JP4168672B2 - インクジェットヘッドにおける流路ユニットを形成するための部品及び流路ユニットの製造方法 - Google Patents

インクジェットヘッドにおける流路ユニットを形成するための部品及び流路ユニットの製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを印字面に噴射することで所望の画像を形成するインクジェット記録装置のインクジェットヘッドにおける、流路ユニットを形成するための部品、及び、流路ユニットの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、エッチング等で予め空間を形成してある複数枚の薄い平板を複数枚積層・接着することで、前記の空間同士を接続し、マニホールド流路や圧力室やノズルなどのインク流路を内部に形成する構成としたインクジェットヘッドの技術は公知となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ここでインクジェット記録装置に対する高解像度化・高画質化といった近時の要請に対応すべく、前述のインク流路の複雑化・高集積化が進んでおり、この観点からは、インクジェットヘッドを構成する平板同士を位置ズレなく高精度で位置決めして貼り合わせることが必要になる。
即ち、貼り合わせる際に位置ズレがあると、インク流路が平板のズレた継ぎ目の部分で狭窄される結果となり、当該部分で意図せぬ流路抵抗が生じたり、流路が詰まってインクが噴射不可能となったりする弊害がある。
【0004】
本発明は以上の点に鑑みてされたものであり、その目的は、平板同士が正確な位置で積層接着されているか否かを容易に判定可能な、流路ユニットを形成するための部品、及び、流路ユニットの製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0006】
即ち、請求項1の流路ユニットを形成するための部品は、多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを形成するための部品であって、積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板と、前記複数枚の平板の外周部にそれぞれ配置され、前記複数枚の平板の前記積層接着後に切り離され除去される桟の部分とからなり、前記各桟の部分には、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、前記複数枚の平板を積層する際に位置決め棒が串刺し状に貫通される基準孔が二つずつ形成され、前記各平板には、前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いにその中心位置が一致し、且つ、板厚方向に貫通した位置ズレ確認用の円形孔が二つずつ形成され、さらに前記各平板の各位置ズレ確認用の円形孔は、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向け、その径が順次小さくなるように形成されていることを特徴とする、流路ユニットを形成するための部品。
【0007】
請求項2においては、前記円形孔はエッチングで形成されているものである。
請求項3においては、前記インクジェットヘッドは、前記ノズルからインクを噴射する用紙の搬送方向に垂直な長手方向を有する細長い長方形とされているものである。
【0008】
請求項4の流路ユニットの製造方法は、多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを製造する方法であって、積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板の外周部に、桟の部分をそれぞれ形成するとともに、前記各桟の部分の、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、基準孔を二つずつ形成しておき、さらに、前記各平板の前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いに中心位置が一致し、且つ、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向けて、その径が順次小さくなるように、位置ズレ確認用の円形孔を二つずつ板厚方向に貫通状に形成しておき、前記基準孔に位置決 め棒を串刺し状に貫通させて、前記複数枚の平板を積層接着し、前記積層接着後に、前記平板から前記桟の部分を切り離し除去して、前記複数枚の平板からなる流路ユニットを製造することを特徴とする、流路ユニットの製造方法。
請求項5においては、前記平板に、前記圧力室等のインク流路を形成すると同時に前記位置ズレ確認用の円形孔もエッチングにより形成するものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図1は本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置(インクジェットプリンタ)の全体的な構成を示した側面図である。
図2はインクジェットヘッドが並べて設けられた状態を示す底面図、図3はインクジェットヘッドの側面拡大図である。図4は、流路ユニット内のインク流路を示す、インクジェットヘッド本体の断面図である。
【0010】
