JPH062410B2 - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH062410B2 JPH062410B2 JP58067720A JP6772083A JPH062410B2 JP H062410 B2 JPH062410 B2 JP H062410B2 JP 58067720 A JP58067720 A JP 58067720A JP 6772083 A JP6772083 A JP 6772083A JP H062410 B2 JPH062410 B2 JP H062410B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- recording head
- liquid chamber
- wall member
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14024—Assembling head parts
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、インクジェット記録ヘッド、詳しくは、所
謂、インクジェット記録方式に用いるインクの飛翔的液
滴を形成する為のインクジェット記録ヘッドおよびイン
クジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
謂、インクジェット記録方式に用いるインクの飛翔的液
滴を形成する為のインクジェット記録ヘッドおよびイン
クジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
インクジェット記録方式に適用されるインクジェット記
録ヘッドは、一般に、微細なインク吐出口（オリフィ
ス）、インク流路（インク路）、インクを貯蔵するイン
ク中継液室及びこのインク流路の一部に設けられるエネ
ルギー発生部を備えている。
録ヘッドは、一般に、微細なインク吐出口（オリフィ
ス）、インク流路（インク路）、インクを貯蔵するイン
ク中継液室及びこのインク流路の一部に設けられるエネ
ルギー発生部を備えている。
従来、この様なインクジェット記録ヘッドを作成する方
法として、例えばガラスや金属の板に切削やエッチング
等により微細な溝を形成した後、この溝を形成した板を
他の適当な板と接合してインク流路の形成を行なう方法
が知られている。
法として、例えばガラスや金属の板に切削やエッチング
等により微細な溝を形成した後、この溝を形成した板を
他の適当な板と接合してインク流路の形成を行なう方法
が知られている。
しかし、斯かる従来法によって作成されるヘッドでは、
切削加工されるインク流路内壁面の荒れが大き過ぎた
り、エッチング率の差からインク流路に歪が生じたりし
て、精度の良いインク流路が得難く、製作後のインクジ
ェット記録ヘッドのインク吐出特性にバラツキが出易
い。また、切削加工の際に、板の欠けや割れが生じ易
く、製造歩留りが悪いと言う欠点もある。そして、エッ
チング加工を行なう場合は、製造工程が多く、製造コス
トの上昇を招くという不利がある。更に、上記した従来
法に共通する欠点としては、インク流路溝を形成した溝
付板と、インクに作用するエネルギーを発生する圧電素
子、発熱素子等の能動素子が設けられた蓋板との貼合せ
の際に、夫々の位置合せを精度良く行なうことが困難で
あって量産性に欠ける点が挙げられる。
切削加工されるインク流路内壁面の荒れが大き過ぎた
り、エッチング率の差からインク流路に歪が生じたりし
て、精度の良いインク流路が得難く、製作後のインクジ
ェット記録ヘッドのインク吐出特性にバラツキが出易
い。また、切削加工の際に、板の欠けや割れが生じ易
く、製造歩留りが悪いと言う欠点もある。そして、エッ
チング加工を行なう場合は、製造工程が多く、製造コス
トの上昇を招くという不利がある。更に、上記した従来
法に共通する欠点としては、インク流路溝を形成した溝
付板と、インクに作用するエネルギーを発生する圧電素
子、発熱素子等の能動素子が設けられた蓋板との貼合せ
の際に、夫々の位置合せを精度良く行なうことが困難で
あって量産性に欠ける点が挙げられる。
これ等の欠点が解決されるインクジェット記録ヘッドの
製造法として、エネルギー発生素子の設置してある基板
上に感光性樹脂の硬化膜から成るインク流路壁を形成
し、その後前記インク流路の覆いを設けるというインク
ジェット記録ヘッドの製造法が、例えば特開昭５７−４
３８７６号等に提案されている。
製造法として、エネルギー発生素子の設置してある基板
上に感光性樹脂の硬化膜から成るインク流路壁を形成
し、その後前記インク流路の覆いを設けるというインク
ジェット記録ヘッドの製造法が、例えば特開昭５７−４
３８７６号等に提案されている。
この感光性樹脂の硬化膜をインク流路壁として製作され
るインクジェット記録ヘッドに於ては、従来のヘッドの
欠点であったインク流路の仕上り精度、製造工程の複雑
さ、製造歩留りの低さという欠点を解決するという点で
