JPH06215690A

JPH06215690A - カラー陰極線管の色選別手段の製造方法

Info

Publication number: JPH06215690A
Application number: JP50A
Authority: JP
Inventors: Shinzo Takei; 慎三武井; Hiroyuki Ida; 博行伊田
Original assignee: Sony Chemicals Corp; Sony Corp
Current assignee: Dexerials Corp; Sony Corp
Priority date: 1993-01-18
Filing date: 1993-01-18
Publication date: 1994-08-05
Also published as: KR940018891A; US5362357A; KR100311250B1

Abstract

(57)【要約】【目的】金属薄板よりなるカラー陰極線管の色選別手
段を歩留り良く確実に製造する。【構成】金属薄板１に、多数のスリット状電子ビーム
透過孔２が並置穿設されて成るカラー陰極線管の色選別
手段４の製造方法において、この金属薄板１の一主面１
Ａに、反応型再剥離粘着シート１１を貼着し、この状態
で、金属薄板１の他方の主面１Ｂ側から選択的エッチン
グを行ってスリット状電子ビーム透過孔２の穿設を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー陰極線管の色選
別手段の製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】カラー陰極線管においては、そのカラー
蛍光面に対向して色選別手段が設けられて、これによっ
て各色に対応する電子ビームを所定の色の蛍光体パター
ン上にランディングするようになされている。

【０００３】一般のカラー陰極線管においては、例えば
ドット状の赤、緑及び青の蛍光体トリプレットに対して
１つの例えば円形のビーム透過孔が金属板に穿設されて
成るシャドウマスクが色選別手段としてカラー蛍光体に
対向して配置される。

【０００４】このようなシャドウマスクは、金属板プレ
ス等によりドーミング状に成形されて、その周辺がフレ
ームに溶接されて保持される。この場合のシャドウマス
クはテンションをかけずにフレームに保持しているた
め、走査電子ビームによりマスク温度が上昇すると、熱
膨張によって色ずれを起こすいわゆるドーミングが起こ
り、この対策としてマスク材に低膨張率の高価格材料を
使用し、更にその強度を大とするために板厚を大とする
傾向がある。

【０００５】これに対して、トリニトロン（商標登録）
型カラー陰極線管は、図１に斜視図を示すように、カラ
ー蛍光面１０に対向してアパーチャグリル型の色選別手
段４が配置される。

【０００６】カラー蛍光面１０は、それぞれ垂直方向に
延びる赤、緑及び青の各色の蛍光体ストライプ（図示せ
ず）が所定の順序をもって並置配列されて成り、これに
対向するように、蛍光体ストライプの延長方向に沿って
少くとも全有効画面のほぼ上縁から下縁に亘って延長す
る多数のスリット状電子ビーム透過孔２が形成されたア
パーチャグリル型の色選別手段４が配置される。

【０００７】このアパーチャグリル型の色選別手段は、
図１に示すように、厚さ０．０８〜０．１５ｍｍの高純
度の鉄薄板より成る金属薄板１に多数のスリット状電子
ビーム透過孔２が並置穿設され、この金属薄板１がフレ
ーム３に架張されて成る。

【０００８】フレーム３は、例えば相対向する対の枠辺
３Ａ及び３Ｂと、これら枠辺３Ａ及び３Ｂ間に差し渡っ
て配される腕部３Ｃ及び３Ｄとより成る。枠辺３Ａ及び
３Ｂは、その前方端面が同一円筒面を形成する湾曲面と
され、これら枠辺３Ａ及び３Ｂの前方端面に差し渡って
金属薄板１が架張される。

【０００９】この金属薄板１をフレーム３に架張して取
付ける際には、フレーム３の枠辺３Ａ及び３Ｂを互に引
き寄せる方向にターンバックルを掛け、この状態で枠辺
３Ａ及び３Ｂの前方端面に金属板１を、その各スリット
２の両端に相当する縁部を溶接して固定した後、フレー
ム３に加えた外力を解除することによって、フレーム３
の復元力によって金属薄板１の各スリット状電子ビーム
透過孔２間の帯状部分がスリット２の延長方向に所要の
張力をもって架張されるようにする。

【００１０】一方、近年カラー陰極線管型の大型化に伴
って、このアパーチャグリル型色選別手段４の金属薄板
１の各スリット２間の帯状部分の長さが大となり、この
ため電子線入射時に音声や衝撃等による振動によってこ
の帯状部分が振動し易くなり、これによる色ずれ等の発
生が問題となっている。

【００１１】この帯状部分の振動を抑制するために金属
板１の厚さを大として剛性を大としたり、フレーム３を
構成する材料の厚さを大として、上述したフレームの復
元力、すなわち弾性力を大として帯状部分の振動を抑え
るようにしている。

【００１２】一方、このような比較的厚い金属薄板１に
対するスリット状電子ビーム透過孔２の形成方法として
は、金属薄板１の両面からそれぞれフォトリソグラフィ
によるエッチングを行うという方法がとられる。

【００１３】この方法を図１３を参照して説明する。先
ず、図１３Ａに示すように、金属薄板１の一方の主面１
Ａ上にフォトレジストの塗布、パターン露光、現像、レ
ジスト除去等のフォトリソグラフィ技術を適用して所要
のストライプ状のパターンに開口１ＷＡを開口したフォ
トレジストによるエッチングマスク１１Ａを形成した
後、同様に他方の主面すなわち裏面１Ｂ上に、エッチン
グマスク１１Ａのパターンに正対して開口１ＷＢを有
し、かつその開口幅が開口１ＷＡの幅に比して大とされ
たエッチングマスク１１Ｂを同様にフォトリソグラフィ
によるフォトレジストによって形成する。