図1には、本実施形態のインクジェットヘッド2を四つ備えるカラーインクジェットプリンタ(インクジェット記録装置)1の概略構成が示される。このプリンタ1は、図中左方に給紙部11が、図中右方に排紙部12が、それぞれ構成され、給紙部11から排紙部12に向かって流れる用紙搬送経路が装置内部に形成されている。
【0011】
上記用紙搬送経路の具体的な構成を説明する。
前記給紙部11のすぐ下流側には用紙送りローラ5・5が備えられて、画像記録媒体たる用紙を図中左方から右方へ送るように構成されている。用紙搬送経路の中間部においては、二つのベルトローラ6・7と、両ローラ6・7間に掛け渡されるように巻回されたループ状の搬送ベルト8を備える。搬送ベルト8の外周面(搬送面)にはシリコーン処理が施されており、前記送りローラ5・5によって搬送されてくる用紙を、搬送ベルト8上側の搬送面にその粘着力により保持させながら、一方のベルトローラ6の駆動によって下流側(右方)に向けて搬送できるようになっている。
なお、符号9は押さえ部材であって、搬送ベルト8上の用紙が搬送面から浮かないように、搬送ベルト8の搬送面に用紙を押し付けて搬送面上に確実に粘着させるためのものである。
【0012】
搬送ベルト8の図中右方には剥離機構10が設けられており、搬送ベルト8の搬送面に粘着されている用紙を当該搬送面から剥離して、右方の排紙部12へ向けて送るように構成されている。
【0013】
プリンタ1のインクジェットヘッド2は、四色のインク(マゼンタ,イエロー,ブルー,ブラック)に対応して、用紙搬送方向に沿って四つ並べて設けられている。インクジェットヘッド2はその下面側から見た図である図2に示すように、用紙搬送方向に垂直な長手方向を有する細長い長方形状とされるとともに、その下面に取り付けられるヘッド本体18には、インクを下方に向けて噴射するための微小径の吐出ノズル(以下「ノズル」と称する)13を多数並べて形成している。
インクジェットヘッド2は、その下面が前記搬送ベルト8の搬送面との間に少量の隙間を形成しながら配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成されている。この構成で、搬送ベルト8上を搬送される用紙は四つのインクジェットヘッド2のヘッド本体18のすぐ下方側を順に通過し、この用紙の上面(印字面)に向けて前記ノズル13から各色のインクを噴射することで、所望のカラー画像を形成できるようになっている。
【0014】
インクジェットヘッド2の部分の側面拡大図が図3に示され、このインクジェットヘッド2は、プリンタ1側に設けられている適宜の部材14に対し、ホルダ15を介して取り付けられる。このホルダ15は、側面視で垂直部15aと水平部15bとを有する逆「T」字状に形成されており、垂直部15aがネジ16によりプリンタ本体側に取り付けられる一方で、水平部15bの下面には、スペーサ部材40を介して、ベースブロック17及びヘッド本体18を固定する構成となっている。
ベースブロック17は図3に示すように平板積層構造とされ、その内部には、図示せぬインク供給源からヘッド本体18のインク供給口18aへインクを導くためのインク流路17aが形成されている。
【0015】
次に、インクジェットヘッド2の主要部をなすヘッド本体18の構成を説明する。
ヘッド本体18は、多数の圧力室や前記ノズル13が形成された流路ユニット20と、その上面に並べて接着される複数の台形平板状のアクチュエータユニット19と、によりなる。
流路ユニット20は図4に示すように、九枚の薄い金属平板21〜29を積層した構造とされている。上から数えて第5〜第7層の平板25〜27に跨るようにしてマニホールド流路30が形成され、この流路30が前述のインク供給口18aに連通している。直ぐ上に位置する第4層の平板24には連絡孔31が形成され、この連絡孔31が、第3層の平板23に形成された絞り部32に接続している。
【0016】
絞り部32は、第2層の平板22に形成された連通孔33を介して、第1層の平板21に形成される圧力室34の一端に連通する。この圧力室34は、上記のアクチュエータユニット19の駆動を受けてインクに圧力を与えるためのものであり、多数のノズル13のそれぞれに対応して一つずつ設けられている。圧力室34の他端は、第2〜第8層の平板22〜28に貫通して形成したノズル連絡孔35を介して、第9層の平板(ノズルプレート)29に形成されたノズル13に接続されている。
【0017】
以上の構成でインクは、前記インク供給源からベースブロック17内のインク流路17aを経由し、前述のインク供給口18aから導入され、流路ユニット20内のマニホールド流路30に至る。そして、連絡孔31から絞り部32・連通孔33を経由して圧力室34に供給されたインクは、後述のアクチュエータユニット19の駆動によって圧力を付与され、ノズル連絡孔35を経由してノズル13に至り噴射される。
【0018】
なお、前述のマニホールド流路30や圧力室34や絞り部32や孔31・33・35等は、各平板21〜28にエッチングで形成されており、またノズルプレート29のノズル13はプレス加工により形成されている。
【0019】
アクチュエータユニット19についてその概略を説明する。このアクチュエータユニット19は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミック材料からなる薄い圧電シートを複数枚重ねるとともに、薄いAg−Pd系の金属材料からなる電極膜を圧電シート間に介在させることで、前記圧力室34のそれぞれに対応して活性部が一つずつ形成される構成となっている。
