JP2002025440A

JP2002025440A - シャドウマスクの製造方法

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Publication number: JP2002025440A
Application number: JP2000208621A
Authority: JP
Inventors: Satoko Koyaizu; 聡子小柳津; Fumio Mori; 二美男盛; Junichi Onishi; 純一大西
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2000-07-10
Filing date: 2000-07-10
Publication date: 2002-01-25

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、保護フィルムのシャドウマスク用
素材からの剥離を保護フィルムの粘着力を適切に維持し
つつ容易に行うことができ、剥離困難による折れやエッ
チング液の浸入等の不具合を発生させず、高品質のシャ
ドウマスクを得ることができるシャドウマスクの製造方
法を提供する。【解決手段】シャドウマスク用素材３０Ａの被エッチ
ング面と反対面にエッチング保護用の保護フィルム５６
を貼り付けて、片面毎のエッチング処理を２段階で行う
２段エッチング法によりシャドウマスク用素材３０Ａに
多数の孔を貫通開設するとともに、前記保護フィルム５
６の剥離工程を含むシャドウマスクの製造方法におい
て、前記保護フィルム５６の剥離工程で、保護フィルム
剥離位置に配置した小径の剥離ローラ４１を使用してこ
の保護フィルム５６をシャドウマスク用素材３０Ａから
剥離するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスクの
製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般のカラー受像管用のシャドウマスク
は、蛍光面に近接して装備されており、電子銃から射出
された電子ビームを規則的に配列されたシャドウマスク
の多数の微細な開孔を介して、対応した３色蛍光体層に
正しく射突発光させることによりカラー映像を映出させ
るための色選別電極として機能する。

【０００３】このようなシャドウマスクは、例えば、
鉄、ニッケルを主成分とするシャドウマスク薄板材とし
て図６に示すような厚さ０．１０ｍｍ〜０．３０ｍｍ程
度に圧延されたシャドウマスク用素材である金属薄板材
１００を用い、フォトエッチング法を採用して製造され
る。

【０００４】このシャドウマスクの製造方法としては、
金属薄板材１００を例えば高温アルカリ洗浄し、水洗し
た後、カゼイン−重クロム酸アンモニウム系のレジスト
液を前記金属薄板材の両面に塗布し、乾燥してコイル状
に巻き取る。

【０００５】続いて、マスクパターンを介して金属薄板
材１００に対する露光、現像を行い、乾燥、バーニング
処理を経て必要部分にレジストのパターニングを形成す
る。

【０００６】この後、例えば塩化第二鉄溶液等のエッチ
ング液を用いてエッチング処理を行い、多数の所望径の
開孔を金属薄板材に貫通開設する。

【０００７】このとき、開孔径がシャドウマスクの板厚
よりも小さい高精細シャドウマスクの製造方法として２
段エッチング法が採用される。

【０００８】この２段エッチング法の工程は、第１エッ
チング工程と、第２エッチング工程とに分けられる。

【０００９】即ち、２段エッチング法での第１エッチン
グ工程では、金属薄板材１００のエッチング処理を施さ
ない片面側のレジストに有機合成フィルム、例えばポリ
エチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又はポリプロピレン
等を主成分とする耐酸性、耐アルカリ性さらに耐熱性に
優れた保護フィルムを貼り付け、保護フィルムを貼り付
けてない片面側のみを例えば塩化第二鉄溶液等でエッチ
ングする。

【００１０】更に、片面に目的とする孔を開けた後、孔
の開いた片面を水洗し、エッチングされた片面のレジス
トをアルカリで剥離し、水洗、乾燥の処理を施す。

【００１１】この後、エッチングされなかった片面のレ
ジストを保護している保護フィルムを巻き取りながら剥
離する。

【００１２】次に、孔の開いた片面側に熱硬化型樹脂か
又は光硬化型樹脂の耐エッチング剤を隙間なく充填し、
エッチング抵抗層を設ける。

【００１３】更に、エッチング抵抗層の上に保護フィル
ム１０１を貼り付ける。その後、保護フィルム１０１を
貼っていないもう一方の面をエッチングし、第１エッチ
ング工程にてエッチングした孔と貫通させる。