【００１４】次に図１３Ｂに示すように、ＦｅＣｌ₃(塩
化第２鉄）等のエッチング液を用いてエッチングを行っ
て金属薄板１の両面側から両マスク１１Ａ及び１１Ｂの
１ＷＡ及び１ＷＢを通じてストライプ状の溝を形成する
第１回目のエッチングを行う。

【００１５】次に図１３Ｃに示すように、一方の面１側
のストライプ溝内に例えばニス等の保護膜１２を塗布
し、これをエッチングマスクとして他方の面１Ｂ側から
比較的濃度の薄いＦｅＣｌ₃等のエッチング液を用い
て、図１３Ｄに示すように保護膜１２が露出するまで、
比較的緩やかな第２回目のエッチングを行う。

【００１６】その後保護膜１２を除去する。このように
すると、図１４Ｄに示すように、断面「８」の字状の図
１４の紙面と直交する方向に延びるストライプ状、すな
わちスリット状の電子ビーム透過孔２が穿設される。こ
のようにエッチングを２回に分け、更に２回目のエッチ
ングをエッチング速度を小として電子ビーム透過孔２を
形成する場合は、金属薄板１の厚さが比較的大であって
も１回のエッチングで溝を形成する場合に比して、その
エッチング時間の制御を容易かつ確実に行うことができ
ることから、エッチングの過度な進行を防ぐことができ
てこれにより各エッチング深度をより正確に形成するこ
とができ、厚い金属薄板１に対しても透過孔２の実効幅
即ち両面エッチングによって生じるエッチング５間の距
離ＳＷを制御性良く高精度に形成することができる。し
かしながら１回のエッチングで溝を形成する場合に比し
て、作業性の劣化を招くという問題がある。

【００１７】このようにエッジ５を形成する場合、各面
１Ａ及び１Ｂからエッジ５にかけてながらかな曲線状の
テーパ部６が形成される。

【００１８】従って図１５にこのアパーチャグリル４を
用いたときのカラー蛍光面１０への電子線の入射態様の
断面図を示すように、入射電子線Ｅｉを電子ビーム透孔
孔２を通過してカラー蛍光面１０に入射して、ストライ
プ状に形成された蛍光体を発光させるが、一方このカラ
ー蛍光面１０からの２次電子放出による反射電子線Ｅｒ
₁がアパーチャグリル４の表面やテーパ部５において反
射して散乱電子線Ｅｓや反射電子線Ｅｒ₂が発生するた
め、カラー蛍光面１０の発光が不正確となり、色のコン
トラストや色純度の劣化を招くという問題があった。と
は云え厚い金属薄板１に対してアパーチャグリル４のス
リット状電子ビーム透過孔２を１回のエッチングで形成
する場合には、テーパ部５の表面積が更に増大するた
め、上述したような色コントラスト及び色純度劣化の問
題が更に顕著となる。

【００１９】上述したように、従来一般のトリニトロン
型のカラー陰極線管においては、そのアパーチャグリル
型の比較的厚い金属薄板１を用いることがよいものとさ
れているが、この場合前述したように振動抑制のために
弾性力を大とする必要性からアパーチャグリル型色選別
手段４の重量が大となり、従ってカラー陰極線管の総重
量が大となるという問題があった。

【００２０】また上述したエッチングの際に形成可能な
スリット４の幅ＳＷは、エッチングの特性上の制約か
ら、金属薄板１の厚みｔに対して約５０％とされてい
る。このため上述したように金属薄板１の厚さを大とす
ると、電子ビーム透過孔２の幅ＳＷが厚みｔに比例して
大となってしまい、高密度化即ち高精細度化がはかれな
いという問題があった。

【００２１】これに対し、本出願人は、このような問題
の解決をはかって、アパーチャグリルの精度の向上、生
産性の向上、軽量化をはかり、更にカラー陰極線管の高
精細度化をはかることのできるカラー陰極線管を提案し
た。

【００２２】このカラー陰極線管は、特開平４−１２６
３４１号公報に開示されているように、各色の蛍光体ス
トライプが所定の順序をもって並置配列されて成るカラ
ー蛍光面に対向して、蛍光体ストライプの延長方向に沿
って延長する多数のスリットが金属薄板に並置穿設され
て成るアパーチャグリル型の色選別手段が配置されて成
るカラー陰極線管において、その色選別手段を構成する
金属薄板が、フレームに、そのスリットの延長方向に所
要の張力をもって架張された構成とし、この金属薄板の
厚さを０．０５ｍｍ以下とするというものである。

【００２３】この場合、金属薄板の厚さを０．０５ｍｍ
以下とするものであるが、このように厚みを小として
も、このアパーチャグリル型色選別手段の各スリット
（電子ビーム透過孔）間の帯状部分における、音声や衝
撃によって生じる振動を、従来と同様に抑制することが
できた。これは次の理由に因るものと思われる。

【００２４】アパーチャグリルの上述の帯状部分を弦と
するとその共振周波数ｆは、次式数１で与えられる。

【００２５】

【数１】ｆ＝（ｇＴ／ρ）^1/2／２Ｌｓ ‥‥‥‥（１１）

【００２６】ここでｇは重力加速度、ρは弦の線密度、
Ｔは応力、Ｌｓは弦の長さである。従って、従来はカラ
ー陰極線管の大型化に伴って弦の長さＬｓが大となるこ
とに対して、応力Ｔを大とすることによって共振周波数
ｆの値を大とし、音声等の主要な振動の周波数帯を回避
するようにして振動を抑制していたが、この構成による
場合はアパーチャグリルの金属薄板の厚さを小とするこ
とによって、弦の線密度即ちρが小となり、従って共振
周波数ｆが大となって音声や振動等の周波数に係わる主
要な共振周波数帯からずらすことができ、これによって
上述したように金属薄板の厚みを小としても、その帯状
部分の振動を従来と同様に抑制することができたものと
思われる。このため、電子線入射時における、音声や衝
撃等の振動による色ずれ等の発生を回避することがで
き、カラー陰極線管の高画質化をはかることができると
いうものである。

