JPH06226539A - 形状管電解研磨方法 - Google Patents
形状管電解研磨方法Info
- Publication number
- JPH06226539A JPH06226539A JP6002338A JP233894A JPH06226539A JP H06226539 A JPH06226539 A JP H06226539A JP 6002338 A JP6002338 A JP 6002338A JP 233894 A JP233894 A JP 233894A JP H06226539 A JPH06226539 A JP H06226539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- hole
- polishing
- tubular electrode
- electrolytic solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B3/00—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor
- B28B3/20—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded
- B28B3/26—Extrusion dies
- B28B3/269—For multi-channeled structures, e.g. honeycomb structures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
- B23H9/14—Making holes
- B23H9/16—Making holes using an electrolytic jet
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/16—Polishing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
- B23H3/02—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
- B23H3/08—Working media
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H3/00—Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
- B23H3/10—Supply or regeneration of working media
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークピースの孔の表面荒さを低下させるこ
とのできる形状管電解研磨方法を提供する。 【構成】 金属の管状電極を孔内に進入させつつ、その
電極内を通して電解液をその孔内に注入するとともにそ
の電解液を介してその管状電極とワークピースの間に電
流を流す。これによってその孔の表面荒さを低下させ
る。ワークピースの孔は形状管電解加工によって形成す
るのが特に望ましい。
とのできる形状管電解研磨方法を提供する。 【構成】 金属の管状電極を孔内に進入させつつ、その
電極内を通して電解液をその孔内に注入するとともにそ
の電解液を介してその管状電極とワークピースの間に電
流を流す。これによってその孔の表面荒さを低下させ
る。ワークピースの孔は形状管電解加工によって形成す
るのが特に望ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は形状管電解加工方法に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】電解加工は、機械加工困難な導電性部品
に孔を開けるのに広く用いられている。一般にこの方法
ではワークピースから材料を切り取るのに電気化学的な
力（機械的な力に対するものとして）を使用する。
に孔を開けるのに広く用いられている。一般にこの方法
ではワークピースから材料を切り取るのに電気化学的な
力（機械的な力に対するものとして）を使用する。
【０００３】電解加工の極めて特殊な形として、導電性
の材料に細くて長い孔を開けるのに使用される形状管電
解加工方法（ｓｈａｐｅｄ−ｔｕｂｅ ｅｌｅｃｔｒｏ
ｌｙｔｉｃ ｍａｃｈｉｎｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）が
ある。この形状管電解加工方法は非接触の電気化学穿孔
法であり、アスペクト比３００：１までの孔を開けるこ
とができる点が他の穿孔方法と全く違う点である。電気
化学的で方法であるので形状管電解加工は材料の硬度に
も靭性にも影響されない。形状管電解加工では電気化学
的加工において通常使用される塩電解液ではなく酸ベー
スの電解液が使用される。酸電解液を使用することによ
って、副産物である金属スラッジが確実に溶解され金属
イオンとして持ち去られる。これによって電極の周囲の
電解液の流路が塞がることがなくなる。これは深い孔を
穿孔するときには重要な特徴である。形状管電解加工方
法については「Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｄａｔａ Ｂｏｏ
ｋ」（第２巻、ページ１１〜７５、１９８０年第３
版）、Ｅ．Ｊ．Ｗｅｌｌｅｒの「Ｎｏｎｔｒａｄｉｔｉ
ｏｎａｌ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」
（ページ１０９〜１１３、１９８４年第２版）、Ｇ．
Ｆ．Ｂｅｎｅｄｉｃｔの「Ｎｏｎｔｒａｄｉｔｉｏｎａ
ｌ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓｅ
ｓ」（ページ１８１〜１８７、１９８７年）に詳細な記
載がある。
の材料に細くて長い孔を開けるのに使用される形状管電
解加工方法（ｓｈａｐｅｄ−ｔｕｂｅ ｅｌｅｃｔｒｏ
ｌｙｔｉｃ ｍａｃｈｉｎｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）が
ある。この形状管電解加工方法は非接触の電気化学穿孔
法であり、アスペクト比３００：１までの孔を開けるこ
とができる点が他の穿孔方法と全く違う点である。電気
化学的で方法であるので形状管電解加工は材料の硬度に
も靭性にも影響されない。形状管電解加工では電気化学
的加工において通常使用される塩電解液ではなく酸ベー
スの電解液が使用される。酸電解液を使用することによ
って、副産物である金属スラッジが確実に溶解され金属
イオンとして持ち去られる。これによって電極の周囲の
電解液の流路が塞がることがなくなる。これは深い孔を
穿孔するときには重要な特徴である。形状管電解加工方
法については「Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｄａｔａ Ｂｏｏ
ｋ」（第２巻、ページ１１〜７５、１９８０年第３
版）、Ｅ．Ｊ．Ｗｅｌｌｅｒの「Ｎｏｎｔｒａｄｉｔｉ
ｏｎａｌ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ」
（ページ１０９〜１１３、１９８４年第２版）、Ｇ．
Ｆ．Ｂｅｎｅｄｉｃｔの「Ｎｏｎｔｒａｄｉｔｉｏｎａ
ｌ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓｅ
ｓ」（ページ１８１〜１８７、１９８７年）に詳細な記
載がある。
【０００４】ジェットエンジン技術の進歩につれてスー
パーアロイやスーパーメタルを加工する必要が生じてき
た。これらの金属の特性やジェットエンジン部品の複雑
な形状の故にその加工は従来の加工方法では解決するこ
とのできない問題を提起することになった。このため、
形状管電解加工は航空機エンジンの製造において特に注
目されることになった。この加工方法はタービンブレー
ド、バケット、羽根、ストラットにタービンの稼働中に
冷却水を循環させるための孔を開けるのに特に有用であ
