JPH06238644A - セラミックグリーンシートの加工方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの加工方法Info
- Publication number
- JPH06238644A JPH06238644A JP4856893A JP4856893A JPH06238644A JP H06238644 A JPH06238644 A JP H06238644A JP 4856893 A JP4856893 A JP 4856893A JP 4856893 A JP4856893 A JP 4856893A JP H06238644 A JPH06238644 A JP H06238644A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- ceramic green
- hole
- guide plate
- holes
- Prior art date
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- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低コストで生産性に優れ、誰にでも容易に実
施することができるセラミックグリーンシートの加工方
法の提供。 【構成】 まず、 0.2mmφの貫通孔２を複数個形成した
案内板１と、表面が平滑な受板３との間に、厚さ25μｍ
のセラミックグリーンシート６が形成されたベースフィ
ルム５を、グリーンシート６と案内板１、およびベース
フィルム５と受板３を密着させて挟み込む。次に、案内
板１の下方から、案内板１における貫通孔２に向けて、
ウォータージェットノズル４によって圧縮水を噴出す
る。上記のように、貫通孔２に向けて圧縮水を噴出する
ことにより、貫通孔２下に位置したセラミックグリーン
シート６は破壊され、破壊されたグリーンシート６は、
ベースフィルム５に当たって跳ね返る帰り水と共に除去
され、セラミックグリーンシート６に 0.2mmφのスルー
ホールが形成される。
施することができるセラミックグリーンシートの加工方
法の提供。 【構成】 まず、 0.2mmφの貫通孔２を複数個形成した
案内板１と、表面が平滑な受板３との間に、厚さ25μｍ
のセラミックグリーンシート６が形成されたベースフィ
ルム５を、グリーンシート６と案内板１、およびベース
フィルム５と受板３を密着させて挟み込む。次に、案内
板１の下方から、案内板１における貫通孔２に向けて、
ウォータージェットノズル４によって圧縮水を噴出す
る。上記のように、貫通孔２に向けて圧縮水を噴出する
ことにより、貫通孔２下に位置したセラミックグリーン
シート６は破壊され、破壊されたグリーンシート６は、
ベースフィルム５に当たって跳ね返る帰り水と共に除去
され、セラミックグリーンシート６に 0.2mmφのスルー
ホールが形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートの加工方法に関し、さらに詳しくは、圧縮水の水圧
によってセラミックグリーンシートを局部的に破壊して
スルーホールを形成するセラミックグリーンシートの加
工方法に関する。
ートの加工方法に関し、さらに詳しくは、圧縮水の水圧
によってセラミックグリーンシートを局部的に破壊して
スルーホールを形成するセラミックグリーンシートの加
工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層セラミックインダクタ、積層ノイズ
除去フィルタおよび多層配線回路基板等は、スルーホー
ルおよび内部電極パターンが形成されたセラミックグリ
ーンシートを、所定の構成で積層しスルーホール接続す
ることによって構成されており、これらの電子部品を構
成するセラミックグリーンシートは、一般に金型法と呼
ばれる方法で加工（スルーホール形成）されてきた。
除去フィルタおよび多層配線回路基板等は、スルーホー
ルおよび内部電極パターンが形成されたセラミックグリ
ーンシートを、所定の構成で積層しスルーホール接続す
ることによって構成されており、これらの電子部品を構
成するセラミックグリーンシートは、一般に金型法と呼
ばれる方法で加工（スルーホール形成）されてきた。
【０００３】上記金型法とは、所定の径（スルーホール
径）のピンを植設したオス型と、このピンの径と同等
（ピンを挿入し得る）の径の孔を形成したメス型とから
なる一対の金型を用い、上記メス型の上にセラミックグ
リーンシートを固定し、オス型のピンををメス型の孔に
挿入することによってグリーンシートを打ち抜き、スル
ーホールを形成するというものである。
径）のピンを植設したオス型と、このピンの径と同等
（ピンを挿入し得る）の径の孔を形成したメス型とから
なる一対の金型を用い、上記メス型の上にセラミックグ
