JPH06230749A - 液晶ディスプレイ - Google Patents

液晶ディスプレイ

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Publication number
JPH06230749A
JPH06230749A JP1909293A JP1909293A JPH06230749A JP H06230749 A JPH06230749 A JP H06230749A JP 1909293 A JP1909293 A JP 1909293A JP 1909293 A JP1909293 A JP 1909293A JP H06230749 A JPH06230749 A JP H06230749A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
wiring
tft
thin film
film transistor
Prior art date
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Pending
Application number
JP1909293A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Mori
祐二 森
Yoshiaki Mikami
佳朗 三上
Kazuhiro Kuwabara
和広 桑原
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G T C KK
GTC KK
Original Assignee
G T C KK
GTC KK
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Publication date
Application filed by G T C KK, GTC KK filed Critical G T C KK
Priority to JP1909293A priority Critical patent/JPH06230749A/ja
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  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 画面部を構成するTFTを簡便に検査できる
回路内蔵型のLCDの提供。 【構成】 ガラス基板10上に、画面部11を構成する
マトリクス状に配列された薄膜トランジスタ14と、上
記画面部11に周囲に形成され、該薄膜トランジスタ1
4を駆動する走査側駆動回路12および信号側駆動回路
13を構成する薄膜トランジスタ回路と、上記薄膜トラ
ンジスタ14と走査側駆動回路12とを接続するゲート
配線17と、上記薄膜トランジスタ14と信号側駆動回
路13とを接続するドレイン配線18を有する液晶ディ
スプレイにおいて、画面部11と走査側駆動回路12と
の間の各ゲート配線17にこのゲート配線17より幅広
の検査用パッド20を設け、かつ画面部11と信号側駆
動回路13の間の各ドレイン配線18にこのドレイン配
線18より幅広の検査用パッド21を設けた液晶ディス
プレイ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、同一基板上に画面部及
び周囲部の薄膜トランジスタを形成した液晶ディスプレ
イにおいて、周囲部の薄膜トランジスタを用いて画面部
の薄膜トランジスタ等のアクイィブ素子を駆動させる液
晶ディスプレイに関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜トランジスタを用いた液晶ディスプ
レイ(以下、TFT−LCDと略記する。)において
は、薄膜トランジスタ(以下、TFTと略記する。)を
組み合わせた駆動回路を画面部を構成するTFTの周囲
に形成することによって、画面部を構成するTFTを駆
動させる回路内蔵型の液晶ディスプレイ(以下、LCD
と略記する。)となる。回路内蔵型のLCDは、画面部
の周囲にIC回路を実装する必要が無く、LCDの小型
軽量化が実現できる。回路内蔵型のLCDの従来例とし
ては、特開昭63−37394号公報記載ものなどがあ
る。
【0003】TFT−LCDは、高画質表示が可能なこ
とから各種用途への適用が考えられているものの、価格
が非常に高いことからその普及が阻まれている。TFT
−LCDのコスト高については、TFTの欠陥による不
良の発生が一つの要因と考えられている。このため、近
年では欠陥の修正を行うことによってTFT−LCDの
不良率を下げ、コストダウンを図るといった技術開発が
盛になされている。
【0004】TFTの欠陥を修正するためには、欠陥T
FTの検出が重要である。TFTに関する検査技術の従
来例としては、エス・アイ・ディー 91 ダイジェス
ト(1991年)(SID 91 Digest)の第
682頁から第685頁において説明されている様な技