る。このような冷却は循環路内の乱流によって効率が良
くなるから、そのような循環路を繊細に加工する理由は
ほとんど無い。航空機エンジンの製造において形状管電
解加工を使用する例についてはＣｒａｗｆｏｒｄ等の米
国特許第３，３５２，７７０号、Ａｎｄｒｅｗｓの米国
特許第３，３５２，９５８号、第３，８０５，０１５
号、第４，０８８，５５７号、Ｊｏｓｌｉｎの米国特許
第３，７９３，１６９号に記載されている。
パーアロイやスーパーメタルを加工する必要が生じてき
た。これらの金属の特性やジェットエンジン部品の複雑
な形状の故にその加工は従来の加工方法では解決するこ
とのできない問題を提起することになった。このため、
形状管電解加工は航空機エンジンの製造において特に注
目されることになった。この加工方法はタービンブレー
ド、バケット、羽根、ストラットにタービンの稼働中に
冷却水を循環させるための孔を開けるのに特に有用であ
る。このような冷却は循環路内の乱流によって効率が良
くなるから、そのような循環路を繊細に加工する理由は
ほとんど無い。航空機エンジンの製造において形状管電
解加工を使用する例についてはＣｒａｗｆｏｒｄ等の米
国特許第３，３５２，７７０号、Ａｎｄｒｅｗｓの米国
特許第３，３５２，９５８号、第３，８０５，０１５
号、第４，０８８，５５７号、Ｊｏｓｌｉｎの米国特許
第３，７９３，１６９号に記載されている。
【０００５】近年、例えば自動車用のカタリチックコン
バータ使用されるセラミックのハニーカム構造を製造す
るための精密押出ダイの製造にも形状管電解加工が使用
されるようになってきた。
バータ使用されるセラミックのハニーカム構造を製造す
るための精密押出ダイの製造にも形状管電解加工が使用
されるようになってきた。
【０００６】超硬質の材料から押出ダイを製造するのは
極めて時間のかかる作業である。押出ダイには押出し材
料を高圧をかけて通過させる複数の開口が設けられる。
押出ダイを製造する際に押出し開口を機械的なドリルで
形成する方法もあるが、１７−４ＰＨステンレス、イン
コーネル７１８（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｎｉｃ
ｋｅｌ Ｃｏ． Ｉｎｃの登録商標）等の超硬質の材料
で押出ダイを形成する場合には、開口を形成する際の穿
孔速度が極めて遅く、多大な時間と労力が必要となる。
軟質の材料でダイを形成すれば穿孔速度は速くなるが、
その分ダイの寿命が短くなる。
極めて時間のかかる作業である。押出ダイには押出し材
料を高圧をかけて通過させる複数の開口が設けられる。
押出ダイを製造する際に押出し開口を機械的なドリルで
形成する方法もあるが、１７−４ＰＨステンレス、イン
コーネル７１８（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｎｉｃ
ｋｅｌ Ｃｏ． Ｉｎｃの登録商標）等の超硬質の材料
で押出ダイを形成する場合には、開口を形成する際の穿
孔速度が極めて遅く、多大な時間と労力が必要となる。
軟質の材料でダイを形成すれば穿孔速度は速くなるが、
その分ダイの寿命が短くなる。
【０００７】このような点で、現在は押出ダイの押出し
開口は機械的なドリルを使用せずに、電気化学的な方法
によって形成されている。電気化学的な加工の場合に
は、ダイを形成するためのワークピースは可動マニフォ
ールドに対して固定位置におかれる。そのマニフォール
ドは複数の穿孔管を支持し、各穿孔管はワークピースに
１本の孔を開ける。この電気化学的加工法において穿孔
管は陰極として作用し、ワークピースは陽極として作用
する。酸性電解液をワークピースに多量にかけると穿孔
管の付近でワークピースの材料が選択的に持ち去られ、
所望の開口パターンとなる。Ｈａｙｅｓの米国特許第
４，６８７，５６３号、Ｐｅｔｅｒｓのヨーロッパ特許
出願公開第０２４５ ５４５にはこのような工程が開示
されている。
開口は機械的なドリルを使用せずに、電気化学的な方法
によって形成されている。電気化学的な加工の場合に
は、ダイを形成するためのワークピースは可動マニフォ
ールドに対して固定位置におかれる。そのマニフォール
ドは複数の穿孔管を支持し、各穿孔管はワークピースに
１本の孔を開ける。この電気化学的加工法において穿孔
管は陰極として作用し、ワークピースは陽極として作用
する。酸性電解液をワークピースに多量にかけると穿孔
管の付近でワークピースの材料が選択的に持ち去られ、
所望の開口パターンとなる。Ｈａｙｅｓの米国特許第
４，６８７，５６３号、Ｐｅｔｅｒｓのヨーロッパ特許
出願公開第０２４５ ５４５にはこのような工程が開示
されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この加工法は充分に有
用なものであるが、この方法によって製造された押出し
ダイの場合には孔内および孔の付近において表面荒さが
問題となることがある。
用なものであるが、この方法によって製造された押出し
ダイの場合には孔内および孔の付近において表面荒さが
問題となることがある。
【０００９】押出しダイを形状管電解加工で製造する際
に問題となるのはダイの通路内の表面が荒いことであ
る。表面が荒いと材料の押出し時の摩擦抵抗が大きくな
り、ダイ内を材料を通すことが出来なくなってしまうこ
ともしばしばある。
に問題となるのはダイの通路内の表面が荒いことであ
る。表面が荒いと材料の押出し時の摩擦抵抗が大きくな
り、ダイ内を材料を通すことが出来なくなってしまうこ
ともしばしばある。
【００１０】本発明は上述のような問題を解決しようと
するものである。
するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の方法は、少なく
とも一個の孔を有する導電性のワークピースの前記孔の
表面を研磨する形状管電解研磨方法であって、金属の管
状電極を前記孔内に進入させつつ、その電極内を通して
電解液をその孔内に注入するとともにその電解液を介し
てその管状電極とワークピースの間に電流を流すことを
特徴とするものである。管状電極を前記孔内に進入させ
ることによってワークピースから金属が溶出し、その孔
の表面荒さが低下する。前記孔は金属の管状電極をワー
クピースに向かって進めつつ、その電極を通して電解液
をワークピースに注ぐとともにその電解液を介してその
電極とワークピースの間に電流を流し、それによって穿
孔部分のワークピースの金属を溶出させることによって
穿孔したものであるのが望ましい。なお管状電極は孔が
形成されるにしたがってその孔内に進入せしめられる。
とも一個の孔を有する導電性のワークピースの前記孔の
表面を研磨する形状管電解研磨方法であって、金属の管
状電極を前記孔内に進入させつつ、その電極内を通して
電解液をその孔内に注入するとともにその電解液を介し
てその管状電極とワークピースの間に電流を流すことを
特徴とするものである。管状電極を前記孔内に進入させ
ることによってワークピースから金属が溶出し、その孔
の表面荒さが低下する。前記孔は金属の管状電極をワー
クピースに向かって進めつつ、その電極を通して電解液
をワークピースに注ぐとともにその電解液を介してその
電極とワークピースの間に電流を流し、それによって穿
孔部分のワークピースの金属を溶出させることによって
穿孔したものであるのが望ましい。なお管状電極は孔が
形成されるにしたがってその孔内に進入せしめられる。
【００１２】
【実施例】図１は穿孔に続けて本発明の方法の研磨を実
施するのに適した形状管電解加工装置の一例の概略図で
ある。本例の装置は底部２とカバー４からなるワーク囲
いを備えている。ワークピースＷが載置される支持台６
がワーク囲い内に配されている。ワークピースＷには供
給マニフォールド９を通して管状電極１０に電解液を流
すことによって複数の孔Ｈが形成される。電極１０はホ
ルダー８に支持されており、そのホルダー８は、配線３
８を介して電源３２に接続された陰極接点４０を備えて
いる。配線３８には電流計４２が接続されている。ワー
クピースＷには配線３４を介して電源３２に接続された
陽極接点３６が設けられている。管状電極１０を通して
