JPH06226641A - 平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片 - Google Patents
平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片Info
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- JPH06226641A JPH06226641A JP4210493A JP4210493A JPH06226641A JP H06226641 A JPH06226641 A JP H06226641A JP 4210493 A JP4210493 A JP 4210493A JP 4210493 A JP4210493 A JP 4210493A JP H06226641 A JPH06226641 A JP H06226641A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止及び
研磨能率の維持がはかれる板状被研磨体の平面研磨に好
適な平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片
を提供する。 【構成】 円形ラッピング定盤に同一の形状、面積及び
厚さをもつ複数個の平面形状扇形固形砥石片を、その各
砥石面が同一平面を構成する円盤状物を形作るとともに
該円盤状物の中心から外周縁に向かう放射状流路を各砥
石片両側縁間に形成するように、間隔をおいて配置し固
定してなるラッピング円盤を備えた平面研磨装置におい
て、前記複数個の平面形状扇形固形砥石片が、それぞれ
砥石底部に一側縁から他側縁に向かって延びる隧道有し
ている。
研磨能率の維持がはかれる板状被研磨体の平面研磨に好
適な平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片
を提供する。 【構成】 円形ラッピング定盤に同一の形状、面積及び
厚さをもつ複数個の平面形状扇形固形砥石片を、その各
砥石面が同一平面を構成する円盤状物を形作るとともに
該円盤状物の中心から外周縁に向かう放射状流路を各砥
石片両側縁間に形成するように、間隔をおいて配置し固
定してなるラッピング円盤を備えた平面研磨装置におい
て、前記複数個の平面形状扇形固形砥石片が、それぞれ
砥石底部に一側縁から他側縁に向かって延びる隧道有し
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属、ガラス、プラス
チックス等からなる板状被研磨体の板面に固形砥石が固
定されたラッピング円盤を圧着して回転させ研削液を供
給しつつ研磨を行う平面研磨装置及び該砥石に関し、被
研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止及び研磨能率の維
持がはかれる新規平面研磨装置を提供するものである。
チックス等からなる板状被研磨体の板面に固形砥石が固
定されたラッピング円盤を圧着して回転させ研削液を供
給しつつ研磨を行う平面研磨装置及び該砥石に関し、被
研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止及び研磨能率の維
持がはかれる新規平面研磨装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、固形砥石が固定されたラッ
ピング円盤を備えた平面研磨装置は古くから汎用されて
おり、種々様々な形式のものが実用されているが、大別
すると、円形ラッピング定盤に該定盤の面積とほぼ等し
い面積をもつ固形砥石が固定されているラッピング円盤
を備えた平面研磨装置と円形ラッピング定盤に複数個の
固形砥石片が固定されているラッピング円盤を備えた平
面研磨装置とに分類できる。
ピング円盤を備えた平面研磨装置は古くから汎用されて
おり、種々様々な形式のものが実用されているが、大別
すると、円形ラッピング定盤に該定盤の面積とほぼ等し
い面積をもつ固形砥石が固定されているラッピング円盤
