JP2010173135A - 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 - Google Patents

液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 Download PDF

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Abstract

【課題】擬似的に高い画素密度で印刷でき、駆動周波数を高くしなくともスループットを高くできる液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、液体吐出孔は、一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、液体吐出孔を一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、仮想直線上で間に1つの液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、仮想直線上で隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の(整数+1/2)倍である。
【選択図】図7

Description

本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを用いて画像を印刷する記録装置に関するものである。
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ELディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。
そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドおよびマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている(例えば、特許文献1を参照。)。この液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を変位させることで、各液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に600dpiの解像度で印刷が可能とされている。
特開2003−305852号公報
しかしながら、特許文献1に記載の液体吐出ヘッドは、主走査方向に600dpiかつ副走査方向に600dpi(以下で、A×Bdpiは主走査方向にAdpi、副走査方向にBdpiであることを表す)での印刷には適するものの、液体吐出孔が2次元に広がって配置されているため、副走査方向の解像度を低くして、印刷速度、すなわち記録媒体の相対的移動速度だけを速くしても、均質な画像は得られないという問題がある。
例えば図12(a)に示す液体吐出孔の配置を有する液体吐出ヘッドを用いた記録装置においては、図12(b)に示すように600×600dpiの画像が得られるが、単純に記録媒体の相対的移動速度だけを4倍にしても、吐出される液滴の着弾点は図11(c)のように均一な分布とはならないため、600×150dpiの画像とはならず、また600×300dpi相当の良好な画像ともならない。
これに対して液体吐出ヘッドを駆動する駆動信号の周波数を4倍にすることで対応することも考えられるが、液体吐出ヘッド内での液体を吐出する動作の時間間隔が短くなる場合があるので、その際の吐出動作のクロストークの影響が大きくなり、画像の精度が悪くなるおそれがあるとともに、液体吐出ヘッドの制御回路を高い周波数での制御が可能なものに変えなければならないなどの問題がある。
したがって、本発明の目的は、擬似的に高い画素密度で印刷でき、駆動周波数を高くしなくともスループットを高くできる液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することにある。
本発明の液体吐出ヘッドは、一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で間に1つの前記液体吐出孔を置いて隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることを特徴とするものである。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその一方側で隣り合う前記液体吐出孔との間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその他方側で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることを特徴とするものである。
本発明の記録装置は、前記のいずれかの液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して前記一方方向と直交する方向に速度V(m/s)で相対的に搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えることを特徴とするものである。
また、前記制御部が前記液体吐出ヘッドへ送る駆動信号の周波数がV/L(Hz)であることが好ましい。
さらに、L=2D、もしくは、L=4Dであることが好ましい。
本発明の液体吐出ヘッドは、一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で間に1つの前記液体吐出孔を置いて隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることにより、前記一方方向と垂直な方向に記録媒体を相対的に移動させながら、前記液体吐出孔から液滴を吐出させると、記録媒体上に着弾する液滴の位置が規則的にならび、良好な画像が得られる。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその一方側で隣り合う前記液体吐出孔との間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその他方側で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることにより、前記一方方向と垂直な方向に記録媒体を相対的に移動させながら、前記液体吐出孔から液滴を吐出させると、記録媒体上に着弾する液滴の位置が規則的にならび、良好な画像が得られる。
本発明の記録装置は、前記のいずれかの液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して前記一方方向と直交する方向に速度V(m/s)で相対的に搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えることにより、記録媒体上に着弾する液滴の位置が規則的にならび、良好な画像が得られる。
また、前記制御部が前記液体吐出ヘッドへ送る駆動信号の周波数がV/L(Hz)である場合、前記一方方向に平行な1本の直線上に配置された液体吐出孔を有する液体吐出ヘッドを同じ周波数で駆動するよりも高解像度の画像が得られる。
さらに、D=L/2である場合、着弾位置の間隔が擬似的に主走査方向にD(μm)であり、副走査方向にD(μm)である画像が得られる。
またさらに、D=L/4である場合、着弾位置の間隔が擬似的に主走査方向にD(μm)であり、副走査方向に2×D(μm)である画像が得られる。