は優れたものである。
るインクジェット記録ヘッドに於ては、従来のヘッドの
欠点であったインク流路の仕上り精度、製造工程の複雑
さ、製造歩留りの低さという欠点を解決するという点で
は優れたものである。
しかしながら、上述のインクジェット記録ヘッドに於て
は、インクジェット記録ヘッドの各構成部材の位置決
め、特にインクを貯蔵し、そのインクを前述したインク
流路を通してオリフィスに供給する中継液室の各構成部
材の位置決めが難しく熟練を要し、しかも基板とインク
ジェット記録ヘッドの各構成部材との接合の際に、接合
のための接着材が流れ出しインク流路等を詰まらせた
り、インクの流れを乱したりするという問題点があっ
た。これらの問題点は、近年インクジェット記録ヘッド
が高密度マルチ化され、高解像度の画質への要求が高ま
り、均一でしかも高品質なインクジェット記録ヘッドが
多量に必要とされる中で改善されるべきものとなってい
る。
は、インクジェット記録ヘッドの各構成部材の位置決
め、特にインクを貯蔵し、そのインクを前述したインク
流路を通してオリフィスに供給する中継液室の各構成部
材の位置決めが難しく熟練を要し、しかも基板とインク
ジェット記録ヘッドの各構成部材との接合の際に、接合
のための接着材が流れ出しインク流路等を詰まらせた
り、インクの流れを乱したりするという問題点があっ
た。これらの問題点は、近年インクジェット記録ヘッド
が高密度マルチ化され、高解像度の画質への要求が高ま
り、均一でしかも高品質なインクジェット記録ヘッドが
多量に必要とされる中で改善されるべきものとなってい
る。
本発明の目的は、上記問題点に鑑みなされたもので、イ
ンクジェット記録ヘッドの構成部材、特に記録ヘッドの
中継液室の構成部材の位置決めが容易であり、製作工程
が簡易で量産可能な高精度で信頼性が高く製品歩留の良
いインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
ンクジェット記録ヘッドの構成部材、特に記録ヘッドの
中継液室の構成部材の位置決めが容易であり、製作工程
が簡易で量産可能な高精度で信頼性が高く製品歩留の良
いインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
すなわち、本発明は、基板に対して壁部材を積層するこ
とで形成される、インクを吐出する吐出口と、前記吐出
口に連通したインク路と、前記インク路に連通し前記イ
ンク路に供給されるインクを貯留するインク中継液室
と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、 前記基板の前記壁部材接合面には、少なくとも前記イン
ク中継液室を構成する前記壁部材の基板上における配置
位置を規定するとともに前記壁部材を取り付け支持する
ためのはめ込み空間領域を構成するガイド手段を備えて
いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドであ
る。また、本発明は、インクを吐出するために利用され
るエネルギー発生素子が設けられた基板上に感光性樹脂
を積層し所定のパターン露光によってインク路を構成す
るための溝と該インク路に連通し吐出されるインクを貯
留したインク中継液室を構成する壁部材を取りつけるた
めのはめ込み空間を構成するガイド手段とを形成する工
程と、 前記溝上に蓋部材を積層することで前記インク路を構成
する工程と、 前記ガイド部材で囲まれた部分に沿って壁部材をはめ込
み取り付ける工程と、 前記蓋部材と壁部材とによって構成された空間にインク
中継液室用蓋部材を積層する工程と、 を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
とで形成される、インクを吐出する吐出口と、前記吐出
口に連通したインク路と、前記インク路に連通し前記イ
ンク路に供給されるインクを貯留するインク中継液室
と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、 前記基板の前記壁部材接合面には、少なくとも前記イン
ク中継液室を構成する前記壁部材の基板上における配置
位置を規定するとともに前記壁部材を取り付け支持する
ためのはめ込み空間領域を構成するガイド手段を備えて
いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドであ
る。また、本発明は、インクを吐出するために利用され
るエネルギー発生素子が設けられた基板上に感光性樹脂
を積層し所定のパターン露光によってインク路を構成す
るための溝と該インク路に連通し吐出されるインクを貯
留したインク中継液室を構成する壁部材を取りつけるた
めのはめ込み空間を構成するガイド手段とを形成する工
程と、 前記溝上に蓋部材を積層することで前記インク路を構成
する工程と、 前記ガイド部材で囲まれた部分に沿って壁部材をはめ込
み取り付ける工程と、 前記蓋部材と壁部材とによって構成された空間にインク