流される電解液ＥによってワークピースＷから金属が溶
出され孔Ｈが形成される。この点について図２を参照し
てより詳細に説明する。電解液Ｅは管状電極１０の内部
の通路を通って流れ、管状電極１０の先端１３において
電解液ＥはワークピースＷに接触し、孔Ｈを深くする。
その後、電解液Ｅは矢印で示すように管状電極１０の外
を通って上昇し、孔Ｈの外に流れ出る。このような電解
液Ｅの流れによって孔Ｈ内でワークピースＷから溶出し
た金属は孔Ｈから運び出される。図１に示すように固定
ガイドプレート１６が設けられており、ワークピースＷ
の所定の位置に孔Ｈが形成されるように管状電極１０を
位置決めする。
施するのに適した形状管電解加工装置の一例の概略図で
ある。本例の装置は底部２とカバー４からなるワーク囲
いを備えている。ワークピースＷが載置される支持台６
がワーク囲い内に配されている。ワークピースＷには供
給マニフォールド９を通して管状電極１０に電解液を流
すことによって複数の孔Ｈが形成される。電極１０はホ
ルダー８に支持されており、そのホルダー８は、配線３
８を介して電源３２に接続された陰極接点４０を備えて
いる。配線３８には電流計４２が接続されている。ワー
クピースＷには配線３４を介して電源３２に接続された
陽極接点３６が設けられている。管状電極１０を通して
流される電解液ＥによってワークピースＷから金属が溶
出され孔Ｈが形成される。この点について図２を参照し
てより詳細に説明する。電解液Ｅは管状電極１０の内部
の通路を通って流れ、管状電極１０の先端１３において
電解液ＥはワークピースＷに接触し、孔Ｈを深くする。
その後、電解液Ｅは矢印で示すように管状電極１０の外
を通って上昇し、孔Ｈの外に流れ出る。このような電解
液Ｅの流れによって孔Ｈ内でワークピースＷから溶出し
た金属は孔Ｈから運び出される。図１に示すように固定
ガイドプレート１６が設けられており、ワークピースＷ
の所定の位置に孔Ｈが形成されるように管状電極１０を
位置決めする。
【００１３】図２に示すように、管状電極１０は金属管
１２と誘電材料のコーテイング１４とからなっている。
金属管１２の先端１３にはコーテイングが施されておら
ず、先端１３とワークピースＷの間に電解槽が形成され
るようになっている。管状電極１０の先端１３は斜めに
切られており、その角度 は１１°であるのが望まし
い。金属管１２に誘電材料のコーテイング１４を施すこ
とによって、ワークピースＷから電解液Ｅ内に溶出した
金属イオンが管状電極１０に付着するのを防止すること
ができる。またこのコーテイングによって穿孔を金属管
１２の先端付近のみに制限することができる。金属管１
２の誘電材料のコーテイングが施されていない部分には
金属が付着する可能性があるが、電源３２の極性を定期
的に逆転させることによって付着物を除去することがで
きる。一般には管状電極１０を０．１から３０秒間作動
させた後、０．０５から３．０秒間、極性を逆転させ
る。
１２と誘電材料のコーテイング１４とからなっている。
金属管１２の先端１３にはコーテイングが施されておら
ず、先端１３とワークピースＷの間に電解槽が形成され
るようになっている。管状電極１０の先端１３は斜めに
切られており、その角度 は１１°であるのが望まし
い。金属管１２に誘電材料のコーテイング１４を施すこ
とによって、ワークピースＷから電解液Ｅ内に溶出した
金属イオンが管状電極１０に付着するのを防止すること
ができる。またこのコーテイングによって穿孔を金属管
１２の先端付近のみに制限することができる。金属管１
２の誘電材料のコーテイングが施されていない部分には
金属が付着する可能性があるが、電源３２の極性を定期
的に逆転させることによって付着物を除去することがで
きる。一般には管状電極１０を０．１から３０秒間作動
させた後、０．０５から３．０秒間、極性を逆転させ
る。
【００１４】ワークピースＷの孔Ｈから出てきた電解液
Ｅは供給タンク２０に戻される。供給タンク２０には電
解液Ｅを加熱したり冷却したりして所望の温度に保つ熱
交換器２２が設けられている。ポンプ２４がタンク２０
に接続されており、フィルター２６、供給管２８、圧力
レギュレター３１、流量計３０を通ってマニフォールド
９に電解液Ｅを循環させるようになっている。
Ｅは供給タンク２０に戻される。供給タンク２０には電
解液Ｅを加熱したり冷却したりして所望の温度に保つ熱
交換器２２が設けられている。ポンプ２４がタンク２０
に接続されており、フィルター２６、供給管２８、圧力
レギュレター３１、流量計３０を通ってマニフォールド
９に電解液Ｅを循環させるようになっている。
【００１５】穿孔に際しては、ワークピースＷに充分な
深さの孔Ｈが形成されるまで電解液Ｅを循環させる。孔
Ｈが深くなるにしたがって、マニフォールド９、電極ホ
ルダー８および管状電極１０で形成されるアセンブリが
定速送りサーボシステム（図示せず）によって矢印Ａの
方向に（図１）ワークピースＷに向かって送られ、管状
電極１０の先端１３がワークピースＷから金属を溶出さ
せるのに最適な位置に常に保たれる。上記アセンブリが
送られる速度は一般にはワークピースＷの材料が溶出す
る速度にほぼ等しくされる。図１に示す装置は電源３
２、定速送りサーボシステムおよび電解液循環装置を制
御する公知の機構（図示せず）を備えている。
深さの孔Ｈが形成されるまで電解液Ｅを循環させる。孔
Ｈが深くなるにしたがって、マニフォールド９、電極ホ
ルダー８および管状電極１０で形成されるアセンブリが
定速送りサーボシステム（図示せず）によって矢印Ａの
方向に（図１）ワークピースＷに向かって送られ、管状
電極１０の先端１３がワークピースＷから金属を溶出さ
せるのに最適な位置に常に保たれる。上記アセンブリが
送られる速度は一般にはワークピースＷの材料が溶出す
る速度にほぼ等しくされる。図１に示す装置は電源３
２、定速送りサーボシステムおよび電解液循環装置を制
御する公知の機構（図示せず）を備えている。
【００１６】本発明の形状管電解加工方法は、３０４ス
テンレス、３２１ステンレス、４１４ステンレス、イン
コーネル合金７１８、インコーネル合金６２５、インコ
ーネル合金Ｘ−７５０、インコーネル合金８２５等の様
々な導電性材料に穿孔するのに使用することができる。
長さ／直径比（アスペクト比）３００：１まで、直径
０．５から６．４ｍｍの範囲で６１０ｍｍまでの深さの
孔を開けることができる。楕円形等の形状の場合は、最
小幅が０．５ｍｍ以上で、長軸と短軸の比が３：１であ
る必要がある。
テンレス、３２１ステンレス、４１４ステンレス、イン
コーネル合金７１８、インコーネル合金６２５、インコ
ーネル合金Ｘ−７５０、インコーネル合金８２５等の様
々な導電性材料に穿孔するのに使用することができる。
長さ／直径比（アスペクト比）３００：１まで、直径
０．５から６．４ｍｍの範囲で６１０ｍｍまでの深さの
孔を開けることができる。楕円形等の形状の場合は、最
小幅が０．５ｍｍ以上で、長軸と短軸の比が３：１であ
る必要がある。
【００１７】電解液は硝酸、硫酸、塩酸、もしくはこれ
らの混合物を含む溶液である。一般には、電解液中の酸
の濃度は１６〜１８ｖｏｌ％である。また、電解液Ｅは
熱交換器２２によって１８〜３２°Ｃに保たれた状態
で、３４４〜５５１ＫＰＡの圧力で（ポンプ２４の吐出
圧を圧力レギュレター３１で調整）ワークピースＷに注
がれる。電解液Ｅ中の金属粒子含有量は最大４５〜２５
００ｍｇ／−である。一般に、電解液Ｅ中の金属と酸の
濃度が上がると導電率が増大する。酸の濃度が高くなる
とワークピースＷから金属を溶出させる速度も上がる
が、それだけ電極への化学的攻撃も促進される。また酸
の濃度が高くなると孔の径も大きくなる。電解液Ｅの温
度が高くなるのも、酸の濃度が高くなるのと同じ結果を
もたらす。
らの混合物を含む溶液である。一般には、電解液中の酸
の濃度は１６〜１８ｖｏｌ％である。また、電解液Ｅは
熱交換器２２によって１８〜３２°Ｃに保たれた状態
で、３４４〜５５１ＫＰＡの圧力で（ポンプ２４の吐出
圧を圧力レギュレター３１で調整）ワークピースＷに注
がれる。電解液Ｅ中の金属粒子含有量は最大４５〜２５
００ｍｇ／−である。一般に、電解液Ｅ中の金属と酸の