本発明の一実施の形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。 図1の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体を示す平面図である。 図2の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図2の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図3のV−V線に沿った縦断面図である。 本発明の一実施の形態に係る液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置を示した模式図である。 (a)は図6に示した液体吐出孔の配置の模式図であり、(b)〜(d)は(a)の液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドから吐出されて、それぞれ600×600dpi、600×300dpi、600×300dpi相当で印刷された画素の模式図である。 (a)は他の本発明の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の模式図であり、(b)、(c)は(a)の液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドから吐出されて、それぞれ600×600dpi、600×600dpi相当で印刷された画素の模式図である。 (a)は他の本発明の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の模式図であり、(b)、(c)は(a)の液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドから吐出されて、それぞれ600×600dpi、600×600dpi相当で印刷された画素の模式図である。 (a)〜(d)は印刷された画素の大きさを示す模式図である。 (a)は従来の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の模式図であり、(b)〜(d)は(a)の液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドから吐出されて、それぞれ600×600dpi、600×300dpi、600×150dpiで印刷された画素の模式図である。 (a)は従来の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の模式図であり、(b)〜(d)は(a)の液体吐出孔の配置の液体吐出ヘッドから吐出されて、それぞれ600×600dpi、600×300dpi、600×300dpi相当で印刷された画素の模式図である。
図1は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1(以下、プリンタ1とする)は、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。
プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。
給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。
給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。
搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。
ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。
ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。
給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。
4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端にヘッド本体13を有している。ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔8が設けられている(図3参照)。
1つの液体吐出ヘッド2に設けられた液体吐出孔8からは、同じ色の液滴(インク)が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の液体吐出孔8は一方方向(印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向)に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。各液体吐出ヘッド2は、ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成するヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a〜122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。
なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示されたヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔8の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10(液体加圧室群9)、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図5は図3のV−V線に沿った縦断面図である。
ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット21とを有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる、
流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線(仮想線)のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している(分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある)。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体13の長手方向に延在している。
流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状(すなわち、2次元的かつ規則的)に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。
本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1〜E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。
全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm(150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である)以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。
圧電アクチュエータユニット21の上面における各液体加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。
流路部材4の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群7は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャ(しぼり)プレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体13は、図5に示されているように、液体加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の入り口)からサプライプレート25(詳細には副マニホールド5aの出口)までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。
第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ(部分流路)と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の出口)からノズルプレート31(詳細には液体吐出孔8)までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27〜30に形成されている。
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口(副マニホールド5aの出口)から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。
圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21全体の厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している(図3参照)。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる。