中継液室用蓋部材を積層する工程と、 を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図乃至第７図は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの構成とその作製手順を説明する為の模式図である。
第１図乃至第７図は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの構成とその作製手順を説明する為の模式図である。
先ず、第１図に示す様に、ガラス、セラミック、プラス
チック又は金属等、適当な基板１上に発熱素子或いは圧
電素子等のエネルギー発生素子２を所望の個数配置する
（図に於いては、４個）。次いで必要に応じて、耐絶縁
性、耐インク性を付与する目的で、無機酸化物、無機窒
化物等を被覆する。更に、耐インク性を向上させる目的
で、貴金属、耐食金属、耐食合金等を被覆する場合もあ
る（これら保護層は図示されていない）。これらエネル
ギー発生素子には、図示されていない信号入力用電極が
接続してある。
チック又は金属等、適当な基板１上に発熱素子或いは圧
電素子等のエネルギー発生素子２を所望の個数配置する
（図に於いては、４個）。次いで必要に応じて、耐絶縁
性、耐インク性を付与する目的で、無機酸化物、無機窒
化物等を被覆する。更に、耐インク性を向上させる目的
で、貴金属、耐食金属、耐食合金等を被覆する場合もあ
る（これら保護層は図示されていない）。これらエネル
ギー発生素子には、図示されていない信号入力用電極が
接続してある。
次にエネルギー発生素子２を設けた基板１面を清浄化
し、乾燥させた後第２図に示す様にこの基板面に、８０
℃〜１５０℃程度に加温されたドライフィルムフォトレ
ジスト３（膜厚２５〜１００μｍ）を０．２〜４ft/分
の速度、１〜３kg/cm2の加圧条件下でラミネートする。
このとき、ドライフィルムフォトレジスト３は、基板１
面に圧着され固定される。続いて第３図に示す様に基板
１面に設けたドライフィルムフォトレジスト３上に所定
のパターン５を有するフォトマスク４を重ね合わせフォ
トマスク４の上部から露光を行なう。尚パターン５は、
後に中継液室、インク路、オリフィス、び中継液室の側
壁及び後壁を形成する部材を基板に固着するための設置
ガイドを構成する領域に相当しており、このパターン５
は光を透過しない。従って、パターン５で覆われている
領域のドライフィルムフォトレジストは露光されないの
で未硬化のまま残る。また、このときエネルギー発生素
子２の設置位置と上記パターン５の位置合わせを周知の
手法で行っておく必要がある。つまり、少なくとも後に
形成されるインク路中に上記素子２が位置すべく配慮さ
れる。
し、乾燥させた後第２図に示す様にこの基板面に、８０
℃〜１５０℃程度に加温されたドライフィルムフォトレ
ジスト３（膜厚２５〜１００μｍ）を０．２〜４ft/分
の速度、１〜３kg/cm2の加圧条件下でラミネートする。
このとき、ドライフィルムフォトレジスト３は、基板１
面に圧着され固定される。続いて第３図に示す様に基板
１面に設けたドライフィルムフォトレジスト３上に所定
のパターン５を有するフォトマスク４を重ね合わせフォ
トマスク４の上部から露光を行なう。尚パターン５は、
後に中継液室、インク路、オリフィス、び中継液室の側
壁及び後壁を形成する部材を基板に固着するための設置
ガイドを構成する領域に相当しており、このパターン５
は光を透過しない。従って、パターン５で覆われている
領域のドライフィルムフォトレジストは露光されないの
で未硬化のまま残る。また、このときエネルギー発生素
子２の設置位置と上記パターン５の位置合わせを周知の
手法で行っておく必要がある。つまり、少なくとも後に
形成されるインク路中に上記素子２が位置すべく配慮さ
れる。
露光操作を経た後、ドライフィルムフォトレジスト３を
トリクロルエタンに浸漬して、未重合（未硬化）のフォ
トレジストを溶解除去すると、硬化フォトレジスト膜３
Ｐには、パターン５に従って第４図に示す様な凹が形成
される。次に基板１上に残された硬化フォトレジスト膜
３Ｐの耐久性を向上させる目的でこれを更に硬化させ
る。その方法としては、熱重合（１３０℃〜１６０℃で
１０分〜６０分程度加熱）させるか、紫外線照射を行な
うか、これ等両者を併用するのが良い。
トリクロルエタンに浸漬して、未重合（未硬化）のフォ
トレジストを溶解除去すると、硬化フォトレジスト膜３
Ｐには、パターン５に従って第４図に示す様な凹が形成
される。次に基板１上に残された硬化フォトレジスト膜
３Ｐの耐久性を向上させる目的でこれを更に硬化させ
る。その方法としては、熱重合（１３０℃〜１６０℃で
１０分〜６０分程度加熱）させるか、紫外線照射を行な
うか、これ等両者を併用するのが良い。
この様にして、基板１上にインク路３Ｐ−４、中継液室
の側壁を形成する部材を基板１に固着するための設置ガ
イド３Ｐ−１、中継液室の後壁を形成する部材を基板１
