費電力を増やすことなく複数の基
準電圧を作ることができる。
【0046】以上述べた様に本発明の基準電圧発生回路
は基準電圧を作る定電圧発生回路が周期的に動作する。
したがって、定電圧発生回路の動作時の電流を小さくし
なくても基準電圧発生回路の消費電力を低減できる。ま
た、基準電圧を作る定電圧発生回路の動作時の電流を小
さくしなくてもよいのでそれらの回路で使う抵抗の大き
さを大きくする必要がなくなる。したがって、チップ寸
法の増加を抑えることができる。さらに、、基準電圧発
生回路がほぼメモリセルのリフレッシュの周期でしか動
作しないので、この基準電圧発生回路の消費電力は基準
電圧発生回路が常時動作している場合に比べ約1/30
0になる。したがって、DRAMを携帯用機器に使って
もバッテリーの持続時間を長くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のパルス駆動の基準電圧発生回路であ
る。
【図2】本発明の基準電圧発生回路の動作を制御するパ
ルス信号のタイミングチャートである。
【図3】パルス駆動の基準電圧発生回路の別の実施例で
ある。
【図4】パルス駆動の基準電圧発生回路の別の実施例で
ある。
【図5】基準電圧発生回路の動作を制御するパルス信号
のタイミングチャートの別の例である。
【図6】基準電圧発生回路をDRAMのワード線レベル
制御回路に用いた例である。
【図7】DRAMのワード線レベル制御回路に用いたパ
ルス駆動の基準電圧発生回路およびワード線レベルモニ
タ回路の例である。
【図8】ワード線レベル制御回路および基準電圧発生回
路を駆動するパルス信号のタイミングチャートである。
【図9】電源電圧とワード線レベルの関係を示す図であ
る。
【図10】パルス駆動の基準電圧発生回路の別の実施例
である。
【図11】電源電圧と基準電圧の関係を示す図である。
【符号の説明】
CVC…定電圧回路、IR3…定電流回路、IVC3…
電流−電圧変換回路、SH3、SH4…電圧保持回路、
STR…スタートアップ回路、VR…基準電圧発生回
路、LM…レベルモニタ回路、101…電源電圧端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中込 儀延 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 田中 均 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日 立超エル・エス・アイ・エンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 河本 耕志 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日 立超エル・エス・アイ・エンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 青木 正和 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の動作電位と第2の動作電位との間に配
    置された定電圧発生回路と、上記定電圧発生回路の出力
    電圧を保持する電圧保持手段とを具備し、 上記定電圧発生回路は、第1と第2のMOSトランジスタ
    と、上記第1と第2のMOSトランジスタのそれぞれのソー
    ス−ドレイン経路と直列に上記第1の動作電位と上記第2
    の動作電位との間に結合された第1のスイッチ手段とを
    有し、上記第1と第2のMOSトランジスタのしきい値電圧
    の差電圧に比例した第1の電圧を第1の出力端子に出力
    し、 上記電圧保持手段は、一端が上記定電圧発生回路の上記
    第1の出力端子に接続された第2のスイッチ手段と、上記
    第2のスイッチ手段の他端に接続されることにより上記
    定電圧発生回路の上記第1の電圧を蓄積する第1のコンデ
    ンサとを有し、 上記電圧保持手段の上記第1のコンデンサが上記定電圧
    発生回路の上記第1の電圧を蓄積した後に上記電圧保持
    手段の上記第2のスイッチ手段がオフとされ、その後上
    記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段がオフとさ
    れることにより上記定電圧発生回路の消費電流を低減す
    ることを特徴とする基準電圧発生回路。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の基準電圧発生回路におい
    て、 定期的に上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段