【００１４】さらに、第１エッチング工程で孔が開いた
片面側に貼り付けている保護フィルム１０１を、図６に
示すように、ローラ設置ポジションに設置した例えば直
径約２００ｍｍのローラ１０２にて金属薄板材１００か
ら巻き取りながら剥離した後、金属薄板材１００に残存
するレジストをアルカリにより剥離し、水洗、乾燥の処
理を施し、目的とする形状の孔を貫通開設したシャドウ
マスクを得る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上述したような２段エ
ッチング法の第１段階エッチング工程において、片側に
目的とする孔を開けた後、もう一方の面をエッチングす
るとき最初に開けた孔を保護するため、エッチング抵抗
層を形成する。エッチング抵抗層としては熱硬化樹脂又
は光硬化型樹脂を使用する。

【００１６】さらに、このエッチング抵抗層を保護する
ため、ポリプロピレンを主成分とする保護フィルム１０
１を貼り付ける。この場合、エッチング抵抗層に貼り付
ける保護フィルム１０１はポリプロピレンを基材として
アクリル系又はゴム系樹脂を粘着剤として塗布したフィ
ルムか又はフィルムの主成分をポリプロピレンとした自
己粘着性型のものを使用する。

【００１７】エッチング抵抗層にエッチング保護用とし
て保護フィルム１０１を用いる場合、保護フィルム１０
１の粘着力の程度によっては剥離力が増加する傾向があ
り、保護フィルム１０１を図６に示すようにローラ１０
２を使用して金属薄板材１００から剥離する際に剥離困
難となり金属薄板材１００に折れ等の不具合が生じるこ
とがある。

【００１８】また、エッチング抵抗層に保護フィルム１
０１を貼り付けてから剥離までの時間が長くなるにつれ
て、保護フィルム１０１の粘着力が増加する傾向があ
る。これは保護フィルム１０１に塗布してある粘着剤と
エッチング抵抗層表面との接触面積が増えることによる
と考えられる。

【００１９】このような場合には、金属薄板材１００か
らの保護フィルム１０１の剥離困難の事態となり易く、
金属薄板材１００が折れるという問題が生じる。また剥
離力を下げるために粘着力の低い（例えば５０ｇｆ／５
０ｍｍ（ステンレス板））保護フィルム１０１を使用す
ると、粘着剤とエッチング抵抗層表面との接触状態が粗
になることから、エッチング液が保護フィルムと被着体
である金属薄板材１００との間に浸入し易く、エッチン
グ液が浸入した部分にシミ等を発生させてしまい、製造
されるシャドウマスクの品質を低下させてしまう。

【００２０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、保護フィルムのシャドウマスク用素材からの剥
離を保護フィルムの粘着力を適切に維持しつつ容易に行
うことができ、剥離困難による折れやエッチング液の浸
入等の不具合を発生させず、高品質のシャドウマスクを
得ることができるシャドウマスクの製造方法を提供する
ことを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
シャドウマスク用素材の被エッチング面と反対面にエッ
チング保護用の保護フィルムを貼り付けて、片面毎のエ
ッチング処理を２段階で行う２段エッチング法によりシ
ャドウマスク用素材に多数の孔を貫通開設するととも
に、前記保護フィルムの剥離工程を含むシャドウマスク
の製造方法において、前記保護フィルムの剥離工程で、
保護フィルム剥離位置に配置した小径の剥離ローラを使
用してこの保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥
離することを特徴とするものである。

【００２２】この発明によれば、前記保護フィルム剥離
位置に、小径の剥離ローラを設置することで、保護フィ
ルムのシャドウマスク用素材からの剥離状態が安定し、
これにより簡略に保護フィルムをシャドウマスク用素材
から剥離でき、得られるシャドウマスクの品質が高く、
また、不良品を無くし又は減少できて歩留まりの向上を
図ることができる。

【００２３】請求項２記載の発明は、シャドウマスク用
素材の被エッチング面と反対面にエッチング保護用の保
護フィルムを貼り付けて、片面毎のエッチング処理を２
段階で行う２段エッチング法によりシャドウマスク用素
材に多数の孔を貫通開設するとともに、前記保護フィル
ムの剥離工程を含むシャドウマスクの製造方法におい
て、前記保護フィルムとして粘着剤塗布型又は自己粘着
性型のフィルムを使用し、前記保護フィルムの剥離工程
で、保護フィルム剥離位置に配置した小径の剥離ローラ
を使用してこの保護フィルムをシャドウマスク用素材か
ら剥離することを特徴とするものである。