【００２７】また、図１６にアパーチャグリル型色選別
手段４の金属薄板１の断面図を示すように、その厚みが
小であるためその一方の主面側からの１回のエッチング
によっても精度よくスリット状電子ビーム透過孔２を形
成することができ、またエッチング時間の短縮による生
産性、材料の少量化、歩留りの向上をはかることができ
る。

【００２８】更に、エッチングの際に形成可能なスリッ
ト状電子ビーム透過孔２の幅はこれを形成する金属板の
厚さｔに対して約０．５ｔであるため、厚みｔが小とな
ったことにより透過孔２の幅を従来より小とすることが
でき、これによってアパーチャグリル型色選別手段４の
精度の向上をはかり、高密度化即ち高精細度化をはかる
ことができる。

【００２９】また、厚みの減少に伴ってテーパ部６の表
面積が小となるため、図１７にその電子線の入射態様の
略線的断面図を示すように、テーパ部６における電子線
の反射や散乱を抑制することができ、色のコントラスト
や色純度の劣化を抑制して高精度化をはかることができ
る。

【００３０】またアパーチャグリル金属薄板１の厚さを
小とすることによりフレーム３の材料の剛性を下げら
れ、軽量化が可能となる。更にこの軽量化に伴って、カ
ラー陰極線管において外部磁気の消磁を行うディガウス
コイルに要する電力量を小とすることができ、低消費電
力化と共に、確実な消磁を行うことができることによっ
て特性の向上をはかることができるというものである。

【００３１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
カラー陰極線管の色選別手段として用いる金属薄板の厚
さが薄くなると、特にその厚さが、０．０８ｍｍ以下と
なると、更に上述したように、特開平４ー１２６３４１
号公開公報に開示された発明におけるように、その厚さ
が０．０５ｍｍ以下にも及ぶと、この金属薄板自体の取
扱いに問題が生じて来る。

【００３２】すなわち、この金属薄板に対して前述した
ように、スリット状電子ビーム透過孔を穿設するエッチ
ング加工作業、このスリット状電子ビーム透過孔が穿設
された金属薄板つまりアパーチャグリルが良品であるか
を検査するに際しての取扱い作業、更にこのスリット状
電子ビーム透過孔が穿設されかつ良品であると判断され
た金属薄板を図１で説明したフレーム３上に載せて溶接
する作業等において、その金属薄板自体が薄いこと、加
えて特にスリット状電子ビーム透過孔の穿設後の金属薄
板は、隣り合うスリット状電子ビーム透過孔相互間に形
成された多数の帯状部がその各両端においてのみ結合し
た極めて柔軟的で不安定な状態となるため、その取扱い
において、帯状部の撓曲、屈曲、帯状部相互の絡み合い
等が発生し、これによってこれら帯状部あるいはその周
囲の連結部等において皺の発生を来す。

【００３３】このため、最終的にこの金属薄板をフレー
ムに所要の張力をもって架張させても、この皺が排除さ
れずに残存してしまって、スリット状電子ビーム透過孔
を形成した金属薄板が良品であっても、最終的に得たカ
ラー陰極線管の色選別手段が、正確に電子ビームを目的
とするカラー蛍光体上にランディングさせることのでき
ない不良品となって歩留りの低下を来すという問題が起
きてきている。

【００３４】更に、昨今大型のＨＤ(High Difinition：
高品位、高精細度）管の普及が目ざましいが、このよう
に大型でかつ高品位が要求される場合に、その金属薄板
の厚さが０．０８ｍｍ以下に及ぶことのない場合におい
てもその取扱いが問題となる。

【００３５】本発明は、このようにその取扱いが問題と
なるアパーチャグリル型のカラー陰極線管の色選別手段
を製造する場合において、これを歩留り良く製造するこ
とのできるカラー陰極線管の色選別手段の製造方法を提
供するものである。

【００３６】

【課題を解決するための手段】本発明は、図１で説明し
たように、金属薄板１に、多数のスリット状電子ビーム
透過孔２が並置穿設されて成るカラー陰極線管の色選別
手段４の製造方法において、図２にその各工程での略線
的断面図を示すように、図２Ａで示すように、この金属
薄板１の一主面１Ａに、反応型再剥離粘着シート１１を
貼着し、この状態で図２Ｃに示すように、金属薄板１の
他方の主面１Ｂ側から選択的エッチングを行ってスリッ
ト状電子ビーム透過孔２の穿設を行う。

【００３７】本発明は、上述の方法において、反応型再
剥離粘着シート１１を紫外線硬化型粘着シートとする。

【００３８】本発明は、上述の方法において、反応型再
剥離粘着シート１１を加温発泡型粘着シートとし、上述
の選択的エッチングによってスリット状電子ビーム透過
孔を穿設して後に、反応型再剥離粘着シート１１、すな
わちこの場合は加温発泡型粘着シートの加温発泡処理を
行う。

【００３９】また、本発明は、金属薄板１に、多数のス
リット状電子ビーム透過孔２が並置穿設されて成るカラ
ー陰極線管の色選別手段４の製造方法において、図２Ａ
に示すように、金属薄板１の一主面１Ａに、反応型再剥
離粘着シート１１を貼着し、この状態で図２Ｃに示すよ
うに、金属薄板１の他方の主面１Ｂ側から選択的エッチ
ングを行ってスリット状電子ビーム透過孔２を穿設し、
このスリット状電子ビーム透過孔２が穿設された金属薄
板１を、図３に斜視図を示すように、カラー陰極線管の
色選別手段４のフレーム３に架張し、その後反応型再剥
離粘着シート１１の剥離を行う。