濃度が上がると導電率が増大する。酸の濃度が高くなる
とワークピースＷから金属を溶出させる速度も上がる
が、それだけ電極への化学的攻撃も促進される。また酸
の濃度が高くなると孔の径も大きくなる。電解液Ｅの温
度が高くなるのも、酸の濃度が高くなるのと同じ結果を
もたらす。
【００１８】電源３２は通常直流電源である。電圧１〜
１５ｖ、順方向オン時間は０．１〜３０秒、逆方向オン
時間は０．０５〜３秒である。一般には電圧が高くなる
程穿孔される孔の径が大きくなる。しかしながら上記範
囲の上限になると、発生する熱が誘電材料のコーテイン
グを破壊し、金属イオンの電極への付着を加速すること
になり望ましくない。
１５ｖ、順方向オン時間は０．１〜３０秒、逆方向オン
時間は０．０５〜３秒である。一般には電圧が高くなる
程穿孔される孔の径が大きくなる。しかしながら上記範
囲の上限になると、発生する熱が誘電材料のコーテイン
グを破壊し、金属イオンの電極への付着を加速すること
になり望ましくない。
【００１９】管状電極１０は一般には電解作用に対する
耐性からチタニウムで形成される。誘電材料層１４は滑
らかで、厚みが一定で、金属管１２と同軸で、金属管１
２にしっかり結合している必要があり、またピンホール
や異物があってはならない。真っ直ぐであることは、形
成される孔の質を充分なものとするためには必要であ
る。誘電材料としては、ポリエチレン、ポリテトラフル
オロエチレン、セラミック、ゴム等が適当である。特に
望ましいのはＡＬＫＡＮＥＸ（トレードマーク）であ
る。
耐性からチタニウムで形成される。誘電材料層１４は滑
らかで、厚みが一定で、金属管１２と同軸で、金属管１
２にしっかり結合している必要があり、またピンホール
や異物があってはならない。真っ直ぐであることは、形
成される孔の質を充分なものとするためには必要であ
る。誘電材料としては、ポリエチレン、ポリテトラフル
オロエチレン、セラミック、ゴム等が適当である。特に
望ましいのはＡＬＫＡＮＥＸ（トレードマーク）であ
る。
【００２０】一般に、本発明の方法は２つの段階からな
る。一方は穿孔であり、他方はその穿孔した孔の研磨で
ある。穿孔段階では上述のような工程によって、図１に
示すワークピースＷのような中実のワークピースに穿孔
するのが望ましい。所望の長さの孔Ｈが形成されると、
定速送りサーボシステムによってマニフォールド９、電
極ホルダー８および管状電極１０からなるアセンブリが
ワークピースＷから離され、孔Ｈから抜かれる。上記の
ような穿孔方法の結果として、孔Ｈの表面荒さは０．８
〜１．０μｍである。これは穿孔速度（すなわち、管状
電極１０を孔Ｈ内に進めてゆく速度）が０．４〜５．０
ｍｍ／ｍｉｎのときの値である。
る。一方は穿孔であり、他方はその穿孔した孔の研磨で
ある。穿孔段階では上述のような工程によって、図１に
示すワークピースＷのような中実のワークピースに穿孔
するのが望ましい。所望の長さの孔Ｈが形成されると、
定速送りサーボシステムによってマニフォールド９、電
極ホルダー８および管状電極１０からなるアセンブリが
ワークピースＷから離され、孔Ｈから抜かれる。上記の
ような穿孔方法の結果として、孔Ｈの表面荒さは０．８
〜１．０μｍである。これは穿孔速度（すなわち、管状
電極１０を孔Ｈ内に進めてゆく速度）が０．４〜５．０
ｍｍ／ｍｉｎのときの値である。
【００２１】形成された孔の表面は次の研磨工程によっ
て滑らかにされる。この工程では、マニフォールド９、
電極ホルダー８および管状電極１０で形成されるアセン
ブリが再び定速送りサーボシステムによってワークピー
スに向かって送られ、管状電極１０が孔Ｈ内に挿入され
る。それとともにマニフォールド９から管状電極１０を
通して電解液Ｅが孔Ｈ内に注入される。その後、電解液
Ｅは管１８を通して供給タンク２０に戻され、ポンプ２
４によってフィルター２６、供給管２８、圧力レギュレ
ター３１、流量計３０を通って循環させられる。この
間、電源３２は陽極接点３６および陰極接点４０を通し
て電気化学的電池を形成している。
て滑らかにされる。この工程では、マニフォールド９、
電極ホルダー８および管状電極１０で形成されるアセン
ブリが再び定速送りサーボシステムによってワークピー
スに向かって送られ、管状電極１０が孔Ｈ内に挿入され
る。それとともにマニフォールド９から管状電極１０を
通して電解液Ｅが孔Ｈ内に注入される。その後、電解液
Ｅは管１８を通して供給タンク２０に戻され、ポンプ２
４によってフィルター２６、供給管２８、圧力レギュレ
ター３１、流量計３０を通って循環させられる。この
間、電源３２は陽極接点３６および陰極接点４０を通し
て電気化学的電池を形成している。
【００２２】穿孔工程と研磨工程の主な相違は、サーボ
システムがマニフォールド９、電極ホルダー８および管
状電極１０で形成されるアセンブリの送り速度である。
研磨の場合の送り速度は１２〜３６ｍｍ／分であり、穿
孔の場合の送り速度は上述のように０．４〜５．０ｍｍ
／分である。すなわち、ワークピース内での研磨速度に
対する穿孔速度の比は約１：２．５〜１：２５である。
研磨後の孔Ｈの表面荒さは０．４〜０．５μｍである。
この値は押出しダイとして充分な値である。
システムがマニフォールド９、電極ホルダー８および管
状電極１０で形成されるアセンブリの送り速度である。
研磨の場合の送り速度は１２〜３６ｍｍ／分であり、穿
孔の場合の送り速度は上述のように０．４〜５．０ｍｍ
／分である。すなわち、ワークピース内での研磨速度に
対する穿孔速度の比は約１：２．５〜１：２５である。
研磨後の孔Ｈの表面荒さは０．４〜０．５μｍである。
この値は押出しダイとして充分な値である。
【００２３】実験例 実験例１ ２個の６．３５ｍｍ ｘ ２９．０８３ｍｍ ｘ ２０
３．２ｍｍのＵＳＮ＃Ｓ４５０００ステンレスブロック
を重ねて固定し、ほぼ図１に示すような形状管電解加工
装置で、両ブロックの合わせ目部分に１．４４８ｍｍの
テスト孔を穿孔した。穿孔は９ｖ、１６５Ａ、電極送り
速度０．８８９ｍｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰＡで
行った。穿孔後、両ブロックを分離して、ノースカロラ
イナ州シャーロッテンのＦｅｉｎｐｒｕｅｆ Ｃｏｒ
ｐ．社製のＰｅｒｔｈｅｎモデルＳ６Ｐ Ｐｅｒｔｈｏ
ｍｅｔｅｒで孔の表面荒さを測定した。その結果、孔の
平均表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６２μｍ
であった。その後、両ブロックを再び合わせて研磨し
た。
３．２ｍｍのＵＳＮ＃Ｓ４５０００ステンレスブロック
を重ねて固定し、ほぼ図１に示すような形状管電解加工
装置で、両ブロックの合わせ目部分に１．４４８ｍｍの
テスト孔を穿孔した。穿孔は９ｖ、１６５Ａ、電極送り
速度０．８８９ｍｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰＡで
行った。穿孔後、両ブロックを分離して、ノースカロラ
イナ州シャーロッテンのＦｅｉｎｐｒｕｅｆ Ｃｏｒ
ｐ．社製のＰｅｒｔｈｅｎモデルＳ６Ｐ Ｐｅｒｔｈｏ
ｍｅｔｅｒで孔の表面荒さを測定した。その結果、孔の
平均表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６２μｍ
であった。その後、両ブロックを再び合わせて研磨し
た。
【００２４】穿孔された孔の途中まで管状電極を挿入し
てその孔の一部を研磨した。研磨は９ｖ、１６５Ａ、電
極送り速度２５．４μｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰ
Ａで行った。研磨後、両ブロックを分離して、孔の研磨
された部分の表面荒さを測定したところ０．３３７〜０
３７５μｍであった。
てその孔の一部を研磨した。研磨は９ｖ、１６５Ａ、電
極送り速度２５．４μｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰ
Ａで行った。研磨後、両ブロックを分離して、孔の研磨
された部分の表面荒さを測定したところ０．３３７〜０
３７５μｍであった。