この構成において、対となる電極間に電位差が与えられることで、当該活性部の部分が前記圧力室34側に凸となるように変形する。この結果、圧力室34の容積が縮小されて、圧力室34内部のインクに噴射のための圧力が与えられる。
【0020】
図4に示すように、アクチュエータユニット19の上面にはフレキシブルフラットケーブル41の一端が接着されており、このケーブル41は図3に示すようにヘッド本体18から引き出されて、屈曲されながら上側に延出されている。このフレキシブルフラットケーブル41内の導線を介して、前記アクチュエータユニット19の前述の電極が、印字制御のための図示しないドライバICと電気的に接続される。
なお、符号42はヘッド本体18の側部を覆うように盛られたシリコーン系の接着剤であり、フレキシブルフラットケーブル41が引き出される部分で強く屈曲されないよう保護するとともに、アクチュエータユニット19の部分にインク等が侵入するのを防止する役割を果たす。
【0021】
次に、平板21〜29同士を積層・接着させる際の位置決めのための構成を説明する。
図5は基準孔に位置決め棒を挿通する様子を示した斜視図である。
図6は位置ズレ確認孔の構成を示す拡大断面図、図7は位置ズレ確認孔の印字面側から見た様子を示す拡大図である。
【0022】
即ち、流路ユニット20は前述のとおり、平板21〜29を積層させて接着することでマニホールド流路30からノズル13に至るインク流路を形成するものであり、平板21〜29を貼り合わせる際に位置ズレが生じると、インク流路が平板の継ぎ目の部分で狭窄される結果となり、当該部分で意図せぬ流路抵抗が生じたり、流路が詰まりやすくなったりする弊害がある。
従って、これら平板21〜29同士を接着する際には、位置ズレが生じないように、平板21〜29の相互位置を精度良く一致させる必要がある。
【0023】
この点、本実施形態では図5に示すように、平板21〜29は桟の部分(21r〜29r)をそれぞれ一体的に伴うように構成されており、この桟の部分21r〜29rには、位置決めのための基準孔50がそれぞれ二つずつ形成されている。各平板21〜29の基準孔50はいずれも略同様の形状とされており、また、互いに対応するように位置を一致させながら設けられている。
そして、各平板21〜29を相互に貼り合わせるときは、上記基準孔50にそれぞれ位置決め棒60を串刺し状に貫通させることで、各平板21〜29の相互位置を一致させ得るように構成している。
なお、位置決め棒60の太さは基準孔50の内径よりも僅かに大きく構成してあり、位置決め棒60を挿通するときに基準孔50が僅かに塑性変形しながら位置決め棒60の外面に当接することで、基準孔50が位置決め棒60に密着して遊びがゼロとなり、平板21〜29同士を精度良く位置決めできるようになっている。また、各平板21〜29は桟の部分21r〜29rを伴った状態で積層接着されるようになっており、桟の部分21r〜29rは接着後には切り離され除去される構成とされている。
【0024】
更に本実施形態では図6に示すように、平板21〜29のそれぞれに、位置ズレ確認孔(円形孔)71〜79が二つずつ形成されている。なお、以下では、各位置ズレ確認孔71〜79の径を、記号「D」に当該孔の符号を下付き文字として付したもので表すこととする(例;「D71」)。
位置ズレ確認孔71〜79は図6に示すように、互いにその中心位置を一致させながら各平板21〜29に形成されている。そして、印字面側に最も近い第9層の平板(ノズルプレート)29の位置ズレ確認孔79の径D79が最も大きく、印字面側から最も遠い第1層の平板21の位置ズレ確認孔71の径D71が最も小さくなるように、その径が順次変化するように構成してある(D79>D78>D77>・・・>D72>D71)。
言い換えれば、第9層の平板(ノズルプレート)29は、この第9層の平板29に印字面と遠い側で隣接する第8層の平板28の位置ズレ確認孔78よりも、径が大きい位置ズレ確認孔79を形成してある。第8層の平板28は、第7層の平板27の位置ズレ確認孔77よりも、径の大きい位置ズレ確認孔78を形成してある。・・・というように、前記複数枚の平板21〜29のそれぞれは、当該平板に前記印字面側から遠い側で隣接する平板21〜29の位置ズレ確認孔71〜79よりも、径が大きい位置ズレ確認孔71〜79を形成しているのである。
【0025】
この結果、それぞれの平板21〜29を積層させた場合に印字面側から見ると、図7のようにすべての位置ズレ確認孔71〜79の輪郭線が同時に視認できる。これは、印字面から遠い側にあるために径の小さい位置ズレ確認孔も、平板によって隠れることはなく、それより径の大きい位置ズレ確認孔を通じて印字面側から視認できるからである。
従って、平板21〜29を積層する際の各平板の位置ズレを、それぞれの位置ズレ確認孔71〜79の中心位置のズレとして容易に把握して確認することができる。例えば図7のような輪郭線が得られた場合には、位置ズレ確認孔74が若干図中右側に寄っているので、第4層の平板24に位置ズレが生じていることが判るといったようにである。
また、各位置ズレ確認孔71〜79は円形孔であるので、その輪郭線から孔の中心位置を容易かつ正確に求めることができる。従って、例えば、印字面側から位置ズレ確認孔71〜79を撮影し、その画像データを画像処理することで、それぞれの位置ズレ確認孔71〜79の中心位置を自動的に求めて、平板21〜29の積層の際の位置ズレの量を数値として算出することも容易である。このことから、平板21〜29の位置ズレについて数値管理を行いたいような場合にも好適な構成となっている。