【００４０】

【作用】上述したように、本発明では、厚さが０．０８
ｍｍというような自己保持力が小さいとか、大面積であ
るが故に全体的に機械的剛性に乏しい、特に多数のスリ
ット状電子ビーム透過孔２が並置された状態では、より
皺等の発生が生じ易い金属薄板１によってカラー陰極線
管の色選別手段４を構成するにもかかわらず、少なくと
もこれに対するスリット状電子ビーム透過孔２の穿設前
に、これの一方の面１Ａに反応型再剥離粘着シート１１
を裏打ちしたので、金属薄板１にスリット状電子ビーム
透過孔２が穿設された状態においても、反応型再剥離粘
着シート１１によってその形状が保持されることから、
その搬送その他の取扱いにおいて金属薄板１を撓曲させ
たり屈曲させるなどして皺を発生させて不良品を発生さ
せてしまうような不都合を回避できる。

【００４１】また、スリット状電子ビーム透過孔２が穿
設された金属薄板１が、良品であるか不良品であるかの
検査を行うに当たって、これが反応型再剥離粘着シート
１１で固定された状態で行うことができることから、こ
のままの状態でその測定検査を正確に行うことができ
る。

【００４２】また、色選別手段４を構成する金属薄板１
を、連続した長尺シート状の金属薄板シートから選択的
エッチングによって作製する場合において、金属薄板１
に対する反応型再剥離粘着シート１１を、この長尺物の
金属薄板シートの状態でその一主面に対して貼着してお
くことによって、それぞれスリット状電子ビーム透過孔
２が選択的エッチングによって作製された各金属薄板１
が、反応型再剥離粘着シート１１によって連なった状態
を保持して形成されるので、これら互いに連ねられた各
金属薄板１に対して、これが良品であるか不良品あるか
の検査を連続的に行うことができ、この検査の機械化、
自動化を容易に行うことができる。

【００４３】また、上述したようにスリット状電子ビー
ム透過孔２が形成された金属薄板１をフレーム３上に載
せて所定の溶接を行って後に、この反応型再剥離粘着シ
ート１１の剥離を行うときは、少なくともスリット状電
子ビーム透過孔２が穿設されて後の極めて機械的に不安
定な状態での金属薄板１を単独で取扱うことが全く回避
されるので、目的とするカラー陰極線管の色選別手段４
の作製をさらに確実に歩留り良く製造することができ
る。

【００４４】また、本発明では、特に反応型再剥離粘着
シート１１、つまり例えば紫外線硬化型粘着シートある
いは加温発泡型粘着シート等を用いるものであり、紫外
線照射によってあるいは加温による発泡によって適度の
剥離性を付与させるので、最終的にはこのシート１１を
良好に剥離でき、これが最終的に残存することによっ
て、この色選別手段４を陰極線管管体に組み込んだ状態
でこのシート１１から発生する有機物によって管体内の
真空度を低下させ、寿命を低下させるような不都合が回
避される。

【００４５】

【実施例】本発明は、図１で説明したように、厚さが
０．１５ｍｍ以下例えば０．０８ｍｍ以下の金属薄板１
に、多数のスリット状電子ビーム透過孔２が並置穿設さ
れて成るカラー陰極線管の色選別手段４の製造方法にお
いて、図２Ａに示すように、この金属薄板１の一主面１
Ａに、反応型再剥離粘着シート１１を貼着し、この状態
で図２Ｃに示すように、金属薄板１の他方の主面１Ｂ側
から選択的エッチングを行ってスリット状電子ビーム透
過孔２の穿設を行う。

【００４６】この本発明方法の一例を詳細に説明する。
この例では、金属薄板１は、所要の幅を有するテープ状
すなわちいわゆる長尺物の金属薄板シート２１から複数
枚選択的エッチングによって作製するという製造態様を
とる場合である。

【００４７】また、この例では、反応型再剥離粘着シー
ト１１として紫外線硬化型粘着シーを用いる場合であ
る。

【００４８】この場合、図４に示すように、複数の金属
薄板１を得るための厚さが０．１５ｍｍ以下例えば厚さ
０．０２５〜０．０５ｍｍの平滑なアルミキルド低炭素
鋼板よりなる長尺物の金属薄板シート２１を用意する。
図４において、２２はこの金属薄板シート２１が巻き込
まれていて、これを順次送り出すシート２１の供給ロー
ルを示す。

【００４９】そして、この供給ロール２２から送り出さ
れた金属薄板シート２１を、図４で示す洗浄装置２３に
よって洗浄する。

【００５０】この洗浄装置２３は、複数の処理部２３ａ
〜２３ｅを通過するようになされる。例えばけい酸ソー
ダによる洗浄処理部２３ａ、水洗処理部２３ｂ、防錆処
理部２３ｃ、水洗処理部２３ｄ、乾燥処理部２３ｅの各
処理工程等を採り、これら処理のなされた金属薄板シー
ト２１を必要に応じて一旦巻取りロール２４に巻き取
る。

【００５１】次に、図５に示すように、このロール２４
から繰り出した金属薄板シート２１を、レジスト塗布装
置２５に送り込む。このレジスト塗布装置２５は、これ
に対する選択的エッチングのマスクとなる感光性樹脂い
わゆるフォトレジストを、金属薄板シート２１の一方の
面に塗布するものであり、このレジスト塗布装置２５
は、例えばスラリー状のレジスト材が収容され、金属薄
板シート２１の移行によってその一方の面にのみレジス
トの塗布を行うことができるレジスト塗布部２５ａと、
これによって塗布されたレジスト層をヒータ加熱、ラン
プ加熱等によって例えば６０℃に加熱してこれを乾燥さ
せる加熱乾燥部２５ｂとを有して成る。

【００５２】このレジスト層の塗布がなされた金属薄板
シート２１は、図５に示すように、必要に応じて供給ロ
ール２６から供給されたスペーサシート２７と重ね合わ
されて巻取りロール２８に巻き取られる。