に固着するための設置ガイド３Ｐ−２とを有する硬化フ
ォトレジスト膜３Ｐの部材をインク路を形成する部材と
同一の部材で形成することができる。続いて、基板１の
上面に第５図に示す様にインク路３Ｐ−４と中継液室１
２の前壁とを兼ね備えたインク路フタ６をインク路３Ｐ
−４上に貼着する。この具体的な方法としては、ガラス
板にエポキシ系接着剤を厚さ３〜４μにスピンコートし
予備加熱していわゆるＢステージ化し、これを硬化フォ
トレジスト膜３Ｐ上に貼り合せたのち、前記接着剤を本
硬化する。
の側壁を形成する部材を基板１に固着するための設置ガ
イド３Ｐ−１、中継液室の後壁を形成する部材を基板１
に固着するための設置ガイド３Ｐ−２とを有する硬化フ
ォトレジスト膜３Ｐの部材をインク路を形成する部材と
同一の部材で形成することができる。続いて、基板１の
上面に第５図に示す様にインク路３Ｐ−４と中継液室１
２の前壁とを兼ね備えたインク路フタ６をインク路３Ｐ
−４上に貼着する。この具体的な方法としては、ガラス
板にエポキシ系接着剤を厚さ３〜４μにスピンコートし
予備加熱していわゆるＢステージ化し、これを硬化フォ
トレジスト膜３Ｐ上に貼り合せたのち、前記接着剤を本
硬化する。
以下順次、第６図に示す様に中継液室側壁部材７、同後
壁部材８を硬化フォトレジスト３Ｐによって形成された
設置ガイド３Ｐ−１，３Ｐ−２に設置した接着剤を用い
て嵌合接着する。これら部材７，８としては、ガラス、
セラミック、プラスチック等の多くの材料が使用でき
る。更に第７図に示す様にインク供給パイプ９を設置し
中継液室12の天井を形成するフタ１０を貼着しインクジ
ェット記録ヘッドが完成する。
壁部材８を硬化フォトレジスト３Ｐによって形成された
設置ガイド３Ｐ−１，３Ｐ−２に設置した接着剤を用い
て嵌合接着する。これら部材７，８としては、ガラス、
セラミック、プラスチック等の多くの材料が使用でき
る。更に第７図に示す様にインク供給パイプ９を設置し
中継液室12の天井を形成するフタ１０を貼着しインクジ
ェット記録ヘッドが完成する。
以上、図面に基づいて説明した実施例に於ては、記録ヘ
ッドの基板上に設けるインク路と、中継液室を形成する
領域と基板とを固着する設置ガイドとを有する領域を、
硬化フォトレジスト膜によって同一の部材で形成した
が、本発明はこれのみに限定されるものではない。即
ち、インク路を形成する部材と設置ガイドになる部材と
が連続していなくても良い。又、インク路を形成する領
域と設置ガイドとなる領域を形成する部材の高さを揃え
る必要はないが、フォトレジスト膜等で同時に形成する
場合には同じ高さとした方が好ましい。
ッドの基板上に設けるインク路と、中継液室を形成する
領域と基板とを固着する設置ガイドとを有する領域を、
硬化フォトレジスト膜によって同一の部材で形成した
が、本発明はこれのみに限定されるものではない。即
ち、インク路を形成する部材と設置ガイドになる部材と
が連続していなくても良い。又、インク路を形成する領
域と設置ガイドとなる領域を形成する部材の高さを揃え
る必要はないが、フォトレジスト膜等で同時に形成する
場合には同じ高さとした方が好ましい。
設置ガイドの形状は、本発明の図面では部材の周囲を取
り囲む様な例が示されているが、部材の位置決めが正確
になされるのであれば、設置する部材の周囲全体を取り
囲まなくとも良い。
り囲む様な例が示されているが、部材の位置決めが正確
になされるのであれば、設置する部材の周囲全体を取り
囲まなくとも良い。
以上詳しく説明した本発明のインクジェット記録ヘッド
の構成およびインクジェット記録ヘッドの製造方法に於
ては、中継液室を形成する際に、中継液室の側壁、後壁
を形成する部材の位置決めをするために従来必要であっ
た治具が不要となり、フォトリソグラフィによって記録
ヘッドの構成部材の位置決めが容易となった。しかも設
置ガイドが壁部材を基板へ取り付け支持するはめ込み空
間領域として機能することより、インクジェット記録ヘ
ッドの構成部材と基板とを接着する際に使用する接着剤
の流れ出し防止壁を兼ねるので、インクと接触するイン
ク中継液室の内面のインクの流れを乱す要因を排除でき
るとともに、従来接着剤量の加減に非常に熟練を必要と
していた作業が簡易になった。従って、本発明のインク
ジェット記録ヘッドは、高精度で信頼性が高く、しかも
製品歩留りの良い大量生産の可能なものである。
の構成およびインクジェット記録ヘッドの製造方法に於
ては、中継液室を形成する際に、中継液室の側壁、後壁
を形成する部材の位置決めをするために従来必要であっ
た治具が不要となり、フォトリソグラフィによって記録
ヘッドの構成部材の位置決めが容易となった。しかも設
置ガイドが壁部材を基板へ取り付け支持するはめ込み空
間領域として機能することより、インクジェット記録ヘ
ッドの構成部材と基板とを接着する際に使用する接着剤
の流れ出し防止壁を兼ねるので、インクと接触するイン
ク中継液室の内面のインクの流れを乱す要因を排除でき
るとともに、従来接着剤量の加減に非常に熟練を必要と
していた作業が簡易になった。従って、本発明のインク