術や、電子材料1992年2月号第72頁から第75頁
において説明されている技術がある。これらのTFTに
関する検査技術は、画面部のみTFTを用いている型の
TFT−LCDを主な対象にしたもので、画面部を構成
するTFTのマトリクスからでているゲート配線あるい
はドレイン配線の端子部にTFT評価用の回路をプロー
ブピンなどで直接接続するといった検査法を用いるもの
である。従って、このような検査法を用いるためには、
ゲート配線あるいはドレイン配線の端子部は基板の最外
周に出ている必要があるのである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、回路内蔵型
のLCDには、上述したように画面部を構成するTFT
とこれの周囲に形成されたTFTからなる駆動用回路が
あるが、この2種類のTFTの中では、特に画面部を構
成するTFTの方が、その数が非常に多いために欠陥の
発生する確率も高くなっている。このため、回路内蔵型
のLCDにおいても画面部を構成するTFTの検査を行
う必要がある。
【0006】ところが、従来の回路内蔵型のLCDでは
画面部を構成するTFTのマトリクスからでているゲー
ト配線の延長上あるいはドレイン配線の延長上に駆動用
回路が形成されるため、プローブピンを用いて接続する
ことのできる基板の最外周に出ている端子部は、駆動用
回路から延びている配線となる。従って、このような回
路内蔵型のLCDにあっては、プローブピンをゲート配
線あるいはドレイン配線に直接接続しようとしても、ゲ
ート配線およびドレイン配線の線幅が5〜10μmと非
常に狭く、駆動用回路までほぼ同一の線幅であるためこ
れら配線にプローブピンを確実に接続することが非常に
困難となり、事実上、プローブピンをゲート配線あるい
はドレイン配線に直接接続することができないものとな
っている。よって、このような事情から画面部の周囲に
駆動用回路が形成されている回路内蔵型のLCDでは、
画面部を構成するTFTの検査を行うことが非常に困難
となっている。
【0007】本発明の目的は、画面部を構成するTFT
を簡便に検査できる回路内蔵型のLCDを提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のLCD
は、ガラス基板上に、画面部を構成するマトリクス状に
配列されたTFTと、前記画面部の周囲に形成され、該
TFTを駆動させる駆動回路を構成するTFT回路と、
上記TFTと上記TFT回路とを接続する配線部を有す
るLCDにおいて、上記配線部に該配線部より幅広の検
査用パッドを設けたことを特徴とする。
【0009】請求項2記載のLCDは、ガラス基板上
に、画面部を構成するマトリクス状に配列されたTFT
と、前記画面部の周囲に形成され、該TFTを駆動させ
る駆動回路を構成するTFT回路と、前記TFTと前記
TFT回路とを接続する配線部を有するLCDにおい
て、上記配線部より配線を分岐させた分岐配線を設け、
これら分岐配線を上記TFT回路を乗り越えさせ、かつ
これら分岐配線相互を上記ガラス基板の外周部において
短絡させたことを特徴とする。
【0010】請求項3記載のLCDは、上記請求項2記
載のLCDにおいて、分岐配線を短絡させてなる短絡部
とTFT回路との間にガラス基板の切断線を設けたこと
を特徴とする。
【0011】
【作用】請求項1記載のLCDにあっては、画面部を構
成するTFTとこれの周囲に形成されたTFT回路との
間の配線部に検査用パッドを設けたことにより、この検
査用パッドが設けられている部分の配線部の線幅が広く
なり、よって該配線部に検査用のプローブピンを直接接
続することが可能となる。
【0012】また、請求項2記載のLCDにあっては、
画面部を構成するTFTとこれの周囲に形成されたTF
T回路との間の配線部より配線を分岐させた分岐配線を
設け、これら分岐配線を上記TFT回路の外側で短絡さ
せたことにより、ガラス基板の外周部の近傍までTFT
のマトリックスから出ている配線が延びたものとなり、
従って、該配線に検査用のプローブピンを直接接続する
ことが可能となる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の液晶ディスプレイの第一の実
施例を説明する。図1は実施例の回路内蔵型のLCDに
用いられるTFT基板の全体構成図であり、図2はゲー
ト線及びドレイン線に検査用パッドを設けた詳細図であ
る。
【0014】まず、図1を用いてTFT基板の全体構成
を説明する。図1において符号10はTFT基板であ
り、このTFT基板10は厚さ1.1mm程度の薄いガラ
スからなっている。TFT基板10上には、半導体プロ
セスによりTFTが形成されている。TFTは、実際に
表示を行う画面部11を構成するTFT14と、このT
FT14を駆動させるための走査側駆動回路12と信号
側駆動回路13とを構成するTFTに区分される。走査
側駆動回路12と信号側駆動回路13とは、画面部11
の周囲に形成されている。