リーンシートを固定し、オス型のピンををメス型の孔に
挿入することによってグリーンシートを打ち抜き、スル
ーホールを形成するというものである。
【０００４】しかしながら、近年の電子部品の小型化に
伴ってセラミックグリーンシートに形成されるスルーホ
ールの径も縮小化しており、径の小さいスルーホールを
上記金型法によって形成した場合、生産性の悪化や高コ
スト化などが避けられないという問題点があった。すな
わち、上記金型法によると、オス型のピンの径を細くす
ることによって径の小さいスルーホールを形成するが、
ピンの径を細くするとピンの耐久性が低下してしまうた
め、スルーホールの径の精度を保つための頻繁なピンの
交換により、生産性の悪化や高コスト化が避けられない
のである。
伴ってセラミックグリーンシートに形成されるスルーホ
ールの径も縮小化しており、径の小さいスルーホールを
上記金型法によって形成した場合、生産性の悪化や高コ
スト化などが避けられないという問題点があった。すな
わち、上記金型法によると、オス型のピンの径を細くす
ることによって径の小さいスルーホールを形成するが、
ピンの径を細くするとピンの耐久性が低下してしまうた
め、スルーホールの径の精度を保つための頻繁なピンの
交換により、生産性の悪化や高コスト化が避けられない
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、上記金型法の
問題点を解決すべく、レーザー光を絞って直接セラミッ
クグリーンシートに当てることにより、スルーホールを
形成する方法などが提案されているが、上記レーザー加
工法によると、装置が高価である上、その操作において
は熟練を要するため、誰でも容易に実施できるというも
のではなく、実用性に欠けるという問題点があった。
問題点を解決すべく、レーザー光を絞って直接セラミッ
クグリーンシートに当てることにより、スルーホールを
形成する方法などが提案されているが、上記レーザー加
工法によると、装置が高価である上、その操作において
は熟練を要するため、誰でも容易に実施できるというも
のではなく、実用性に欠けるという問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、低コストで生産性に優れ、誰にでも容易に実
施することができるセラミックグリーンシートの加工方
法を提供することを目的とする。
を解決し、低コストで生産性に優れ、誰にでも容易に実
施することができるセラミックグリーンシートの加工方
法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究した結果、スルーホール径と同
等の径の貫通孔を形成した案内板と受板との間に、セラ
ミックグリーンシートを挟み込んで密着させ、貫通孔内
に圧縮水を噴出することにより、極めて精度良くスルー
ホールを形成することができることを見い出し、本発明
に到達した。
達成するために鋭意研究した結果、スルーホール径と同
等の径の貫通孔を形成した案内板と受板との間に、セラ
ミックグリーンシートを挟み込んで密着させ、貫通孔内
に圧縮水を噴出することにより、極めて精度良くスルー
ホールを形成することができることを見い出し、本発明
に到達した。
【０００８】すなわち、本発明は、セラミックグリーン
シートにおけるスルーホール形成位置と対応する位置に
貫通孔が形成された案内板と、表面が平滑な受板との間
に、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーン
シートを、セラミックグリーンシートと案内板、および
ベースフィルムと受板を密着させて挟み込んだ後、該案
内板における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によ
って貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、ベ
ースフィルムに当たって跳ね返る帰り水と共に除去する
ことにより、セラミックグリーンシートにスルーホール
を形成することを特徴とするセラミックグリーンシート
の加工方法；およびセラミックグリーンシートにおける
スルーホール形成位置と対応する位置に貫通孔が形成さ
れた案内板と、この案内板における貫通孔形成位置と対
応する位置に貫通孔が形成された受板との間に、ベース
フィルムから剥離したセラミックグリーンシートを挟み
込み、両板の貫通孔を一致させて密着させた後、該案内
板における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によっ
て貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、受板
の貫通孔を通って噴出する圧縮水と共に除去することに