ジェット記録ヘッドは、高精度で信頼性が高く、しかも
製品歩留りの良い大量生産の可能なものである。
第１図乃至第７図は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの一実施例の構成とその作製手順を説明する為の模式
図である。 １：基板 ２：エネルギー発生素子 ３：ドライフィルムフォトレジスト ４：フォトマスク ５：パターン ３Ｐ：硬化フォトレジスト膜 ３Ｐ−１：中継液室側壁部材設置ガイド ３Ｐ−２：中継液室後壁部材設置ガイド ６：インク路フタ ７：中継液室側壁 ８：中継液室後壁 ９：インク供給パイプ １０：中継液室フタ １１：オリフィス １２：中継液室 ３Ｐ−４：インク路
ドの一実施例の構成とその作製手順を説明する為の模式
図である。 １：基板 ２：エネルギー発生素子 ３：ドライフィルムフォトレジスト ４：フォトマスク ５：パターン ３Ｐ：硬化フォトレジスト膜 ３Ｐ−１：中継液室側壁部材設置ガイド ３Ｐ−２：中継液室後壁部材設置ガイド ６：インク路フタ ７：中継液室側壁 ８：中継液室後壁 ９：インク供給パイプ １０：中継液室フタ １１：オリフィス １２：中継液室 ３Ｐ−４：インク路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−80470（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−118876（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−43876（ＪＰ，Ａ) 実開 昭50−148813（ＪＰ，Ｕ)
Claims (5)
- 【請求項１】基板に対して壁部材を積層することで形成
される、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口に連通
したインク路と、前記インク路に連通し前記インク路に
供給されるインクを貯留するインク中継液室と、を有す
るインクジェット記録ヘッドであって、 前記基板の前記壁部材接合面には、少なくとも前記イン
ク中継液室を構成する前記壁部材の基板上における配置
位置を規定するとともに前記壁部材を取り付け支持する
ためのはめ込み空間領域を構成するガイド手段を備えて
いることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】前記ガイド部材は、前記壁部材を取り囲む
囲い壁として構成されることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】前記ガイド部材は、感光性樹脂によって構
成されており、前記インク路を構成する壁と同一工程で
同時に構成されることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】前記インク路には前記吐出口からインクを
吐出するために利用されるエネルギー発生素子あるいは
圧電素子が利用されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】インクを吐出するために利用されるエネル
ギー発生素子が設けられた基板上に感光性樹脂を積層し
所定のパターン露光によってインク路を構成するための
溝と該インク路に連通し吐出されるインクを貯留したイ
ンク中継液室を構成する壁部材を取りつけ支持するため
のはめ込み空間を構成するガイド手段とを形成する工程
と、 前記溝上に蓋部材を積層することで前記インク路を構成
する工程と、 前記ガイド手段で囲まれた部分に沿って壁部材をはめ込
み取り付ける工程と、 前記蓋部材と壁部材とによって構成された空間にインク
中継液室用蓋部材を積層する工程と、 を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067720A JPH062410B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US06/600,328 US4570167A (en) | 1983-04-19 | 1984-04-13 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067720A JPH062410B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59194858A JPS59194858A (ja) | 1984-11-05 |
| JPH062410B2 true JPH062410B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=13353069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58067720A Expired - Lifetime JPH062410B2 (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4570167A (ja) |