【００２５】走査電子顕微鏡を使用して、孔の穿孔した
ままの部分と穿孔後研磨した部分の写真を撮った。図３
は穿孔したままの部分の１０００倍の電子顕微鏡写真で
ある。図４は図３の主要部分の５０００倍の電子顕微鏡
写真である。図５は穿孔後本発明の方法で研磨した部分
の１０００倍の電子顕微鏡写真であり、図６は図５の主
要部分の５０００倍の電子顕微鏡写真である。
ままの部分と穿孔後研磨した部分の写真を撮った。図３
は穿孔したままの部分の１０００倍の電子顕微鏡写真で
ある。図４は図３の主要部分の５０００倍の電子顕微鏡
写真である。図５は穿孔後本発明の方法で研磨した部分
の１０００倍の電子顕微鏡写真であり、図６は図５の主
要部分の５０００倍の電子顕微鏡写真である。
【００２６】実験例２〜１４ 実験例１と同様にして、複数組の実験例１で使用したの
と同様なステンレスブロックの合わせ目部分に穿孔し
た。各孔の表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６
２μｍであった。表面荒さ測定後、両ブロックを再び合
わせて各孔に管状電極を挿入して研磨した。研磨条件は
表１に示す通りである。研磨後、実験例１と同様にして
表面荒さを決定した。結果を表１に示す。
と同様なステンレスブロックの合わせ目部分に穿孔し
た。各孔の表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６
２μｍであった。表面荒さ測定後、両ブロックを再び合
わせて各孔に管状電極を挿入して研磨した。研磨条件は
表１に示す通りである。研磨後、実験例１と同様にして
表面荒さを決定した。結果を表１に示す。
【００２７】
【表１】
【００２８】この表１に示す結果も、形状管電解加工装
置で穿孔した孔の表面荒さを本発明の研磨方法によって
大幅に低下させることができることを証明している。
置で穿孔した孔の表面荒さを本発明の研磨方法によって
大幅に低下させることができることを証明している。
【００２９】実験例１５〜１７ 実験例１と同様にして、複数組の実験例１で使用したの
と同様なステンレスブロックの合わせ目部分に穿孔し
た。但し、穿孔条件は８ｖ、１６５Ａ、電極送り速度
０．８８９ｍｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰＡで行っ
た。各孔の表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６
２μｍであった。表面荒さ測定後、両ブロックを再び合
わせて各孔に管状電極を挿入して研磨した。研磨条件は
表２に示す通りである。研磨後、実験例１と同様にして
表面荒さを測定した。結果を表２に示す。
と同様なステンレスブロックの合わせ目部分に穿孔し
た。但し、穿孔条件は８ｖ、１６５Ａ、電極送り速度
０．８８９ｍｍ／ｍｉｎ、電解液圧４４８ＫＰＡで行っ
た。各孔の表面荒さ（研磨前）は０．７８７〜０．８６
２μｍであった。表面荒さ測定後、両ブロックを再び合
わせて各孔に管状電極を挿入して研磨した。研磨条件は
表２に示す通りである。研磨後、実験例１と同様にして
表面荒さを測定した。結果を表２に示す。
【００３０】
【表２】
【００３１】この表２に示す結果も、形状管電解加工装
置で穿孔した孔の表面荒さを本発明の研磨方法によって
大幅に低下させることができることを証明している。
置で穿孔した孔の表面荒さを本発明の研磨方法によって
大幅に低下させることができることを証明している。
【図１】形状管電解加工装置の概略図
【図２】図１の円２−２内の部分の拡大図
【図３】穿孔したままの孔の１０００倍の電子顕微鏡写
真
真
【図４】図３の主要部分の５０００倍の電子顕微鏡写真
【図５】穿孔後本発明の方法で研磨した孔の１０００倍
の電子顕微鏡写真
の電子顕微鏡写真
【図６】図５の主要部分の５０００倍の電子顕微鏡写真
１０ 管状電極 １２ 金属管 １４ 誘電材料のコーテイング ２０ タンク ２２ 熱交換器 ２４ ポンプ ３２ 電源 Ｅ 電解液 Ｈ 孔 Ｗ ワークピース
Claims (20)
- 【請求項１】 少なくとも一個の孔を有する導電性のワ
ークピースを用意し、 金属の管状電極を前記孔内に進入させつつ、その電極内
を通して電解液をその孔内に注入するとともにその電解
液を介してその管状電極とワークピースの間に電流を流
すことによって該ワークピースから金属を溶出させてそ
の孔の表面荒さを低下させることを特徴とする形状管電
解研磨方法。 - 【請求項２】 前記ワークピースの前記孔を、金属の管
状電極をそのワークピースに向かって進めつつ、その管
状電極を通して電解液をそのワークピースに注ぐととも
にその電解液を介してその管状電極とワークピースの間
に電流を流すことによってそのワークピースの穿孔部分
から金属を溶出させることによって穿孔することを特徴
とする請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 前記ワークピース内での研磨速度に対す
る穿孔速度の比が約１：２．５〜１：２５であることを
特徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 前記穿孔速度が０．４〜５．０ｍｍ／分
であることを特徴とする請求項３記載の方法。 - 【請求項５】 前記研磨速度が１２〜３６ｍｍ／分であ
ることを特徴とする請求項３記載の方法。 - 【請求項６】 前記孔の研磨後の表面荒さが０．４〜
０．５μｍであることを特徴とする請求項２記載の方
法。 - 【請求項７】 前記孔の穿孔後の表面荒さが０．８〜
１．０μｍであることを特徴とする請求項２記載の方
法。 - 【請求項８】 前記穿孔および研磨に使用される電解液
が硝酸、硫酸、塩酸、およびこれらの混合物からなる群
から選択された酸を含むことを特徴とする請求項２記載
の方法。 - 【請求項９】 前記電解液中の酸の濃度が１６〜１８ｖ
ｏｌ％であることを特徴とする請求項８記載の方法。 - 【請求項１０】 前記電解液が穿孔中および研磨中に１
８〜３２°Ｃに保たれることを特徴とする請求項８記載
の方法。 - 【請求項１１】 前記穿孔中および研磨中に電源の極性
を定期的に逆にして、溶出した金属が前記管状電極に蓄
積するのを防止することを特徴とする請求項２記載の方
法。 - 【請求項１２】 前記管状電極の外表面が、前記電解液
がワークピースに向かって放出される先端を残して誘電
材料でコーテイングされていることを特徴とする請求項
２記載の方法。 - 【請求項１３】 前記孔の長さと直径の比が３００：１
までであることを特徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項１４】 前記電解液が前記穿孔中および研磨中
にワークピースに接触した後回収されることを特徴とす
る請求項２記載の方法。 - 【請求項１５】 回収された前記電解液が前記管状電極
に戻されて再度穿孔および研磨に使用されることを特徴
とする請求項１４記載の方法。 - 【請求項１６】 前記電解液を前記管状電極に戻す際に
濾過することを特徴とする請求項１５記載の方法。 - 【請求項１７】 前記ワークピースが複数の孔を有する
ことを特徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項１８】 前記ワークピースの孔が、セラミック
のハニーカム構造を押し出すのに使用する押出しダイ用
の形状を有することを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項１９】 前記研磨速度が１２〜３６ｍｍ／分で
あることを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項２０】 前記孔の研磨後の表面荒さが０．４〜
０．５μｍであることを特徴とする請求項１記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US006038 | 1993-01-19 | ||