    をオンとし、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段をオンの
    間に上記電圧保持手段の上記第2のスイッチ手段がオン
    とされ、上記電圧保持手段の上記第1のコンデンサは上
    記定電圧発生回路の上記第1の電圧を再度蓄積すること
    を特徴とする基準電圧発生回路。
  3. 【請求項3】請求項1又は請求項2の何れかに記載の基
    準電圧発生回路において、 上記電圧保持手段は、上記第1のコンデンサにより保持
    された電圧を出力する出力手段をさらに有し、 上記出力手段は、ゲートとソースとの間に上記電圧保持
    手段の上記第1のコンデンサが接続された第3のMOSトラ
    ンジスタを具備することを特徴とする基準電圧発生回
    路。
  4. 【請求項4】請求項1乃至請求項3の何れかに記載の基
    準電圧発生回路において、 上記定電圧発生回路は、上記第1と第2のMOSトランジス
    タのしきい値電圧の差電圧に比例した第2の電圧を第2の
    出力端子に出力し、 上記第1の電圧及び上記第2の電圧は上記第1の動作電位
    を基準とした電圧であることを特徴とする基準電圧発生
    回路。
  5. 【請求項5】請求項4に記載の基準電圧発生回路におい
    て、 上記電圧保持手段は、一端が上記定電圧発生回路の上記
    第2の出力端子に接続された第3のスイッチ手段と、 上記第3のスイッチ手段を介して、上記定電圧発生回路
    の上記第2の電圧を蓄積する第2のコンデンサと、 上記第1のコンデンサに蓄積された上記第1の電圧を上記
    第2の動作電位を基準とした第3の電圧に変換する電圧変
    換手段と、 上記第2の電位を基準として、上記第2のコンデンサに蓄
    積された上記第2の電圧と上記第3の電圧のいずれか大き
    い方の電圧を出力する手段をさらに具備することを特徴
    とする基準電圧発生回路。
  6. 【請求項6】請求項5に記載の基準電圧発生回路におい
    て、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段は定期的
    にオンとされ、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段がオンの
    間に上記電圧保持手段の上記第2のスイッチ手段及び上
    記第3のスイッチ手段がオンとされ、上記電圧保持手段
    の上記第1のコンデンサは上記定電圧発生回路の上記第1
    の電圧を、上記電圧保持手段の上記第2のコンデンサは
    上記定電圧発生回路の上記第2の電圧を再度蓄積するこ
    とを特徴とする基準電圧発生回路。
  7. 【請求項7】第1の動作電位が供給される第1の端子と、 第2の動作電位が供給される第2の端子と、 複数のワード線と、上記複数のワード線に交差する如く
    配置された複数のデータ線と、 上記複数のワード線と上記複数のデータ線との所望の交
    点に配置された複数のメモリセルと、 上記複数のワード線の1つのワード線を選択するデコー
    ダと、 上記第1と第2の動作電位が供給されることにより第3の
    動作電位を発生するワード線電圧発生回路と、 上記デコーダにより選択された上記複数のワード線の上
    記1つのワード線と上記第3の動作電位とを接続するワ
    ード線駆動回路と、 上記第1と第2の動作電位が供給されることにより基準電
    圧を発生する基準電圧発生回路とを具備する半導体記憶
    装置において、 ワード線に供給される電圧を上記ワード線に供給される
    電圧から上記第1の動作電位分差し引いた電圧にレベル
    を変換する引算回路と、 上記引算回路の出力電圧と上記基準電圧とを比較する比
    較回路とをさらに具備し、 上記比較回路は、上記引算回路の出力電圧と上記基準電
    圧とが略等しくなるように上記ワード線電圧発生回路を
    制御し、 上記複数のメモリセルの各メモリセルはゲートが上記複
    数ワード線の対応するワード線に接続されたMOSトラン
    ジスタと該MOSトランジスタのソース又はドレインに一
    端が接続された第1のコンデンサを有し、 上記基準電圧発生回路は、 上記第1の動作電位と上記第2の動作電位との間に配置さ
    れた定電圧発生回路と、 上記定電圧発生回路の出力電圧を保持する電圧保持手段
    と、 上記定電圧発生回路は、第1と第2のMOSトランジスタ
    と、 上記第1と第2のMOSトランジスタのそれぞれのソース−
    ドレイン経路と直列に上記第1の動作電位と上記第2の動