| JP (1) | JPH062410B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58220756A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-22 | Canon Inc | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
| US6054034A (en) * | 1990-02-28 | 2000-04-25 | Aclara Biosciences, Inc. | Acrylic microchannels and their use in electrophoretic applications |
| US5467351A (en) * | 1994-04-22 | 1995-11-14 | At&T Corp. | Extendible round robin local area hub network |
| US5666488A (en) * | 1994-11-22 | 1997-09-09 | Lucent Technologies Inc. | Port expansion network and method for lAN hubs |
| US5621893A (en) * | 1994-11-22 | 1997-04-15 | Lucent Technologies Inc. | System for expanding ports wherein segment switch selectively associates plurality of hubs coupled to first arbiter and plurality of hubs coupled to second arbiter |
| JPH08223195A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-08-30 | At & T Corp | ポート数の拡張が可能なローカル・エリア・ハブ・ネットワーク及びそのポート数拡張方法 |
| US6193350B1 (en) | 1995-09-29 | 2001-02-27 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for dynamically aligning a printer printhead |
| US5751305A (en) * | 1995-09-29 | 1998-05-12 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for dynamically aligning a printer printhead |
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Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS50148813U (ja) * | 1974-05-27 | 1975-12-10 | ||
| JPS55118876A (en) * | 1979-03-07 | 1980-09-12 | Canon Inc | Method of fabricating multinozzle recording head |
| US4334234A (en) * | 1979-04-02 | 1982-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid droplet forming apparatus |
| JPS5680470A (en) * | 1979-12-04 | 1981-07-01 | Canon Inc | Ink jet recording method |
| JPS5743876A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-12 | Canon Inc | Ink jet head |
-
1983
- 1983-04-19 JP JP58067720A patent/JPH062410B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-04-13 US US06/600,328 patent/US4570167A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59194858A (ja) | 1984-11-05 |
| US4570167A (en) | 1986-02-11 |
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