JPH06216698A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH06216698A JPH06216698A JP812993A JP812993A JPH06216698A JP H06216698 A JPH06216698 A JP H06216698A JP 812993 A JP812993 A JP 812993A JP 812993 A JP812993 A JP 812993A JP H06216698 A JPH06216698 A JP H06216698A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- metal cap
- wall
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、弾性表面波装置において弾性表面波
素子の気密封止をはんだ付けで実施する場合、該弾性表
面波素子の表面にフラックスやはんだボールの付着等に
よる汚染を防止でき、かつ、高歩留で信頼性の高い弾性
表面波装置を提供することを目的とする。 【構成】基板上に弾性表面波素子を搭載実装し、金属キ
ャップの内壁と弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設
け、弾性表面波素子と汚染防止壁を金属キャップによっ
て気密封止する構造である。
素子の気密封止をはんだ付けで実施する場合、該弾性表
面波素子の表面にフラックスやはんだボールの付着等に
よる汚染を防止でき、かつ、高歩留で信頼性の高い弾性
表面波装置を提供することを目的とする。 【構成】基板上に弾性表面波素子を搭載実装し、金属キ
ャップの内壁と弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設
け、弾性表面波素子と汚染防止壁を金属キャップによっ
て気密封止する構造である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板上に弾性表面波素
子を搭載実装し、気密封止された弾性表面波装置に関す
る。
子を搭載実装し、気密封止された弾性表面波装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、弾性表面波装置では弾性表面波素
子を金属キャップで蓋をすることにより気密封止してい
るが、この気密封止には弾性表面波素子の表面の異物付
着等による汚染を防止するために、気密封止作業をクリ
ーンルーム内で実施するなど、弾性表面波素子の表面の
異物付着等による汚染の防止に細心の注意が払われてい
る。そして、気密封止の方法として例えば、サイエンス
フォーラム出版の半導体実装技術ハンドブックの７２、
７３、７４ページに示されているシーム溶接、特開平２
−２８３１１２に示されるはんだ接続等がある。前者の
シーム溶接の場合、気密封止の信頼性が高く、高品質の
弾性表面波素子が得られるが、設備面でコスト高とな
る。他方、後者のはんだ接続の場合、比較的作業が簡単
で設備も安価となる。
子を金属キャップで蓋をすることにより気密封止してい
るが、この気密封止には弾性表面波素子の表面の異物付
着等による汚染を防止するために、気密封止作業をクリ
ーンルーム内で実施するなど、弾性表面波素子の表面の
異物付着等による汚染の防止に細心の注意が払われてい
る。そして、気密封止の方法として例えば、サイエンス
フォーラム出版の半導体実装技術ハンドブックの７２、
７３、７４ページに示されているシーム溶接、特開平２
−２８３１１２に示されるはんだ接続等がある。前者の
シーム溶接の場合、気密封止の信頼性が高く、高品質の
弾性表面波素子が得られるが、設備面でコスト高とな
る。他方、後者のはんだ接続の場合、比較的作業が簡単
で設備も安価となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の弾性表面波装置の気密封止を金属キャップのは
んだ付け接続で行う場合、該金属キャップで気密封止さ
れた内部空間のガスが冷えていく過程で、該内部空間は
外部より気圧が下がる。このため、金属キャップで気密
封止された外部から内部に向かって、空気やガスが固ま
り始めたはんだの中を通って浸入し、まだ固まりきって
いないはんだのフラックスやはんだボールが内部に向か
って飛散し、金属キャップで気密封止された内部はフラ
ックスやはんだボールの付着によって弾性表面波素子の
表面を汚染する危険性が大であるため、従来ほとんどお
こなわれていないのが現状であり、多くの場合、設備高
でコスト高となるシーム溶接で実施されている。
た従来の弾性表面波装置の気密封止を金属キャップのは
んだ付け接続で行う場合、該金属キャップで気密封止さ
れた内部空間のガスが冷えていく過程で、該内部空間は
外部より気圧が下がる。このため、金属キャップで気密
封止された外部から内部に向かって、空気やガスが固ま
り始めたはんだの中を通って浸入し、まだ固まりきって
いないはんだのフラックスやはんだボールが内部に向か
って飛散し、金属キャップで気密封止された内部はフラ
ックスやはんだボールの付着によって弾性表面波素子の
表面を汚染する危険性が大であるため、従来ほとんどお
こなわれていないのが現状であり、多くの場合、設備高
でコスト高となるシーム溶接で実施されている。
【０００４】本発明の目的は上記したはんだに付けよる