【００５３】次に、図６に示すように、金属薄板シート
２１をロール２８から繰り出し、スペーサシート２７と
分離して露光装置２９に送り込む。３０は、この分離さ
れたスペーサシート２７を巻き取るロールを示す。

【００５４】露光装置２９は、図１に示す最終的に得る
カラー陰極線管の色選別手段４を構成する金属薄板１の
輪郭パターンと、その内側に位置して最終的に得るスリ
ット状電子ビーム透過孔２のパターンに対応するパター
ンとを有する露光原板３１が金属薄板シート２１に密着
され、これを通じて金属薄板シート２１上のレジスト層
に例えば紫外線を照射してこのレジスト層をパターン露
光し例えばこの露光部を硬化する。

【００５５】このようにしてパターン露光がなされたレ
ジスト層を有する金属薄板シート２１を図６に示すよう
に、必要に応じて供給ロール３２から供給されたスペー
サシート３３と重ね合わされて巻取りロール３４に巻き
取る。

【００５６】次に、図７に示すように、金属薄板シート
２１をロール３４から繰り出し、スペーサシート３３と
分離して現像処理と更に硬膜処理とを行う現像／硬膜処
理装置３５に送り込む。３６は、この分離されたスペー
サシート３３を巻き取るロールを示す。

【００５７】この現像／硬膜処理装置３５は、例えば複
数の処理部３５ａ〜３５ｅからなる。例えば現像処理部
３５ａ、水洗処理部３５ｂ、硬膜処理部３５ｃ、水洗処
理部３５ｄ、乾燥処理部３５ｅの各工程を採るようにな
され、この各処理部を通過することによって、最終的に
得るカラー陰極線管の色選別手段４としての金属薄板１
の輪郭形状に対応する輪郭形状を有し、かつこの輪郭内
にスリット状電子ビーム透過孔２に対応する開口が形成
されたパターンのエッチングマスクとしてのレジスト層
５１を、図２Ａに示すように、金属薄板シート２１の一
方の主面１Ｂに被着形成する。

【００５８】このようにしてレジスト層５１が形成され
た金属薄板シート２１は、図７に示すように、必要に応
じて供給ロール３７から供給された耐熱シート３８と重
ね合わされて巻取りロール３９に巻き取られる。

【００５９】次に、このようにしてレジスト層５１が形
成された金属薄板シート２１を、例えば図８に示すよう
に、ロール３９から繰り出してヒータ加熱、ランプ加熱
等による加熱手段４０によって例えば２３０℃の加熱い
わゆるポストベーキングを行ってレジスト層５１の、よ
り機械的、化学的安定化を行う。

【００６０】その後、図８に示すように、例えば耐熱シ
ート３８を金属薄板シート２１から分離してこれをロー
ル４１に巻取り、一方金属薄板シート２１はロール４２
に巻き取る。

【００６１】その後、図２Ａに示すように、金属薄板シ
ート２１のレジスト層５１が被着形成された側とは反対
側の主面１Ａに反応型再剥離粘着シート１１の紫外線硬
化型粘着シートを貼着する。

【００６２】この反応型再剥離粘着シート１１すなわち
紫外線硬化型粘着シートは、図９に示すように、その供
給ロール４３から繰り出してロール４２から繰り出した
金属薄板シート２１の、上述したレジスト層５１を有す
る側とは反対側に重ね合わされて圧着ローラ４５によっ
て圧着されて金属薄板シート２１に対する紫外線硬化型
粘着シート１１の貼着、すなわち裏打ちがなされる。

【００６３】そして、この状態で金属薄板シート２１に
対する選択的エッチングすなわちレジスト層５１をエッ
チングマスクとするエッチングを行う。

【００６４】このエッチングは、図９Ａに示すように、
例えば第１のエッチング処理工程４６と、第２のエッチ
ング処理工程４７の２段階を経て行うようにし、第１の
エッチング処理工程４６においては比較的速いエッチン
グ速度によるエッチングを行い、第２のエッチング処理
工程４７においては比較的遅いエッチング速度によるい
わば高精度のエッチングを行う。この場合のエッチング
液としては、例えば塩化第２鉄を用いその液温あるいは
溶液濃度等の選定によってエッチング速度を選定でき
る。

【００６５】また、これらエッチング処理工程４６及び
４７は、それぞれ４６ａ〜４６ｃ及び４７ａ〜４７ｃの
３段階の処理部、すなわちそれぞれエッチング処理部４
６ａ及び４７ａ、水洗処理部４６ｂ及び４７ａ、乾燥処
理部４６ｃ及び４６ｃを経るようになされる。

【００６６】このようにして金属薄板シート２１に対す
る選択的エッチングによって図２Ｂに示すように、それ
ぞれスリット状電子ビーム透過孔２が形成された複数の
金属薄板１が反応型再剥離粘着シート１１すなわち紫外
線硬化型粘着シートによって裏打ちされる。

【００６７】その後、図１０に示すように、ロール４８
から上述したように選択的エッチングがなされ、反応型
再剥離粘着シート１１によって裏打ちされた金属薄板シ
ート２１を繰り出して、レジスト層５１の除去処理工程
４９を行って図２Ｃに示すように、レジスト層５１の除
去を行う。この処理工程４９は、レジスト層５１の溶液
の吹きつけによる洗除処理部４９ａ、水洗処理部４９
ｂ、乾燥処理部４９ｃを順次経るようになされる。

【００６８】このようにして、図１１に示すように、反
応型再剥離粘着シート１１すなわちこの例では紫外線硬
化型粘着シート上に、上述した金属薄板シート２１が選
択的にエッチングされてそれぞれスリット状電子ビーム
透過孔２が並置穿設された金属薄板１が配列形成され、
これら金属薄板１が相互に粘着シート１１で機械的に連
ねられて形成される。