【００２４】請求項３記載の発明は、シャドウマスク用
素材の他面にエッチング保護用の保護フィルムを貼り付
けて、保護フィルムを貼り付けていない一面のエッチン
グ処理を行いこの一面側に多数の孔を開設する第１エッ
チング工程と、第１エッチング工程にて多数の孔が開設
された前記シャドウマスク用素材の一面側にエッチング
保護用の保護フィルムを貼り付けて、保護フィルムを貼
り付けていない他面のエッチング処理を行い、この他面
側に多数の孔を開設して第１エッチング工程にて開設し
た孔と貫通させる第２エッチング工程とからなる２段エ
ッチング法を使用するとともに、前記保護フィルムの剥
離工程を含むシャドウマスクの製造方法において、前記
保護フィルムとして粘着剤塗布型又は自己粘着性型のフ
ィルムを使用し、前記保護フィルムの剥離工程で、保護
フィルム剥離位置に配置した小径の剥離ローラを使用し
てこの保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥離す
ることを特徴とするものである。

【００２５】請求項２及び３記載の発明によれば、前記
保護フィルムとして粘着剤塗布型又は自己粘着性型のフ
ィルムを使用し、かつ、前記保護フィルム剥離位置に、
小径の剥離ローラを設置することで、前記保護フィルム
の粘着力を適切に選定することにより、保護フィルムの
シャドウマスク用素材からの剥離状態が安定し、これに
より簡略に保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥
離でき、得られるシャドウマスクの品質が高く、また、
不良品を無くし又は減少できて歩留まりの向上を図るこ
とができる。

【００２６】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
いずれかに記載のシャドウマスクの製造方法において、
前記小径の剥離ローラを使用した保護フィルムの剥離工
程は、前記第１エッチング工程、第２エッチング工程の
少なくとも一方又は双方において行われることを特徴と
するものである。

【００２７】この発明によれば、前記小径の剥離ローラ
を使用した保護フィルムの剥離工程は、前記第１エッチ
ング工程、第２エッチング工程の少なくとも一方又は双
方において行われるようにしているので、必要に応じて
第１エッチング工程、第２エッチング工程のいずれかに
おいてこの剥離工程を採用したり、又は第１エッチング
工程、第２エッチング工程の双方においてこの剥離工程
を採用することができ、シャドウマスクの製造ライン面
積、構成等の相違に対応できる。

【００２８】請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の
いずれかに記載のシャドウマスクの製造方法において、
前記第１エッチング工程における前記保護フィルムの剥
離工程は、シャドウマスク用素材の他面に形成した孔形
成用のレジスト膜上に貼り付けた保護フィルムを小径の
剥離ローラにて剥離する工程であり、前記第２エッチン
グ工程における前記保護フィルムの剥離工程は、第１エ
ッチング工程にて開設した孔を保護するエッチング抵抗
層上に貼り付けた保護フィルムを小径の剥離ローラにて
剥離する工程であることを特徴とするものである。

【００２９】この発明によれば、前記第１エッチング工
程、第２エッチング工程における保護フィルムの貼り付
け対象の相違に応じた状態で簡略に保護フィルムをシャ
ドウマスク用素材から剥離できる。

【００３０】請求項６記載の発明は、請求項１乃至５の
いずれかに記載のシャドウマスクの製造方法において、
前記保護フィルムは、ポリプロピレンを基材とし、アク
リル系又はゴム系樹脂を粘着層とする厚さ０．０２０〜
０．０５０ｍｍ、粘着力１００〜３００ｇｆ／５０ｍｍ
の粘着剤塗布型フィルム又はポリプロピレンを主成分と
する自己粘着性型のフィルムであることを特徴とするも
のである。

【００３１】この発明によれば、適切な粘着力の保護フ
ィルムを使用しているので、シャドウマスク用素材から
の剥離状態が安定し、これにより簡略に保護フィルムを
シャドウマスク用素材から剥離でき、得られるシャドウ
マスクの品質が高く、また、不良品を無くし又は減少で
きて歩留まりの向上を図ることができる。