【0026】
この位置ズレ確認孔71〜79は、本実施形態では、エッチングで形成したものとしている。これは、エッチングという方法自体が簡易であるし、また、本実施形態では圧力室34や絞り部32やマニホールド流路30等のインク流路を平板21〜29に形成する場合もエッチングを使用しているから、これらインク流路を形成する際に位置ズレ確認孔71〜79をも併せて同時に形成することで、工数を低減することができるためである。
また、エッチング速度はエッチング液の濃度や温度等の条件によって変動を受け易いため、エッチング量を正確に精度良くコントロールすることは困難である結果、位置ズレ確認孔71〜79の大きさ(即ち、径D71,D72,・・・)にはある程度のバラツキが生じることとなる。しかしながら、位置ズレ確認孔71〜79の中心位置自体がエッチング条件の変動によってズレることはないので、位置ズレ確認孔71〜79を正確な位置に形成でき、結局、平板21〜29同士の位置ズレを正確に判定できることになる。
【0027】
以上に実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態においては、それぞれの位置ズレ確認孔71〜79は、印字面に近くなるにつれてその径が大きくなるように構成されていたが、逆に、印字面から遠くなるにつれて径が大きくなるように構成しても構わない。この場合は、それぞれの位置ズレ確認孔71〜79の輪郭線を、印字面と反対側から視認できる構成となる。
また、位置ズレ確認孔71〜79を形成する方法としては、上記のエッチングに限られず、例えばプレス加工など、他の適宜の方法を用いることができる。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下のような効果を奏する。
【0029】
請求項1に示す如く、流路ユニットを形成するための部品は、多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを形成するための部品であって、積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板と、前記複数枚の平板の外周部にそれぞれ配置され、前記複数枚の平板の前記積層接着後に切り離され除去される桟の部分とからなり、前記各桟の部分には、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、前記複数枚の平板を積層する際に位置決め棒が串刺し状に貫通される基準孔が二つずつ形成され、前記各平板には、前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いにその中心位置が一致し、且つ、板厚方向に貫通した位置ズレ確認用の円形孔が二つずつ形成され、さらに前記各平板の各位置ズレ確認用の円形孔は、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向け、その径が順次小さくなるように形成されている。
この構成により、複数の平板を積層接着する際に、桟の部分に形成された基準孔に位置 決め棒を串刺し状に貫通させることにより、複数の平板を精度良く位置決めすることができる。さらに、位置ズレ確認用の円形孔が、積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向けて、その径が順次小さくなるように平板に形成されているため、複数の平板を積層させた際、積層方向に関して前記一方側から、各平板の円形孔の輪郭線を同時に視認できるので、平板の積層する際の位置ズレを、円形孔の中心ズレとして容易に確認できる。また、円形孔であるので、その輪郭線から孔の中心位置を容易かつ正確に求めることができる。従って、例えば前記一側から撮影した画像データを画像処理して、各円形孔の中心位置を自動的に求め、平板の位置ズレ量を数値として算出することも容易である。
【0030】
請求項2に示す如く、前記円形孔はエッチングで形成されているので、
前記円形孔を容易な方法で形成できる。また、前記インク流路をエッチングで形成する場合には、円形孔を併せて同時に形成できるので、工数を低減できる。また、エッチング速度はエッチング液の濃度や温度等の条件によって変動を受け易いため、エッチング量(円形孔の大きさ)を正確に精度良くコントロールすることは困難であるが、円形孔の中心位置自体はエッチング条件の変動によってズレることはない。従って、円形孔を高い精度で正確な位置に形成でき、平板同士の位置ズレを正確にチェックすることができる。
また、請求項3に示す如く、前記インクジェットヘッドは、前記ノズルからインクを噴射する用紙の搬送方向に垂直な長手方向を有する細長い長方形とされている。
【0031】