【００６９】その後、図１０に示すように、紫外線照射
装置５０によって紫外線硬化型粘着シート１１に対する
紫外線照射を行ってこのシート１１を硬化してその剥離
性を高める。

【００７０】そして、この紫外線照射後、又は前に紫外
線硬化型粘着シート１１上に形成されたスリット状電子
ビーム透過孔２が形成された各金属薄板１に対して検査
装置５２によって例えば光学的に画像処理等によってそ
の良否を判断する。そして例えば不良品についてはこれ
を紫外線硬化型粘着シート１１から剥離排除するか、良
否を判知できるようなマークを付す。

【００７１】このようにして、検査のなされた複数の金
属薄板１が形成されたシート２１を必要に応じて図１０
に示すように一旦ロール５３に巻取る。

【００７２】次に図３に示すように、カラー陰極線管の
色選別手段４のフレーム３上に紫外線硬化型粘着シート
１１で裏打ちされたままの状態で載せる。

【００７３】フレーム３は、前述したと同様に、例えば
相対向する対の枠辺３Ａ及び３Ｂと、これら枠辺３Ａ及
び３Ｂに差し渡って配される腕部３Ｃ及び３Ｄとより成
る。

【００７４】枠辺３Ａ及び３Ｂは、その前方端面が同一
円筒面を形成する湾曲面とされ、これら枠辺３Ａ及び３
Ｂの前方端面上に差し渡ってスリット状電子ビーム透過
孔２が穿設された金属薄板１を、これらスリット状電子
ビーム透過孔２の延長方向に所要の張力をもって架張取
着する。

【００７５】この金属薄板１のフレーム３に対する取着
は、その枠辺３Ａ及び３Ｂを互いに引き寄せる方向にタ
ーンバックルを掛け、この状態で枠辺３Ａ及び３Ｂの前
方端面に金属薄板１を、そのスリット状電子ビーム透過
孔２の長手方向に関する両端の縁部において電気溶接、
レーザ溶接等によって固定し、その後上述のターンバッ
クルを解除する。

【００７６】この場合、金属薄板１に反応型再剥離粘着
シート１１が存在することによってその溶接が阻害され
るおそれがある場合は、反応型再剥離粘着シート１１の
この溶接部分に予め透孔を穿設しておき、この透孔を通
じて金属薄板１のフレーム３に対する溶接を行うように
する。

【００７７】そして、この溶接が終了して後に、フレー
ム３に取着された金属薄板１を反応型再剥離粘着シート
１１から剥離する。

【００７８】この方法によれば、多数のスリット状電子
ビーム透過孔２が形成されることによってこれらスリッ
ト状電子ビーム透過孔２間の細くて薄い軟弱な帯状部の
配列による金属薄板１が、紫外線硬化型粘着シートより
なる反応型再剥離粘着シート１１によって機械的に保持
されるので、この状態で金属薄板１の搬送等の取扱いを
行なうことによって、この肉薄の金属薄板１を単独に取
り扱う場合に問題となる湾曲、屈曲、絡み合いによる皺
等の発生を回避できる。

【００７９】そして、この反応型再剥離粘着シート１１
は、適宜適当な工程で、例えば上述した例では金属薄板
１のフレーム３への取着後にこれを剥離するものである
が、この剥離は、反応型再剥離粘着シート１１の紫外線
硬化型粘着シートに対して紫外線照射による硬化によっ
て比較的剥離し易い状態としてその剥離を行うものであ
ることから、その粘着剤が金属薄板１に残ることなくき
れいに排除される。

【００８０】尚、上述した例では、反応型再剥離粘着シ
ート１１として紫外線硬化型粘着シートを用いるもので
あるが、この場合、紫外線硬化型粘着シートを貼着して
後は、剥離性付与のための紫外線照射装置５０からの紫
外線照射による硬化以外の紫外線照射は回避されるべき
ものである。

【００８１】しかしながら、紫外線硬化型粘着シートを
用いる場合においても、単にこれを金属薄板シート２１
に貼り合わせただけでは、図９Ａで示したエッチング工
程での化学的、機械的安定性に問題がある場合は、図９
Ｂに示すように、エッチング処理工程４６及び４７の工
程前において紫外線照射装置５０を設け、これにより予
め或る程度の化学的、機械的安定化をはかる硬化処理を
行うことができる。この場合は、図１０で説明した紫外
線照射装置５０による紫外線照射を省略することができ
るが、場合によってはこの図１０の剥離工程で再び紫外
線照射を行ってより剥離性を高めることができる。

【００８２】そして、上述した図４〜図１１で説明した
工程は、実際上は個々に単独で行われるよりは、むしろ
自動化された連続した一連の流れ作業として行われる。

【００８３】また、金属薄板１、すなわち金属薄板シー
ト２１は、Ｆｅ、或いはＦｅを含む合金、例えばアンバ
ー等によって構成することもできるなど、種々の材料に
よる金属薄板によって構成することができる。

【００８４】また、本発明で用いられる反応型再剥離粘
着シート１１は、図１２にその一例の断面図を示すよう
に、例えば厚さ５０〜１２５μｍのＰＥＴ（ポリエチレ
ンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ
（ポリエチレン）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレー
ト）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＡ（ポ
リアリレート）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケト
ン）、ＰＥＳ（ポリエーテルスルホン）等より成る光透
過率例えば紫外線の透過率が５０％以上のシート状ベー
ス６１上に粘着剤層６２、すなわちいわゆる感圧性接着
剤層が塗布された構成を有する。

【００８５】上述した例では、この反応型再剥離粘着シ
ート１１として、紫外線硬化型粘着シートを用いた場合
で、この紫外線硬化型粘着シートとしては、例えばアク
リル系粘着剤によるソニーケミカル社製、商品名：ＰＥ
Ｔ−８８００を用いることができる。