    作電位との間に接続された第1のスイッチ手段とを有
    し、 上記定電圧発生回路は、上記第1と第2のMOSトランジス
    タのしきい値電圧の差電圧に比例した第1の電圧を第1の
    出力端子に出力し、 上記電圧保持手段は、一端が上記定電圧発生回路の上記
    第1の出力端子に接続された第2のスイッチ手段と、上記
    第2のスイッチ手段の他端に接続されることにより、上
    記定電圧発生回路の上記第1の電圧を蓄積する第1のコン
    デンサとを有し、 上記電圧保持手段の上記第1のコンデンサが上記定電圧
    発生回路の上記第1の電圧を蓄積した後に上記電圧保持
    手段の上記第2のスイッチ手段はオフとされ、その後上
    記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段がオフとさ
    れることにより上記定電圧発生回路の消費電流を低減す
    ることを特徴とする半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】請求項7に記載の半導体記憶装置におい
    て、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段は定期的
    にオンとされ、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段がオンの
    間に上記電圧保持手段の上記第2のスイッチ手段はオン
    とされ、上記電圧保持手段の第1のコンデンサは上記定
    電圧発生回路の上記第1の電圧を再度蓄積することを特
    徴とする半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】請求項7又は請求項8の何れかに記載の半
    導体記憶装置において、 上記電圧保持手段は、上記第1のコンデンサに蓄積され
    た電圧を出力する出力手段をさらに有し、 上記出力手段は、ゲートとソースとの間に上記電圧保持
    手段の上記第1のコンデンサが接続された第3のMOSトラ
    ンジスタを有することを特徴とする半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】請求項7乃至請求項9の何れかに記載の
    半導体記憶装置において、 上記定電圧発生回路は、上記第1と第2のMOSトランジス
    タのしきい値電圧の差電圧に比例した第2の電圧を第2の
    出力端子に出力し、 上記第1の電圧及び上記第2の電圧は上記第1の動作電位
    を基準とした電圧であることを特徴とする半導体記憶装
    置。
  11. 【請求項11】請求項10に記載の半導体記憶装置にお
    いて、 上記電圧保持手段は、一端が上記定電圧発生回路の上記
    第2の出力端子に接続された第3のスイッチ手段と、 上記第3のスイッチ手段を介して、上記定電圧発生回路
    の上記第2の電圧を蓄積する第2のコンデンサと、 上記第1のコンデンサに蓄積された上記第1の電圧を上記
    第2の動作電位を基準とした第3の電圧に変換する電圧変
    換手段とをさらに有し、上記第2の電位を基準として、
    上記第2のコンデンサに蓄積された上記第2の電圧と上記
    第3の電圧のいずれか大きい方の電圧を出力する手段こ
    とを特徴とする半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】請求項11に記載の半導体記憶装置にお
    いて、 定期的に上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段
    をオンとし、 上記定電圧発生回路の上記第1のスイッチ手段がオンの
    間に上記電圧保持手段の上記第2のスイッチ手段及び上
    記第3のスイッチ手段はオンとされ、上記電圧保持手段
    の上記第1のコンデンサは上記定電圧発生回路の上記第1
    の電圧を、上記電圧保持手段の上記第2のコンデンサは
    上記定電圧発生回路の上記第2の電圧を再度蓄積するこ
    とを特徴とする半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】請求項7乃至請求項12の何れかに記載
    の半導体記憶装置において、 上記定電圧発生回路の上記第1の電圧は上記複数のメモ
    リセルのMOSトランジスタのしきい値電圧とほぼ同じ値
    に設定されることを特徴とする半導体記憶装置。
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