| US08/006,038 US5320721A (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Shaped-tube electrolytic polishing process |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226539A true JPH06226539A (ja) | 1994-08-16 |
Family
ID=21718984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6002338A Withdrawn JPH06226539A (ja) | 1993-01-19 | 1994-01-14 | 形状管電解研磨方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5320721A (ja) |
| EP (1) | EP0607894B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06226539A (ja) |
| KR (1) | KR100311241B1 (ja) |
| DE (1) | DE69403817T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100494739B1 (ko) * | 2002-06-27 | 2005-06-13 | 주식회사 아스플로 | 크롬 산화 부동태막 표면 처리 방법 |
| KR100494576B1 (ko) * | 2002-06-27 | 2005-06-13 | 주식회사 아스플로 | 크롬 산화 부동태막 표면 처리 장치 |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5476623A (en) * | 1992-03-25 | 1995-12-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of manufacturing hollow ceramic part with hole therein |
| US5507925A (en) * | 1994-10-28 | 1996-04-16 | Corning Incorporated | Electrochemical drilling of substrates |
| US6302679B1 (en) | 1994-11-10 | 2001-10-16 | Corning Incorporated | Honeycomb extrusion die |
| US5630951A (en) * | 1995-05-15 | 1997-05-20 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for making honeycomb extrusion dies |
| JP3080563B2 (ja) * | 1995-08-21 | 2000-08-28 | 日本碍子株式会社 | ハニカム構造体押出用ダイスの製造方法 |
| JPH10512504A (ja) * | 1995-11-08 | 1998-12-02 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 加工片を電解加工する方法 |
| US5820744A (en) * | 1996-09-30 | 1998-10-13 | Doncasters, Turbo Products Division | Electrochemical machining method and apparatus |
| US5997720A (en) * | 1997-02-06 | 1999-12-07 | Corning Incorporated | Method for machining extrusion dies |
| DE69839914D1 (de) * | 1997-10-17 | 2008-10-02 | Corning Inc | Strangpressmundstück mit modifizierten schlitzen |
| JP3217999B2 (ja) * | 1997-12-03 | 2001-10-15 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 部品製作方法及び部品製作装置 |
| GB2340911B (en) | 1998-08-20 | 2000-11-15 | Doncasters Plc | Alloy pipes and methods of making same |
| US6303193B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-10-16 | General Electric Company | Process for fabricating a tool used in electrochemical machining |
| US6200439B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-03-13 | General Electric Company | Tool for electrochemical machining |
| US6290461B1 (en) | 1999-08-16 | 2001-09-18 | General Electric Company | Method and tool for electrochemical machining |
| US6387242B1 (en) | 1999-08-16 | 2002-05-14 | General Electric Company | Method and tool for electrochemical machining |
| US6234752B1 (en) | 1999-08-16 | 2001-05-22 | General Electric Company | Method and tool for electrochemical machining |
| US6299813B1 (en) * | 1999-09-23 | 2001-10-09 | Corning Incorporated | Modified slot extrusion dies |
| JP3903733B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2007-04-11 | 株式会社デンソー | ハニカム構造体成形用金型 |
| JP4034046B2 (ja) * | 2001-06-07 | 2008-01-16 | 日本碍子株式会社 | 高精度な貫通孔を有する多層板、及び、回路基板 |
| US6644358B2 (en) | 2001-07-27 | 2003-11-11 | Manoir Industries, Inc. | Centrifugally-cast tube and related method and apparatus for making same |
| US20050067304A1 (en) * | 2003-09-26 | 2005-03-31 | King Mackenzie E. | Electrode assembly for analysis of metal electroplating solution, comprising self-cleaning mechanism, plating optimization mechanism, and/or voltage limiting mechanism |
| US20050109624A1 (en) * | 2003-11-25 | 2005-05-26 | Mackenzie King | On-wafer electrochemical deposition plating metrology process and apparatus |