より、セラミックグリーンシートにスルーホールを形成
することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工
方法を提供するものである。
シートにおけるスルーホール形成位置と対応する位置に
貫通孔が形成された案内板と、表面が平滑な受板との間
に、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーン
シートを、セラミックグリーンシートと案内板、および
ベースフィルムと受板を密着させて挟み込んだ後、該案
内板における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によ
って貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、ベ
ースフィルムに当たって跳ね返る帰り水と共に除去する
ことにより、セラミックグリーンシートにスルーホール
を形成することを特徴とするセラミックグリーンシート
の加工方法；およびセラミックグリーンシートにおける
スルーホール形成位置と対応する位置に貫通孔が形成さ
れた案内板と、この案内板における貫通孔形成位置と対
応する位置に貫通孔が形成された受板との間に、ベース
フィルムから剥離したセラミックグリーンシートを挟み
込み、両板の貫通孔を一致させて密着させた後、該案内
板における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によっ
て貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、受板
の貫通孔を通って噴出する圧縮水と共に除去することに
より、セラミックグリーンシートにスルーホールを形成
することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工
方法を提供するものである。
【０００９】
【作用】本発明法によると、セラミックグリーンシート
におけるスルーホール形成位置と対応する位置に貫通孔
が形成された案内板と、表面が平滑な受板との間に、ベ
ースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート
を、セラミックグリーンシートと案内板、およびベース
フィルムと受板を密着させて挟み込んだ後、案内板にお
ける貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、セラミッ
クグリーンシートにスルーホールを形成している。
におけるスルーホール形成位置と対応する位置に貫通孔
が形成された案内板と、表面が平滑な受板との間に、ベ
ースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート
を、セラミックグリーンシートと案内板、およびベース
フィルムと受板を密着させて挟み込んだ後、案内板にお
ける貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、セラミッ
クグリーンシートにスルーホールを形成している。
【００１０】すなわち、上記のような態様で配置された
案内板の貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、案内
板の貫通孔下に位置したセラミックグリーンシートが、
圧縮水の水圧によって局部的に破壊され、ベースフィル
ムに当たって跳ね返る帰り水と共に除去されるため、セ
ラミックグリーンシートにスルーホールが形成されるの
である。
案内板の貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、案内
板の貫通孔下に位置したセラミックグリーンシートが、
圧縮水の水圧によって局部的に破壊され、ベースフィル
ムに当たって跳ね返る帰り水と共に除去されるため、セ
ラミックグリーンシートにスルーホールが形成されるの
である。
【００１１】なお、セラミックグリーンシートは、セラ
ミック原料粉末とバインダーとによって箔状に形成され
た脆いものであるため、圧縮水の水圧は弱めでも十分に
セラミックグリーンシートを破壊することができ、ま
た、圧縮水の水圧を弱めにすることにより、貫通孔壁面
の浸蝕が抑制され、器具の寿命が延びるため、上記態様
においては、圧縮水の水圧は弱めにすることが望まし
い。
ミック原料粉末とバインダーとによって箔状に形成され
た脆いものであるため、圧縮水の水圧は弱めでも十分に
セラミックグリーンシートを破壊することができ、ま
た、圧縮水の水圧を弱めにすることにより、貫通孔壁面
の浸蝕が抑制され、器具の寿命が延びるため、上記態様
においては、圧縮水の水圧は弱めにすることが望まし
い。
【００１２】また、本発明法によると、受板として前記
案内板における貫通孔と対応する位置に貫通孔を形成し