を備えた平面研磨装置と円形ラッピング定盤に複数個の
固形砥石片が固定されているラッピング円盤を備えた平
面研磨装置とに分類できる。
【０００３】そして、後者に属するものの中に、円形ラ
ッピング定盤に同一の形状、面積及び厚さをもつ複数個
（通常、１０〜２０固程度）の平面形状が扇形の固形砥
石片を、その砥石面が同一平面を構成する円板状物を形
作るとともに該円板状の中心から外周縁に向かう放射状
流路を隣接する各砥石片の両側間に形成するように、間
隔をおいて配置し固定してなるラッピング円盤を備えた
平面研磨装置が実用されていることも知られている。こ
の形式の平面研磨装置にあっては、研磨時に供給される
研削液並びに研磨屑や脱落砥粒がラッピング円盤の回転
によって生じる遠心力によって前記放射状流路を通じて
スムーズに外部に排出できるという利点や同一形状と同
一厚さをもつ一種類の固形砥石を予備品として用意して
おけば良いという利点があることもよく知られている。
ッピング定盤に同一の形状、面積及び厚さをもつ複数個
（通常、１０〜２０固程度）の平面形状が扇形の固形砥
石片を、その砥石面が同一平面を構成する円板状物を形
作るとともに該円板状の中心から外周縁に向かう放射状
流路を隣接する各砥石片の両側間に形成するように、間
隔をおいて配置し固定してなるラッピング円盤を備えた
平面研磨装置が実用されていることも知られている。こ
の形式の平面研磨装置にあっては、研磨時に供給される
研削液並びに研磨屑や脱落砥粒がラッピング円盤の回転
によって生じる遠心力によって前記放射状流路を通じて
スムーズに外部に排出できるという利点や同一形状と同
一厚さをもつ一種類の固形砥石を予備品として用意して
おけば良いという利点があることもよく知られている。
【０００４】なお、前記平面形状扇形固形砥石を円形ラ
ッピング定盤に固定するに当たっては、一般に、該固形
砥石片の裏面に当該固形砥石片の平面形状と同一形状の
取付板片を固着し、この取付板片をボルト等を用いて着
脱自在に円形ラッピング定盤に固定するという手段が取
られており、これは破損した砥石片の交換を容易にする
ためである。
ッピング定盤に固定するに当たっては、一般に、該固形
砥石片の裏面に当該固形砥石片の平面形状と同一形状の
取付板片を固着し、この取付板片をボルト等を用いて着
脱自在に円形ラッピング定盤に固定するという手段が取
られており、これは破損した砥石片の交換を容易にする
ためである。
【０００５】従来、前記形式の平面研磨装置に使用され
ている平面形状扇形固形砥石片の砥石面に溝を設けるこ
とによって、研削液等の外部への排出をよりスムーズな
ものにしようとする試みがなされている。例えば、「雑
誌・機械設計・１９８４年１１月臨時増刊号・Ｐ５７〜
６０・日刊工業新聞社」に各種のウエハ研磨装置が紹介
されており、その「第６０頁の写真２」には、前記形式
の平面研磨装置に使用されている平面形状扇形固形砥石
片の砥石面に該砥石片の一側縁から他側縁に延びる斜溝
を設けたものが示されており、また、特公平３−７３４
２５号公報の第１図及び第２図には、前記形式の平面研
磨装置に使用されている平面形状扇形固形砥石片の砥石
面に該砥石片の一側縁から他側縁に延びて当該砥石片を
斜めに上（円板状物の中心方向）下（円板状物の外周縁
方向）二分割している砥石裏面に開口する、砥石表面か
らラッピング定盤へ垂直な、斜溝を設けたものが開示さ
れている。
ている平面形状扇形固形砥石片の砥石面に溝を設けるこ
とによって、研削液等の外部への排出をよりスムーズな
ものにしようとする試みがなされている。例えば、「雑
誌・機械設計・１９８４年１１月臨時増刊号・Ｐ５７〜
６０・日刊工業新聞社」に各種のウエハ研磨装置が紹介
されており、その「第６０頁の写真２」には、前記形式
の平面研磨装置に使用されている平面形状扇形固形砥石
片の砥石面に該砥石片の一側縁から他側縁に延びる斜溝
を設けたものが示されており、また、特公平３−７３４
２５号公報の第１図及び第２図には、前記形式の平面研
磨装置に使用されている平面形状扇形固形砥石片の砥石
面に該砥石片の一側縁から他側縁に延びて当該砥石片を