気密封止においても、弾性表面波素子の表面にフラック
スやはんだボールの付着等による汚染を防止できるた
め、はんだ付けで気密封止を実施しても高歩留で、かつ
信頼性の高い弾性表面波装置を提供しようとするもので
ある。
気密封止においても、弾性表面波素子の表面にフラック
スやはんだボールの付着等による汚染を防止できるた
め、はんだ付けで気密封止を実施しても高歩留で、かつ
信頼性の高い弾性表面波装置を提供しようとするもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、金属キャップの内壁と弾性表面波素子と
の間に汚染防止壁を設ける手段を採用した。
成するために、金属キャップの内壁と弾性表面波素子と
の間に汚染防止壁を設ける手段を採用した。
【０００６】
【作用】上記した構成は以下の作用がある。金属キャッ
プの内壁と弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設ける
手段を採用することによって、金属キャップの内部に浸
入してきたフラックスやはんだボールは、汚染防止壁の
外壁部分に当たり、金属キャップの内部への浸入を阻止
できる。汚染防止壁によって金属キャップの内部への浸
入を阻止できるため、弾性表面波素子の表面にフラック
スやはんだボールの付着等による汚染を防止できること
が可能となる。
プの内壁と弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設ける
手段を採用することによって、金属キャップの内部に浸
入してきたフラックスやはんだボールは、汚染防止壁の
外壁部分に当たり、金属キャップの内部への浸入を阻止
できる。汚染防止壁によって金属キャップの内部への浸
入を阻止できるため、弾性表面波素子の表面にフラック
スやはんだボールの付着等による汚染を防止できること
が可能となる。
【０００７】
【実施例】図１、図３は本発明の弾性表面波装置の一実
施例である。図２、図４は従来の弾性表面波装置の構造
図である。また、図１、図２は金属キャップ１で気密封
止する前の斜視図であり、図３、図４は金属キャップ１
で気密封止した後の断面図である。
施例である。図２、図４は従来の弾性表面波装置の構造
図である。また、図１、図２は金属キャップ１で気密封
止する前の斜視図であり、図３、図４は金属キャップ１
で気密封止した後の断面図である。
【０００８】以下、図２、図４を用いて先ず従来の内容
を説明し、次いで本発明による一実施例を説明する。
を説明し、次いで本発明による一実施例を説明する。
【０００９】基板２上に弾性表面波素子３を搭載実装
し、弾性表面波素子３とパターン５をボンディングワイ
ヤ４で接続した後、金属キャップ１をはんだ６で気密封
止している。
し、弾性表面波素子３とパターン５をボンディングワイ
ヤ４で接続した後、金属キャップ１をはんだ６で気密封
止している。
【００１０】係る従来の構造では、例えば、はんだ付け
をリフロー炉などで行う場合、必然的に金属キャップ１
で気密封止された内部空間の温度が上がるため気圧も上
がり、空気やガスが溶けているはんだ６中を通って外部
へ逃げ、金属キャップ１で隔てられた外部と内部の気圧
は同じに保たれる。
をリフロー炉などで行う場合、必然的に金属キャップ１
で気密封止された内部空間の温度が上がるため気圧も上
がり、空気やガスが溶けているはんだ６中を通って外部
へ逃げ、金属キャップ１で隔てられた外部と内部の気圧
は同じに保たれる。
【００１１】次に、リフロー炉から取りだされると同時
にはんだ６は冷え始めて固まり始めるため、金属キャッ
プ１の内部空間の温度が下がり内部気圧も下がる。この
ため、上記とは逆に、金属キャップ１の外部から内部に
向かって、空気やガスが固まり始めたはんだ６の中を通
って浸入し、まだ固まりきっていないはんだ６のフラッ
クスやはんだボールが内部に向かって飛散し、特に弾性
表面波素子３の表面に付着してしまい不良品となる場合
がある。
にはんだ６は冷え始めて固まり始めるため、金属キャッ
プ１の内部空間の温度が下がり内部気圧も下がる。この
ため、上記とは逆に、金属キャップ１の外部から内部に
向かって、空気やガスが固まり始めたはんだ６の中を通
って浸入し、まだ固まりきっていないはんだ６のフラッ
クスやはんだボールが内部に向かって飛散し、特に弾性
表面波素子３の表面に付着してしまい不良品となる場合
がある。
【００１２】そこで本発明では、図１及び図３に示すよ
うに上記した従来の構造に加えて、金属キャップ１の内
壁と弾性表面波素子３の間にあらかじめ汚染防止壁７を
例えば有機接着剤８などで設置しておき、はんだ付けの
際フラックスやはんだボールが金属キャップ１で気密防
止された内部に浸入しても、該汚染防止壁７の外壁部分
に当たるため、弾性表面波素子３の表面にフラックスや
はんだボールの付着等による汚染を防止できるようにし
た。なお、上記した本実施例では、汚染防止壁７の高さ
を弾性表面波素子３より高くしたが、弾性表面波素子３
より低くても汚染防止効果は期待できる。
うに上記した従来の構造に加えて、金属キャップ１の内
壁と弾性表面波素子３の間にあらかじめ汚染防止壁７を
例えば有機接着剤８などで設置しておき、はんだ付けの
際フラックスやはんだボールが金属キャップ１で気密防
止された内部に浸入しても、該汚染防止壁７の外壁部分
に当たるため、弾性表面波素子３の表面にフラックスや