【００３２】請求項７記載の発明は、請求項１乃至６の
いずれかに記載のシャドウマスクの製造方法において、
前記保護フィルムの剥離工程に使用する小径の剥離ロー
ラは、保護フィルム剥離位置において前記シャドウマス
ク用素材の搬送路に沿って、かつ、シャドウマスク用素
材の搬送方向と直交する方向の一定位置に配置した直径
１０乃至２５ｍｍ程度のローラであることを特徴とする
ものである。

【００３３】この発明によれば、前記剥離ローラによ
り、シャドウマスク用素材に大きな剥離力を作用させる
ことなく保護フィルムをこのシャドウマスク用素材から
安定して剥離することができる。

【００３４】請求項８記載の発明は、請求項１乃至７の
いずれかに記載のシャドウマスクの製造方法において、
前記保護フィルムの剥離工程の剥離ローラにて剥離され
た保護フィルムは、剥離ローラ近傍に配置された巻き取
り用のローラにて巻き取られることを特徴とするもので
ある。

【００３５】この発明によれば、シャドウマスク用素材
から剥離された保護フィルムの収納処理を円滑に行うこ
とができる。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。

【００３７】図１は、本発明の実施の形態のシャドウマ
スク３０を含むカラー陰極線管の概略構成を示すもので
ある。

【００３８】このカラー陰極線管は、図１に示すよう
に、内面に蛍光面（蛍光体スクリーン）１が形成された
パネル２と、このパネル２に連接するファンネル３から
なる外囲器を有し、パネル２の内面に形成された蛍光面
１は、赤、緑、青にそれぞれ発光する三色蛍光体層１ａ
（図１においては１箇所のみ示す）を備えている。

【００３９】また、前記ファンネル３のネック部４に
は、発光色に対応した複数の電子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６
Ｒを放出する電子銃５が配置され、複数の電子ビーム６
Ｂ、６Ｇ、６Ｒを放出する。

【００４０】さらに、パネル２の内側における電子銃５
と蛍光面１の間には色選別機能を有する略矩形状のシャ
ドウマスク３０が配置され、電子銃５から放出された電
子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒを整形して特定の三色蛍光体
層１ａにビームスポットを照射している。

【００４１】このシャドウマスク３０は、その周辺のマ
スクスカート部３０ａが内側になるように略矩形状のマ
スクフレーム（以下「フレーム」という）２３によって
固着支持され、さらに側壁部３１、折曲底面部３２から
なるフレーム２３に弾性支持体２５を取り付けてなるシ
ャドウマスク構体の形態でパネル２の内壁に設けられた
支持ピン１０に係止されている。

【００４２】さらに、前記ファンネル３の外側には、電
子銃５から放出される電子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒを水
平及び垂直偏向する磁界を発生する偏向装置１１が装着
されている。

【００４３】次に、２段エッチング法によるシャドウマ
スク３０の製造方法を、図２乃至図５を参照して以下に
説明する。

【００４４】まず、鉄、ニッケルを主成分とする厚さ
０．１２０ｍｍのシャドウマスク用素材３０Ａを高温ア
ルカリ脱脂し、スプレー方式による水洗後、カゼイン−
重クロム酸アンモニウム系レジスト液を両面に塗布した
後乾燥し、両面に厚さ数μｍのレジスト膜（感光膜）５
２を形成する（図２（ａ））。

【００４５】次に、図２（ｂ）に示す円形孔型パターン
５３ａを描画したガラス乾板５３とシャドウマスク用素
材３０Ａを真空密着させ、水銀ランプ等の光源の発光に
よる紫外光照射によって露光し、一面のレジスト膜５２
に小孔パターン５２ａを焼き付け、他面のレジスト膜５
２に大孔パターン５２ｂを焼き付ける。

【００４６】続いて、ガラス乾板５３を除去した後、シ
ャドウマスク用素材３０Ａに対する温水のスプレー方式
により小孔パターン５２ａ、大孔パターン５２ｂの現像
を行い、乾燥してバーニング処理を施す（図２
（ｃ））。