斜めに上（円板状物の中心方向）下（円板状物の外周縁
方向）二分割している砥石裏面に開口する、砥石表面か
らラッピング定盤へ垂直な、斜溝を設けたものが開示さ
れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、永年にわ
たって、前記形式の平面研磨装置に使用されている平面
形状扇形固形砥石片の砥石面に設ける溝の位置や形状と
研削液等の外部への排出作用との関係について系統的な
研究を行っているが、その途上において、前掲従来の斜
溝には次の通りの問題点が内在していることを知った。
たって、前記形式の平面研磨装置に使用されている平面
形状扇形固形砥石片の砥石面に設ける溝の位置や形状と
研削液等の外部への排出作用との関係について系統的な
研究を行っているが、その途上において、前掲従来の斜
溝には次の通りの問題点が内在していることを知った。
【０００７】即ち、図５は、前記形式の平面研磨装置の
ラッピング円盤の代表的な従来例を示す斜視図である。
図５に示すラッピング円盤１を用いて研磨を行った場合
には、研磨中に生じた研磨屑や脱落砥粒が斜溝６、６
１、６２…内に落ち、ラッピング円盤１の回転により生
じる遠心力によって一側縁３ｂ、３１ｂ…から他側縁３
ａ、３１ａ…に向かって移動して各砥石片３、３１、３
２…間の放射状流路５、５１、５２…に入って該流路を
通り外部へ排出される。しかし、放射状流路５、５１、
５２…を通って外部へ向かう研削液は、遠心力により砥
石側面に押し付けられながら流れるため、放射状流路
５、５１、５２…の砥石側面部分の気孔内に研磨屑や脱
落砥粒が入り込み、目詰りを生じることを確認した。ま
た、砥石中に浸透した研削液は固形砥石片３と取付板片
７との間に堆積し固形砥石内部に目詰りを生じる。
ラッピング円盤の代表的な従来例を示す斜視図である。
図５に示すラッピング円盤１を用いて研磨を行った場合
には、研磨中に生じた研磨屑や脱落砥粒が斜溝６、６
１、６２…内に落ち、ラッピング円盤１の回転により生
じる遠心力によって一側縁３ｂ、３１ｂ…から他側縁３
ａ、３１ａ…に向かって移動して各砥石片３、３１、３
２…間の放射状流路５、５１、５２…に入って該流路を
通り外部へ排出される。しかし、放射状流路５、５１、
５２…を通って外部へ向かう研削液は、遠心力により砥
石側面に押し付けられながら流れるため、放射状流路
５、５１、５２…の砥石側面部分の気孔内に研磨屑や脱
落砥粒が入り込み、目詰りを生じることを確認した。ま
た、砥石中に浸透した研削液は固形砥石片３と取付板片
７との間に堆積し固形砥石内部に目詰りを生じる。
【０００８】固形砥石に目詰りが生じると、研磨能率の
低下が起きるとともに、被研磨体に有害な深い疵を生じ
させ、更に、目詰り部分は他の砥石部分より硬度が硬く
なり固形砥石に偏摩耗が生じて被研磨体の、平坦度が悪
くなるという問題点がある。
低下が起きるとともに、被研磨体に有害な深い疵を生じ
させ、更に、目詰り部分は他の砥石部分より硬度が硬く
なり固形砥石に偏摩耗が生じて被研磨体の、平坦度が悪
くなるという問題点がある。
【０００９】また、固形砥石側面の目詰りを防ぐために
は、斜溝６、６１、６２…の溝幅を広くしたり、本数を
増やす必要がある。しかし、溝幅を広くすることは、被
研磨体が砥石に当たらない部分が多くなる為、砥石の研
磨有効面積が減少し、研磨能率の低下をきたし、被研磨
体の平坦度、ロールオフが悪くなる。また、溝本数を増
やすことも、同様である。更に、溝と被研磨体との引掛
りや砥石破損を引き起こす蓋然性が大きくなり研磨能
率、平坦度、ロールオフは更に悪くなる。
は、斜溝６、６１、６２…の溝幅を広くしたり、本数を
増やす必要がある。しかし、溝幅を広くすることは、被
研磨体が砥石に当たらない部分が多くなる為、砥石の研
磨有効面積が減少し、研磨能率の低下をきたし、被研磨
体の平坦度、ロールオフが悪くなる。また、溝本数を増
やすことも、同様である。更に、溝と被研磨体との引掛
りや砥石破損を引き起こす蓋然性が大きくなり研磨能
率、平坦度、ロールオフは更に悪くなる。
【００１０】本発明は、前記諸問題点に鑑み、固形砥石