圧電アクチュエータユニット21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極34およびとAu系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35の一端は、液体加圧室10と対向する領域外に引き出されて接続電極36が形成されている。この接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、図示されていないFPC(Flexible Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極(不図示)が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、FPC上の別の電極と接続されている。
図5に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50(アクチュエータ)に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5〜7pL(ピコリットル)程度である。
多数の個別電極35は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがFPC上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
本実施形態における圧電アクチュエータユニット21においては、個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット21は、上側(つまり、液体加圧室10とは離れた側)の圧電セラミック層21bを、活性部を含む層とし、かつ下側(つまり、液体加圧室10に近い側)の圧電セラミック層21aを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは液体加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
本実施の形態における実際の駆動手順は、予め個別電極35を共通電極34より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、液体加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。このとき、液体加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から液体加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが液体加圧室10側へ凸となるように変形し、液体加圧室10の容積減少により液体加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室10内において圧力波がマニホールド5から液体吐出孔8まで伝播する時間長さであるAL(Acoustic Length)が理想的である。これによると、液体加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
また、階調印刷においては、液体吐出孔8から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量(体積)で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔8から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をALとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。
このようなプリンタ1では、印刷用紙Pの搬送速度および駆動信号に周期を調整することにより、解像度が長手方向に600dpi、搬送方向に600dpiの画像を記録することができる。例えば、駆動信号を周波数20kHzとし搬送速度を0.83m/秒とすれは、吐出した液滴を印刷用紙Pに搬送方向に約42μm毎に着弾させることができ、搬送方向の解像度は600dpiとなる。
ここで、以下の説明で使用する液体吐出孔の配置の詳細を表1に示す。表1には一方方向に距離D毎に配置され、16個毎(距離16D)に繰り返される液体体吐出孔配置を、一番端(各図では左端)の液体吐出孔である液体吐出孔No.1に対する一方方向に直交する方向の距離を、液体吐出孔No.1から順に表にしている。
Figure 2010173135
印刷のスループットを上げるためには、搬送速度を速くし、駆動振動の周波数を高くすれば良い。しかし、駆動振動の周波数をある程度より高くすると、1つの吐出が終わってから次の吐出までの時間が短くなるので、液体の残留振動が大きくなり、吐出特性が変動し良好な画像が記録できなるおそれがある。また、駆動振動の周波数を高くすると、クロストークの影響が大きくなるなどの問題や、制御回路100を高周波に対応できるものにしなければならないなどの問題が生じる。
そこで、搬送方向の解像度を低くすることにより、駆動周波数を高くしないで、印刷のスループットを上げることが考えられる。例えば、図11(a)に示すような液体吐出孔が一直線上に600dpiで配置された液体吐出ヘッドを用いているプリンタであれ、適切な駆動周波数と搬送速度で印刷を行なえば、図11(b)に示すような600×600dpiの画像が記録できる。そして、駆動周波数を変えずに搬送速度を2倍にすれば、図11(c)に示すような600×300dpiの画像が記録でき、搬送速度を4倍にすれば、図11(d)に示すような600×150dpiの画像が記録できる。
しかし、上述のような液体吐出孔が2次元的に分布しているプリンタでは、着弾位置が液体吐出孔の2次元的分布により制限されるため、単に搬送速度を速くしても良好な画像を得られるとは限らない。また、図11(a)に示すような液体吐出孔が一直線上に600dpiで配置された液体吐出ヘッドを用いているプリンタで印刷された、600×300dpiの画像、あるいは600×150dpiの画像は、画素が規則的な配置に着弾しているため、その点では良好な画像が得られるが、主走査方向と副走査方向で解像度が異なるため、その点では良好な画像ではない。特に600×150dpiでは、方向により画素の密度が大きく異なるため、人の目で見た場合の画質が良好とは言えなくなる。
図12(a)は、図12(b)に示すような600×600dpiの印刷が可能な液体吐出孔の一例である本発明の範囲外の液体吐出ヘッドにおける液体吐出孔の配置Eである。配置Eは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て液体吐出孔の一方方向に配置された距離D(m)の整数倍になっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度V(m)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向にD(m)の間隔の画素が印刷できる。このように印刷したのが、図12(b)に示す600×600dpiの画像である。
そして、配置Eは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て液体吐出孔の一方方向に配置された距離2D(m)の整数倍にもなっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度2V(m/s)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向に2D(m)の間隔の画素が印刷できる。このように搬送速度を2倍にして印刷したのが、図12(c)に示す600×300dpiの画像である。しかし、搬送速度を4倍にした場合は、図12(d)のように画素の分布の周期が大きくなり、人の目で見た場合の画質が良好とは言えなくなる。