請求項に示す如く、流路ユニットの製造方法は、多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを製造する方法であって、積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板の外周部に、桟の部分をそれぞれ形成するとともに、前記各桟の部分の、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、基準孔を二つずつ形成しておき、さらに、前記各平板の前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いに中心位置が一致し、且つ、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向けて、その径が順次小さくなるように、位置ズレ確認用の円形孔を二つずつ板厚方向に貫通状に形成しておき、前記基準孔に位置決め棒を串刺し状に貫通させて、前記複数枚の平板を積層接着し、前記積層接着後に、前記平板から前記桟の部分を切り離し除去して、前記複数枚の平板からなる流路ユニットを製造する。
この構成により、複数の平板を積層接着する際に、桟の部分に形成された基準孔に位置決め棒を串刺し状に貫通させることにより、複数の平板を精度良く位置決めすることができる。さらに、位置ズレ確認用の円形孔が、積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向けて、その径が順次小さくなるように平板に形成されているため、複数の平板を積層させた際、積層方向に関して前記一方側から、各平板の円形孔の輪郭線を同時に視認できるので、平板の積層する際の位置ズレを、円形孔の中心ズレとして容易に確認できる。また、円形孔であるので、その輪郭線から孔の中心位置を容易かつ正確に求めることができる。
請求項5に示す如く、前記平板に、前記圧力室等のインク流路を形成すると同時に前記位置ズレ確認用の円形孔もエッチングにより形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置(インクジェットプリンタ)の全体的な構成を示した側面図。
【図2】インクジェットヘッドが並べて設けられた状態を示す底面図。
【図3】インクジェットヘッドの側面拡大図。
【図4】流路ユニット内のインク流路を示す、インクジェットヘッド本体の断面図。
【図5】基準孔に位置決め棒を挿通する様子を示した斜視図。
【図6】位置ズレ確認孔の構成を示す拡大断面図。
【図7】位置ズレ確認孔の印字面側から見た様子を示す拡大図。
【符号の説明】
2 インクジェットヘッド
20 流路ユニット
21〜29 平板
71〜79 位置ズレ確認孔(円形孔)

Claims (5)

  1. 多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを形成するための部品であって、
    積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板と、前記複数枚の平板の外周部にそれぞれ配置され、前記複数枚の平板の前記積層接着後に切り離され除去される桟の部分とからなり、
    前記各桟の部分には、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、前記複数枚の平板を積層する際に位置決め棒が串刺し状に貫通される基準孔が二つずつ形成され、
    前記各平板には、前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いにその中心位置が一致し、且つ、板厚方向に貫通した位置ズレ確認用の円形孔が二つずつ形成され、さらに前記各平板の各位置ズレ確認用の円形孔は、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向け、その径が順次小さくなるように形成されていることを特徴とする、流路ユニットを形成するための部品。
  2. 請求項1に記載の部品であって、前記円形孔はエッチングで形成されていることを特徴とする、流路ユニットを形成するための部品
  3. 請求項1または請求項2に記載の部品であって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズルからインクを噴射する用紙の搬送方向に垂直な長手方向を有する細長い長方形とされていることを特徴とする、流路ユニットを形成するための部品。
  4. 多数の圧力室やノズルが形成された流路ユニットを含むインクジェットヘッドにおける、前記流路ユニットを製造する方法であって、
    積層接着されて前記流路ユニットを形成する複数枚の長方形状の平板の外周部に、桟の部分をそれぞれ形成するとともに、
    前記各桟の部分の、前記平板をその短辺方向において挟み、且つ、前記平板の長辺方向におけるほぼ中央の位置に、基準孔を二つずつ形成しておき、
    さらに、前記各平板の前記長辺方向における両端部近傍に、前記複数枚の平板を位置ズレが生じないように積層させた際に互いに中心位置が一致し、且つ、前記積層方向の一方の端に配置される平板から他方の端の平板に向けて、その径が順次小さくなるように、位置ズレ確認用の円形孔を二つずつ板厚方向に貫通状に形成しておき、
    前記基準孔に位置決め棒を串刺し状に貫通させて、前記複数枚の平板を積層接着し、
    前記積層接着後に、前記平板から前記桟の部分を切り離し除去して、前記複数枚の平板からなる流路ユニットを製造することを特徴とする、流路ユニットの製造方法。
  5. 請求項4に記載の製造方法であって、前記平板に、前記圧力室等のインク流路を形成すると同時に前記位置ズレ確認用の円形孔もエッチングにより形成することを特徴とする、流路ユニットの製造方法。
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