が目詰りを生じることなく研磨能率の維持がはかれ、被
研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止がはかれる平面研
磨装置を提供することを技術的課題とするものである。
が目詰りを生じることなく研磨能率の維持がはかれ、被
研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止がはかれる平面研
磨装置を提供することを技術的課題とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題は、次の
通りの本発明によって達成できる。図１は本発明に係わ
る平面研磨装置におけるラッピング円盤の構成を示す斜
視説明図であり、図２は本発明に係わる平面研磨装置に
おけるラッピング円盤に使用する扇形固形砥石片の構成
を示す斜視説明図であり、図３はそのＡ−Ａ´線断面説
明図であり、図４はそのＣ方向から透視説明図である。
通りの本発明によって達成できる。図１は本発明に係わ
る平面研磨装置におけるラッピング円盤の構成を示す斜
視説明図であり、図２は本発明に係わる平面研磨装置に
おけるラッピング円盤に使用する扇形固形砥石片の構成
を示す斜視説明図であり、図３はそのＡ−Ａ´線断面説
明図であり、図４はそのＣ方向から透視説明図である。
【００１２】即ち、本発明は、図１〜４に示す通り、円
形ラッピング定盤２に同一の形状、面積及び厚さをもつ
複数個の平面形状扇形固形砥石片３、３１、３２…を、
その各砥石面４、４１、４２…が同一平面を構成する円
板状物（図１中の矢印Ａ）を形作るとともに該円板状物
の中心から外周縁に向かう放射状流路５、５１…を各砥
石片の両側縁３ａ、３ｂ、３１ａ、３１ｂ…間に形成す
るように、間隔をおいて配置し固定してなるラッピング
円盤１を備えた平面研磨装置において、前記複数個の平
面形状扇形固形砥石片３、３１、３２…が、それぞれ砥
石底部に一側縁３ｂ、３１ｂ，３２ｂ…から他側縁３
ａ、３１ａ、３２ａ…に向かって延びた隧道９を有して
いることを特徴とする平面研磨装置である。なお、隧道
の寸法は、幅５〜２０mm、高さ５〜２０mmがとすること
が望ましい。幅が５mm以下では排出効果が少なく、ま
た、２０mm以上であると砥石強度が低下する。高さが５
mm以下では排出効果が少なく、また、２０mm以上である
と研磨中に砥石面に隧道が現れてくる。
形ラッピング定盤２に同一の形状、面積及び厚さをもつ
複数個の平面形状扇形固形砥石片３、３１、３２…を、
その各砥石面４、４１、４２…が同一平面を構成する円
板状物（図１中の矢印Ａ）を形作るとともに該円板状物
の中心から外周縁に向かう放射状流路５、５１…を各砥
石片の両側縁３ａ、３ｂ、３１ａ、３１ｂ…間に形成す
るように、間隔をおいて配置し固定してなるラッピング
円盤１を備えた平面研磨装置において、前記複数個の平
面形状扇形固形砥石片３、３１、３２…が、それぞれ砥
石底部に一側縁３ｂ、３１ｂ，３２ｂ…から他側縁３
ａ、３１ａ、３２ａ…に向かって延びた隧道９を有して
いることを特徴とする平面研磨装置である。なお、隧道
の寸法は、幅５〜２０mm、高さ５〜２０mmがとすること
が望ましい。幅が５mm以下では排出効果が少なく、ま
た、２０mm以上であると砥石強度が低下する。高さが５
mm以下では排出効果が少なく、また、２０mm以上である
と研磨中に砥石面に隧道が現れてくる。
【００１３】本発明に係わる平面研磨装置にあっては、
平面形状扇形固形砥石片３の裏面に該砥石片３、３１、
３２…の平面形状と同一形状の取付板片７、７１、７２
…が固着されており、当該取付板片７、７１、７２…が
着脱自在に円形ラッピング定盤２に固定されている態様
を採ることができる。
平面形状扇形固形砥石片３の裏面に該砥石片３、３１、
３２…の平面形状と同一形状の取付板片７、７１、７２
…が固着されており、当該取付板片７、７１、７２…が
着脱自在に円形ラッピング定盤２に固定されている態様
を採ることができる。
【００１４】また、本発明に係わる平面研磨装置には砥
石底部に一側縁３ｂから他側縁３ａに向かって延びる隧