本願の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の一例である配置Aを図6、図7(a)に示す。配置Aは、液体吐出孔が一方方向に平行な16行の直線上(仮想直線L1、L2のみを示す)に配置され、液体吐出孔の一方方向の間隔は距離D(m)の等間隔となっており、かつ液体吐出孔は一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線Lに直角に投影したとき、仮想直線L上で間に1つの液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が長さ4D(m)の整数倍となっており、仮想直線L上で隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が長さ4D(m)の(整数+1/2)倍となっている。
これは、配置Aは一方方向に平行な仮想直線Lに直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て液体吐出孔の一方方向に配置された距離D(m)の整数倍になっているということでもある。
これは具体的には次のような配置であるということである。図6の左から3番目の液体吐出孔No.3の液体吐出孔を中心に考えると、左側に1つの液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔No.1との一方方向に直交する方向の距離は72D(表1より72D−0D)であるので、4Dの整数倍となっており、右側に1つの液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔No.5との一方方向に直交する方向の距離は12D(表1より72D−60D)であるので、4Dの整数倍となっており、左隣の液体吐出孔No.2との一方方向に直交する方向の距離は70D(表1より142D−70D)であるので、4Dの(整数+1/2)倍となっており、右隣の液体吐出孔No.4との一方方向に直交する方向の距離は142D(表1より214D−72D)であるので、4Dの(整数+1/2)倍となっている。
このような配置の場合、印刷用紙を速度V(m)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向にD(m)の間隔の画素が印刷できる。このように印刷したのが、図7(b)に示す600×600dpiの画像である。
また、配置Aは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て2D(m)の整数倍にもなっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度2V(m/s)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向に2D(m)の間隔の画素が印刷できる。このように搬送速度を2倍にして印刷したのが、図7(c)に示す600×300dpiの画像である。
またさらに、配置Aは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、仮想直線上で間に1つ記液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が4D(m)の整数倍となっており、仮想直線L上で隣り合う前記液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が4D(m)の(整数+1/2)倍となっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度4V(m/s)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、図7(d)に示すような、一方方向に擬似的にD(m)、一方方向に直交する方向に擬似的に2D(m)の間隔の画素が印刷できる。これは、液体吐出孔が2次元的に配置されているための、一方方向に直交する方向の着弾位置のずれが、着弾位置において隣接する4つの画素の中央に着弾する量と同じになっているためである。このようにすることにより、駆動周波数を上げずに4倍のスループットが得られるとともに、得られる画像は、一方方向とそれに直交する方向との差が少ない、擬似的な600×300dpiの画像となり、人の目に良好に見える画像が得られる。
この場合画像データは元の画像の600×600dpiのデータの該当位置のデータを使用すればよい。また元画像が300×300dpiであれば、元データにない位置については、隣接する画像データから算術平均などによって計算しても良い。また、この場合の着弾後の画素の配置は図10(c)(d)に示したようになる。なお、格子は600×600dpiである。画素の大きさを600×600dpiの場合と同じにすると画素が形成されない部分が増えるため、印刷する画素の最大直径を、600×600dpi印刷時の画素の最大直径の2倍、すなわち300×300dpiの1つの格子に内接する画素の大きさにするのが好ましい。
なお、上述の関係は一般的に、仮想直線L上で間に1つの液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍となっており、仮想直線L上で隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の(整数+1/2)倍となっている液体吐出孔の配置では、搬送速度V(m/sとし、周波数がV/L(Hz)の駆動信号で駆動すれは、擬似的に一方方向の画素の間隔がD(m)、一方方向に直交する方向の画素の間隔がL/2(m)の画像が得られる。
表1に示した配置Bも配置Aと同様の特徴を持ち、同様の効果の得られる配置である。
本願の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の一例である配置Cを図8(a)に示す。配置Cは、液体吐出孔が一方方向に平行な16行の直線上(仮想直線L1のみを示す)に配置され、液体吐出孔の一方方向の間隔は距離D(m)の等間隔となっており、かつ液体吐出孔は一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、仮想直線上で間に1つ記液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の整数倍となっており、仮想直線L上で隣り合う前記液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の(整数+1/2)倍となっている。
これは、配置Cは一方方向に平行な仮想直線Lに直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て液体吐出孔の一方方向に配置された距離D(m)の整数倍になっているということでもある。このような配置の場合、印刷用紙を速度V(m)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向にD(m)の間隔の画素が印刷できる。このように印刷したのが、図8(b)に示す600×600dpiの画像である。
また、配置Cは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、仮想直線上で間に1つ記液体吐出孔を置いて隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の整数倍となっており、仮想直線上で隣り合う前記液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の(整数+1/2)倍となっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度2V(m/s)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、図8(c)に示すような、一方方向に擬似的にD(m)、一方方向に直交する方向に擬似的にD(m)の間隔の画素が印刷できる。これは、液体吐出孔が2次元的に配置されているための、一方方向に直交する方向の着弾位置のずれが、着弾位置において隣接する4つの画素の中央に着弾する量と同じになっているためである。このようにすることにより、駆動周波数を上げずに2倍のスループットが得られるとともに、得られる画像は、一方方向とそれに直交する方向の画素配置が同じで、擬似的な600×600dpiの画像となり、人の目に良好に見える画像が得られる。
この場合画像データは元の画像の600×600dpiのデータの該当位置のデータを使用すればよい。また元画像が300×300dpiであれば、元データにない位置については、隣接する画像データから算術平均などによって計算しても良い。また、この場合の着弾後の画素の配置は図10(a)(b)に示したようになる。なお、格子は600×600dpiである。画素の大きさを600×600dpiの場合と同じにすると画素が形成されない部分が増えるため、印刷する画素の最大直径を、600×600dpi印刷時の画素の最大直径の2の平方根倍、すなわち450×450dpiの1つの格子に内接する画素の大きさにするのが好ましい。