| US20050224370A1 (en) * | 2004-04-07 | 2005-10-13 | Jun Liu | Electrochemical deposition analysis system including high-stability electrode |
| US6984299B2 (en) * | 2004-04-27 | 2006-01-10 | Advanced Technology Material, Inc. | Methods for determining organic component concentrations in an electrolytic solution |
| US7435320B2 (en) | 2004-04-30 | 2008-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Methods and apparatuses for monitoring organic additives in electrochemical deposition solutions |
| US7427346B2 (en) * | 2004-05-04 | 2008-09-23 | Advanced Technology Materials, Inc. | Electrochemical drive circuitry and method |
| US20050274625A1 (en) * | 2004-06-14 | 2005-12-15 | Frederick Joslin | Apparatus and method for white layer and recast removal |
| US8201619B2 (en) | 2005-12-21 | 2012-06-19 | Exxonmobil Research & Engineering Company | Corrosion resistant material for reduced fouling, a heat transfer component having reduced fouling and a method for reducing fouling in a refinery |
| CA2634252A1 (en) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Exxonmobil Research And Engineering Company | Corrosion resistant material for reduced fouling, heat transfer component with improved corrosion and fouling resistance, and method for reducing fouling |
| CN101113530B (zh) * | 2006-07-28 | 2010-09-08 | 元智大学 | 结合电化学加工与电解抛光的复合式微加工装置及方法 |
| US20080099343A1 (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-01 | Thomas William Brew | Electrochemical machining method and apparatus |
| CN101880907B (zh) * | 2010-07-07 | 2012-04-25 | 厦门大学 | 纳米精度的电化学整平和抛光加工方法及其装置 |
| DE102012104707A1 (de) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | Benteler Automobiltechnik Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Abgaswärmetauschers |
| CN104625260B (zh) * | 2013-11-06 | 2017-03-29 | 富泰华精密电子（郑州）有限公司 | 电解加工装置 |
| US9687953B2 (en) * | 2014-06-27 | 2017-06-27 | Applied Materials, Inc. | Chamber components with polished internal apertures |
| CN104726928B (zh) * | 2015-03-06 | 2017-03-01 | 大连理工大学 | 一种细长管道内表面的电化学抛光装置 |
| DE102018213392A1 (de) * | 2018-08-09 | 2020-02-13 | MTU Aero Engines AG | Verfahren zur Herstellung von Bohrungen in schwer zu zerspanenden Werkstoffen |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3058895A (en) * | 1958-11-10 | 1962-10-16 | Anocut Eng Co | Electrolytic shaping |
| GB934557A (en) * | 1961-06-16 | 1963-08-21 | Gen Electric | Improvements in electrolytic conduction method and apparatus for controlled material removal |
| US3352958A (en) * | 1962-07-24 | 1967-11-14 | Gen Electric | Method for making electrode holder |
| US3336213A (en) * | 1963-06-19 | 1967-08-15 | Gen Electric | Cathode for electrolytic machining |
| US3290237A (en) * | 1963-08-07 | 1966-12-06 | Gen Electric | Electrolytic material removal electrode |
| US3427239A (en) * | 1966-04-11 | 1969-02-11 | Cincinnati Milling Machine Co | Tool electrode for electro-erosive machinery |
| GB1348480A (en) * | 1970-07-16 | 1974-03-20 | Secr Defence | Electrolytic drilling of holes |
| US3793169A (en) * | 1972-01-10 | 1974-02-19 | United Aircraft Corp | Small hole ecm drilling with controlled current |
| US3803015A (en) * | 1972-11-01 | 1974-04-09 | United Aircraft Corp | Electrochemical drilling |
| US4088557A (en) * | 1977-07-01 | 1978-05-09 | United Technologies Corporation | Electrode assembly and machine for small-hole electrochemical drilling |
| JPS61204400A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-10 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 電解研磨用電極 |