道９を有している平面形状扇形固形砥石片３を使用す
る。
石底部に一側縁３ｂから他側縁３ａに向かって延びる隧
道９を有している平面形状扇形固形砥石片３を使用す
る。
【００１５】
【作用】本発明に係わる平面研磨装置においては、ラッ
ピング円盤１を回転しつつ研磨作業を行う時、扇形固形
砥石の作用による研磨屑や脱落砥粒は、供給される研削
液中に懸濁した状態で砥石面を流れて、放射状流路５、
５１、５２…を通りラッピング円盤１外に排出され、放
射状流路５、５１、５２…を流れる研削液は砥石底部に
形成された隧道９を通り、隣の放射状流路に流れ込む。
また、砥石中に浸透した研削液は、隧道を通り外部へ排
出される。その結果、脱落砥粒の堆積は殆ど無くなり、
砥石側面、及び砥石内部の気孔への目詰りが可及的に抑
制され、研磨能率の維持と被研磨体の面状態と精度の向
上をもたらす。
ピング円盤１を回転しつつ研磨作業を行う時、扇形固形
砥石の作用による研磨屑や脱落砥粒は、供給される研削
液中に懸濁した状態で砥石面を流れて、放射状流路５、
５１、５２…を通りラッピング円盤１外に排出され、放
射状流路５、５１、５２…を流れる研削液は砥石底部に
形成された隧道９を通り、隣の放射状流路に流れ込む。
また、砥石中に浸透した研削液は、隧道を通り外部へ排
出される。その結果、脱落砥粒の堆積は殆ど無くなり、
砥石側面、及び砥石内部の気孔への目詰りが可及的に抑
制され、研磨能率の維持と被研磨体の面状態と精度の向
上をもたらす。
【００１６】更に、隧道は研磨中に砥石面に現れないの
で本数を増やしても問題がなく、隧道の本数を増やすこ
とによって、研削液の排出効果を高めることができる。
排出効果が高まれば、砥石面の溝幅を狭くすることが出
来る。このために、有効研磨面積が増え、研磨能率の向
上がはかれ、被研磨体の面状態と精度が向上する。ま
た、同様の効果により、溝本数を減らしたり、無くした
りすることが出来る。このため、溝と被研磨体との引掛
りや砥石破損が無く研磨能率の維持と被研磨体の面状態
と精度の向上をもたらす。
で本数を増やしても問題がなく、隧道の本数を増やすこ
とによって、研削液の排出効果を高めることができる。
排出効果が高まれば、砥石面の溝幅を狭くすることが出
来る。このために、有効研磨面積が増え、研磨能率の向
上がはかれ、被研磨体の面状態と精度が向上する。ま
た、同様の効果により、溝本数を減らしたり、無くした
りすることが出来る。このため、溝と被研磨体との引掛
りや砥石破損が無く研磨能率の維持と被研磨体の面状態
と精度の向上をもたらす。
【００１７】また、砥石中を研削液が通過すため冷却効
果がよく、熱による砥石物性変化や被研磨体の反り等が
発生しない。
果がよく、熱による砥石物性変化や被研磨体の反り等が
発生しない。
【００１８】
【実施例】本発明を実施例と従来例によって詳細に説明
すれば、次の通りである。
すれば、次の通りである。
【００１９】実施例 （１）平面形状扇形固形砥石片の製作 常法に従い、平均粒径４．０μm （砥粒番手３０００
番）の炭化珪素粉末を９．０体積％含有しポリビニルア
ルコール系樹脂を結合材とする微細連通気孔を有する三
次元網状構造をなすＰＶＡ砥石を作成し、これにフェノ
ール系樹脂、メラミン系樹脂を含浸硬化させて固形砥石
とした。この固形砥石は、気孔率が約８０体積％であっ
た。前記固形砥石を切断して同一の形状、面積及び厚さ
をもつ平面形状扇形固形砥石片を８０個製作した。この
砥石片の厚さは４５mm、砥石片１個の砥石面の面積は４
２１．８cm2 とした。
番）の炭化珪素粉末を９．０体積％含有しポリビニルア
ルコール系樹脂を結合材とする微細連通気孔を有する三
次元網状構造をなすＰＶＡ砥石を作成し、これにフェノ
ール系樹脂、メラミン系樹脂を含浸硬化させて固形砥石
とした。この固形砥石は、気孔率が約８０体積％であっ
た。前記固形砥石を切断して同一の形状、面積及び厚さ
をもつ平面形状扇形固形砥石片を８０個製作した。この
砥石片の厚さは４５mm、砥石片１個の砥石面の面積は４
２１．８cm2 とした。
【００２０】（２）隧道の形成 上記砥石片４０個のそれぞれ砥石底部に、図２〜図４に