たものを用い、この受板と案内板との間にベースフィル
ムから剥離したセラミックグリーンシートを挟み込み、
両板の貫通孔を一致させて密着させた後、案内板の貫通
孔内に圧縮水を噴出することにより、スルーホールを形
成することもできる。
案内板における貫通孔と対応する位置に貫通孔を形成し
たものを用い、この受板と案内板との間にベースフィル
ムから剥離したセラミックグリーンシートを挟み込み、
両板の貫通孔を一致させて密着させた後、案内板の貫通
孔内に圧縮水を噴出することにより、スルーホールを形
成することもできる。
【００１３】すなわち、このような態様で配置された案
内板の貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、案内板
の貫通孔下に位置したセラミックグリーンシートが、圧
縮水の水圧によって局部的に破壊され、受板に形成され
た貫通孔を通って噴出する圧縮水と共に除去されるた
め、セラミックグリーンシートにスルーホールが形成さ
れるのである。また、このような態様でスルーホール形
成を行う場合には、圧縮水の水圧を高くしても何等問題
がないため、生産性をより向上させることができる。
内板の貫通孔内に圧縮水を噴出することにより、案内板
の貫通孔下に位置したセラミックグリーンシートが、圧
縮水の水圧によって局部的に破壊され、受板に形成され
た貫通孔を通って噴出する圧縮水と共に除去されるた
め、セラミックグリーンシートにスルーホールが形成さ
れるのである。また、このような態様でスルーホール形
成を行う場合には、圧縮水の水圧を高くしても何等問題
がないため、生産性をより向上させることができる。
【００１４】本発明法において用いられる案内板および
受板は、容易に加工することができて圧縮水の水圧に耐
え得る（変形や破壊が起こらない）ものであればその材
質に特に制限はなく、例えば金属、樹脂、ゴム等によっ
て構成することができる。また、これらの板に形成され
る貫通孔は、図１（ｂ）や図２に示すように、その形状
を漏斗状とすることにより、グリーンシートへ多くの水
を集中させることができる上、帰り水の水捌けも良くな
るため、作業効率が向上するようになる。
受板は、容易に加工することができて圧縮水の水圧に耐
え得る（変形や破壊が起こらない）ものであればその材
質に特に制限はなく、例えば金属、樹脂、ゴム等によっ
て構成することができる。また、これらの板に形成され
る貫通孔は、図１（ｂ）や図２に示すように、その形状
を漏斗状とすることにより、グリーンシートへ多くの水
を集中させることができる上、帰り水の水捌けも良くな
るため、作業効率が向上するようになる。
【００１５】さらに、圧縮水を噴出するノズルは、各貫
通孔に個別に圧縮水を噴出すべく開口部（圧縮水噴出
口）を有するものであっても良いが、例えば図３に示す
ように案内板の幅と同等の幅のスリット７からなる開口
部を有するものであっても良く、このようなノズルを案
内板の長さ方向にスライドさせながら複数個の貫通孔内
に同時に圧縮水を噴出することにより、より効率良くス
ルーホール形成を行うことができる。
通孔に個別に圧縮水を噴出すべく開口部（圧縮水噴出
口）を有するものであっても良いが、例えば図３に示す
ように案内板の幅と同等の幅のスリット７からなる開口
部を有するものであっても良く、このようなノズルを案
内板の長さ方向にスライドさせながら複数個の貫通孔内
に同時に圧縮水を噴出することにより、より効率良くス
ルーホール形成を行うことができる。
【００１６】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
【００１７】
【実施例１】本発明のセラミックグリーンシートの加工
方法の一例を以下に示す。
方法の一例を以下に示す。
【００１８】まず、 0.2mmφの貫通孔２を複数個形成し
た案内板１と、表面が平滑な受板３との間に、厚さ25μ
ｍのセラミックグリーンシート６が形成されたベースフ
ィルム５を、グリーンシート６と案内板１、およびベー
スフィルム５と受板３を密着させて挟み込んだ。なお、
案内板１に形成された貫通孔２は、その一端（グリーン
シートと接触しない主面側）にテーパー加工が施されて
おり、漏斗状をしている。
た案内板１と、表面が平滑な受板３との間に、厚さ25μ
ｍのセラミックグリーンシート６が形成されたベースフ
ィルム５を、グリーンシート６と案内板１、およびベー
スフィルム５と受板３を密着させて挟み込んだ。なお、
案内板１に形成された貫通孔２は、その一端（グリーン
シートと接触しない主面側）にテーパー加工が施されて
おり、漏斗状をしている。
【００１９】次に、案内板１の下方から、案内板１にお
ける貫通孔２に向けて、ウォータージェットノズル４に
よって圧縮水を噴出した（図１）。なお、本実施例にお
いては、各貫通孔に個別に圧縮水を噴出するノズルを用