はんだボールの付着等による汚染を防止できるようにし
た。なお、上記した本実施例では、汚染防止壁７の高さ
を弾性表面波素子３より高くしたが、弾性表面波素子３
より低くても汚染防止効果は期待できる。
【００１３】
【発明の効果】従来の弾性表面波装置では、金属キャッ
プをはんだ付けによって気密封止する場合、弾性表面波
素子の表面にフラックスやはんだボールの付着等によっ
て汚染される場合があるため、ほとんど採用されてなか
った。しかし、本発明によれば、金属キャップの内壁と
弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設ける手段を採用
することによって、弾性表面波素子の表面にフラックス
やはんだボールの付着等による汚染を防止できるため、
はんだ接続を用いても高歩留で信頼性の高い弾性表面波
装置が提供できる。またその上、従来コスト高であるシ
ーム接続を用いないため、組立コストを安価にできる。
プをはんだ付けによって気密封止する場合、弾性表面波
素子の表面にフラックスやはんだボールの付着等によっ
て汚染される場合があるため、ほとんど採用されてなか
った。しかし、本発明によれば、金属キャップの内壁と
弾性表面波素子との間に汚染防止壁を設ける手段を採用
することによって、弾性表面波素子の表面にフラックス
やはんだボールの付着等による汚染を防止できるため、
はんだ接続を用いても高歩留で信頼性の高い弾性表面波
装置が提供できる。またその上、従来コスト高であるシ
ーム接続を用いないため、組立コストを安価にできる。
【図１】本発明の弾性表面波素子の一実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】従来の弾性表面波素子の実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】図１のＡ−Ａ´の断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ´の断面図である。
１…金属キャップ、 ２…基板、 ３…弾性表面波素子、 ４…ボンディングワイヤ、 ５…パターン、 ６…はんだ、 ７…汚染防止壁、 ８…有機接着剤。
フロントページの続き (72)発明者 坂口 勝 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に弾性表面波素子を搭載実装し、金
属キャップで気密封止された弾性表面波装置において、
該金属キャップの内壁と該弾性表面波素子との間に汚染
防止壁を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP812993A JPH06216698A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP812993A JPH06216698A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216698A true JPH06216698A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11684684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP812993A Pending JPH06216698A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06216698A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6319377B1 (en) | 1997-11-14 | 2001-11-20 | Kabushiki Kaisha Riken | Nitrogen oxide sensor |
| DE19827927C2 (de) * | 1997-06-23 | 2003-08-21 | Riken Tokio Tokyo Kk | Gassensor |
| US20160329481A1 (en) * | 2015-05-04 | 2016-11-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator and filter including the same |
-
1993
- 1993-01-21 JP JP812993A patent/JPH06216698A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19827927C2 (de) * | 1997-06-23 | 2003-08-21 | Riken Tokio Tokyo Kk | Gassensor |
| US6319377B1 (en) | 1997-11-14 | 2001-11-20 | Kabushiki Kaisha Riken | Nitrogen oxide sensor |
| US20160329481A1 (en) * | 2015-05-04 | 2016-11-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator and filter including the same |
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