示す通り、一側縁から他側縁に向かって延びる隧道を設
けた。この隧道の幅は５mm、高さは５mmとした。
示す通り、一側縁から他側縁に向かって延びる隧道を設
けた。この隧道の幅は５mm、高さは５mmとした。
【００２１】（３）円形ラッピング定盤への装着 面積８５８８．６cm2 の上定盤（内周ギアと外周ギアと
の間隔は１６インチ）と同面積の下定盤（同上）とのそ
れぞれに、上記砥石片を２０個づつ、図１に示す如く、
その砥石面が同一平面を構成する円板状物を形作るとと
もに該円板状物の中心から外周縁に向かう幅５mmの流路
を各砥石片の両側間に形成するように、配置して装着し
た。なお、装着に当たっては、各砥石片の裏側に、図
２、図３と図４に示す通り、該砥石片の平面形状と同一
形状のアルミニウム製取付板片を接着剤によって固着
し、この取付板片を砥石片に穿ったボルト挿入孔８（第
１図においては、この孔８を省略し図示していない）ボ
ルト８´を用いて着脱自在に各定盤に固定した。
の間隔は１６インチ）と同面積の下定盤（同上）とのそ
れぞれに、上記砥石片を２０個づつ、図１に示す如く、
その砥石面が同一平面を構成する円板状物を形作るとと
もに該円板状物の中心から外周縁に向かう幅５mmの流路
を各砥石片の両側間に形成するように、配置して装着し
た。なお、装着に当たっては、各砥石片の裏側に、図
２、図３と図４に示す通り、該砥石片の平面形状と同一
形状のアルミニウム製取付板片を接着剤によって固着
し、この取付板片を砥石片に穿ったボルト挿入孔８（第
１図においては、この孔８を省略し図示していない）ボ
ルト８´を用いて着脱自在に各定盤に固定した。
【００２２】（４）研磨作業 周知のラッピング研磨装置のラッピング円盤として上記
各円形ラッピング定盤を使用し、外径９５mm、内径２５
mm、厚さ０．８mmのドーナッツ型アルミニウム板４０枚
を被研磨体として、当該被研磨体４０枚を同時に下記研
磨条件によって研磨した。 定盤回転数 ： 上定盤 １５ rpm 下定盤 ４５ rpm 研磨圧力 ： ８０ g／cm2 研削液 ： ディスクカット（商品名：株式会社
フジミインコーポレーテッド製） 研削液供給量 ： １５ l／分 研磨時間 ： １ 分／回
各円形ラッピング定盤を使用し、外径９５mm、内径２５
mm、厚さ０．８mmのドーナッツ型アルミニウム板４０枚
を被研磨体として、当該被研磨体４０枚を同時に下記研
磨条件によって研磨した。 定盤回転数 ： 上定盤 １５ rpm 下定盤 ４５ rpm 研磨圧力 ： ８０ g／cm2 研削液 ： ディスクカット（商品名：株式会社
フジミインコーポレーテッド製） 研削液供給量 ： １５ l／分 研磨時間 ： １ 分／回
【００２３】（５）測定 上記研磨条件にて、２０回研磨し、毎回２枚ずつアルミ
ニウム板を抜き取り、４０枚全てについて研削量と平坦
度を測定した。なお、研削量は片面の研削量（２枚の平
均値）を求めた。また、目視によって全数検査を行い
「不良」と判定される深い疵の発生状態をチェックし
た。
ニウム板を抜き取り、４０枚全てについて研削量と平坦
度を測定した。なお、研削量は片面の研削量（２枚の平
均値）を求めた。また、目視によって全数検査を行い
「不良」と判定される深い疵の発生状態をチェックし
た。
【００２４】（６）結果 研削量と「不良」と判定した深い疵の発生数を表１に示
した。
した。
【００２５】また、平坦度は、４０枚の平均値が６．１
５μm であって標準偏差（бn-1）は１．１２μm であ
った。平坦度分布の測定結果を図６にヒストグラムにし
て統計解析値とともに示した。また、砥石側面の目詰り
状態は、皆無であった。また、使用後の砥石を切断して
砥石内部を観察したところ、砥石内部の目詰りも皆無で
あった。
５μm であって標準偏差（бn-1）は１．１２μm であ
った。平坦度分布の測定結果を図６にヒストグラムにし
て統計解析値とともに示した。また、砥石側面の目詰り
状態は、皆無であった。また、使用後の砥石を切断して
砥石内部を観察したところ、砥石内部の目詰りも皆無で
あった。