いたが、図３に示すような、案内板の幅と同等の幅のス
リット７（圧縮水噴出口）を有するノズルを用い、この
ノズルを案内板の長さ方向にスライドさせながら圧縮水
を噴出しても良い。
ける貫通孔２に向けて、ウォータージェットノズル４に
よって圧縮水を噴出した（図１）。なお、本実施例にお
いては、各貫通孔に個別に圧縮水を噴出するノズルを用
いたが、図３に示すような、案内板の幅と同等の幅のス
リット７（圧縮水噴出口）を有するノズルを用い、この
ノズルを案内板の長さ方向にスライドさせながら圧縮水
を噴出しても良い。
【００２０】上記のような態様で貫通孔２に向けて圧縮
水を噴出することにより、貫通孔２下に位置したセラミ
ックグリーンシート６は破壊され、破壊されたグリーン
シート６は、ベースフィルム５に当たって跳ね返る帰り
水と共に除去され、セラミックグリーンシート６に 0.2
mmφのスルーホールが形成された。
水を噴出することにより、貫通孔２下に位置したセラミ
ックグリーンシート６は破壊され、破壊されたグリーン
シート６は、ベースフィルム５に当たって跳ね返る帰り
水と共に除去され、セラミックグリーンシート６に 0.2
mmφのスルーホールが形成された。
【００２１】
【実施例２】本発明のセラミックグリーンシートの加工
方法の別の一例を以下に示す。
方法の別の一例を以下に示す。
【００２２】まず、 0.2mmφの貫通孔２を複数個形成し
た案内板１と、この案内板１に形成された貫通孔２と対
応する位置に 0.2mmφの貫通孔２が形成された受板３と
の間に、ベースフィルム上に形成された厚さ25μｍのセ
ラミックグリーンシート６を、ベースフィルムから剥離
して挟み込み、両板のスルーホールを一致させて密着さ
せた（図２）。なお、案内板１および受板３に形成され
た貫通孔２は、その一端（グリーンシートと接触しない
主面側）にテーパー加工が施されており、漏斗状をして
いる。
た案内板１と、この案内板１に形成された貫通孔２と対
応する位置に 0.2mmφの貫通孔２が形成された受板３と
の間に、ベースフィルム上に形成された厚さ25μｍのセ
ラミックグリーンシート６を、ベースフィルムから剥離
して挟み込み、両板のスルーホールを一致させて密着さ
せた（図２）。なお、案内板１および受板３に形成され
た貫通孔２は、その一端（グリーンシートと接触しない
主面側）にテーパー加工が施されており、漏斗状をして
いる。
【００２３】次に、案内板１の下方から、案内板１にお
ける貫通孔２に向けて、図３に示すような、案内板１の
幅と同等の幅のスリット７（圧縮水噴出口）を有するウ
ォータージェットノズルを用い、このノズルを案内板１
の長さ方向にスライドさせながら圧縮水を噴出した。
ける貫通孔２に向けて、図３に示すような、案内板１の
幅と同等の幅のスリット７（圧縮水噴出口）を有するウ
ォータージェットノズルを用い、このノズルを案内板１
の長さ方向にスライドさせながら圧縮水を噴出した。
【００２４】上記のような態様で貫通孔２に向けて圧縮
水を噴出することにより、貫通孔２下に位置したセラミ
ックグリーンシート６は破壊され、破壊されたグリーン
シート６は受板３の貫通孔２を通って噴出する圧縮水と
共に除去され、セラミックグリーンシート６に 0.2mmφ
のスルーホールが形成された。
水を噴出することにより、貫通孔２下に位置したセラミ
ックグリーンシート６は破壊され、破壊されたグリーン
シート６は受板３の貫通孔２を通って噴出する圧縮水と
共に除去され、セラミックグリーンシート６に 0.2mmφ
のスルーホールが形成された。
【００２５】
【発明の効果】本発明法の開発により、著しく径の小さ
いスルーホールでさえも、極めて効率良く、高精度で形
成することができるようになった。また、本発明法は、
熟練したものでなくとも極めて容易に実施することがで
きるため、生産性の向上および低コスト化に著しく貢献
し得るものである。
いスルーホールでさえも、極めて効率良く、高精度で形
成することができるようになった。また、本発明法は、
熟練したものでなくとも極めて容易に実施することがで
きるため、生産性の向上および低コスト化に著しく貢献
し得るものである。
【図１】本発明法の一例において案内板の貫通孔に圧縮
水を噴出している際の態様を示す図であって、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は（ａ）の案内板および受板近辺を拡大
した側断面図である。
水を噴出している際の態様を示す図であって、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は（ａ）の案内板および受板近辺を拡大
した側断面図である。
【図２】本発明法の別の一例において、貫通孔が形成さ
れた案内板と貫通孔が形成された受板との間にセラミッ
クグリーンシートを挟み込んで密着させた際の態様を示
す側断面図である。