【0015】TFT−LCDにおいて画面部11のTF
T14は、画素15を介して対向基板(図示略)の対向
電極16に電気的につながっている。ただし、TFT1
4を検査する時点においては、TFT14は上記対向基
板と組み合わされた状態にはなっていない。なお、図1
においては1つのTFT14のみしか示していないが、
実際のTFT−LCDにおいては、多数のTFT14が
マトリクス状に配列している。例えば、パーソナルコン
ピュータ用のTFT−LCDの場合は、1列640個の
TFTが、480列並んでいる。
【0016】上記TFT14は、図2に示すように酸化
スズ、インジウム酸化スズ等の透明な導電材料で形成さ
れた画素電極15aと電気的に接続されて該画素電極1
5aに印加するためもので、ゲート14a、ドレイン1
4b及びソース14cの各要素から構成されたものであ
る。ゲート14aはゲート配線17に接続され、ドレイ
ン14bはドレイン配線18と接続されている。また、
ソース14cは上記画素電極15aと接続されている。
【0017】上記ゲート配線17は走査側駆動回路12
に接続されたものであり、また、ドレイン配線18は信
号側駆動回路13に接続されたものである。ゲート配線
17およびドレイン配線18の線幅は5〜10μm程度
とされる。例えば、パーソナルコンピュータ用のTFT
−LCDの場合では、ゲート配線17は480列のTF
T列からそれぞれ1本ずつでている。また、ドレイン配
線18は1列640個のTFTより1本ずつでており、
列方向の480個のTFTのドレインが接続されてい
る。
【0018】上記走査側駆動回路12あるいは信号側駆
動回路13の構成については、特開昭63−37394
号等に示されている技術を用いることができる。これら
走査側駆動回路12と信号側駆動回路13からは外部の
信号源と接続される入力端子19がでている。
【0019】ところで、従来の回路内蔵型のLCDにお
いては、図1に見られるように入力端子19と画面部1
1との間に上記走査側駆動回路12と信号側駆動回路1
3があるため、入力端子19より電気的に各TFT14
を直接検査することは困難であった。
【0020】一方、この第一の実施例では、画面部11
と走査側駆動回路12との間の各ゲート配線17に検査
用パッド20が設けられ、かつ、画面部11と信号側駆
動回路13の間の各ドレイン配線18に検査用パッド2
1が設けられている。これら検査用パッド20,21の
大きさは、隣接する配線等と短絡する恐れが無い程度と
される。例えば、対角25cm程度のパーソナルコンピュ
ータ用TFT−LCDの場合、ゲート配線17上の検査
用パッド20の大きさは、100μm角程度、ドレイン
配線18上の検査用パッド21の大きさは、80μm角
程度となる。
【0021】このような回路内蔵型のLCDにあって
は、検査用パッド20,21が設けられていることか
ら、これら検査用パッド20,21に検査用のプローブ
ピンを直接接続することによって該プローブピンとゲー
ト配線17あるいはドレイン配線18との接続も確実に
行うことができる。従って、検査用パッド20,21に
検査装置のプローブピンを直接接続させることによっ
て、画面部11のTFT14・・・の検査を容易に行うこ
とができる。
【0022】つぎに、本発明の液晶ディスプレイの第二
の実施例について、図3を用いて説明する。図3に示し
た第二の実施例が、図1に示した第一の実施例と異なる
ところは、第一の実施例が、画面部11と走査側駆動回
路12との間にある各ゲート配線17に検査用パッド2
0を設け、かつ、画面部11と信号側駆動回路13の間
にある各ドレイン配線18に検査用パッド21を設けた
のに対し、検査用パッド20,21を設けることなく、
画面部11と走査側駆動回路12との間にある各ゲート
配線17から分岐させた分岐配線35を設け、かつ、画
面部11と信号側駆動回路13の間にある各ドレイン配
線18より分岐させた分岐配線37を設けた点である。
【0023】各ゲート配線17より出た分岐配線35
は、走査側駆動回路12を越えてTFT基板10の外周
部近傍まで延び、外周部で短絡部35aに接続すること
によって相互に短絡している。
【0024】また、各ドレイン配線18より出た分岐配
線37は、信号側駆動回路13を越えて、TFT基板1
0の外周部近傍まで延び、外周部で短絡部37aに接続
することによって相互に短絡している。
【0025】これらの分岐配線35及び37が設けられ
ているTFT基板10上には、各分岐配線35を相互に
短絡している短絡部35aと走査側駆動回路12との間
と、各分岐配線37を相互に短絡している短絡部37a
と信号側駆動回路13との間とを通るスクライブ線(切
断線)38が引かれている。
【0026】このような回路内蔵型のLCDにあって
は、TFT基板10の外周部近傍まで分岐配線35及び
37が延びているので、実質的にゲート配線17および
ドレイン配線18が外周部近傍まで延びたものとなり、
ゲート配線17あるいはドレイン配線18と検査用のプ
ローブピンとを直接接続することができる。従って、分