【００４７】次に、大孔パターン５２ｂ側にエッチング
保護用のポリプロピレンを主成分とする粘着力１００〜
３００ｇｆ／５０ｍｍの保護フィルム５４を貼り付け、
一面側に塩化第二鉄溶液をスプレーしてエッチング処理
し（第１段エッチング）、目的とする小孔を開ける（図
２（ｄ））。

【００４８】この場合のエッチング処理は、液温約４５
〜７０℃、比重１．４５０〜１．５２０の塩化第二鉄溶
液で行うが、ポリプロピレンを主成分とする保護フィル
ムは耐酸性があり、エッチング液の影響を受けず、これ
により、他面側のレジスト膜５２を保護することができ
る。

【００４９】続いてスプレー方式により水洗し、その後
一面側（小孔側）のレジスト膜５２をスプレー方式によ
り剥離する。この場合の剥離は、濃度３〜１５ｗｔ％、
温度６５〜９５℃の苛性ソーダを使用して行う。

【００５０】このレジスト膜５２の剥離、水洗の処理に
おいて、ポリプロピレンを主成分とする保護フィルム５
４は耐アルカリ性に優れておりエッチング保護用として
は有効である。

【００５１】また、ポリプロピレンを主成分とする保護
フィルム５３は、水弾きに優れており、乾燥の効率を上
げることが可能であり、さらに乾燥処理を行うヒーター
の加熱温度も下げることができるため、エネルギー節約
にも有効である。

【００５２】その後スプレー方式で水洗し、約１００℃
で乾燥を行い、他面側（大孔側）に貼り付けた保護用フ
ィルム５４のシャドウマスク用素材３０Ａからの剥離及
び巻き取りを行う（図２（ｅ））。

【００５３】このようにして、シャドウマスク用素材３
０Ａに対する第１エッチング工程が終了し、図３（ａ）
に示すように、一面側に小孔３０ｃが形成され、他面側
にレジスト膜５２を有するシャドウマスク用素材３０Ａ
となる。

【００５４】次に、図３（ｂ）に示すように、シャドウ
マスク用素材３０Ａの一面側（小孔側）に熱硬化型樹脂
又は光硬化型樹脂の耐エッチング剤を塗布し、乾燥して
厚さ数μｍのエッチング抵抗層５５を形成する。更に、
エッチング抵抗層５５上にポリプロピレンを主成分とす
る膜厚０．０３０〜０．０５０ｍｍの比較的低粘着力の
エッチング保護用フィルム５６を貼り付ける（図３
（ｃ））。このとき保護フィルム５６の粘着力は第１エ
ッチング工程と同様、１００〜３５０ｇｆ／５０ｍｍに
設定した。

【００５５】その後、他面側（大孔側）を液温約４５〜
７０℃、比重１．４５０〜１．５２０の塩化第二鉄溶液
でエッチングし大孔３０ｄを形成し、水洗を行い、一面
側（小孔側）に貼り付けた前記保護フィルム５６をシャ
ドウマスク用素材３０Ａから剥離する。

【００５６】このとき、図４に示すように、予め定めら
れた剥離位置にシャドウマスク用素材３０Ａの搬送方向
と直交する方向でかつその搬送面に沿って配置した直径
２０ｍｍの剥離ローラである小ローラ４２を用いて保護
フィルム５６の剥離を行ない、さらに小ローラ４２の近
傍に配置した例えば直径２００ｍｍのローラ４１（駆動
機構は図示せず）によって剥離した前記保護フィルム５
６を速やかに巻き取り収容する（図３（ｄ））。

【００５７】前記小ローラ４２の位置が一定になるよう
に図示しないローラ支持機構により支持しておくことに
より、シャドウマスク用素材３０Ａから保護フィルム５
６を剥離する際にシャドウマスク用素材３０Ａに作用す
る剥離力を一定化することができ、保護フィルム剥離時
にこの保護フィルム５６がシャドウマスク用素材３０Ａ
を持ち上げる現象がなくなり、安定した状態で保護フィ
ルム５６を剥離することができる。