【００８６】このＰＥＴ−８８００は、厚さ１２５μｍ
のＰＥＴシート状ベースの上に、３０μｍの厚さの紫外
線反応型粘着剤を塗布して成り、アルミキルド低炭素鋼
板による金属薄板１に対し貼着した状態の、紫外線照射
前の金属薄板１に対する剥離強度は７０ｇ／２ｃｍであ
り、紫外線照射後の剥離強度は３ｇ／２ｃｍとなった。

【００８７】この場合剥離強度の測定方法は、１８０度
剥離で、剥離速度を３００ｍｍ／分とした場合で、紫外
線照射条件は、１６０Ｗメタルハライドランプを用い、
１５ｃｍの距離で、１ｍ／分の速度で相対的に移行させ
て２．０Ｊ／ｃｍ²の積算光量とした。

【００８８】上述した例では、反応型再剥離粘着シート
１１として紫外線硬化型粘着シートを用いた場合である
が、本発明では、反応型再剥離粘着シート１１として加
温発泡型粘着シートを用いることもできる。

【００８９】この加温発泡型粘着シートとしては、前述
したと同様にベースフィルム６１上に加温によって発泡
するが、加温前の常態では粘着性すなわち感圧性接着性
を有するアクリル系の加温発泡型の粘着剤層６２が塗布
された例えば日東電工社製、商品名：Ｎｏ３１９２Ｈ，
Ｎｏ３１９３Ｈ，Ｎｏ３１９４Ｈ等を用いることができ
る。

【００９０】そして、このように反応型再剥離粘着シー
ト１１として加温発泡型粘着シートを用いる場合におい
ても、前述した例、すなわち図３，図４〜図１１で説明
したとほぼ同様の工程を採ってカラー陰極線管の色選別
手段４の製造を行うことができるが、この加温発泡型粘
着シートを用いる場合は、この加温発泡型粘着シートの
金属薄板シート２１に対する接着性が、紫外線照射によ
って阻害されることが殆どないことから、この金属薄板
シート２１に対する加温発泡型粘着シートの貼着は、金
属薄板シート２１に塗布したレジスト層５１に対する図
６で説明したパターン露光工程前において貼着すること
ができる。

【００９１】すなわち、この反応型再剥離粘着シート１
１としての紫外線硬化型粘着シートの金属薄板シート２
１との貼着は、例えば図５で説明したレジスト層５１の
塗布工程前もしくは後に行うことができるものであるこ
とから、より肉薄の金属薄板シート２１を安全に湾曲、
屈曲等を生ずることなく取り扱うことができる。

【００９２】そして、図９及び図１０で説明したと同様
にレジスト層５１をマスクとして金属薄板シート２１に
対しての選択的エッチングによってスリット状電子ビー
ム透過孔２を穿設し、レジスト層５１の除去を行って後
に、図１０で示す紫外線照射装置５０による紫外線照射
に代えてこの加温発泡型粘着シートを用いた場合におい
ては加熱ヒータあるいは赤外線ランプ等の適当な加温装
置６３を配置し、これによって加温発泡型粘着シートを
例えば９０℃〜１５０℃に加熱処理することによりその
粘着剤層を発泡させる。このようにすると、金属薄板シ
ート２１との剥離性が高まる。

【００９３】したがってその後、またはその前に検査装
置５２によって前述したと同様に金属薄板１の良否の検
査を行い、良品についてフレーム３への取着を行い、そ
の後加温発泡型粘着シートによる反応型再剥離粘着シー
ト１１の剥離を行う。

【００９４】この場合においても加温発泡型粘着シート
よりなる反応型再剥離粘着シート１１によってスリット
状電子ビーム透過孔２が形成された金属薄板１が保持さ
れていることによってこの肉薄の金属薄板１を単独に取
り扱う場合に問題となる湾曲、屈曲、絡み合いによる皺
等の発生を回避できる。

【００９５】尚、反応型再剥離粘着シート１１として、
熱硬化型粘着シートを用いることもできる。この場合に
おいても、上述した加温発泡型粘着シートを用いた場合
と同様に、その剥離性の付与を加熱によって行うので上
述した加温発泡型粘着シートを用いる場合と同様の方法
と、効果、したがって金属薄板シート２１への貼着はレ
ジスト層５１に対するパターン露光前の工程での被着が
可能となる。

【００９６】

【発明の効果】上述したように、本発明では、その厚さ
が比較的薄いとか、大面積であるために自己保持力が不
充分で全体的に機械的剛性に乏しい、特に多数のスリッ
ト状電子ビーム透過孔２が並置された状態ではより皺等
の発生が生じ易い金属薄板１によってカラー陰極線管の
色選別手段４を構成するにもかかわらず、少なくともこ
れに対するスリット状電子ビーム透過孔２の穿設前に、
これの一方の面１Ａに反応型再剥離粘着シート１１を裏
打ちしたので、金属薄板１にスリット状電子ビーム透過
孔２が穿設された状態においても、反応型再剥離粘着シ
ート１１によってその形状が保持されることから、その
搬送その他の取扱いにおいて金属薄板１を撓曲させたり
屈曲させるなどして皺を発生させて不良品を発生させて
しまうような不都合を回避できる。

【００９７】また、スリット状電子ビーム透過孔２が穿
設された金属薄板１が、良品であるか不良品であるかの
検査を行うに当たって、これが反応型再剥離粘着シート
１１で固定された状態あることから、このままの状態で
その測定検査を正確に行うことができる。すなわち、従
来においては、多数のスリット状電子ビーム透過孔２が
穿設された軟弱な金属薄板１を単独に扱ってその測定検
査を行っていたが、この場合、正確な測定を期するため
に、これに大きな張力を与える必要があり、そのため、
その測定検査作業に付随する装置と手間は極めて大とな
り、またこの検査時において不良品化する事故が発生す
る不都合があったが、本発明では、確実にこのような不
都合を回避できるものである。