岐配線35および37に検査装置のプローブピンを直接
接続することによって、画面部11の各TFT14の検
査を容易に行うことができる。また、画面部11を構成
する各TFT14の検査の終了後、TFT基板10をス
クライブ線38に沿って切り離すことによって、TFT
−LCDの駆動に分岐配線35および37の影響が出る
ことを防ぐことができる。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載のLC
Dは、画面部を構成するTFTとこれの周囲に形成され
たTFT回路との間の配線部に該配線部より幅広の検査
用パッドを設けたものであるから、この検査用パッドが
設けられている部分の配線部の線幅が広くなり、よって
該配線部に検査用のプローブピンを直接接続することが
できるとともにこの接続も確実に行うことができ、従っ
て画面部を構成するTFTを簡便に検査することができ
る。
【0028】また、請求項2記載のLCDは、配線部よ
り配線を分岐させた分岐配線を設け、これら分岐配線を
上記薄膜トランジスタ回路を乗り越えさせ、かつこれら
分岐配線相互を上記ガラス基板の外周部において短絡さ
せたものであるから、ガラス基板の外周部の近傍までT
FTのマトリックスからでている配線が延びたものとな
り、従って該配線に検査用のプローブピンを直接接続す
ることができ、これにより画面部を構成するTFTを簡
便に検査することができる。
【0029】また、請求項3記載のLCDは、短絡部と
TFT回路との間にガラス基板の切断線を設けたもので
あるから、短絡部を用いて画面部を構成するTFTを検
査した後、ガラス基板を切断線に沿って切り離すことに
よって、TFT−LCDの駆動に分岐配線の影響が出る
ことを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第一の実施例の回路内蔵型のLCDに用いら
れるTFT基板の全体構成図である。
【図2】 第一の実施例の回路内蔵型のLCDのゲート
配線及びドレイン配線に検査用パッドを設けた詳細図で
ある。
【図3】 第二の実施例の回路内蔵型のLCDに用いら
れるTFT基板の全体構成図である
【符号の説明】
10…TFT基板,11…画面部,12…走査側駆動回
路,13…信号側駆動回路,14…TFT,15…画
素,15a・・・画素電極,16…対向電極,17…ゲー
ト配線,18…ドレイン配線,19…入力端子,20…
検査用パッド,321・・・検査用パッド,35…分岐配
線,35a・・・短絡部,37…分岐配線,37a・・・短絡
部,38…スクライブ線。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス基板上に、画面部を構成するマト
    リクス状に配列された薄膜トランジスタと、前記画面部
    の周囲に形成され、該薄膜トランジスタを駆動させる駆
    動回路を構成する薄膜トランジスタ回路と、前記薄膜ト
    ランジスタと前記薄膜トランジスタ回路とを接続する配
    線部を有する液晶ディスプレイにおいて、 前記配線部に該配線部より幅広の検査用パッドを設けた
    ことを特徴とする液晶ディスプレイ。
  2. 【請求項2】 ガラス基板上に、画面部を構成するマト
    リクス状に配列された薄膜トランジスタと、前記画面部
    の周囲に形成され、該薄膜トランジスタを駆動させる駆
    動回路を構成する薄膜トランジスタ回路と、前記薄膜ト
    ランジスタと前記薄膜トランジスタ回路とを接続する配
    線部を有する液晶ディスプレイにおいて、 前記配線部より配線を分岐させた分岐配線を設け、これ
    ら分岐配線を前記薄膜トランジスタ回路を乗り越えさ
    せ、かつこれら分岐配線相互を前記ガラス基板の外周部
    において短絡させたことを特徴とする液晶ディスプレ
    イ。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の液晶ディスプレイにおい
    て、分岐配線を短絡させてなる短絡部と薄膜トランジス
    タ回路との間にガラス基板の切断線を設けたことを特徴
    とする液晶ディスプレイ。
JP1909293A 1993-02-05 1993-02-05 液晶ディスプレイ Pending JPH06230749A (ja)

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US6469441B1 (en) 1999-06-29 2002-10-22 Lg Electronics Inc. Plasma display panel having a metallic electrode with a wider end portion
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Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970701