【００５８】続いて、濃度３〜１５ｗｔ％、温度６５〜
９５℃の苛性ソーダをシャドウマスク用素材３０Ａにス
プレーして他面側（大孔側）のレジスト膜５２及び一面
側（小孔側）のエッチング抵抗層５５を剥離し、乾燥し
て、第２エッチング工程を終了し、目的とするシャドウ
マスク３０を得た（図３（ｅ））。

【００５９】このようして得られたシャドウマスク３０
は、品質が良好であり、さらにシャドウマスク用素材３
０Ａの持ち上がりによる折れ等の不具合は無くなり、歩
留が向上した。

【００６０】尚、上述した小ローラ４２を用いた保護フ
ィルムの剥離工程は、第１エッチング工程の保護フィル
ム５４のシャドウマスク用素材３０Ａから剥離（図２
（ｅ））にも同様に適用してもよく、さらに、必要に応
じて第１エッチング工程、第２エッチング工程のいずれ
かにおいてこの剥離工程を採用したり、又は第１エッチ
ング工程、第２エッチング工程の双方においてこの剥離
工程を採用することができ、これにより、シャドウマス
クの製造ライン面積、構成等の相違に対応できる。

【００６１】本実施の形態と、比較例とにおける保護フ
ィルムの粘着力、液浸入状態、小ローラの有無による保
護フィルムの剥離状態の試験結果を図５に示す。

【００６２】比較例の保護フィルム（粘着力５０ｇｆ／
５０ｍｍ）の場合、粘着力が弱いためシャドウマスク用
素材からの保護フィルムの剥離状態は小ローラの有無に
関係なく問題が無かったが、エッチング液の浸入が生じ
てシャドウマスクの品質を低下させてしまった。

【００６３】本実施の形態の場合、粘着力１００ｇｆ／
５０ｍｍの保護フィルムの場合には、シャドウマスク用
素材からの保護フィルムの剥離状態は小ローラの有無に
関係なく問題が無かった。また、粘着力２００ｇｆ／５
０ｍｍの保護フィルム及び粘着力３００ｇｆ／５０ｍｍ
の保護フィルムの場合には、粘着力が強いため小ローラ
無しでは剥離状態に問題があったが、小ローラ設置によ
り剥離状態が良好になった。

【００６４】

【発明の効果】本発明によれば、保護フィルムのシャド
ウマスク用素材からの剥離状態が安定し、これにより簡
略に保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥離で
き、得られるシャドウマスクの品質が高く、また、不良
品を無くし又は減少できて歩留まりの向上を図ることが
できるシャドウマスクの製造方法を提供することができ
る。

【００６５】また、本発明によれば、保護フィルムの粘
着力を適切に維持しつつこの保護フィルムの剥離を容易
に行うことができ、シャドウマスク用素材の折れや液浸
入等の不具合を減少させることができ、品質が良好なシ
ャドウマスクを得ることができるとともに、製造時の歩
留まりの向上を図ることができるシャドウマスクの製造
方法を提供することができる。

【００６６】さらに、本発明によれば、２段エッチング
法の第１エッチング工程、第２エッチング工程における
保護フィルムの貼り付け対象の相違に応じた状態で各々
簡略に保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥離で
き、さらに、シャドウマスクの製造ライン面積、構成等
の相違にも対応できるシャドウマスクの製造方法を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のシャドウマスクを含むカ
ラー陰極線管の概略図である。