【００２６】比較例 （１´）平面形状扇形固形砥石片の製作 実施例における（１）で製作した固形砥石片４０個を使
用した。
用した。
【００２７】（２´）溝の形成 上記砥石片４０個のそれぞれ砥石面に、図５に示す通
り、一側縁から他側縁に延びて該砥石片を斜めに上下二
分割し、垂直砥石表面からラッピング定盤へ垂直な、砥
石裏面に開口する斜溝を設けた。この溝の幅は５mmとし
た。
り、一側縁から他側縁に延びて該砥石片を斜めに上下二
分割し、垂直砥石表面からラッピング定盤へ垂直な、砥
石裏面に開口する斜溝を設けた。この溝の幅は５mmとし
た。
【００２８】（３´）円形ラッピング定盤への装着 上記の斜溝を設けた砥石片を用いた以外は実施例におけ
る（３）と全く同様に行った。
る（３）と全く同様に行った。
【００２９】（４´）研磨作業 上記の斜溝を設けた砥石片を用いた以外は実施例におけ
る（４）と全く同様に行った。
る（４）と全く同様に行った。
【００３０】（５´）測定 実施例における（５）と全く同様に行った。
【００３４】（６´）結果 研削量と「不良」と判定した深い疵の発生数を表１に示
した。
した。
【００３５】また、平坦度は、４０枚の平均値が７．２
８μm であって標準偏差（бn-1）は１．３３μm であ
った。平坦度分布の測定結果を図６にヒストグラムにし
て統計解析値とともに示した。また、砥石側面に目詰り
が見られ、使用後の砥石を切断して観察したところ、砥
石内部に目詰りがみられた。
８μm であって標準偏差（бn-1）は１．３３μm であ
った。平坦度分布の測定結果を図６にヒストグラムにし
て統計解析値とともに示した。また、砥石側面に目詰り
が見られ、使用後の砥石を切断して観察したところ、砥
石内部に目詰りがみられた。
【００３６】
【発明の効果】以上説明した通りの構成・作用によっ
て、実施例にも示したように、本発明によれば、被研磨
体の平坦度の向上、疵の発生防止及び研磨能率の維持が
はかれる。
て、実施例にも示したように、本発明によれば、被研磨
体の平坦度の向上、疵の発生防止及び研磨能率の維持が
はかれる。
【図１】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
【図２】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
【図３】図２のＡ−Ａ´線断面説明図である
【図４】図２のＣ方向より見た透視説明図である
【図５】従来の平面研磨装置におけるラッピング円盤の
構成を示す斜視説明図である
構成を示す斜視説明図である
【図６】実施例並びに比較例における平坦度分布の測定
結果を示したヒストグラム図である
結果を示したヒストグラム図である
１ ラッピング定盤 ２ 円形ラッピング定盤 ３ 平面形状扇形固形砥石片 ３ａ 側縁 ３ｂ 側縁 ４ 砥石面 ５ 流路 ６ 斜溝 ７ 取付板片 ８ ボルト挿入孔 ８´ ボルト ９ 隧道
【表１】
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年３月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
【図２】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
【図３】図２のＡ−Ａ′線断面説明図である
【図４】図２のＣ方向より見た透視説明図である
【図５】従来の平面研磨装置におけるラッピング円盤の
構成を示す斜視説明図である
構成を示す斜視説明図である
【図６】実施例並びに比較例における平坦度分布の測定
結果を示したヒストグラム図である
結果を示したヒストグラム図である
【図７】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
グ円盤の構成を示す斜視説明図である
【図８】本発明に係わる平面研磨装置におけるラッピン
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
グ円盤に使用する固形砥石片の構成を示す斜視説明図で
ある
【図９】図８のＣ方向より見た透視説明図である