| US4687563A (en) * | 1985-04-01 | 1987-08-18 | Corning Glass Works | Electrochemical machine apparatus with drill-depth and rate monitor |
| EP0245545A1 (en) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | Corning Glass Works | Electrochemical stem drilling electrode mounting |
| EP0247209B1 (de) * | 1986-05-20 | 1990-07-18 | Poligrat Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum elektrochemischen Polieren der Innenflächen von Rohren |
| JPH0622806B2 (ja) * | 1986-08-14 | 1994-03-30 | 日本碍子株式会社 | ハニカム成型用ダイスおよびその製造方法 |
-
1993
- 1993-01-19 US US08/006,038 patent/US5320721A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-01-14 JP JP6002338A patent/JPH06226539A/ja not_active Withdrawn
- 1994-01-17 EP EP94100562A patent/EP0607894B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-01-17 DE DE69403817T patent/DE69403817T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-01-18 KR KR1019940000892A patent/KR100311241B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100494739B1 (ko) * | 2002-06-27 | 2005-06-13 | 주식회사 아스플로 | 크롬 산화 부동태막 표면 처리 방법 |
| KR100494576B1 (ko) * | 2002-06-27 | 2005-06-13 | 주식회사 아스플로 | 크롬 산화 부동태막 표면 처리 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5320721A (en) | 1994-06-14 |
| EP0607894A1 (en) | 1994-07-27 |
| KR940018155A (ko) | 1994-08-16 |
| DE69403817D1 (de) | 1997-07-24 |
| EP0607894B1 (en) | 1997-06-18 |
| DE69403817T2 (de) | 1997-10-09 |
| KR100311241B1 (ko) | 2001-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06226539A (ja) | 形状管電解研磨方法 | |
| US5322599A (en) | Shaped-tube electrolytic machining process | |
| US3352770A (en) | Electrochemical machining of small diameter holes in high temperature superalloys | |
| US9987699B2 (en) | Electrochemical system and method for electropolishing hollow metal bodies | |
| Lee et al. | A study of the characteristics for electrochemical micromachining with ultrashort voltage pulses | |
| CN109570666B (zh) | 电解线切割加工用双极性工具电极及制作与加工方法 | |
| US5685971A (en) | Apparatus and method for forming a variable diameter hole in a conductive workpiece | |
| CN108890052A (zh) | 注气辅助绝缘式电解切割阴极及加工方法 | |
| Kendall et al. | A review of physical experimental research in jet electrochemical machining | |
| Miyoshi et al. | Fabrication of micro rods of cemented carbide by electrolyte jet turning | |
| Joshi et al. | 11.15-Electrochemical Micromachining | |
| WO2008054656A2 (en) | Electrochemical machining method and apparatus | |
| GB2053274A (en) | Electrochemical machining-airfoils | |
| Özerkan et al. | Electrochemical small diameter deep hole drilling of powder metal steel | |
| Nakano et al. | Wire electrochemical finishing of wire electrical discharge machined surface of highly alloyed materials with insoluble precipitates | |
| JP3647875B2 (ja) | 電解研磨技術により切削工具インサートの刃先を所期の半径に形成する方法 | |
| Vats et al. | Assessing the Effect of Nonelectrical Process Parameters During the Sted of Holes on Inconel 718 Alloy | |
| JP4460132B2 (ja) | 異形穴の電解加工方法 | |
| US6398942B1 (en) | Electrochemical machining process for fabrication of cylindrical microprobe | |
| Li et al. | Research on removal characteristics of recast layer of laser-electrolytic machining on small holes | |
| Skoczypiec | Electrochemical methods of micropart’s manufacturing | |
| RU2681239C1 (ru) | Устройство для электролитно - плазменной обработки металлических изделий | |
| CN110893493A (zh) | 增材制造金属粗糙表面电解电火花复合整平工具及方法 | |
| Rathod et al. | Electrochemical Micromachining (EMM): Fundamentals and Applications | |
| CN112496480B (zh) | 一种游离绝缘粒子辅助电解线切割加工装置及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010403 |