れた案内板と貫通孔が形成された受板との間にセラミッ
クグリーンシートを挟み込んで密着させた際の態様を示
す側断面図である。
【図３】本発明法において用いられるウォータージェッ
トノズルの一例を示す斜視図である。
トノズルの一例を示す斜視図である。
１‥‥‥案内板 ２‥‥‥貫通孔 ３‥‥‥受板 ４‥‥‥ウォータージェットノズル ５‥‥‥ベースフィルム ６‥‥‥セラミックグリーンシート ７‥‥‥スリット
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックグリーンシートにおけるスル
ーホール形成位置と対応する位置に貫通孔が形成された
案内板と、表面が平滑な受板との間に、ベースフィルム
上に形成されたセラミックグリーンシートを、セラミッ
クグリーンシートと案内板、およびベースフィルムと受
板を密着させて挟み込んだ後、該案内板における貫通孔
内に圧縮水を噴出し、その水圧によって貫通孔下のセラ
ミックグリーンシートを破壊し、ベースフィルムに当た
って跳ね返る帰り水と共に除去することにより、セラミ
ックグリーンシートにスルーホールを形成することを特
徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。 - 【請求項２】 セラミックグリーンシートにおけるスル
ーホール形成位置と対応する位置に貫通孔が形成された
案内板と、この案内板における貫通孔形成位置と対応す
る位置に貫通孔が形成された受板との間に、ベースフィ
ルムから剥離したセラミックグリーンシートを挟み込
み、両板の貫通孔を一致させて密着させた後、該案内板
における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によって
貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、受板の
貫通孔を通って噴出する圧縮水と共に除去することによ
り、セラミックグリーンシートにスルーホールを形成す
ることを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856893A JPH06238644A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | セラミックグリーンシートの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856893A JPH06238644A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | セラミックグリーンシートの加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06238644A true JPH06238644A (ja) | 1994-08-30 |
Family
ID=12807007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4856893A Withdrawn JPH06238644A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | セラミックグリーンシートの加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06238644A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526510A (ja) * | 2003-06-02 | 2006-11-24 | コリウム インターナショナル， インコーポレイテッド | 流体ジェットを用いることにより穿孔された微細構造を製造する−方法 |
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| US9962534B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-05-08 | Corium International, Inc. | Microarray for delivery of therapeutic agent, methods of use, and methods of making |
| US10195409B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-02-05 | Corium International, Inc. | Multiple impact microprojection applicators and methods of use |
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