【符号の説明】 １ ラッピング定盤 ２ 円形ラッピング定盤 ３ 平面形状扇形固形砥石片 ３ａ 側縁 ３ｂ 側縁 ４ 砥石面 ５ 流路 ６ 斜溝 ６′ 直線状溝 ７ 取付板片 ８ ボルト挿入孔 ８′ ボルト ９ 隊道 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年３月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図８】
【図９】
【図５】
【図６】
【図７】
Claims (3)
- 【請求項１】 円形ラッピング定盤に同一の形状、面積
及び厚さをもつ複数個の平面形状扇形固形砥石片を、そ
の各砥石面が同一平面を構成する円板状物を形作るとと
もに該円板状物の中心から該周縁に向かう放射状流路を
各砥石片両側縁間に形成するように、間隔をおいて配置
し固定してなるラッピング円盤を備えた平面研磨装置に
おいて、扇形固形砥石の底部に扇形固形砥石の一側縁よ
り他側縁へ貫通する隧道を有していることを特徴とする
平面研磨装置。 - 【請求項２】 平面形状扇形固形砥石片の裏面に該砥石
片の平面形状と同一形状の取付板片が固着されており、
当該取付板片が着脱自在に円形ラッピング定盤に固定さ
れている請求項１記載の平面研磨装置。 - 【請求項３】 扇形固形砥石の底部に扇形固形砥石の一
側縁より他側縁へ貫通する隧道を有していることを特徴
とする請求項１記載の平面研磨装置に使用する扇形固形
砥石片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4210493A JPH06226641A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4210493A JPH06226641A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226641A true JPH06226641A (ja) | 1994-08-16 |
Family
ID=12626673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4210493A Pending JPH06226641A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06226641A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2788618A1 (fr) * | 1999-01-14 | 2000-07-21 | Enertec | Systeme d'enregistrement d'ecran pour reconstitution d'operation |
| CN114986362A (zh) * | 2022-07-01 | 2022-09-02 | 精效悬浮(苏州)科技有限公司 | 一种离心风机生产用零部件抛光装置 |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP4210493A patent/JPH06226641A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2788618A1 (fr) * | 1999-01-14 | 2000-07-21 | Enertec | Systeme d'enregistrement d'ecran pour reconstitution d'operation |
| CN114986362A (zh) * | 2022-07-01 | 2022-09-02 | 精效悬浮(苏州)科技有限公司 | 一种离心风机生产用零部件抛光装置 |
| CN114986362B (zh) * | 2022-07-01 | 2023-06-06 | 精效悬浮(苏州)科技有限公司 | 一种离心风机生产用零部件抛光装置 |
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