【図２】本実施の形態のシャドウマスクの製造工程を示
す説明図である。

【図３】本実施の形態のシャドウマスクの製造工程を示
す説明図である。

【図４】本実施の形態のシャドウマスクの製造工程にお
ける保護フィルムの剥離工程を示す斜視図である。

【図５】本実施の形態のシャドウマスクの製造に使用す
る保護フィルム及び比較例の保護フィルムの粘着力、液
浸入、剥離状態の試験結果を示す表である。

【図６】従来のシャドウマスクの製造工程における保護
フィルムの剥離工程を示す斜視図である。

【符号の説明】

１蛍光面２パネル３ファンネル５電子銃３０シャドウマスク３０Ａシャドウマスク用素材４１ローラ４２小ローラ５２レジスト膜５３ガラス乾板５４保護フィルム５５エッチング抵抗層５６保護フィルム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大西純一埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２号株式会社東芝深谷工場内Ｆターム(参考） 4K057 WA20 WB02 WB03 WC10 WE08 WK10 WM04 WM17 WN03 5C027 HH11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シャドウマスク用素材の被エッチング面
と反対面にエッチング保護用の保護フィルムを貼り付け
て、片面毎のエッチング処理を２段階で行う２段エッチ
ング法によりシャドウマスク用素材に多数の孔を貫通開
設するとともに、前記保護フィルムの剥離工程を含むシ
ャドウマスクの製造方法において、前記保護フィルムの剥離工程で、保護フィルム剥離位置
に配置した小径の剥離ローラを使用してこの保護フィル
ムをシャドウマスク用素材から剥離することを特徴とす
るシャドウマスクの製造方法。
【請求項２】シャドウマスク用素材の被エッチング面
と反対面にエッチング保護用の保護フィルムを貼り付け
て、片面毎のエッチング処理を２段階で行う２段エッチ
ング法によりシャドウマスク用素材に多数の孔を貫通開
設するとともに、前記保護フィルムの剥離工程を含むシ
ャドウマスクの製造方法において、前記保護フィルムとして粘着剤塗布型又は自己粘着性型
のフィルムを使用し、前記保護フィルムの剥離工程で、
保護フィルム剥離位置に配置した小径の剥離ローラを使
用してこの保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥
離することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
【請求項３】シャドウマスク用素材の他面にエッチン
グ保護用の保護フィルムを貼り付けて、保護フィルムを
貼り付けていない一面のエッチング処理を行いこの一面
側に多数の孔を開設する第１エッチング工程と、第１エ
ッチング工程にて多数の孔が開設された前記シャドウマ
スク用素材の一面側にエッチング保護用の保護フィルム
を貼り付けて、保護フィルムを貼り付けていない他面の
エッチング処理を行い、この他面側に多数の孔を開設し
て第１エッチング工程にて開設した孔と貫通させる第２
エッチング工程とからなる２段エッチング法を使用する
とともに、前記保護フィルムの剥離工程を含むシャドウ
マスクの製造方法において、前記保護フィルムとして粘着剤塗布型又は自己粘着性型
のフィルムを使用し、前記保護フィルムの剥離工程で、
保護フィルム剥離位置に配置した小径の剥離ローラを使
用してこの保護フィルムをシャドウマスク用素材から剥
離することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
【請求項４】前記小径の剥離ローラを使用した保護フ
ィルムの剥離工程は、前記第１エッチング工程、第２エ
ッチング工程の少なくとも一方又は双方において行われ
ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の
シャドウマスクの製造方法。
【請求項５】前記第１エッチング工程における前記保
護フィルムの剥離工程は、シャドウマスク用素材の他面
に形成した孔形成用のレジスト膜上に貼り付けた保護フ
ィルムを小径の剥離ローラにて剥離する工程であり、前
記第２エッチング工程における前記保護フィルムの剥離
工程は、第１エッチング工程にて開設した孔を保護する
エッチング抵抗層上に貼り付けた保護フィルムを小径の
剥離ローラにて剥離する工程であることを特徴とする請
求項１乃至４のいずれかに記載のシャドウマスクの製造
方法。
【請求項６】前記保護フィルムは、ポリプロピレンを
基材とし、アクリル系又はゴム系樹脂を粘着層とする厚
さ０．０２０〜０．０５０ｍｍ、粘着力１００〜３００
ｇｆ／５０ｍｍの粘着剤塗布型フィルム又はポリプロピ
レンを主成分とする自己粘着性型のフィルムであること
を特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のシャド
ウマスクの製造方法。
【請求項７】前記保護フィルムの剥離工程に使用する
小径の剥離ローラは、保護フィルム剥離位置において前
記シャドウマスク用素材の搬送路に沿って、かつ、シャ
ドウマスク用素材の搬送方向と直交する方向の一定位置
に配置した直径１０乃至２５ｍｍ程度のローラであるこ
とを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のシャ
ドウマスクの製造方法。
【請求項８】前記保護フィルムの剥離工程の剥離ロー
ラにて剥離された保護フィルムは、巻き取り用のローラ
にて巻き取られることを特徴とする請求項１乃至７のい
ずれかに記載のシャドウマスクの製造方法。