【００９８】また、上述した例におけるように、色選別
手段４を構成する金属薄板１は、連続した長尺シート状
の金属薄板シートから順次所要の間隔を保持して各色選
別手段に対応するスリット状電子ビーム透過孔群を選択
的エッチングによって作製しする場合において、この長
尺物の金属薄板シートの一主面に、反応型再剥離粘着シ
ート１１を貼着しておくことによって、それぞれスリッ
ト状電子ビーム透過孔２が選択的エッチングによって作
製された各金属薄板１が、反応型再剥離粘着シート１１
によって連なった状態を保持して形成されるので、これ
ら互いに連ねられた各金属薄板１に対して、これが良品
であるか不良品あるかの検査を連続的に行うことがで
き、この検査の機械化、自動化を容易に行うことができ
る。

【００９９】また、上述したようにスリット状電子ビー
ム透過孔２が形成された金属薄板１をフレーム３上に載
せて所定の溶接を行って後に、この反応型再剥離粘着シ
ート１１の剥離を行うときは、少なくともスリット状電
子ビーム透過孔２が穿設されて後の極めて機械的に不安
定な状態での金属薄板１を単独で取扱うことが全く回避
されるので、目的とするカラー陰極線管の色選別手段４
の作製をさらに確実に歩留り良く製造することができ
る。

【０１００】また、本発明では、特に反応型再剥離粘着
シート１１、つまり例えば紫外線硬化型粘着シートある
いは加温発泡型粘着シート等を用いるものであり、紫外
線照射によってあるいは加温による発泡によって適度の
剥離性を付与させるので、最終的にはこのシート１１を
良好に剥離でき、これが最終的に残存することによっ
て、この色選別手段４を陰極線管管体に組み込んだ状態
でこのシート１１から発生する有機物によって管体内の
真空度を低下させ、寿命を低下させるような不都合が回
避される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法によって得るカラー陰極線管の色選
別手段の斜視図である。

【図２】本発明方法の一例の工程図である。

【図３】本発明方法の一例の一工程の斜視図である。

【図４】本発明方法の一例の作業状態を示す図である。

【図５】本発明方法の一例の作業状態を示す図である。

【図６】本発明方法の一例の作業状態を示す図である。

【図７】本発明方法の一例の作業状態を示す図である。

【図８】本発明方法の一例の作業状態を示す図である。

【図９】本発明方法の各例の作業状態を示す図である。

【図１０】本発明方法の一例の作業状態を示す図であ
る。

【図１１】本発明方法によって得た金属薄板の配列状態
の一例を示す正面図である。

【図１２】反応型再剥離シートの断面図である。

【図１３】従来方法の工程図である。

【図１４】従来の色選別手段の要部の断面図である。

【図１５】電子線の入射態様を示す断面図である。

【図１６】色選別手段の要部の断面図である。

【図１７】電子線の入射態様を示す断面図である。

【符号の説明】

１金属薄板２スリット状電子ビーム透過孔３フレーム４カラー陰極線管の色選別手段１１反応型再剥離粘着シート２１金属薄板シート２１

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年３月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】また、本発明では、特に反応型再剥離粘着
シート１１、つまり例えば紫外線硬化型粘着シートある
いは加温発泡型粘着シート等を用いるものであり、紫外
線照射によってあるいは加温による発泡によって適度の
剥離性を付与させるので、最終的にはこのシート１１
を、のり残しなく良好に剥離でき、これが最終的に残存
することによって、この色選別手段４を陰極線管管体に
組み込んだ状態でこのシート１１から発生する有機物に
よって管体内の真空度を低下させ、寿命を低下させるよ
うな不都合が回避される。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４７】また、この例では、反応型再剥離粘着シー
ト１１として紫外線硬化型粘着シートを用いる場合であ
る。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１００

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１００】また、本発明では、特に反応型再剥離粘着
シート１１、つまり例えば紫外線硬化型粘着シートある
いは加温発泡型粘着シート等を用いるものであり、紫外
線照射によってあるいは加温による発泡によって適度の
剥離性を付与させるので、最終的にはこのシート１１
を、のり残しなく良好に剥離でき、これが最終的に残存
することによって、この色選別手段４を陰極線管管体に
組み込んだ状態でこのシート１１から発生する有機物に
よって管体内の真空度を低下させ、寿命を低下させるよ
うな不都合が回避される。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属薄板に、多数のスリット状電子ビー
ム透過孔が並置穿設されて成るカラー陰極線管の色選別
手段の製造方法において、上記金属薄板の一主面に、反応型再剥離粘着シートを貼
着し、この状態で上記金属薄板の他方の主面側から選択
的エッチングを行って上記スリット状電子ビーム透過孔
を穿設することを特徴とするカラー陰極線管の色選別手
段の製造方法。
【請求項２】上記反応型再剥離粘着シートが紫外線硬
化型粘着シートであることを特徴とする請求項１に記載
のカラー陰極線管の色選別手段の製造方法。
【請求項３】上記反応型再剥離粘着シートが加温発泡
型粘着シートであり、上記選択的エッチングによって上
記スリット状電子ビーム透過孔を穿設して後に、上記加
温発泡型粘着シートの加温発泡処理を行うことを特徴と
する請求項１に記載のカラー陰極線管の色選別手段の製
造方法。
【請求項４】金属薄板に、多数のスリット状電子ビー
ム透過孔が並置穿設されて成るカラー陰極線管の色選別
手段の製造方法において、上記金属薄板の一主面に、反応型再剥離粘着シートを貼
着し、この状態で上記金属薄板の他方の主面側から選択
的エッチングを行って上記スリット状電子ビーム透過孔
を穿設し、該スリット状電子ビーム透過孔が穿設された金属薄板
を、フレームに架張して後、上記反応型再剥離粘着シー
トの剥離を行うことを特徴とするカラー陰極線管の色選
別手段の製造方法。