本願の液体吐出ヘッドの液体吐出孔の配置の一例である配置Dを図9(a)に示す。配置Dは、液体吐出孔が一方方向に平行な16行の直線上(仮想直線L1のみを示す)に配置され、液体吐出孔の一方方向の間隔は距離D(m)の等間隔となっており、かつ液体吐出孔は一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、仮想直線上で1つの液体吐出孔とその一方側で隣り合う液体吐出孔との間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の整数倍であり、仮想直線上でその1つの液体吐出孔とその他方側で隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の(整数+1/2)倍となっている。
これは具体的には次のような配置であるということである。図9(a)の左から2番目の液体吐出孔No.2の液体吐出孔を中心に考えると、左隣の液体吐出孔No.1との一方方向に直交する方向の距離は142Dであるので、2Dの整数倍となっており、右隣の液体吐出孔No.3との一方方向に直交する方向の距離は71D(表1より142D−71D)であるので、2Dの(整数+1/2)倍となっているということである。言い換えれば、仮想直線状で隣接する液体吐出孔間の一方方向に直交する方向の距離は、2Dの整数倍の値と、2Dの(整数+1/2)倍の値とを交互にとるということである。
これは、配置Dは一方方向に平行な仮想直線Lに直角に液体吐出孔を投影した場合、隣接する液体吐出孔の一方方向に直交する方向の距離は全て液体吐出孔の一方方向に配置された距離D(m)の整数倍になっているということでもある。このような配置の場合、印刷用紙を速度V(m)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、一方方向にD(m)、一方方向に直交する方向にD(m)の間隔の画素が印刷できる。このように印刷したのが、図9(b)に示す600×600dpiの画像である。
また、配置Dは一方方向に平行な仮想直線に直角に液体吐出孔を投影した場合、仮想直線上で1つの液体吐出孔とその一方側で隣り合う液体吐出孔との間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の整数倍であり、仮想直線上でその1つの液体吐出孔とその他方側で隣り合う液体吐出孔の間の一方方向に直交する方向の距離が2D(m)の(整数+1/2)倍となっている。このような配置の場合、印刷用紙を速度2V(m/s)で移動させ、印刷ヘッドに周波数V/D(Hz)の駆動信号を与えると、図9(c)に示すような、一方方向に擬似的にD(m)、一方方向に直交する方向に擬似的にD(m)の間隔の画素が印刷できる。これは、液体吐出孔が2次元的に配置されているための、一方方向に直交する方向の着弾位置のずれが、着弾位置において隣接する画素に対して規則的な配置に着弾する量と同じになっているためである。このようにすることにより、駆動周波数を上げずに2倍のスループットが得られるとともに、得られる画像は、一方方向とそれに直交する方向の画素配置が規則的で近く、擬似的な600×600dpiの画像となり、人の目に良好に見える画像が得られる。
この場合画像データは元の画像の600×600dpiのデータの該当位置のデータを使用すればよい。また元画像が300×300dpiであれば、元データにない位置については、隣接する画像データから算術平均などによって計算しても良い。
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、液体吐出孔の列の数は4以上であれば、いくつでもかまわない。
なお、液体吐出孔の列の数を4以上とするのは、クロストークを抑制するために、仮想直線上に垂直に投影した場合に隣接する液体吐出孔から同時に吐出しないようにするためには列の数が4以上必要だからである。
以上のような液体吐出ヘッド2は、例えば、以下のようにして作製する。
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層21a、21bとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極34となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極25を印刷して、焼成した後、Agペーストを用いて接続電極36を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータユニット21を作製する。
次に、流路部材4を、圧延法等により得られプレート22〜31を積層して作製する。プレート22〜31に、マニホールド5、個別供給流路6、液体加圧室10およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
これらプレート22〜31は、Fe―Cr系、Fe−Ni系、WC−TiC系の群から選ばれる少なくとも1種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Fe−Cr系がより好ましい。
圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット21や流路部材4への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が100〜150℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータユニット21と流路部材4とを加熱接合し、液体吐出ヘッド2を得ることができる。
1・・・プリンタ
2・・・液体吐出ヘッド
4・・・流路部材
5・・・マニホールド
5a・・・副マニホールド
5b・・・開口
6・・・個別供給流路
8・・・液体吐出孔
9・・・液体加圧室群
10・・・液体加圧室
11a、b、c、d・・・液体加圧室列
12・・・しぼり
15a、b、c、d・・・液体吐出孔列
21・・・圧電アクチュエータユニット
21a・・・圧電セラミック層(振動板)
21b・・・圧電セラミック層
22〜31・・・プレート
32・・・個別流路
34・・・共通電極
35・・・個別電極
36・・・接続電極
50・・・変位素子

Claims (6)

  1. 一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で間に1つの前記液体吐出孔を置いて隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 一方方向に平行なn行(nは4以上の整数)の直線上に位置する複数の液体吐出孔を備えた液体吐出ヘッドであって、前記液体吐出孔は、前記一方方向に距離D(m)の等間隔で、かつ前記一方方向に直交する方向に重ならないように配置されるとともに、前記液体吐出孔を前記一方方向に平行な仮想直線に直角に投影したとき、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその一方側で隣り合う前記液体吐出孔との間の前記一方方向に直交する方向の距離が所定長さL(m)の整数倍であり、前記仮想直線上で前記液体吐出孔とその他方側で隣り合う前記液体吐出孔の間の前記一方方向に直交する方向の距離が前記所定長さL(m)の(整数+1/2)倍であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  3. 請求項1または2記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して前記一方方向と直交する方向に速度V(m/s)で相対的に搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えることを特徴とする記録装置。
  4. 前記制御部が前記液体吐出ヘッドへ送る駆動信号の周波数がV/L(Hz)であることを特徴とする請求項5記載の記録装置。
  5. D=L/2であることを特徴とする請求項4記載の記録装置。
  6. D=L/4であることを特徴とする請求項4記載の記録装置。
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